JP6326261B2 - 薄膜形成装置 - Google Patents
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Description
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記実施形態では、第2プレート5を第1プレート4の下方に配置し、第2プレート5の上面5aを第1プレート4に対向させているが、第2プレート5を第1プレート4の上方に配置し、第2プレート5の下面を第1プレート4に対向させてもよい。
4a (第1プレートの)下面(装着面)
5 第2プレート
10 制御ユニット
13 下ベース部材(基台)
14 加重モータ(加重手段)
15 突き上げピン
16 荷重センサ
20 昇降ユニット(移動ユニット)
25 圧力測定部
200 加重手段
D (移動方向における係合部位の第2プレートに対する)相対距離
DH 下側挟持部(フィルム保持機構)
F シートフィルム
L (基台から係合部位までの移動方向における)長さ
UH 上側挟持部(フィルム保持機構)
W 基板
Z 移動方向
Claims (2)
- シートフィルムの薄膜形成面に形成された薄膜を基板に転写する転写処理を実行する薄膜形成装置において、
前記シートフィルム上の前記薄膜に対向する装着面を有し、該装着面に前記基板が装着される第1プレートと、
前記シートフィルムの両主面のうち前記薄膜形成面に対して反対の非薄膜形成面側に前記第1プレートに対向して配設された第2プレートと、
前記第2プレートと前記第1プレートが配置され、内部が減圧された処理空間を有し、その一面に外部空間に向かって開放する開口を形成された処理容器と、
処理容器内の圧力を調整して互いに異なる第1圧力値または第2圧力値に設定する圧力調節手段と、
前記処理容器の処理空間と開口を通じて外部に渡って配置され、前記第1プレートまたは前記第2プレートを移動することで、プレート間の相対位置を規定する移動ユニットと、
前記移動ユニットを前記移動方向に沿って移動させることで前記シートフィルムを前記第2プレートに装着するとともに前記第1プレートに装着された前記基板に対して前記シートフィルム上の前記薄膜を押し付けて前記転写処理を実行する加重手段と、
前記加重手段が前記移動ユニットを移動させるのに伴って、前記転写処理中の荷重値を検出するとともに前記圧力調節手段によって設定される圧力値に応じて前記検出した荷重値を補正する荷重検知手段と、を具備し、
前記加重手段は前記荷重検知手段により補正された荷重値に基づいて前記移動ユニットを移動させることを特徴とする薄膜形成装置。 - 前記荷重値検出手段は、前記移動ユニットの処理容器外の一端部と当接する検出板部と、
前記検出板部の歪を検出する歪センサと、を有することを特徴とする請求項1記載の薄膜形成装置。
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