JP6324606B1 - Release film peeling method and release film peeling apparatus - Google Patents

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Abstract

【課題】単板の積層フィルムからカバーレイフィルムに反りを発生させたり、傷をつけたりすることなく、リリースフィルムを剥離し、除去することを可能にするリリースフィルム剥離方法及びリリースフィルム剥離装置を提供すること。【解決手段】積層フィルム1のリリースフィルム4側を積層フィルム吸着テーブル14に吸着し、積層フィルム1をX(−)方向に移動しながら予備剥離ロール13でカバーレイフィルム2の端部をリリースフィルム4から浮き上がらせ予備剥離代部Lを形成した後、積層フィルム1のカバーレイフィルム2側を吸着ヘッド16に吸着し、積層フィルム吸着テーブル14及び剥離ロール30をX(+)方向に移動させることによって剥離ロール30を転動し、積層フィルム1からリリースフィルム4を巻き取りつつ剥離し、移送ベルト33で移送し除去するリリースフィルム剥離方法及びリリースフィルム剥離装置10。【選択図】図6Disclosed is a release film peeling method and a release film peeling apparatus that can release and remove a release film without causing warping or scratching from a laminated film of a single plate. To do. SOLUTION: The release film 4 side of the laminated film 1 is adsorbed to the laminated film adsorption table 14, and the end of the cover lay film 2 is held by the preliminary peeling roll 13 while moving the laminated film 1 in the X (−) direction. 4, the preliminary peeling margin L is formed, and then the cover lay film 2 side of the laminated film 1 is sucked to the suction head 16, and the laminated film suction table 14 and the peeling roll 30 are moved in the X (+) direction. A release film peeling method and a release film peeling apparatus 10 in which the peeling roll 30 is rolled to peel the release film 4 while winding the release film 4 from the laminated film 1, and is transferred and removed by the transfer belt 33. [Selection] Figure 6

Description

本発明は、リリースフィルム剥離方法及びリリースフィルム剥離装置に関する。   The present invention relates to a release film peeling method and a release film peeling apparatus.

従来から、回路基板は、銅箔等の導体パターンが形成されたベース基板の導体パターン形成面に熱硬化性の接着剤層を有する導体パターン保護用のカバーレイフィルムを貼着して使用することが知られている。カバーレイフィルムには、熱硬化性の接着剤層表面に保護フィルムとしてのリリースフィルムが積層されており(これを積層フィルムと呼ぶ)、積層フィルムからリリースフィルムを剥離し、カバーレイフィルムは回路基板に加熱圧着される。接着剤層に積層されているリリースフィルムの剥離においては、カバーレイフィルムを反らせたり、傷をつけたりしないように剥離することが求められる。   Conventionally, a circuit board is used by attaching a cover pattern film for protecting a conductor pattern having a thermosetting adhesive layer on a conductor pattern forming surface of a base board on which a conductor pattern such as copper foil is formed. It has been known. In the coverlay film, a release film as a protective film is laminated on the surface of the thermosetting adhesive layer (this is called a laminated film), and the release film is peeled off from the laminated film. It is heat-pressed to. In peeling the release film laminated on the adhesive layer, it is required to peel the coverlay film without warping or scratching it.

単板の積層フィルムからリリースフィルムを剥離する方法としては、積層フィルムの角部にエアを吹き付け、角部の上層側のリリースフィルムをめくり上げ、このめくり上げたリリースフィルムを保持手段で保持し、エアを吹きつけながら角部の対角線に沿って保持手段を移動しリリースフィルムを剥離するものがある(例えば、特許文献1参照)。   As a method of peeling the release film from the laminated film of a single plate, air is blown to the corner of the laminated film, the release film on the upper layer side of the corner is turned up, and the released release film is held by the holding means. There is one that moves the holding means along the diagonal line of the corner while blowing air to peel the release film (for example, see Patent Document 1).

また、基板材(回路基板)と保護材(リリースフィルム)が積層された積層板材から保護フィルムを剥離する剥離方法において、ハーフカットによって保護材を切断し、ハーフカットによる断片と共に基板材を保持手段で掴んで保護材を引きはがす保護材の剥離方法がある(例えば、特許文献2参照)。   Moreover, in the peeling method which peels off a protective film from the laminated board material on which the board | substrate material (circuit board) and the protective material (release film) were laminated | stacked, a protective material is cut | disconnected by a half cut and a board | substrate material is hold | maintained with the fragment by a half cut There is a method of peeling off the protective material that is grasped and peeled off (see, for example, Patent Document 2).

特開2008−37572号公報JP 2008-37572 A 特開2015−83504号公報JP2015-83504A

しかしながら、特許文献1に記載の剥離方法は、エアを積層フィルムに吹き付けながら積層フィルムからリリースフィルムをめくり上げて剥離する方法であって、剥離開始時にリリースフィルムのめくり上がり時間にばらつきが出てしまうことや、剥離途中でリリースフィルム全体が浮き上がってしまい他所に静電気などではりついてしまうことなど剥離工程や除去工程に支障がでることがある。   However, the peeling method described in Patent Document 1 is a method in which the release film is turned up and peeled off from the laminated film while air is blown onto the laminated film, and the release time of the release film varies at the start of peeling. In addition, the entire release film may be lifted in the middle of peeling and may stick to other places due to static electricity or the like, which may hinder the peeling or removing process.

また、特許文献2に記載の剥離方法は、保護材をハーフカットするため、基板材に傷をつけてしまったり、保護材が切断しきれなかったりするという課題がある。さらに、ハーフカットの際に、切断カスが発生し基板材に付着してしまうことが考えられ、ハーフカット後の断片を基板材から剥離除去なければならないという課題もある。   Moreover, since the peeling method of patent document 2 carries out the half cut of the protective material, there exists a subject that the board | substrate material is damaged or a protective material cannot be cut | disconnected. Further, it is conceivable that cutting residue is generated and attached to the substrate material during half-cutting, and there is also a problem that the fragments after half-cutting must be peeled off from the substrate material.

そこで、本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、単板の積層フィルムからカバーレイフィルムに反りを発生させたり、傷をつけたりすることなく、リリースフィルムを剥離し、除去することが可能なリリースフィルム剥離方法及びリリースフィルム剥離装置を提供しようとするものである。   Therefore, the present invention has been made to solve such a problem, without causing warp or damage to the coverlay film from a single laminated film, peeling the release film, It is an object of the present invention to provide a release film peeling method and a release film peeling apparatus that can be removed.

[1]本発明のリリースフィルム剥離方法は、熱硬化性の接着剤層を有するカバーレイフィルムと前記接着剤層に積層されたリリースフィルムとから構成される単板の積層フィルムから前記リリースフィルムを剥離し、除去するリリースフィルム剥離方法であって、前記積層フィルムの前記リリースフィルム側を積層フィルム吸着テーブルに真空吸着する工程と、前記積層フィルムを一方方向に移動しながら予備剥離ロールで前記積層フィルムを前記カバーレイフィルム側から押えつつ前記予備剥離ロールを転動させ、前記カバーレイフィルムの端部を前記リリースフィルムから浮き上がらせ予備剥離代部を形成する工程と、前記積層フィルム吸着テーブルへの積層フィルムの吸着を解除し、積層フィルムのカバーレイフィルムの全面を吸着ヘッドに真空吸着する工程と、吸着ヘッドが前記積層フィルムを吸着した状態で、前記リリースフィルムに粘着性を有する剥離ロールを接触させ、前記積層フィルム吸着テーブル及び前記剥離ロールを他方向に移動させることによって前記剥離ロールを転動し、前記積層フィルムから前記リリースフィルムを巻き取りつつ剥離し、除去する工程と、を含むことを特徴とする。   [1] In the release film peeling method of the present invention, the release film is formed from a single laminated film composed of a coverlay film having a thermosetting adhesive layer and a release film laminated on the adhesive layer. A release film peeling method for peeling and removing, the step of vacuum adsorbing the release film side of the laminated film to a laminated film adsorption table, and the laminated film with a preliminary peeling roll while moving the laminated film in one direction Rolling the preliminary peeling roll while pressing from the cover lay film side, and lifting the end of the cover lay film from the release film to form a preliminary peeling margin, and laminating on the laminated film adsorption table Releases the adsorption of the film and adsorbs the entire surface of the coverlay film of the laminated film In a state where the vacuum suction is performed on the lid and the suction head sucks the laminated film, the release film having adhesiveness is brought into contact with the release film, and the laminated film suction table and the peeling roll are moved in the other direction. And rolling the release roll to release and release the release film from the laminated film, and removing the release film.

