JP6361333B2 - 光源装置及び光学エンジン - Google Patents
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Description
また、本発明は、蛍光体の劣化を抑制して高輝度の光を出力する光学エンジンを提供することを他の課題とする。
[1.光源装置の概要]
図1に示す光源装置2は、半導体レーザ素子10からのレーザ光と、このレーザ光で励起された蛍光体が放出する蛍光とを照明光として出力するものである。この光源装置2は、例えば図2に示す光学エンジン1に組み込まれる。光源装置2は、図1に示すように、複数の半導体レーザ素子10を備えるパッケージ3と、光学系4と、蛍光体を有する基板5(以下、蛍光体ホイール5と称することもある)と、を主に備えている。
パッケージ3内には、複数の半導体レーザ素子10が所定ピッチΔでアレイ状に配列されている。図1では、複数の半導体レーザ素子10がY軸方向に並んでいるが、X軸方向にも並んでいる。なお、図示を省略したが、パッケージ3は、各半導体レーザ素子10の共通端子であるアノードやカソード等の複数のリード端子(接続ピン)等を備えている。
また、図13においては、反射部材205を挟んで両側に複数の半導体レーザ素子10を載置しているが、片側のみに配置してもよいし、反射部材205の全周を取り囲むように半導体レーザ素子10を載置してもよい。なお、図13におけるC−C線切断部を模式的に示す断面図が図14である。パッケージ3Bは、他の光源装置、光学エンジンを示す図におけるパッケージ3のそれぞれに適用することができる。
第1基材201は、放熱性を考慮してパッケージ3Bの下面に配置される基材であり、その材料としては、Cu、Al等が用いられる。
第2基材202は、サブマウント203、反射部材205等を第1金属層201A又は第2金属層201Bを介して載置する基材であり、その材料としては、AlN、SiC、SiN、アルミナ等が用いられる。なお、この第2基材202は省略することが可能である。
サブマウント203の材料としては、AlN、CuW、ダイヤモンド、SiC、セラミックス等が挙げられる。
サブマウント203の厚みは、特に限定されないが、例えば、100〜500μm程度が挙げられ、120〜400μm程度が好ましく、150〜300μm程度がより好ましい。サブマウント203を一定以上の厚みとすることにより、半導体レーザ素子からの光を効率的に反射部材で反射させて取り出すことができる。
サブマウント203の平面形状は特に限定されず、例えば、矩形等の多角形、円形、楕円形又はこれらに近似する形状等が挙げられる。
また反射部材205は、実装側とは反対側(レーザ光がパッケージから出射される側に近い側)に、基板201の主面に対してほぼ平行な平坦面205aを有していてもよい。これにより、反射部材を第1基材201上に精度よく、強固に実装することができる。
反射部材205の材料としては、ガラス(石英ガラス、合成石英ガラス等)、サファイア、セラミック又は金属からなる部材、これら部材に誘電体材料等に反射膜を形成したものにより構成することができる。
透光性部材207は、レーザ光を透過することができる材料が用いられる限り特に限定されず、例えば、ガラス(ホウケイ酸ガラス、石英ガラス、合成石英ガラス等)、サファイア、透明セラミック等によって形成することができる。
また半導体レーザ素子10の出力をモニタするために、第1基材201上にフォトダイオードを配置してもよい。
光学系4は、合波光学部品6と、第1レンズ系7と、第2レンズ系8と、を備え、複数の半導体レーザ素子10から出射されるレーザ光を蛍光体ホイール5へ照射するためのものである。光学系4は、パッケージ3からのレーザ光を蛍光体ホイール5へ集光するために、Z軸に沿った光軸上に第1レンズ系7、合波光学部品6、第2レンズ系8をこの順番に備えている。
ライトパイプは、内部を中空にして側面をミラーで構成したものである。
小型のロッドインテグレータやライトパイプとしては、長さが例えば数mm〜数十mm程度で、直径が数mm〜十数mm程度のものが市販されている。光源装置2の小型化のためには、合波光学部品6のサイズはできるだけ小さいことが好ましい。
