JP6352326B2 - 下部ウエハ欠陥に対する保持リング - Google Patents
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Description
デバイスパターンの特徴寸法が小さくなればなるほど、特徴の限界寸法(CD)要件は、安定した繰り返し可能なデバイス性能にとってより重要な基準になる。特徴のCDが20nm未満の寸法まで縮小するとき、1ミクロン未満の引っ掻きが、デバイス収率の改善にとってますます重大になる。CMPは、典型的には保持リングを含むキャリアヘッドを有し、保持リングは、基板に外接し、キャリアヘッド内で基板を保持するのを容易にする。研磨中、基板は、保持リングに接触し、保持リングならびに粘着材料の一部分を砕いて、研磨プロセスにばら材料を導入することがある。これらのばら材料は、研磨中に基板および研磨面に接触し、基板上の微小な引っ掻き(100nm未満)ならびに線歪みおよびチェックマーク欠陥などの他のタイプの欠陥に寄与することがある。
別の実施形態では、研磨パッドを支持するように構成された回転可能なプラテンと、研磨中に研磨パッドに基板を押し付けるように構成された研磨ヘッドと、研磨ヘッドに結合された保持リングとを含むCMPシステムが提供される。保持リングは、研磨された内径を有するリング状の本体を含む。本体は、溝が中に形成された底面と、外径壁と、内径壁とを有し、内径壁は、約30マイクロインチ(μin)未満の粗さ平均(Ra)まで研磨される。
本発明の上記の特徴を詳細に理解することができるように、実施形態を参照することによって、本発明のより具体的な説明を得ることができる。実施形態の一部を添付の図面に示す。しかし、本発明は他の有効な実施形態を許容することができるため、添付の図面は、本発明の典型的な実施形態のみを示し、したがって本発明の範囲を限定すると見なされるべきではないことに留意されたい。
保持リング、化学機械平坦化システム(CMP)、および基板を研磨する方法が、本明細書に記載される。保持リングは、著しい製造コストを導入したり、または基板の研磨中の保持リングの消費中にプロセス変動をもたらしたりすることなく、従来の保持リングと比較すると改善されたスラリ解放特性を有する研磨された内径を含む。研磨された内径は、後に砕けて基板の研磨中に欠陥源になりうるスラリおよび研磨副生成物の粘着および後の凝集を実質上防止する。したがって、材料の蓄積を低減することで、研磨された表面への欠陥の導入が最小になり、生産率が改善される。加えて、材料の蓄積を低減することで、生産稼働時間が増大し、キャリアヘッドの予防的保守および洗浄に必要とされる間隔が延びる。
研磨装置100は、化学供給システム190を含むことができる。化学供給システム190は、スラリまたはイオンが除去された水などの研磨流体191を保持する化学タンク196を含む。研磨流体191は、噴霧ノズル198によって研磨面180上へ噴霧することができ、研磨面180は、キャリアヘッド150によって研磨面180に押し付けられる基板135に接触して研磨流体191を回転させて、基板135を平坦化し、粘着した欠陥(たとえば、粒子)および他の研磨残留物を除去する。
保持リング130の本体202はまた、プロセス条件に露出されかつ/または金属および/もしくは蓄積されたプロセス材料の解放を受けやすい保持リング130の1つまたは複数の表面を覆うことができる耐プロセス性コーティングを含むことができる。耐プロセス性コーティングは、研磨装置100内で基板135を処理するために使用される研磨流体の化学的性質に基づいて選択された高分子材料などのプロセス流体との化学相互作用に耐える疎水性の材料とすることができる。高分子材料は、パリレン(ポリパラキシリレン)、たとえばParylene C(塩素化線形ポリパラキシリレン)、Parylene N(線形ポリパラキシリレン)、およびParylene X(架橋ポリパラキシリレン)などの炭素含有材料とすることができる。使用することができる他の炭素含有材料は、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリフェニレンスルフィド(PPS)、ポリエチレンテレフタレート(ERTALYTE(登録商標)TX(ETX))、化学機械研磨ロングライフ×5(CMP LL5)ポリエステル、非晶質透明ポリエーテルイミド(ULTEM(商標) 1000)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、およびダイヤモンド様炭素(DLC)を含む。