本発明のリリースフィルム剥離方法によれば、予備剥離ロールを積層フィルムのカバーレイフィルム側から押さえつつ転動させることで予備剥離代部を形成し、吸着ヘッドによってカバーレイフィルムの全面を吸着した後、リリースフィルム剥離ロール部を転動させてリリースフィルムを積層フィルムから剥離する。このようにすることによって、単板の積層フィルムにおいて、カバーレイフィルムに反りを発生させたり、傷をつけたりすることなく、リリースフィルムを剥離し、除去することが可能となる。   According to the release film peeling method of the present invention, the preliminary peeling roll is formed by rolling while pressing the preliminary peeling roll from the coverlay film side of the laminated film, and the entire surface of the coverlay film is sucked by the suction head Then, the release film peeling roll part is rolled to peel the release film from the laminated film. By doing in this way, it becomes possible to peel and remove the release film in a single laminated film without causing the coverlay film to be warped or scratched.

[2]本発明のリリースフィルム剥離方法においては、前記予備剥離代部を形成する工程では、前記カバーレイフィルムを押えつつ前記予備剥離ロールを転動させて前記カバーレイフィルムの端部を前記リリースフィルムから浮き上がらせ、前記接着剤層に空気を触れさせることが好ましい。   [2] In the release film peeling method of the present invention, in the step of forming the preliminary peeling margin portion, the preliminary peeling roll is rolled while pressing the coverlay film to release the end portion of the coverlay film. It is preferable to lift the film from the film and allow the air to touch the adhesive layer.

熱硬化性の接着剤層は、表面が空気に触れると加熱しなければ再びリリースフィルムが貼りつくことがないことを利用して予備剥離代部を形成することが可能となり、この予備剥離代部から剥離を開始すれば、容易に積層フィルムからリリースフィルムを剥離することができる。   The thermosetting adhesive layer makes it possible to form a preliminary peeling margin by utilizing the fact that the release film does not stick again if the surface is exposed to air unless heated. If peeling is started from, the release film can be easily peeled from the laminated film.

[3]本発明のリリースフィルム剥離方法において、前記吸着ヘッドが前記積層フィルムを真空吸着する工程では、前記吸着ヘッドによって前記予備剥離代部を含む前記積層フィルムの全面を吸着することが好ましい。   [3] In the release film peeling method of the present invention, in the step of the vacuum suction of the laminated film by the suction head, it is preferable that the entire surface of the laminated film including the preliminary peeling margin is sucked by the suction head.

吸着ヘッドは、予備剥離代部を含むカバーレイフィルムの全面を吸着するため、リリースフィルムを剥離する際にカバーレイフィルムに反りが発生することを防止できる。さらに、剥離ロールがカバーレイフィルムに直接接触することがないのでカバーレイフィルムに傷をつけてしまうことを防止できる。   Since the adsorption head adsorbs the entire surface of the coverlay film including the preliminary peeling margin, it is possible to prevent the coverlay film from warping when the release film is peeled off. Furthermore, since a peeling roll does not contact a coverlay film directly, it can prevent that a coverlay film is damaged.

[4]本発明のリリースフィルム剥離方法においては、前記リリースフィルムを剥離し、除去する工程では、前記剥離ロールで前記リリースフィルムを剥離しつつ剥離された前記リリースフィルムを移送ベルトで移送し、分離板によって前記剥離ロール及び前記移送ベルトから前記リリースフィルムを分離し、除去することが好ましい。   [4] In the release film peeling method of the present invention, in the step of peeling and removing the release film, the release film peeled while peeling the release film with the peeling roll is transferred by a transfer belt and separated. It is preferable to separate and remove the release film from the peeling roll and the transfer belt by a plate.

リリースフィルムを剥離ロールのみで剥離すると、リリースフィルムが剥離ロールに巻き込まれてしまい剥離ロールからリリースフィルムを除去することが困難になる。そこで、剥離されたリリースフィルムを移送ベルトによって移送しつつ分離板で剥離ロール及び移送ベルトから分離すれば、リリースフィルムが剥離ロールに巻きついてしまうことなく、リリースフィルムをカバーレイフィルムから剥離し、除去することが可能となる。   When the release film is peeled only by the peeling roll, the release film is caught in the peeling roll and it is difficult to remove the release film from the peeling roll. Therefore, if the peeled release film is transferred by the transfer belt and separated from the peeling roll and the transfer belt by the separation plate, the release film is peeled from the coverlay film and removed without the release film being wound around the peeling roll. It becomes possible to do.

[5]本発明のリリースフィルム剥離装置は、熱硬化性の接着剤層を有するカバーレイフィルムと前記接着剤層に積層されたリリースフィルムとから構成される単板の積層フィルムから前記リリースフィルムを剥離し、除去するリリースフィルム剥離装置であって、前記積層フィルムの前記リリースフィルム側を真空吸着しつつ一方向に往復移動可能な積層フィルム吸着テーブルと、前記カバーレイフィルム側から前記積層フィルムを押え、前記積層フィルム吸着テーブルの一方方向への移動によって転動しつつ前記積層フィルムの進行方向側の端部に予備剥離代部を形成する予備剥離ロールと、前記積層フィルムの前記カバーレイフィルム側を真空吸着する吸着ヘッドと、前記積層フィルム吸着テーブルと一体となって移動可能であり、前記吸着ヘッドが前記積層フィルムを吸着した状態で、前記予備剥離代部において剥離ロールが前記リリースフィルムに当接し、前記積層フィルム吸着テーブルの他方向への移動により前記剥離ロールが転動しつつ前記積層フィルムから前記リリースフィルムを剥離するリリースフィルム剥離ロール部と、を有することを特徴とする。   [5] The release film peeling apparatus of the present invention is configured to remove the release film from a single laminated film composed of a coverlay film having a thermosetting adhesive layer and a release film laminated on the adhesive layer. A release film peeling apparatus for peeling and removing, a laminate film suction table capable of reciprocating in one direction while vacuum-sucking the release film side of the laminate film, and holding the laminate film from the coverlay film side A pre-peeling roll that forms a pre-peeling margin at the end of the laminated film in the traveling direction while rolling by moving in one direction of the laminated film adsorption table, and the coverlay film side of the laminated film The suction head for vacuum suction and the laminated film suction table can be moved together. With the suction head adsorbing the laminated film, the peeling roll comes into contact with the release film in the preliminary peeling margin, and the peeling roll rolls due to movement in the other direction of the laminated film adsorption table. A release film peeling roll portion for peeling the release film from the film.

本発明のリリースフィルム剥離装置によれば、予備剥離ロールを積層フィルムのカバーレイフィルム側から押さえつつ転動させることでリリースフィルムからカバーレイフィルムの端部を浮き上らせて予備剥離代部を形成し、吸着ヘッドによってカバーレイフィルムの全面を吸着した後、剥離ロールが転動して積層フィルムからリリースフィルムを剥離する。このようにすることによって、単板の積層フィルムにおいて、カバーレイフィルムに反りを発生させたり、傷をつけたりすることなく、積層フィルムからリリースフィルムを剥離することが可能となる。   According to the release film peeling apparatus of the present invention, the preliminary peeling roll is lifted from the release film by rolling the preliminary peeling roll while pressing it from the cover film side of the laminated film, and the preliminary peeling margin is formed. After forming and adsorbing the entire surface of the coverlay film by the adsorption head, the release roll rolls to release the release film from the laminated film. By doing in this way, in a single laminated film, it becomes possible to peel a release film from a laminated film, without generating a curvature or scratching a coverlay film.