一方、ロッドインテグレータ又はライトパイプは、複数の半導体レーザ素子10からそれぞれ出射されるレーザ光を合波する機能と、合波したレーザ光の強度分布を空間的に均一にする機能とを兼ね備えている。よって、例えば凸レンズとフライアイレンズとを用いる場合よりも部品点数を減らす効果がある。
蛍光体を有する基板(蛍光体ホイール)5は、ホイール型の基板に蛍光体20を備える。蛍光体ホイール5は、モータ9により回転駆動される。パッケージ3から出射されたレーザ光を蛍光体ホイール5に照射した領域に蛍光体20が配置されているときに、蛍光体ホイール5は蛍光を放出する。
領域14は、半導体レーザ素子10の発光する青色光を通過させるための透過領域であり、蛍光体が配設されていない。
領域15は、半導体レーザ素子10の発光する青色光を吸収して赤色光を発光する赤色蛍光体20Rが配設された蛍光体領域である。
領域16は、半導体レーザ素子10の発光する青色光を吸収して緑色光を発光する緑色蛍光体20Gが配設された蛍光体領域である。
緑色蛍光体としては、例えばクロロシリケートやBaSiO4:Eu2+を用いることができる。
赤色蛍光体としては、例えば(Sr,Ca)AlSiN3:EuやCaAlSiN3:EuのようなCASN系蛍光体、またはSrAlSiN3:Euを用いることができる。
図3(a)に示す蛍光体ホイール5は、基板を周方向に区画して蛍光体20を配設した領域15,16と、蛍光体を配設していない領域14と、を備える。これにより、光源装置2は、パッケージ3からのレーザ光と、蛍光体20が発する蛍光とを時系列で出射することができる。
領域14に、半導体レーザ素子10の発光する青色光や紫外光を吸収して、その波長とは異なる波長の青色光を発光する青色蛍光体を配設するようにしてもよい。この場合、光源装置2は、複数の色の蛍光を時系列で放出することができる。
青色蛍光体としては、例えば、BAM:Eu、Sr5(PO4)3Cl:Eu、ZnS:Ag、(Sr、Ca、Ba、Mg)10(PO4)6Cl:Euを用いることができる。
図4(a)はパッケージの発光部の一例を示す平面図である。図4(b)は合波光学部品6の入射面の形状の一例を示す図である。図4(a)に示すパッケージ3Aにおいて、半導体レーザ素子10の間隔をΔ(ピッチΔ)とした。具体的には格子状に、X方向(横)に5個並べて、Y方向(縦)に4個並べた、合計20個の半導体レーザ素子10がピッチΔで配設されている。ピッチΔは数mm程度である。
図1に示す本実施形態に係る光源装置2と、図10に示す光源装置102とを対比しながら、半導体レーザ素子から出射されるレーザ光の光強度分布について説明する。
まず、図10に示す光源装置102において蛍光体を励起するレーザ光の光強度分布を図11に示す。図11において、グラフの横軸は、蛍光体ホイール105の蛍光体120が配置された面に沿った距離を示している。なお、蛍光体ホイール105上のレーザ照射サイズをS、レーザ光の中心をCとした。また、グラフの縦軸は、複数の半導体レーザ装置111から出射され合波されたレーザ光の光強度を示している。なお、レーザ光の中心における光強度(中心強度)を1に正規化した。図示するように、光源装置102の場合、中心に集中したガウス関数型に近い光強度分布となり、レーザ光の中心付近では光強度が高くなる。そのため、蛍光体が破壊されたり、波長変換効率が低下したりする。レーザ光の中心付近以外の周辺部分では光強度が低いために、波長変換される光量が少なくなっている。この光強度分布の半値幅をH1とする。また、この光強度分布の中心強度に対して1/e2(eは自然対数の底の強度)となるときの幅をB1とする。
図2を参照して、光源装置2を組み込んだ光学エンジン1について説明する。光学エンジン1は、光源装置2と、第3レンズ系50と、第2合波系60と、反射ミラー70と、光変調系80と、投射レンズ90とを備える。なお、光学エンジン1以外に、例えばプロジェクタの筺体やカバー等の保護機構、冷却機構、電気的配線のための回路基板等を備えることでプロジェクタを構成することができる。プロジェクタに用いるときの光学エンジン1とは、プロジェクタの光源装置2から投射レンズ90までの光学的な組み立て部品である。
