JP6355932B2 - 光学フィルタおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施形態の構成について添付図1に基づいて説明する。
本実施形態に係る光学フィルタ10は、基板(ガラス基板11)と、基板上に複数の層(高屈折率層12と低屈折率層13)が形成された光学薄膜部とを備えている。この光学フィルタは、光学薄膜部が、相対的な高屈折率を有する高屈折率材料と相対的な低屈折率を有する低屈折率材料とを交互に積層して構成されて成る全体繰り返し層21を構成し、この全体繰り返し層21の中に、第1および第2の銀薄膜層23aおよび23bと、第1および第2の銀薄膜層よりも基板側に位置する部分薄膜繰り返し層22とが設けられている。そして、この部分薄膜繰り返し層が、高屈折率材料と低屈折率材料とから成り1層あたりの厚みが10nm以上50nm以下で交互に積層して構成されている。
以下、これをより詳細に説明する。
11 ガラス基板
12、12a、12b 高屈折率層
13、13a、13b 低屈折率層
21 全体繰り返し層
22 部分薄膜繰り返し層
23a、23b 銀薄膜
24 ギャップ層
Claims (3)
- 基板と、前記基板上に複数の層が形成された光学薄膜部とを有する光学フィルタであって、
前記光学薄膜部が、
相対的な高屈折率を有する高屈折率材料と相対的な低屈折率を有する低屈折率材料とを交互に積層して構成されて成る全体繰り返し層を構成し、
この全体繰り返し層の中に、第1および第2の銀薄膜層と、前記第1および第2の銀薄膜層の間のギャップ層と、前記第1および第2の銀薄膜層よりも前記基板側に位置する部分薄膜繰り返し層とを設けた構成とし、
前記第1および第2の銀薄膜層は、前記光学薄膜部の空気側端部から3000[nm]以上4000[nm]以下の間に設けられ、それぞれの厚さが5[nm]以上15[nm]以下であり、
前記ギャップ層は、前記高屈折率材料および前記低屈折率材料を交互に積層することによって得られ、全体の厚さが190[nm]以上250[nm]以下であり、
前記部分薄膜繰り返し層は、前記高屈折率材料と前記低屈折率材料とから成り、1層あたりの厚さが10[nm]以上50[nm]以下で交互に積層して構成され、全体の厚さが100[nm]以下であり、
前記第2の銀薄膜層と前記部分薄膜繰り返し層との間の厚さが250[nm]以上310[nm]以下であること、を特徴とする光学フィルタ。 - 前記高屈折材料が二酸化チタンであり、前記低屈折率材料が二酸化ケイ素であること、を特徴とする請求項1記載の光学フィルタ。
- 請求項1又は2記載の光学フィルタを製造する方法であって、
前記基板上に、前記高屈折率材料と前記低屈折率材料とを交互に積層して前記全体繰り返し層を形成し、
この全体繰り返し層の形成途上にあって、
前記部分薄膜繰り返し層と、前記第1の銀薄膜層と、前記ギャップ層と、前記第2の銀薄膜層とを、前記高屈折率材料および前記低屈折率材料を介して前記基板側から順次成膜すること、を特徴とする光学フィルタの製造方法。
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