[6]本発明のリリースフィルム剥離装置においては、前記予備剥離ロールは、前記積層フィルムの移動方向に対し直交する幅寸法よりも長く、かつ表面に粘着性を有しており、前記積層フィルムを押えつつ前記積層フィルム吸着テーブルの移動によって転動する構成であることが好ましい。   [6] In the release film peeling apparatus of the present invention, the preliminary peeling roll is longer than the width dimension orthogonal to the moving direction of the laminated film and has adhesiveness on the surface. It is preferable that it is a structure which rolls by the movement of the laminated film suction table while pressing.

このように構成される予備剥離ロールは、粘着性を利用して偏りなく積層フィルムを押えつつ積層フィルム吸着テーブルに対して相対的に移動することによって転動し、積層フィルム吸着テーブルに真空吸着されたリリースフィルムからカバーレイフィルムを浮き上がらせて予備剥離代部を形成することが可能となる。   The pre-peeling roll configured in this way rolls by moving relative to the laminated film adsorption table while pressing the laminated film without bias using adhesiveness, and is vacuum-adsorbed to the laminated film adsorption table. It is possible to lift the coverlay film from the released film to form the preliminary peeling margin.

[7]本発明のリリースフィルム剥離装置においては、前記リリースフィルム剥離ロール部は、前記積層フィルムの幅寸法よりも長く、かつ表面に粘着性を有する前記剥離ロールと、前記剥離ロールの下方側に、前記積層フィルム吸着テーブルから前記剥離ロールよりも離れた位置に配置される従動ロールと、前記剥離ロールと前記従動ロールとを連結し剥離された前記リリースフィルムを移送する移送ベルトと、を有し、前記剥離ロール及び前記従動ロールには複数の溝が形成されており、複数の前記溝それぞれに前記移送ベルトが装着され、前記移送ベルトが前記剥離ロールの外周表面の内側に収まるように装着されていることが好ましい。   [7] In the release film peeling apparatus of the present invention, the release film peeling roll portion is longer than the width dimension of the laminated film and has adhesiveness on the surface, and on the lower side of the peeling roll. A driven roll disposed at a position away from the peeling roll from the laminated film adsorption table, and a transfer belt for connecting the peeling roll and the driven roll to transfer the peeled release film. A plurality of grooves are formed in the peeling roll and the driven roll, and the transfer belt is mounted in each of the plurality of grooves, and the transfer belt is mounted so as to fit inside the outer peripheral surface of the peeling roll. It is preferable.

このように構成されるリリースフィルム剥離ロール部は、粘着性を有する剥離ロールによってリリースフィルムの幅全体に亘ってほぼ均等に巻き取るように剥離していき、剥離されたリリースフィルムは移送ベルトによって下方に移送される。従って、剥離されたリリースフィルムは剥離ロールに巻きつくことなく移送ベルトによって剥離ロールから分離して移送することが可能となる。   The release film peeling roll portion configured in this manner is peeled off so as to be wound almost evenly over the entire width of the release film by the adhesive peeling roll, and the released release film is lowered by the transfer belt. It is transferred to. Accordingly, the peeled release film can be separated from the peeling roll and transferred by the transfer belt without being wound around the peeling roll.

[8]本発明のリリースフィルム剥離装置においては、前記リリースフィルム剥離ロール部は、前記剥離ロールと前記従動ロールの間において前記移送ベルトと交差し、その交差部から前記従動ロール側が前記移送ベルトの外側に張り出すように配置される分離板を有していることが好ましい。   [8] In the release film peeling apparatus according to the present invention, the release film peeling roll portion intersects the transfer belt between the release roll and the driven roll, and the driven roll side of the transfer belt extends from the intersecting portion. It is preferable to have a separating plate arranged so as to project outward.

剥離ロールによって剥離されつつあるリリースフィルムは、移送ベルトによって下方側(剥離ロールから離れる方向)に移送され、分離板によって移送ベルトから分離され、除去することが可能となる。   The release film that is being peeled off by the peeling roll is transferred downward (in the direction away from the peeling roll) by the transfer belt, separated from the transfer belt by the separation plate, and can be removed.

[9]本発明のリリースフィルム剥離装置においては、前記吸着ヘッドは、前記リリースフィルムが剥離された前記カバーレイフィルムを吸着した状態で、前記カバーレイフィルムを貼着する回路基板の配置位置まで移動し、前記回路基板の所定位置に前記カバーレイフィルムを加熱圧着する機能を有していることが好ましい。   [9] In the release film peeling apparatus of the present invention, the suction head moves to the position of the circuit board to which the cover lay film is adhered in a state where the cover lay film from which the release film has been peeled is sucked. And it is preferable to have the function to heat-press the said cover-lay film in the predetermined position of the said circuit board.

このような構成にすることによって、積層フィルムからリリースフィルムを剥離し、除去する剥離機能と、カバーレイフィルムを回路基板に加熱圧着する貼着機能とを併せ持つリリースフィルム剥離装置を実現することが可能となる。   By adopting such a configuration, it is possible to realize a release film peeling device that has both a peeling function for peeling and removing a release film from a laminated film and a sticking function for thermocompression bonding of a coverlay film to a circuit board. It becomes.

積層フィルム1の構成を示す断面図である。1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a laminated film 1. 実施形態に係るリリースフィルム剥離装置10の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the release film peeling apparatus 10 which concerns on embodiment. 積層フィルム吸着テーブルユニット11の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the laminated film adsorption | suction table unit. 積層フィルム吸着テーブルユニット11とリリースフィルム剥離ロール部15をY(+)方向から見た図である。It is the figure which looked at the laminated film adsorption | suction table unit 11 and the release film peeling roll part 15 from the Y (+) direction. 実施形態に係るリリースフィルム剥離方法を示す工程フロー図である。It is a process flowchart which shows the release film peeling method which concerns on embodiment. 実施形態に係るリリースフィルム剥離方法の主要工程を簡略化して表す工程説明図である。It is process explanatory drawing which simplifies and represents the main process of the release film peeling method which concerns on embodiment. リリースフィルム4の剥離・除去工程を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the peeling and removal process of the release film.

以下、本発明の実施形態に係るリリースフィルム剥離方法及びリリースフィルム剥離装置1について、図1〜図7を参照しながら説明する。   Hereinafter, the release film peeling method and the release film peeling apparatus 1 which concern on embodiment of this invention are demonstrated, referring FIGS. 1-7.

[積層フィルム1の構成]
図1は、積層フィルム1の構成を示す断面図である。積層フィルム1は、平面形状が四角形の単板(枚葉又は短冊と呼ばれることがある)であり、熱硬化性の接着剤層3を有するカバーレイフィルム2と、接着剤層3にリリースフィルム4が積層された構成である。カバーレイフィルム2は、導電パターンが形成されたフレキシブル配線基板などの表面保護用フィルムであり、ポリイミド樹脂、PET(ポリエチレンテレフタレート)樹脂などのフィルムである。リリースフィルム4はPET樹脂などからなり、接着剤層3の表面を保護するためのフィルムである。接着剤層3とリリースフィルム4とは、層間の空気を排除して密接させた積層状態であり、接着剤層3が熱硬化性であるため、接着剤層3が常温で空気に触れると分離されたような状態となり、リリースフィルム4を接着剤層3、つまり、カバーレイフィルム2から剥離することができるように構成されている。
[Configuration of Laminated Film 1]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the configuration of the laminated film 1. The laminated film 1 is a single plate having a quadrangular planar shape (sometimes referred to as a sheet or strip), a coverlay film 2 having a thermosetting adhesive layer 3, and a release film 4 on the adhesive layer 3. Is a laminated structure. The coverlay film 2 is a film for surface protection such as a flexible wiring board on which a conductive pattern is formed, and is a film such as a polyimide resin or a PET (polyethylene terephthalate) resin. The release film 4 is made of PET resin and the like, and is a film for protecting the surface of the adhesive layer 3. The adhesive layer 3 and the release film 4 are in a laminated state in which the air between the layers is excluded and brought into close contact, and since the adhesive layer 3 is thermosetting, it is separated when the adhesive layer 3 is exposed to air at room temperature. Thus, the release film 4 can be peeled from the adhesive layer 3, that is, the coverlay film 2.