第2合波光学部品61は、第3レンズ系50で集光された光を合波するものであり、例えばロッドインテグレータ又はライトパイプからなる。
レンズ62は、第2合波光学部品61への入射側に配設され、第3レンズ系50で集光された光を第2合波光学部品61の入射面に集光照射する。
レンズ63は、第2合波光学部品61の出射側に配設され、第2合波光学部品62で合波された光を反射ミラー70に集光照射する。
反射ミラー70は、第2合波系60の光軸上において、第2合波光学部品61で合波された光の向きを変化させて光変調器80に出射するように所定の角度で配設されている。
投射レンズ90は、変調された光を図示しないスクリーンに投射するためのレンズである。投射レンズ90は、例えば、光軸に沿って配置された複数のレンズを備えている。
光変調器80が例えばDMDからなる場合、DMDに入力される画像データに応じて個々のマイクロミラーが動作する。第2合波系60を時系列に出射したRGB光は、光変調器80の個々のマイクロミラーに入射し、光変調器80は、入射した光の色に対応したカラー画像の各色成分を時分割表示する。これにより、図示しないスクリーンにカラー画像を表示することができる。
光学エンジン1によれば、光源装置2が、半導体レーザ素子10から出射されるレーザ光と同じ向きに出射される蛍光を第3レンズ系50で集光し、この第3レンズ系50で集光された光を第2合波系60によって合波することができる。
図6は第2実施形態に係る光源装置2Bを模式的に示す図である。光源装置2Bは、図2に示す光学エンジン1に光源装置2の代わりに組み込むことができる。光源装置2Bは、図6に示すように、複数の半導体レーザ素子10を備えるパッケージ3と、光学系4と、蛍光体20を有する基板25と、ダイクロイックミラー26と、蛍光取り込みレンズ27とを備えている。図1に示す光源装置2と同じ構成には同じ符号を付して説明を適宜省略する。
ダイクロイックミラー26は、パッケージ3から出射されるレーザ光の波長帯の光を透過し且つ蛍光体20が発する蛍光の波長帯の光を反射するものである。ダイクロイックミラー26は、第2レンズ系8と基板25との間に、パッケージ3から出射されるレーザ光の入射方向とは異なる向きに蛍光を放出するように配設されている。具体的には、ダイクロイックミラー26は、合波光学部品6の光軸上において、当該光軸から所定角度で傾斜して配設され、蛍光体20が放出する蛍光を反射して、蛍光の向きを変化させる。ダイクロイックミラー26が例えば45°傾斜して配設されているとき、蛍光の向きを90°変化させる。
光源装置2Bにおいて、蛍光体20を有する基板25を、図1に示す蛍光体ホイール5に置き換えてもよい。図7に示す光源装置2Cは、パッケージ3と、光学系4と、蛍光体ホイール5と、ダイクロイックミラー26と、蛍光取り込みレンズ27とを備えている。蛍光体ホイール5は、パッケージ3から出射されるレーザ光が、蛍光体ホイール5の基板上の蛍光体20が配置された面へ垂直に照射されるように配設される。この場合、蛍光体ホイール5にはヒートシンクが不要である。
ダイクロイックミラー33は、パッケージ3から出射されるレーザ光の波長帯の光を透過し且つ蛍光体20が発する蛍光の波長帯の光を反射するものである。集光レンズ34は、蛍光体ホイール5と反射ミラー31との間に配設されている。集光レンズ35は、反射ミラー31と反射ミラー32との間に配設されている。集光レンズ36は、反射ミラー32とダイクロイックミラー33との間に配設されている。
図8は第3実施形態に係る光源装置2Dを模式的に示す図である。光源装置2Dは、図2に示す光学エンジン1に光源装置2の代わりに組み込むことができる。光源装置2Dは、図8に示すように、複数の半導体レーザ素子10を備えるパッケージ3と、光学系4と、蛍光体20を有する基板25と、ダイクロイックミラー26と、を備えている。図6に示す光源装置2Bと同じ構成には同じ符号を付して説明を適宜省略する。
