JP6341874B2 - 多モード干渉(mmi)デバイス及び光信号を操作する方法 - Google Patents
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Description
図4Aは、本発明の一実施形態による、最適化方法を用いて決定された不均一な屈折率分布を有する図1のデバイス100の平面図を示す。その最適化方法によれば、MMIデバイスの横幅W、及びデバイスの長さLは、最適化中に或る特定の制約下で可変のパラメーターである。屈折率分布は、所定の数の長方形パッチを利用することによってランダム化される。この例では、その方法は5つのパッチを用いる。各パッチは4つのパラメーター、すなわち、パッチの横幅Wpと、パッチのオフセットOpと、パッチの位置Ppと、パッチの長さLpとによって特定される。入力導波路110並びに出力導波路130及び135の位置は、横軸オフセット、Oin、Oout1及びOout2によって特定される。3つ全ての導波路の幅Wportは任意選択で同じであるか又は可変である。
MMIデバイス内に不均一な屈折率分布を形成する不均一なパッチパターンが決定された後に、不均一なパッチパターンを有するMMIデバイスが作製される。
本発明の幾つかの実施形態は、不均一なパッチパターンを用いることに加えて、又はその代わりに、不均一な形状を有する少ない数のパッチを用いて、MMIデバイス内に不均一な屈折率分布を与えることができるという別の認識に基づく。本明細書において、不均一なパッチ形状は、異なるタイプの幾何プリミティブの組み合わせによって形成される。例えば、不均一な形状は、曲率が零でない少なくとも1つの曲線を含む、複数の曲線の交差によって形成することができる。異なる実施形態では、交差する曲線は、異なる曲率及び/又はタイプを有することができる。一般的に、複数の曲線は、平角でない角度(すなわち、180°でない角度)で交差する一対の曲線を含む。場合によっては、不均一な形状は、MMIデバイスの作製を簡単にすることができ、及び/又はその長さを更に短縮することができる。
Claims (19)
- 多モード干渉(MMI)デバイスであって、
基板層と、
前記基板層上に配置され、光信号を伝搬するコア層と、
前記コア層上に配置され、前記光信号を導波するクラッディング層と
を備え、
該MMIデバイスは、複数の曲線の交差によって形成される不均一な形状を有して、前記MMIデバイス内に、前記曲線を境にして非連続的に屈折率が変化する不均一な屈折率分布を形成するパッチを含み、
前記複数の曲線は、少なくとも1つのスプラインを含むとともに、曲率が零でない少なくとも1つの曲線を含む、
多モード干渉デバイス。 - 前記複数の曲線は、異なる曲率を有する少なくとも2つの曲線を含む、請求項1に記載のMMIデバイス。
- 前記複数の曲線は、曲率が零である少なくとも1つの曲線を含む、請求項2に記載のMMIデバイス。
- 前記スプラインは、異なる曲率を有する少なくとも2つの多項式部分を含む、請求項1に記載のMMIデバイス。
- 前記複数の曲線は、複数のスプラインを含む、請求項1に記載のMMIデバイス。
- 前記複数の曲線は、平角でない角度で交差する一対の曲線を含む、請求項1に記載のMMIデバイス。
- 前記一対の曲線は、直角又は鋭角で交点において交差し、該直角又は鋭角は該交点における前記一対の曲線への接線によって形成される、請求項6に記載のMMIデバイス。
- 前記複数の曲線からの1つの曲線が前記MMIデバイスの側壁と一致する、請求項1に記載のMMIデバイス。
- 前記1つの曲線は、零でない曲率を有し、前記MMIデバイスの湾曲した側壁を形成する、請求項8に記載のMMIデバイス。
- 前記MMIデバイスは、前記クラッディング層を貫通して、前記コア層の中に一定の厚みまでエッチングされた不均一なパッチパターンを含み、前記不均一なパターン内の少なくとも2つのパッチの寸法は異なる、請求項1に記載のMMIデバイス。
- 前記不均一なパターン内の少なくとも2つのパッチは互いに重なり合う、請求項10に記載のMMIデバイス。
- 前記不均一なパターン内の少なくとも2つのパッチは、形状又は材料が異なる、請求項10に記載のMMIデバイス。
- 前記不均一なパターン内の少なくとも1つのパッチのエッジは、前記MMIの入力面に対して傾斜する、請求項10に記載のMMIデバイス。
- 多モード干渉(MMI)デバイスを用いて所定の作業に従って光信号を操作する方法であって、
前記MMIデバイス内に不均一な屈折率分布を形成する不均一なパッチパターンを決定することであって、前記所定の作業に従って前記不均一なパッチパターンが前記光信号を操作するようにし、前記不均一なパッチパターンは複数の曲線の交差によって形成される不均一な形状を有するパッチを含み、前記複数の曲線は少なくとも1つのスプラインを含み、前記複数の曲線内の少なくとも2つの曲線は異なる曲率を有することと、
前記不均一なパッチパターンを有する前記MMIデバイスを作製することと
を含み、
前記パッチにより形成される前記不均一な屈折率分布は、前記曲線を境にして非連続的に屈折率が変化する、
光信号を操作する方法。 - 前記2つの曲線は、曲率が零である1つの曲線と、曲率が零でない1つの曲線とを含む、請求項14に記載の方法。
- 前記作製することは、
前記パッチの前記曲率が零である曲線又は前記曲率が零でない曲線が前記MMIデバイスの側壁と一致するように、前記MMIデバイスのコア層内に前記パッチをエッチングすること
を含む、請求項15に記載の方法。 - 前記作製することは、
前記MMIデバイスのコア層を堆積することと、
前記不均一なパッチパターンに従って前記コア層をエッチングして、エッチングの不均一なパターンを形成することと、
前記エッチングの不均一なパターンを充填するクラッディング層を堆積することと
を含む、請求項14に記載の方法。 - 前記作製することは、
前記MMIデバイスの第1のコア層を成長させることと、
前記第1のコア層上に、前記MMIデバイスの第1のクラッディング層を成長させることと、
前記第1のクラッディング層上に、前記MMIデバイスの第2のコア層を成長させることと、
前記不均一なパッチパターンに従って前記第2のコア層をエッチングして、エッチングの不均一なパターンを形成することと、
前記エッチングの不均一なパターンを充填する第2のクラッディング層を成長させることと
を含む、請求項14に記載の方法。 - 前記作製することは、
前記MMIデバイスの第1のコア層を成長させることと、
前記MMIデバイスのエッチング停止層を成長させることと、
前記エッチング停止層上に堆積した前記MMIデバイスの第2のコア層を成長させることと、
前記不均一なパッチパターンに従って前記第2のコア層をエッチングして、エッチングの不均一なパターンを形成することであって、前記エッチング停止層のエッチング速度は、前記第2のコア層のエッチング速度よりも遅いことと、
前記エッチングの不均一なパターンを充填するクラッディング層を成長させることと、
を含む
請求項14に記載の方法。
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