[リリースフィルム剥離装置10の構成]
図2は、実施形態に係るリリースフィルム剥離装置10の構成を示す斜視図である。なお、以降に説明する図においては、図2の図示左右方向をXで表し、右方向をX(+)、左方向をX(−)とし、図示奥行方向をYで表し、奥側をY(−)、手前側をY(+)とし、X−Y平面に直交する方向をZで表し、上側をZ(+)又は上方、下側をZ(−)又は下方として説明する。リリースフィルム剥離装置10は、積層フィルム1をリリースフィルム4(図1参照)側で真空吸着する積層フィルム吸着テーブルユニット11と、積層フィルム1をカバーレイフィルム2(図1参照)側で真空吸着する吸着ヘッドユニット12と、積層フィルム1をカバーレイフィルム側から積層フィルム吸着テーブル14に押える予備剥離ロール13とを有している。図2に示す積層フィルム吸着テーブルユニット11、吸着ヘッドユニット12及び積層フィルム1は、稼働時の1状態の配置を表す図である。予備剥離ロール13の材質は、例えばポリオレフィンン系ゴムなどの粘着性を有するものであり、外周表面に粘着層を形成するようにしてもよい。
[Configuration of Release Film Peeling Device 10]
FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of the release film peeling apparatus 10 according to the embodiment. In the drawings described below, the horizontal direction shown in FIG. 2 is represented by X, the right direction is represented by X (+), the left direction is represented by X (−), the depth direction shown is represented by Y, and the back side is represented by Y. (-), The front side is Y (+), the direction orthogonal to the XY plane is represented by Z, the upper side is Z (+) or upper, and the lower side is Z (-) or lower. The release film peeling apparatus 10 vacuum-sucks the laminated film 1 on the side of the release film 4 (see FIG. 1) and the laminated film suction table unit 11 that vacuum-sucks the laminated film 1 on the coverlay film 2 (see FIG. 1) side. It has a suction head unit 12 and a preliminary peeling roll 13 that presses the laminated film 1 against the laminated film suction table 14 from the cover lay film side. The laminated film adsorption table unit 11, the adsorption head unit 12, and the laminated film 1 shown in FIG. 2 are diagrams showing an arrangement in one state during operation. The material of the preliminary peeling roll 13 has adhesiveness, such as polyolefin rubber, for example, and an adhesive layer may be formed on the outer peripheral surface.

積層フィルム吸着テーブルユニット11は、積層フィルム吸着テーブル14と、積層フィルム吸着テーブル14のX(−)方向端部に取付けられるリリースフィルム剥離ロール部15と、を有している。積層フィルム吸着テーブルユニット11は、X方向に往復移動可能であり、予備剥離ロール13の下方をX(−)方向に通過する際に、リリースフィルム4の予備剥離を行い、吸着ヘッドユニット12の下方をX(+)方向に移動する際に、リリースフィルム剥離ロール15によってリリースフィルム4をカバーレイフィルム2から剥離し、除去するように動作する。積層フィルム吸着テーブルユニット11の詳しい構成は、図3、図4を参照し、リリースフィルム4の剥離方法は図5、図6、図7を参照して後述する。   The laminated film suction table unit 11 includes a laminated film suction table 14 and a release film peeling roll portion 15 attached to the end of the laminated film suction table 14 in the X (−) direction. The laminated film suction table unit 11 can reciprocate in the X direction. When the laminated film suction table unit 11 passes below the preliminary peeling roll 13 in the X (−) direction, the release film 4 is preliminarily peeled, and below the suction head unit 12. When moving in the X (+) direction, the release film peeling roll 15 operates to peel and remove the release film 4 from the coverlay film 2. The detailed configuration of the laminated film adsorption table unit 11 will be described later with reference to FIGS. 3 and 4, and the release film 4 peeling method will be described later with reference to FIGS. 5, 6, and 7.

吸着ヘッドユニット12は、積層フィルム吸着テーブルユニット11の上方(Z(+)側)に配設されており、積層フィルム吸着テーブル14に対面する吸着ヘッド16と、吸着ヘッド16をZ方向に往復移動させるZ軸駆動部17と、吸着ヘッド16をY方向に往復移動させるY軸駆動部18と、を有している。Z軸駆動部17及びY軸駆動部18は、サーボモータとボールねじ機構(図示は省略)で高精度に駆動する。吸着ヘッドユニット12は、吸着ヘッド16を水平方向に回転するθ軸駆動19を有し、θ軸駆動部19は吸着したカバーレイフィルム2の姿勢(X軸又はY軸に対する角度)を補正する。吸着ヘッド16には、積層フィルム1を真空吸着するための吸着孔(図示せず)が多数設けられている。   The suction head unit 12 is disposed above (Z (+) side) the laminated film suction table unit 11, and the suction head 16 facing the laminated film suction table 14 and the suction head 16 are reciprocated in the Z direction. And a Y-axis drive unit 18 that reciprocates the suction head 16 in the Y direction. The Z-axis drive unit 17 and the Y-axis drive unit 18 are driven with high accuracy by a servo motor and a ball screw mechanism (not shown). The suction head unit 12 has a θ-axis drive 19 that rotates the suction head 16 in the horizontal direction, and the θ-axis drive unit 19 corrects the posture (angle with respect to the X axis or Y axis) of the sucked coverlay film 2. The suction head 16 is provided with a number of suction holes (not shown) for vacuum-sucking the laminated film 1.

リリースフィルム剥離装置10のX(+)方向には、カバーレイフィルム2の貼着対象である不図示の回路基板(例えば、フレキシブル配線基板)を真空吸着する基板吸着テーブル20と、基板吸着テーブル20に回路基板を給材し、かつ積層フィルム1を積層フィルム吸着テーブル14に給材する給材ユニット21と、が配置されている。給材ユニット21は、Y軸方向及びZ軸方向にそれぞれ往復移動可能である。基板吸着テーブル20は、ガイドレール22に沿ってX(−)方向に吸着ヘッド16の下方まで移動し、回路基板の導体パターン形成面にカバーレイフィルム2を加熱圧着する。カバーレイフィルム2が貼着された回路基板は、ガイドレール22に沿ってX(+)方向に移動し、圧着ロール23によって圧着され、基板給材位置まで戻って除材される。   In the X (+) direction of the release film peeling apparatus 10, a substrate suction table 20 that vacuum-sucks a circuit board (not shown) (for example, a flexible wiring board) to which the coverlay film 2 is attached, and a substrate suction table 20. A supply unit 21 for supplying the circuit board and supplying the laminated film 1 to the laminated film suction table 14 is disposed. The material supply unit 21 can reciprocate in the Y-axis direction and the Z-axis direction, respectively. The board suction table 20 moves along the guide rails 22 in the X (−) direction to the lower side of the suction head 16 and heat-presses the coverlay film 2 on the conductor pattern forming surface of the circuit board. The circuit board to which the cover lay film 2 is adhered moves in the X (+) direction along the guide rail 22, is crimped by the crimping roll 23, returns to the board supply position, and is removed.