レンズ8aは、合波光学部品6の側に配設されている。レンズ8aはパッケージ3から出射されるレーザ光を平行光にするためのレンズである。
レンズ8bは、基板25側において蛍光体20の直近に配設されている。レンズ8bは、パッケージ3から出射されるレーザ光を集光する機能と、基板25から発する蛍光を取り込む機能とを有している。
光源装置2Dにおいて、蛍光体20を有する基板25を、図1に示す蛍光体ホイール5に置き換えてもよい。この変形例の場合、図示を省略するが、光源装置2Dは、パッケージ3と、光学系4と、蛍光体ホイール5と、ダイクロイックミラー26と、を備え、光学系4の第2レンズ系8は2枚のレンズ8a,8bで構成されている。蛍光体ホイール5は、パッケージ3から出射されるレーザ光が、蛍光体ホイール5の蛍光体20が配置された面へ垂直に照射されるように配設される。
図9は第4実施形態に係る光源装置2Eを模式的に示す図である。光源装置2Eは、図2に示す光学エンジン1に光源装置2の代わりに組み込むことができる。光源装置2Eは、図9に示すように、複数の半導体レーザ素子10を備えるパッケージ3と、光学系4と、蛍光体20を有する基板25と、蛍光取り込みレンズ27とを備えている。図6に示す光源装置2Bと同じ構成には同じ符号を付して説明を適宜省略する。
蛍光取り込みレンズ27は、合波光学部品6の光軸から離れた位置であって、蛍光体20を有する基板25の上面で反射した光の光軸上に配設されている。蛍光取り込みレンズ27の配置によっては、基板25の傾き角が45°以外であってもよい。また、蛍光取り込みレンズ27は、合波光学部品6の光軸から離れた位置であって、蛍光体20を有する基板25の上面で反射した光の光軸から離れた位置で配設されていてもよい。たとえば、蛍光取り込みレンズ27の光軸が蛍光体20を有する基板25に垂直であってもよい。
光源装置2Eにおいて、蛍光体20を有する基板25を、図1に示す蛍光体ホイール5に置き換えてもよい。この変形例の場合、図示を省略するが、光源装置2Eは、パッケージ3と、光学系4と、蛍光体ホイール5と、蛍光取り込みレンズ27を備えている。蛍光体ホイール5は、パッケージ3から出射されるレーザ光が、蛍光体ホイール5の蛍光体20が配置された面へ非垂直、例えば45°の傾斜角で照射されるように配設される。
2,2B,2C,2D,2E 光源装置
3,3A,3B パッケージ
4 光学系
5 基板
6 合波光学部品
7 第1レンズ系
8 第2レンズ系
8a,8b レンズ
9 モータ
10 半導体レーザ素子
14,15,16 領域
20,20R,20G 蛍光体
25 基板
26 ダイクロイックミラー
27 蛍光取り込みレンズ
30 光学系
31,32 反射ミラー
33 ダイクロイックミラー
34,35,36 集光レンズ
50 第3レンズ系
60 第2合波系
61 第2合波光学部品
62,63 レンズ
70 反射ミラー
80 光変調器
90 投射レンズ
Claims (14)
- 少なくとも1種類の蛍光体を有する基板と、複数の半導体レーザ素子と、前記複数の半導体レーザ素子から出射されるレーザ光を前記蛍光体を有する基板へ照射するための光学系と、を備え、少なくとも蛍光を発する光源装置であって、
前記複数の半導体レーザ素子は、パッケージ内に所定ピッチで配列され、
前記光学系は、
前記パッケージ内の複数の半導体レーザ素子からそれぞれ出射されるレーザ光を平行化することなくそのまま取り込み、合波光学部品の入射面に集光する第1レンズ系と、
前記パッケージ内の複数の半導体レーザ素子からそれぞれ出射され前記第1レンズ系で集光されたレーザ光を合波すると共に合波したレーザ光の強度分布を空間的に均一にする前記合波光学部品と、
前記合波光学部品の出射面から出射するレーザ光を前記蛍光体に集光する第2レンズ系と、を備える光源装置。 - 前記蛍光体を有する基板は、ホイール型の基板に前記蛍光体が塗布されるか又は埋め込まれており、
