JP6362882B2 - 固体イオンキャパシタ、及びその製造方法 - Google Patents
固体イオンキャパシタ、及びその製造方法 Download PDFInfo
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Description
図1は、本実施形態の固体イオンキャパシタ11の断面構造を模式的に示している。固体イオンキャパシタ11は、電解質層1と第1および第2の電極層2、3とを備える。
0.1≦x≦0.67、0.1≦y≦0.4 (1)
積層キャパシタの実施形態を説明する。図3は、本実施形態の固体イオンキャパシタ12の断面構造を模式的に示している。固体イオンキャパシタ12は、複数の電解質層1と、複数の第1の電極層2と複数の第2の電極層3とを備える。複数の第1の電極層2と複数の第2の電極層3とは、各電解質層1を介して交互に積層されている。このため、各電解質層1は、複数の第1の電極層2の1つおよび複数の第2の電極層3の1つによって挟まれている。複数の電解質層1と、複数の第1の電極層2と複数の第2の電極層3は共焼結体7を構成している。
以下、本実施形態の固体イオンキャパシタで用いるセラミックスを作製し、種々の特性を調べた結果を説明する。
原料としてNa2CO3、Al2O3、ZrO2、SiO2、リン酸アンモニウム(NH4)H2(PO4)3の粉末を用意し、Na、Al、Zr、SiおよびPがNa1+x+y(AlyZr2-y)(SixP3-x)O12の組成比となるように秤量した。組成比x、yは、y=0、0.1、0.2、0.4、0.6、x=0、0.1、0.3、0.67、1、2、2.5とした。表1にxおよびyの組み合わせを示す。
収縮率は焼結前後の成型体の直径に対して焼結体の直径の収縮量を変化比で示しており、温度を変えることにより焼結の進み具合を見積もることができる。即ち、収縮率が0より大きければ焼結によって収縮し始めており、大きければ大きいほど収縮していることを示している。また、図5Aに組成比yが0.2であり、850℃〜1200℃で焼結した場合における組成比xと収縮率との関係を示す。また、図5Bに組成比xが0.3であり、850℃〜1200℃で焼結した場合における組成比yと収縮率との関係を示す。
次に、金属との共焼結の可否を検討するため、組成式(1)で示されるセラミックスと電極の材料であるAgとの反応性を確認した。
単板キャパシタを作製し、特性を確認した。
本実施例から、Na、Al、Zr、P、Siを含みNASICON型結晶構造を有するセラミックスが850℃以上1000℃以下の温度で焼結可能であり、得られたセラミックスは容量の大きなキャパシタとして使用し得る高い比誘電率を備えていることが確認できた。
1 電解質層
2’ 第1の金属ペースト層
2 第1の電極層
3’ 第2の金属ペースト層
3 第2の電極層
4 半田
5 引き出し電極
6 樹脂モールド
7 共焼結体
7a、7b 側面
8 第1の外部電極
9 第2の外部電極
11、12 固体イオンキャパシタ
20 樹脂フィルム
21 グリーンシート積層体
Claims (4)
- Agを含む第1および第2の電極層と、
Naを含むイオン伝導体のセラミックスからなる電解質層と、
を備え、
前記Naを含むイオン伝導体のセラミックスは、
Na 1+x+y (Al y Zr 2−y )(Si x P 3−x )O 12 、
0.1≦x≦0.67、0.1≦y≦0.4
を満たす組成を有し、
前記電解質層は、前記第1および第2の電極層の間に位置し、
前記電解質層と前記第1および第2の電極層とは共焼結体を構成している固体イオンキャパシタ。 - 前記セラミックスの比誘電率が3000以上である請求項1に記載の固体イオンキャパシタ。
- 前記電解質層と、前記第1の電極層と、前記第2の電極層とをそれぞれ複数備え、
前記第1の電極層と前記第2の電極層とは、各電解質層とを介して交互に積層されている請求項1または2に記載の固体イオンキャパシタ。 - セラミックス用グリーンシートと、セラミックス用グリーンシートを挟むように形成した一対の金属ペースト層とを含むグリーンシート積層体を形成する工程と、
前記グリーンシート積層体を850℃以上1000℃以下の温度で保持することにより、セラミックス用グリーンシート金属ペースト層とを共焼結させる工程と
を包含し、
前記金属ペーストは、Agを含み、
前記セラミックス用グリーンシートは、セラミックスの主成分の原料として、Naを含み、
前記セラミックス用グリーンシートは、前記セラミックスの原料として、Na、Al、Zr、P、Siを、焼結後に
Na 1+x+y (Al y Zr 2−y )(Si x P 3−x )O 12 、
0.1≦x≦0.67、0.1≦y≦0.4
で表されるセラミックスとなる組成比で含む、固体イオンキャパシタの製造方法。
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JP2014050605A JP6362882B2 (ja) | 2014-03-13 | 2014-03-13 | 固体イオンキャパシタ、及びその製造方法 |
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