[積層フィルム吸着テーブルユニット11の構成]
図3は、積層フィルム吸着テーブルユニット11の構成を示す図であり、図3(a)は積層フィルム吸着テーブルユニット11の全体構成を示す斜視図、図3(b)は、図3(a)に示す点線Bで囲まれた吸着孔形成領域24の一部を拡大して示す図である。積層フィルム吸着テーブルユニット11は、多数の吸着孔25が配列された吸着孔形成領域24を有する積層フィルム吸着テーブル14と、積層フィルム吸着テーブル14を載置し保持するテーブルベース部26と、積層フィルム吸着テーブル14のX(−)方向端部に設けられるリリースフィルム剥離ロール部15とを有している。
[Configuration of Laminated Film Suction Table Unit 11]
FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the laminated film suction table unit 11, FIG. 3A is a perspective view showing the overall configuration of the laminated film suction table unit 11, and FIG. 3B is FIG. 3A. It is a figure which expands and shows a part of adsorption | suction hole formation area | region 24 enclosed with the dotted line B shown in FIG. The laminated film adsorption table unit 11 includes a laminated film adsorption table 14 having an adsorption hole forming region 24 in which a large number of adsorption holes 25 are arranged, a table base portion 26 on which the laminated film adsorption table 14 is placed and held, and a laminated film. It has the release film peeling roll part 15 provided in the X (-) direction edge part of the adsorption | suction table 14. As shown in FIG.

リリースフィルム剥離ロール部15は、積層フィルム1の幅(Y方向の寸法)よりも長く、表面に粘着性を有する剥離ロール30と、剥離ロール30から下方側に離れた位置に配置される従動ロール31と、から構成されている。従動ロール31は、剥離ロール30と同じ長さを有している。剥離ロール30及び従動ロール31は、両端部が支持板32に回転可能に支持されている。支持板32はテーブルベース部26のY方向両端に固定される。剥離ロール30の材質としては、例えばポリオレフィン系ゴムなどであり、外周表面に粘着層を形成するようにしてもよい。剥離ロール30と従動ロール31とは、断面が円形の移送ベルト33で連結される。移送ベルト33は、剥離ロール30及び従動ロール31それぞれに形成された溝34,35に装着される。剥離ロール30と従動ロール31の間には、分離板36が配設されている。剥離ロール30、従動ロール31及び移送ベルト33の連結関係は図4を参照して詳しく説明する。   The release film peeling roll unit 15 is longer than the width of the laminated film 1 (dimension in the Y direction), and has a peeling roll 30 having adhesiveness on the surface, and a driven roll disposed at a position away from the peeling roll 30 downward. 31. The driven roll 31 has the same length as the peeling roll 30. Both ends of the peeling roll 30 and the driven roll 31 are rotatably supported by the support plate 32. The support plates 32 are fixed to both ends of the table base portion 26 in the Y direction. The material of the peeling roll 30 is, for example, polyolefin rubber, and an adhesive layer may be formed on the outer peripheral surface. The peeling roll 30 and the driven roll 31 are connected by a transfer belt 33 having a circular cross section. The transfer belt 33 is mounted in grooves 34 and 35 formed in the peeling roll 30 and the driven roll 31, respectively. A separation plate 36 is disposed between the peeling roll 30 and the driven roll 31. The connection relationship between the peeling roll 30, the driven roll 31, and the transfer belt 33 will be described in detail with reference to FIG.

図4は、積層フィルム吸着テーブルユニット11とリリースフィルム剥離ロール部15をY(+)方向から見た図であり、図4(a)は、図3に示す切断線A−Aで切断した切断面を示す断面図、図4(b)は、リリースフィルム剥離ロール部15(図4(a)において点線Cで囲まれ部分)を拡大して示す図である。積層フィルム吸着テーブル14には、図3(b)に示すような吸着孔25が多数設けられており、吸着孔25は負圧室27に連通している。負圧室27は、ニップル28を介して不図示の真空ポンプに接続されており、真空ポンプを駆動することによって、吸着孔25から空気を吸引し積層フィルム1をリリースフィルム4側で真空吸着する。図4(a)に示すように、剥離ロール30の外周上面は、積層フィルム吸着テーブル14よりも高い(Z(+)方向)位置になるように配置され、従動ロール31は、剥離ロール30よりも下方側、かつX(−)方向に離れた位置に配置されている。剥離ロール30と従動ロール31の軸心を結んだ直線(図中、二点鎖線で示す)は、積層フィルム吸着テーブル14の表面に対して角度θだけ傾斜している。   4 is a view of the laminated film adsorption table unit 11 and the release film peeling roll unit 15 as seen from the Y (+) direction, and FIG. 4A is a cut taken along the cutting line AA shown in FIG. 4B is an enlarged view of the release film peeling roll portion 15 (the portion surrounded by the dotted line C in FIG. 4A). The laminated film suction table 14 is provided with a number of suction holes 25 as shown in FIG. 3B, and the suction holes 25 communicate with the negative pressure chamber 27. The negative pressure chamber 27 is connected to a vacuum pump (not shown) via a nipple 28. By driving the vacuum pump, air is sucked from the suction holes 25 and the laminated film 1 is vacuum-sucked on the release film 4 side. . As shown in FIG. 4A, the outer peripheral upper surface of the peeling roll 30 is arranged to be higher (Z (+) direction) than the laminated film suction table 14, and the driven roll 31 is more than the peeling roll 30. Are also arranged at positions below and in the X (−) direction. A straight line connecting the axis centers of the peeling roll 30 and the driven roll 31 (indicated by a two-dot chain line in the figure) is inclined with respect to the surface of the laminated film suction table 14 by an angle θ.

図4(b)に示すように、剥離ロール30及び従動ロール31の各々には、溝34,35が形成されている。これらの溝34,35に移送ベルト33が装着される。溝34,35は、Y方向に複数形成されている(図3(a)参照)。図3(a)に示す例においては、移送ベルト33は10本備えられているが、剥離されたリリースフィルム4が移送ベルト33の間に垂れこまないように均等に配置されればよく、10本に限定されない。剥離ロール30に形成される溝34は、移送ベルト33が剥離ロール30の外周面から突出しない深さを有している。従動ロール31に形成される溝35においては、移送ベルト33が従動ロール31の外周面から僅かに突出する深さとなっているが、突出しない深さにしてもよい。剥離ロール30は、積層フィルム1が真空吸着された吸着ヘッド16に対して積層フィルム吸着テーブル14がX(+)方向へ移動することに伴い、積層フィルム30との摩擦によって転動する。移送ベルト33は、剥離ロール30の転動(回転)によって従動ロール31との間で回転作動し、剥離されたリリースフィルム4を下方側に移送する。   As shown in FIG. 4B, grooves 34 and 35 are formed in each of the peeling roll 30 and the driven roll 31. A transfer belt 33 is attached to the grooves 34 and 35. A plurality of grooves 34 and 35 are formed in the Y direction (see FIG. 3A). In the example shown in FIG. 3A, ten transfer belts 33 are provided. However, the release films 4 that have been peeled off may be arranged evenly so as not to hang down between the transfer belts 33. It is not limited to books. The groove 34 formed in the peeling roll 30 has such a depth that the transfer belt 33 does not protrude from the outer peripheral surface of the peeling roll 30. In the groove 35 formed in the driven roll 31, the transfer belt 33 has a depth that slightly protrudes from the outer peripheral surface of the driven roll 31, but may have a depth that does not protrude. The peeling roll 30 rolls by friction with the laminated film 30 as the laminated film suction table 14 moves in the X (+) direction with respect to the suction head 16 on which the laminated film 1 is vacuum-sucked. The transfer belt 33 rotates with the driven roll 31 by the rolling (rotation) of the peeling roll 30, and transfers the peeled release film 4 downward.

リリースフィルム4の詳しい剥離方法については後述するが、剥離ロール30によって剥離されたリリースフィルム4は、移送ベルト33によって下方に移送される。リリースフィルム剥離ロール部15には、剥離されたリリースフィルム4を分離、除去するための分離板36が設けられている。図3、図4に示すように、分離板36は、Y方向に延長される板状の分離部37と、分離部37の両端部に設けられる固定部38とから構成されている。   Although the detailed peeling method of the release film 4 will be described later, the release film 4 peeled off by the peeling roll 30 is transferred downward by the transfer belt 33. The release film peeling roll portion 15 is provided with a separation plate 36 for separating and removing the peeled release film 4. As shown in FIGS. 3 and 4, the separation plate 36 includes a plate-like separation portion 37 that extends in the Y direction, and fixed portions 38 that are provided at both ends of the separation portion 37.