前記パッケージから出射されたレーザ光を前記基板に照射した領域に前記蛍光体が配置されているときに蛍光を放出する請求項1に記載の光源装置。 - 前記基板は、円形であり、円周方向に、前記蛍光体が配設された少なくとも1つの蛍光体領域と、前記蛍光体が配設されておらず前記レーザ光が透過可能な透過領域とが形成されている請求項2に記載の光源装置。
- 前記基板は、円形であり、円環状に前記蛍光体が配設された円環領域を備え、前記円環領域には、円周方向に前記蛍光体の種類の数と同数の領域が形成されている請求項2に記載の光源装置。
- 前記基板は、前記光学系に対して固定されており、蛍光を前記レーザ光の入射方向とは異なる向きに出射する請求項1に記載の光源装置。
- 前記合波光学部品は、ロッドインテグレータ又はライトパイプであり、入射面の形状と出射面の形状とが同一の多角形である請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の光源装置。
- 前記合波光学部品の入射面の形状は、4角形、5角形および6角形からなる群から選択されるいずれかの形状である請求項6に記載の光源装置。
- 前記合波光学部品の入射面の最小径は、前記半導体レーザ素子のピッチよりも大きく、且つ、前記パッケージの発光部の表面形状の最大径より小さい請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の光源装置。
- 前記第1レンズ系は1枚のレンズで構成され、
当該レンズの直径は、前記パッケージの発光部の表面形状の最大径より大きい請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記蛍光体が配置された面においてレーザ光の光強度分布は、半値幅が、中心強度に対して1/e2(eは自然対数の底)の強度となるときの幅の80%以上となる分布である請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の光源装置。
- 前記パッケージから出射されるレーザ光が前記蛍光体の配置された面へ垂直に照射され、且つ前記レーザ光の入射方向とは異なる向きに蛍光を出射するように前記蛍光体を有する基板が配設され、
前記第2レンズ系は、1枚のレンズで構成され、
当該レンズと前記蛍光体を有する基板との間で前記レーザ光の波長帯の光を透過し且つ前記蛍光体が発する蛍光の波長帯の光を反射するダイクロイックミラーと、
前記ダイクロイックミラーで反射した光を平行光とする蛍光取り込みレンズと、をさらに備える請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記パッケージから出射されるレーザ光が前記蛍光体の配置された面へ垂直に照射され、且つ前記レーザ光の入射方向とは異なる向きに蛍光を出射するように前記蛍光体を有する基板が配設され、
前記第2レンズ系は、2枚のレンズで構成され、
前記第2レンズ系を構成する2枚のレンズの間に、前記レーザ光の波長帯の光を透過し、且つ前記蛍光体が発する蛍光の波長帯の光を反射するダイクロイックミラーをさらに備える請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記パッケージから出射されるレーザ光が前記蛍光体の配置された面へ非垂直に照射され、且つ前記レーザ光の入射方向とは異なる向きに蛍光を出射するように前記蛍光体を有する基板が配設され、
前記第2レンズ系は、1枚のレンズで構成され、
前記蛍光体が発する蛍光を平行光とする蛍光取り込みレンズをさらに備える請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の光源装置。 - 請求項1から請求項13のいずれか一項に記載の光源装置と、
前記光源装置が出射する光のうち少なくとも蛍光を集光する第3レンズ系と、
前記第3レンズ系で集光された光を合波するロッドインテグレータ又はライトパイプからなる第2合波光学部品と、
前記第2合波光学部品で合波された光を変調する光変調器と、
前記変調された光を投射する投射レンズと、
を備える光学エンジン。
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