JP6363482B2 - 排ガス浄化触媒及びその製造方法 - Google Patents
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Description
上記シリコンの表面のうちの上記白金クラスターが担持されていない部分に一原子層の酸化被膜が形成され、
上記白金クラスターに含有されている白金原子の個数が、20個〜1000個である、
排ガス浄化触媒。
〈2〉上記酸化被膜の表面から上記白金クラスターの頂点までの高さが、0nm超である、上記〈1〉項に記載の触媒。
〈3〉白金ターゲットにスパッタリングを行うことにより白金クラスターを作製すること、
電圧を印加して加速させた上記白金クラスターを、シリコンの表面に衝突させて担持させること、及び
上記シリコンの表面のうちの上記白金クラスターが担持されていない部分を酸化すること、
を含む、上記〈1〉又は〈2〉項に記載の排ガス浄化触媒の製造方法。
〈4〉上記衝突のエネルギーが、白金1原子あたり0eV超〜1.5eVである、〈3〉項に記載の製造方法。
本発明の排ガス浄化触媒は、シリコン及びシリコンの表面に担持された白金クラスターを有する。
本発明の排ガス浄化触媒では、130K(−143℃)程度の低温下において、上記ショットキー接合によって生じた界面付近の過剰な電子が、一酸化炭素を励起させ、かつ二酸化炭素に転換させることができる。
本発明において、高選択性とは、ターゲットとなる主生成物を生じ、かつ主生成物と異なる副生成物をほとんど生じない性質を意味する。
一般に、白金系金属は、一酸化炭素と非常に結合し易く、これによって白金系金属の被毒が生じる。これは、COの共有電子対が、白金系金属の空のd軌道に流れ込み、σ結合を形成すること、並びに白金系金属のd軌道の電子が、COの空のπ反結合性軌道に流れ込み、C−O結合の結合性を低下させることによって、白金系金属−COの結合が、エネルギー的に安定化するためと考えられる。
ところで、従来のシリコン及びシリコン表面に担持された白金クラスターのみの構成では、連続的な使用又は過酷な環境での使用などによって、白金クラスターを構成する個々の原子がシリコン表面上で移動して、クラスターサイズが変わり、それによって、上記の低温活性、高選択性、及び高被毒耐性を喪失することがある。
白金クラスターは、シリコン表面に担持されている。
排ガス浄化触媒を製造する本発明の方法は、白金ターゲットにスパッタリングを行うことにより白金クラスターを作製するスパッタ工程を含む。
(A)高い分圧、例えば、200hPa程度の分圧の酸素雰囲気では、シリコンの表面の酸化が過剰に進行し、厚くかつ不均一な酸化被膜が形成される。
(B)大気中の不純物、例えば、水分、ダスト、及びハロゲン化物などが、シリコンの表面に付着して取り込まれる。
本発明の方法によれば、白金ターゲットにスパッタリングを行うことにより白金クラスターを作製する。
本発明の方法は、スパッタ工程とクラスター担持工程との間に、マスフィルタによって白金クラスターを選別する選別工程を任意選択的に含んでよい。このマスフィルタを用いることによって、所定の白金原子数から構成される白金クラスターのみを取り出すことができる。
本発明の方法によれば、電圧を印加して加速させた白金クラスターを、シリコンの表面に衝突させて担持させる。
本発明の方法によれば、シリコンの表面のうちの白金クラスターが担持されていない部分を酸化する。
〈白金クラスターの作製と選別〉
Arガス中で、白金ターゲットにスパッタリングを行うことによって、白金クラスターを作製した。マスフィルタとしての四重極型質量分析計を用いて、この白金クラスターから、白金原子30個から構成されるPt30クラスターを選別した。
上記のPt30クラスターがシリコン表面へ衝突するときのエネルギーが、白金1原子あたり0.5eVとなるように、印加する電圧を調整した。この調整した電圧を印加することによって、Pt30クラスターを加速させ、かつシリコン表面に衝突させて担持させた。
シリコンの表面のうちの上記のPt30クラスターが担持されていない部分を、2×10−5Paの酸素、360℃の温度、及び30分間で酸化処理し、排ガス浄化触媒を作製した。
白金クラスターの白金原子数(個)、白金1原子あたりの衝突エネルギー(eV)、及び酸化処理の有無を、それぞれ、下記の表1のように変更したことを除き、実施例1と同様にして排ガス浄化触媒を作製した。
昇温脱離法(TPD:Temperature Programmed Desorption)を、上記の実施例1及び2並びに比較例1及び2の排ガス浄化触媒に適用することによって、排ガス浄化触媒を評価した。
実施例2の排ガス浄化触媒を用いて、低温活性の評価を下記のとおりに行った。
実施例2の排ガス浄化触媒を用いて、選択性の評価を下記のとおりに行った。
実施例2の排ガス浄化触媒を用いて、被毒耐性の評価を下記のとおりに行った。
白金クラスターが、シリコンの表面に沈み込み又は埋没したとき、このことが反応物質の酸化及び還元反応に与える影響を評価した。評価は、下記のとおりに行った。
白金クラスターを構成する白金原子の数が、COからCO2への転換及びNOからN2への転換に与える影響を評価した。評価は、下記のとおりに行った。
比較例2の排ガス浄化触媒に対するO2及びCOの曝露量を、それぞれ2ラングミュアとし、この触媒を高真空雰囲気で昇温させ、触媒温度の変化に対するCO2の生成量の変化を測定した。結果を図10(a)に示している。
実施例1及び2の排ガス浄化触媒を、CO及びO2に曝したときの暴露量と、それらの排ガス浄化触媒を、NOに曝したときの暴露量とを、下記の表2に示している。
10a 酸化被膜
20 白金クラスター
Claims (4)
- シリコン及び前記シリコンの表面に担持された白金クラスターを有する排ガス浄化触媒であって、
前記シリコンの表面のうちの前記白金クラスターが担持されていない部分に一原子層の酸化被膜が形成され、
前記白金クラスターに含有されている白金原子の個数が、20個〜1000個であり、かつ
前記白金クラスターが、前記シリコンの表面に沈み込んでおらず、かつ埋没していない、
排ガス浄化触媒。 - 前記酸化被膜の表面から前記白金クラスターの頂点までの高さが、0nm超である、請求項1に記載の触媒。
- 白金ターゲットにスパッタリングを行うことにより白金クラスターを作製すること、
電圧を印加して加速させた前記白金クラスターを、シリコンの表面に衝突させて担持させること、及び
前記シリコンの表面のうちの前記白金クラスターが担持されていない部分を酸化すること、
を含む、請求項1又は2に記載の排ガス浄化触媒の製造方法。 - 前記衝突のエネルギーが、白金1原子あたり0eV超〜1.5eVである、請求項3に記載の製造方法。
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