分離板36は、固定部38によって支持板32に固定される(図3(a)も参照する)。図4(b)に示すように、分離部37は、積層フィルム吸着テーブル14から外側に離れた方向の上方側端部が外側の移送ベルト33(移送ベルト33Aと記載する)に交差し、下方側が移送ベルト33Aよりも外側(積層フィルム吸着テーブル14から離れる方向)に張り出すように傾斜している。剥離ロール30は、図4(b)において実線の矢印で示す方向に転動し、移送ベルト33を同じ方向に送る。この際、移送ベルト33は、図3(a)、図4(b)に示すように分離部37に設けられた溝39の上方側から入り、下方側の分離部37の裏面側に抜けて従動ロール31に達する。このようにすることによって、剥離ロール30によって剥離されたリリースフィルム4は、移送ベルト33によって下方側に移送され、分離板36によって剥離ロール30及び移送ベルト33から分離・除去される。続いて、リリースフィルムの剥離方法について図5、図6、図7を参照して詳しく説明する。   The separation plate 36 is fixed to the support plate 32 by a fixing portion 38 (see also FIG. 3A). As shown in FIG. 4B, the separating portion 37 has an upper end in a direction away from the laminated film suction table 14 intersecting the outer transfer belt 33 (described as a transfer belt 33A), and a lower portion. The side is inclined to project outward from the transfer belt 33A (in a direction away from the laminated film suction table 14). The peeling roll 30 rolls in the direction indicated by the solid line arrow in FIG. 4B and feeds the transfer belt 33 in the same direction. At this time, as shown in FIGS. 3A and 4B, the transfer belt 33 enters from the upper side of the groove 39 provided in the separating portion 37 and comes out to the back side of the lower separating portion 37. The follower roll 31 is reached. By doing so, the release film 4 peeled off by the peeling roll 30 is transferred downward by the transfer belt 33, and is separated and removed from the peeling roll 30 and the transfer belt 33 by the separation plate 36. Next, the release film peeling method will be described in detail with reference to FIGS. 5, 6, and 7.

[リリースフィルム剥離方法]
図5は、実施形態に係るリリースフィルム剥離方法を示す工程フロー図であり、図6は、リリースフィルム剥離方法の主要工程を簡略化して表す工程説明図、図7は、リリースフィルム4の剥離・除去工程を示す拡大図である。図5の工程フロー図に従って、図6、図7を参照ながら説明する。まず、図6(a)に示すように、積層フィルム1を積層フィルム吸着テーブル14上に給材し、リリースフィルム4側を真空吸着する(ステップS1)。積層フィルム1の積層フィルム吸着テーブル14への給材は、給材ユニット21(図2参照)で行われる。この段階においては、予備剥離ロール13及び吸着ヘッド16は、積層フィルム1及び予備剥離ロール部15から上方の離れた所定位置に待機している。
[Release film peeling method]
FIG. 5 is a process flow diagram showing the release film peeling method according to the embodiment, FIG. 6 is a process explanatory diagram showing the main steps of the release film peeling method in a simplified manner, and FIG. It is an enlarged view which shows a removal process. The process will be described with reference to FIGS. 6 and 7 according to the process flow diagram of FIG. First, as shown to Fig.6 (a), the laminated | multilayer film 1 is supplied on the laminated | multilayer film adsorption | suction table 14, and the release film 4 side is vacuum-sucked (step S1). Feeding of the laminated film 1 to the laminated film suction table 14 is performed by a feeding unit 21 (see FIG. 2). At this stage, the preliminary peeling roll 13 and the suction head 16 stand by at a predetermined position above the laminated film 1 and the preliminary peeling roll portion 15.

積層フィルム1を積層フィルム吸着テーブル14に真空吸着した後、図6(b)に示すように、積層フィルム吸着テーブル14をX(−)方向に移動させ(ステップS2)、積層フィルム1のX(−)側端部が予備剥離ロール13の下方に至る手前で、予備剥離ロール13を積層フィルム1に当接可能な位置まで降下させる(ステップS3)。さらに、図6(c)に示すように、積層フィルム吸着テーブル14をX(−)方向に移動させると、積層フィルム1は予備剥離ロール13を通過する際に押圧され、接着剤層3を含むカバーレイフィルム2の先端部だけがカバーレイフィルム2から浮きあがる。カバーレイフィルム2の先端部を浮き上がらせることを予備剥離とする。   After vacuum-adsorbing the laminated film 1 to the laminated film adsorption table 14, as shown in FIG. 6B, the laminated film adsorption table 14 is moved in the X (−) direction (step S2), and the X ( -) Before the side end portion reaches the lower side of the preliminary peeling roll 13, the preliminary peeling roll 13 is lowered to a position where it can contact the laminated film 1 (step S3). Furthermore, as shown in FIG. 6C, when the laminated film adsorption table 14 is moved in the X (−) direction, the laminated film 1 is pressed when passing through the preliminary peeling roll 13, and includes the adhesive layer 3. Only the tip of the coverlay film 2 is lifted from the coverlay film 2. Lifting the tip of the coverlay film 2 is defined as preliminary peeling.

予備剥離の様子を拡大して図6(d)に示す。カバーレイフィルム2と接着剤層3とは、容易に剥離できないような固着力を有しており、リリースフィルム4と接着剤層とは、密接はしているものの固着はしていないので、予備剥離ロール13によって押えられると、リリースフィルム4は積層フィルム吸着テーブル14に真空吸着されていることからカバーレイフィルム2側がリリースフィルム4から瞬間的に浮き上がり、接着剤層3が空気に触れる。接着剤層13は、熱硬化性のため一度空気に触れるとリリースフィルム4を再度押圧しても固着することなく容易に剥離できるようになる。この際の浮き上がり範囲を予備剥離代部Lとし、予備剥離ロール13によるリリースフィルム4を浮き上がらせる工程を予備剥離代部形成工程とする(ステップS4)。予備剥離ロール13の押え力は、積層フィルム1が移動する間にほぼ均一に積層フィルム1に接触する程度であればよく、カバーレイフィルム2を積極的に反り上がらせる必要はない。予備剥離代部LよりX(+)側には、リリースフィルム4の浮き上がりはない。予備剥離ロール13は、積層フィルム1に当接した状態で積層フィルム1がX(−)方向に移動することでカバーレイフィルム2との摩擦力で転動するようになっている。   The state of preliminary peeling is enlarged and shown in FIG. The cover lay film 2 and the adhesive layer 3 have an adhesive force that cannot be easily peeled off, and the release film 4 and the adhesive layer are in close contact but not fixed. When pressed by the peeling roll 13, the release film 4 is vacuum-sucked by the laminated film suction table 14, so that the cover lay film 2 side is momentarily lifted from the release film 4 and the adhesive layer 3 comes into contact with air. Since the adhesive layer 13 is thermosetting, once it comes into contact with air, it can be easily peeled without sticking even if the release film 4 is pressed again. The lifting range at this time is defined as a preliminary peeling margin L, and the step of lifting the release film 4 by the preliminary peeling roll 13 is defined as a preliminary peeling margin forming step (step S4). The pressing force of the preliminary peeling roll 13 may be such that the pressing force of the preliminary peeling roll 13 comes into contact with the laminated film 1 almost uniformly during the movement of the laminated film 1, and there is no need to positively warp the coverlay film 2. The release film 4 is not lifted on the X (+) side from the preliminary peeling margin L. The preliminary peeling roll 13 is configured to roll by the frictional force with the coverlay film 2 when the laminated film 1 moves in the X (−) direction while being in contact with the laminated film 1.