上記は本発明の実施形態を対象とするが、本発明の基本的な範囲から逸脱することなく、本発明の他のさらなる実施形態を考案することができる。
102 モータ
104 モータ
106 モータ
108 シャフト
111 回転軸
125 本体
130 保持リング
132 アクチュエータ
134 内側リング径
135 基板
140 可撓性の膜
150 キャリアヘッド
170 アーム
175 研磨パッド
176 プラテン
180 研磨面
182 プラテンシャフト
184 モータ
186 軸
190 化学供給システム
191 研磨流体
196 化学タンク
198 噴霧ノズル
202 本体
204 外径壁
208 内径壁
210 下部部分
220 中心
264 外径壁
268 溝
270 底面
312 内径壁
314 外径壁
316 頂面
320 上部部分
321 スペーサ
322 内径壁
324 外径壁
328 底面
330 インターフェース
334 寸法
Claims (15)
- 研磨システムに対する保持リングであって、
リング状の本体を備え、前記本体が、
溝が中に形成された底面と、
外径壁と、
半導体基板を収容するように選択された直径を有する内径壁とを有し、前記内径壁が、30マイクロインチ(μin)未満の粗さ平均(Ra)まで研磨され、
前記リング状の本体が、
研磨された下部内径を有し、前記溝が中に形成された下部部分と、
研磨された上部内径を有する上部部分であって、該上部部分の底面に沿ったスペーサを有し、前記下部部分に同心円状に結合された上部部分とをさらに含む、保持リング。 - 前記上部部分は、約10マイクロインチ(μin)から約15マイクロインチ(μin)の粗さ平均(Ra)まで研磨され、前記保持リングの前記下部部分は、約8マイクロインチ(μin)から約10マイクロインチ(μin)の粗さ平均(Ra)まで研磨される前記内径壁を有する、請求項1に記載の保持リング。
- 前記研磨された下部内径に対する粗さ平均が、2μinである、請求項1に記載の保持リング。
- 前記内径壁に対する粗さ平均が、8μin〜15μinである、請求項1に記載の保持リング。
- 前記上部部分が金属から構成され、前記下部部分がプラスチックから構成される、請求項2に記載の保持リング。
- 前記研磨された上部内径に対する粗さ平均が、8μin〜10μinである、請求項1に記載の保持リング。
- 前記研磨された上部内径に対する粗さ平均が、10μin〜15μinである、請求項1に記載の保持リング。
- 前記外径壁が、約30μin未満の粗さ平均まで研磨される、請求項1に記載の保持リング。
- 前記上部部分が、前記下部部分の剛性より大きい剛性を有する材料から製造される、請求項2に記載の保持リング。
- 研磨パッドを支持するように構成された回転可能なプラテンと、
研磨中に前記研磨パッドに基板を押し付けるように構成された研磨ヘッドと、
保持リングとを備え、前記保持リングが、
リング状の本体を備え、前記本体が、
溝が中に形成された底面と、
外径壁と、
内径壁とを有し、前記内径壁が、30マイクロインチ(μin)未満の粗さ平均(Ra)まで研磨され、
前記リング状の本体が、
研磨された下部内径を有し、前記溝が中に形成された下部部分と、
研磨された上部内径を有する上部部分であって、該上部部分の底面に沿ったスペーサを有し、前記下部部分に同心円状に結合された上部部分とをさらに含む、
CMPシステム。 - 前記上部部分は、約10マイクロインチ(μin)から約15マイクロインチ(μin)の粗さ平均(Ra)まで研磨され、前記保持リングの前記下部部分は、約8マイクロインチ(μin)から約10マイクロインチ(μin)の粗さ平均(Ra)まで研磨される前記内径壁を有する、請求項10に記載のCMPシステム。
- 前記研磨された下部内径に対する粗さ平均が、2μinである、請求項10に記載のCMPシステム。
- 前記研磨された上部内径に対する粗さ平均が、8μin〜10μinである、請求項10に記載のCMPシステム。
- 前記外径壁が、約30μin未満の粗さ平均まで研磨される、請求項10に記載のCMPシステム。
- 前記上部部分が、前記下部部分の剛性より大きい剛性を有する材料から製造される、請求項11に記載のCMPシステム。
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