積層フィルム1が予備剥離ロール13の下方を通過した後、図6(e)に示すように、予備剥離ローラ13を待機位置(積層フィルム1から離れた位置)まで上昇させ(ステップS5)、積層フィルム吸着テーブル14を停止し(ステップS6)、吸着ヘッド16を積層フィルム1に当接するまで降下させ(ステップS7)、積層フィルム1のカバーレイフィルム2側を真空吸着する(ステップS8)。積層フィルム1を真空吸着した後、積層フィルム吸着テーブル14による積層フィルム1の吸着を解除する(ステップS9)。次いで、図6(f)に示すように、積層フィルム1を吸着した吸着ヘッド16を、剥離ロール30の上面に当接可能な高さ位置(リリースフィルム4の剥離可能位置)まで上昇させる(ステップS10)。   After the laminated film 1 passes below the preliminary peeling roll 13, as shown in FIG. 6 (e), the preliminary peeling roller 13 is raised to a standby position (a position away from the laminated film 1) (step S5). The film suction table 14 is stopped (step S6), the suction head 16 is lowered until it contacts the laminated film 1 (step S7), and the cover lay film 2 side of the laminated film 1 is vacuum-sucked (step S8). After the laminated film 1 is vacuum-adsorbed, the adsorption of the laminated film 1 by the laminated film adsorption table 14 is released (step S9). Next, as shown in FIG. 6 (f), the suction head 16 that has sucked the laminated film 1 is raised to a height position at which it can contact the upper surface of the peeling roll 30 (a position where the release film 4 can be peeled) (step). S10).

続いて、図6(g)に示すように、積層フィルム吸着テーブル14をX(+)方向に移動させ(ステップS11)、剥離ロール30がリリースフィルム4に接触したときから積層フィルム吸着テーブル14(カバーレイフィルム2)の移動によって剥離ロール30が転動を開始し、剥離ロール30の粘着性を利用してリリースフィルム4の剥離を開始する(ステップS12)。さらに、積層フィルム吸着テーブル14(カバーレイフィルム2)をX(+)方向に移動させることによって、リリースフィルム4をカバーレイフィルム2から剥離し、除去する(ステップS13)。リリースフィルム4の除去については、図7を参照して詳しく説明する。   Subsequently, as shown in FIG. 6 (g), the laminated film adsorption table 14 is moved in the X (+) direction (step S11), and the laminated film adsorption table 14 ( The peeling roll 30 starts rolling by the movement of the cover lay film 2), and peeling of the release film 4 is started using the adhesiveness of the peeling roll 30 (step S12). Further, the release film 4 is peeled off from the coverlay film 2 and removed by moving the laminated film suction table 14 (coverlay film 2) in the X (+) direction (step S13). The removal of the release film 4 will be described in detail with reference to FIG.

図7に示すように、剥離ロール30は、積層フィルム吸着テーブル14のX(+)方向への移動によって転動し、表面の粘着性を利用してリリースフィルム4を巻き取るようにして剥離する。この際、剥離ロール30だけの構成の場合には、剥離ロール30がリリースフィルム4を巻き込んでしまうが、移送ベルト33によって、剥離ロール30がリリースフィルム4を巻き込むことなく下方側に剥離されたリリースフィルム4を移送する(移動方向を点線で示す)。リリースフィルム4の移送途中には分離板36が配設されているため、リリースフィルム4を分離部37によって剥離ロール30及び移送ベルト33から分離し、除去することが可能となっている。剥離ロール30は、リリースフィルム4との摩擦によって転動するため静電気は発生しにくい。リリースフィルム4の剥離・除去工程(ステップS13)が終了後、積層フィルム吸着テーブル14は、次の積層フィルム1が給材される初期位置に復帰する。   As shown in FIG. 7, the peeling roll 30 rolls by the movement of the laminated film suction table 14 in the X (+) direction, and peels off the release film 4 by using the adhesiveness of the surface. . At this time, in the case of the configuration of only the release roll 30, the release roll 30 entrains the release film 4, but the release roll 30 is released downward by the transfer belt 33 without entraining the release film 4. The film 4 is transferred (the moving direction is indicated by a dotted line). Since the separation plate 36 is disposed during the transfer of the release film 4, the release film 4 can be separated from the peeling roll 30 and the transfer belt 33 by the separation unit 37 and removed. Since the peeling roll 30 rolls due to friction with the release film 4, static electricity is hardly generated. After the release / removal process (step S13) of the release film 4 is completed, the laminated film suction table 14 returns to the initial position where the next laminated film 1 is fed.

リリースフィルム4の剥離・除去工程(ステップS13)が終了後の吸着ヘッド16の動作について図2を参照して説明する。吸着ヘッドユニット12は、リリースフィルム4が剥離されたカバーレイフィルム2を吸着ヘッド16が吸着した状態で、カバーレイフィルム2の貼着対象である回路基板(図示せず)の貼着位置までY(−)方向に移動し、カバーレイフィルム2を回路基板に加熱圧着する。回路基板は、基板吸着テーブル20に真空吸着された状態で、ガイドレール22に沿って吸着ヘッド16の下方に移動し貼着位置に停止している。従って、リリースフィルム剥離装置10は、積層フィルム1からリリースフィルム4を剥離・除去する機能と、カバーレイフィルム2を基板に貼着する機能とを有する装置である。カバーレイフィルム2が貼着された回路基板は、除材位置に戻る際に圧着ロール23によってさらに圧着される。   The operation of the suction head 16 after the release / removal process (step S13) of the release film 4 is completed will be described with reference to FIG. The suction head unit 12 is in a state where the suction head 16 sucks the cover lay film 2 from which the release film 4 has been peeled, up to the attachment position of a circuit board (not shown) to which the cover lay film 2 is attached. It moves in the (−) direction, and the cover lay film 2 is thermocompression bonded to the circuit board. In a state where the circuit board is vacuum-sucked by the board suction table 20, the circuit board moves along the guide rail 22 below the suction head 16 and stops at the sticking position. Therefore, the release film peeling apparatus 10 is an apparatus having a function of peeling and removing the release film 4 from the laminated film 1 and a function of sticking the coverlay film 2 to the substrate. The circuit board to which the coverlay film 2 is adhered is further crimped by the crimping roll 23 when returning to the material removal position.

以上説明したリリースフィルム剥離方法は、熱硬化性の接着剤層3を有するカバーレイフィルム2と接着剤層3に積層されたリリースフィルム4とから構成される単板の積層フィルム1からリリースフィルム4を剥離し、除去するリリースフィルム剥離方法であって、積層フィルム1のリリースフィルム4側を積層フィルム吸着テーブル14に真空吸着する工程と、積層フィルム1を一方方向(X(−)方向)に移動しながら予備剥離ロール13で積層フィルム1をカバーレイフィルム2側から押えつつ前記指剥離ロールを転動させ、カバーレイフィルム2の端部をリリースフィルム4から浮き上がらせ予備剥離代部Lを形成する工程と、積層フィルム吸着テーブル14への積層フィルム1の吸着を解除し、積層フィルム1のカバーレイフィルム2の全面を吸着ヘッド16に真空吸着する工程と、吸着ヘッド16が積層フィルム1を吸着した状態で、リリースフィルム4に粘着性を有する剥離ロール30を接触させ、積層フィルム吸着テーブル14及び剥離ロール30を他方向(X(+)方向)に移動させることによって剥離ロール30を転動し、積層フィルム1からリリースフィルム4を巻き取りつつ剥離し、除去する工程と、を含んでいる。   In the release film peeling method described above, a single-layer laminated film 1 to a release film 4 constituted by a coverlay film 2 having a thermosetting adhesive layer 3 and a release film 4 laminated on the adhesive layer 3 are used. Is a release film peeling method in which the release film 4 side of the laminated film 1 is vacuum-sucked to the laminated film adsorption table 14 and the laminated film 1 is moved in one direction (X (−) direction). While moving the finger peeling roll while pressing the laminated film 1 from the coverlay film 2 side with the preliminary peeling roll 13, the end of the coverlay film 2 is lifted from the release film 4 to form the preliminary peeling margin L. Process, and releasing the adsorption of the laminated film 1 to the laminated film adsorption table 14, The process of vacuum-sucking the entire surface of the film 2 to the suction head 16, and in a state where the suction head 16 sucks the laminated film 1, the release film 4 is brought into contact with an adhesive peeling roll 30 to separate the laminated film suction table 14 and the peeling film. A step of rolling the peeling roll 30 by moving the roll 30 in the other direction (X (+) direction), peeling off the release film 4 from the laminated film 1 and removing it.

このような、リリースフィルム剥離方法によれば、予備剥離ロール13を積層フィルム1のカバーレイフィルム2側から押さえつつ転動させることで予備剥離代部Lを形成し、吸着ヘッド16によってカバーレイフィルム2の全面を吸着した後、剥離ロール30を転動させてリリースフィルム2を積層フィルム1から剥離する。このようにすることによって、単板の積層フィルム1において、カバーレイフィルム2に反りを発生させたり、傷をつけたりすることなく、積層フィルム1からリリースフィルム4を剥離し、除去することが可能となる。   According to such a release film peeling method, the preliminary peeling roll 13 is rolled while being pressed from the coverlay film 2 side of the laminated film 1 to form the preliminary peeling margin L, and the suction head 16 is used to cover the coverlay film. After the entire surface of 2 is adsorbed, the release roll 30 is rolled to peel the release film 2 from the laminated film 1. By doing in this way, in the single-layer laminated film 1, it is possible to peel and remove the release film 4 from the laminated film 1 without causing the coverlay film 2 to be warped or scratched. Become.

予備剥離代部Lを形成する工程(ステップS4)では、カバーレイフィルム2を押えつつ予備剥離ロール13を転動させてカバーレイフィルム2の端部をリリースフィルム4から浮き上がらせ、接着剤層3に空気を触れさせる。   In the step of forming the preliminary peeling margin L (step S4), the preliminary peeling roll 13 is rolled while pressing the cover lay film 2 to lift the end of the cover lay film 2 from the release film 4, and the adhesive layer 3 Let the air touch.

熱硬化性の接着剤層3は、表面が空気に触れると加熱しなければ再びリリースフィルムが貼りつくことがないことを利用して予備剥離代部Lを形成することが可能となり、この予備剥離代部Lから剥離を開始すれば、容易に積層フィルム1からリリースフィルム4を剥離することができる。   The thermosetting adhesive layer 3 can form the preliminary peeling margin L by utilizing the fact that the release film does not adhere again unless heated when the surface is exposed to air. If peeling is started from the surrogate L, the release film 4 can be easily peeled from the laminated film 1.

吸着ヘッド16が積層フィルム1を真空吸着する工程では、吸着ヘッド16によって予備剥離代部Lを含む積層フィルム1の全面を吸着する。このようにすることで、リリースフィルム4を剥離する際にカバーレイフィルム2に反りを発生することを防止できる。さらに、剥離ロール30がカバーレイフィルム2に接触することがないのでカバーレイフィルム2に傷をつけてしまうことを防止できる。   In the step in which the suction head 16 vacuum-sucks the laminated film 1, the entire surface of the laminated film 1 including the preliminary peeling margin L is sucked by the suction head 16. By doing so, it is possible to prevent the coverlay film 2 from warping when the release film 4 is peeled off. Furthermore, since the peeling roll 30 does not contact the cover lay film 2, it is possible to prevent the cover lay film 2 from being damaged.

リリースフィルム4を剥離し、除去する工程では、剥離ロール30でリリースフィルム4を剥離しつつ剥離されたリリースフィルム4を移送ベルト33で移送し、分離板36によって剥離ロール30及び移送ベルト33からリリースフィルム4を分離し、除去する。   In the process of peeling and removing the release film 4, the release film 4 peeled off while being peeled off by the peeling roll 30 is transferred by the transfer belt 33 and released from the peeling roll 30 and the transfer belt 33 by the separation plate 36. The film 4 is separated and removed.

リリースフィルム4を剥離ロール30のみで剥離すると、リリースフィルム4が剥離ロール30に巻き込まれてしまい除去することが困難になる。そこで、剥離ロール30によって剥離されたリリースフィルム4を移送ベルト33で移送しつつ分離板36で剥離ロール30及び移送ベルト33から分離すれば、リリースフィルム4が剥離ロール30に巻きついてしまうことなく、カバーレイフィルム2からリリースフィルム4を剥離し、除去することが可能となる。   If the release film 4 is peeled only by the peeling roll 30, the release film 4 is caught in the peeling roll 30 and is difficult to remove. Therefore, if the release film 4 peeled off by the peeling roll 30 is transferred by the transfer belt 33 and separated from the peeling roll 30 and the transfer belt 33 by the separation plate 36, the release film 4 does not wrap around the peeling roll 30, The release film 4 can be peeled off from the coverlay film 2 and removed.

リリースフィルム剥離装置10は、積層フィルム1のリリースフィルム4側を真空吸着しつつ一方向(X方向)に往復移動可能な積層フィルム吸着テーブル14と、カバーレイフィルム4側から積層フィルム1を押え、積層フィルム吸着テーブル14の一方方向(X(−)方向への移動によって転動しつつ積層フィルム1の進行方向側の端部に予備剥離代部Lを形成する予備剥離ロール13と、積層フィルム1のカバーレイフィルム2側を真空吸着する吸着ヘッド16と、積層フィルム吸着テーブル14と一体となって移動可能であり、吸着ヘッド16が積層フィルム1を吸着した状態で、予備剥離代部Lにおいて剥離ロール30がリリースフィルム4に当接し、積層フィルム吸着テーブル14の他方向(X(+)方向)への移動により剥離ロール30が転動しつつ積層フィルム1からリリースフィルム4を剥離するリリースフィルム剥離ロール部15と、を有している。   The release film peeling apparatus 10 presses the laminated film 1 from the cover lay film 4 side, the laminated film adsorption table 14 that can reciprocate in one direction (X direction) while vacuum-adsorbing the release film 4 side of the laminated film 1, A preliminary peeling roll 13 that forms a preliminary peeling margin L at the end of the laminated film 1 in the traveling direction while rolling by moving in one direction (X (−) direction) of the laminated film adsorption table 14, and the laminated film 1 Can be moved together with the suction head 16 that vacuum-sucks the cover lay film 2 side and the laminated film suction table 14, and is peeled off at the preliminary peeling margin L while the suction head 16 sucks the laminated film 1. The roll 30 comes into contact with the release film 4 and is peeled off by moving the laminated film suction table 14 in the other direction (X (+) direction). Lumpur 30 has a release film peeling roll unit 15 for peeling the release film 4 laminated film 1 while rolling, the.

以上説明したリリースフィルム剥離装置10によれば、予備剥離ロール13を積層フィルム1のカバーレイフィルム2側から押さえつつ転動させることでリリースフィルム4からカバーレイフィルム2の端部を浮き上がらせて予備剥離代部Lを形成し、吸着ヘッド16によってカバーレイフィルム2の全面を吸着した後、剥離ロール16が転動してリリースフィルム4を巻き取るようにして積層フィルムから剥離する。このようにすることによって、単板の積層フィルム1において、カバーレイフィルム2に反りが発生することがない。又、カバーレイフィルム2にリリースフィルム剥離ロール部が接触しないので傷をつけることなく、積層フィルム1からリリースフィルム4を剥離することが可能となる。   According to the release film peeling apparatus 10 described above, the preliminary peeling roll 13 is rolled while being pressed from the cover lay film 2 side of the laminated film 1 so that the end of the cover lay film 2 is lifted from the release film 4 to be spared. After the separation margin L is formed and the entire surface of the cover lay film 2 is adsorbed by the adsorption head 16, the separation roll 16 rolls to peel off the release film 4 from the laminated film. By doing in this way, in the laminated film 1 of a single board, the coverlay film 2 does not warp. Moreover, since the release film peeling roll part does not contact the coverlay film 2, it becomes possible to peel the release film 4 from the laminated film 1 without scratching.

予備剥離ロール13は、積層フィルム1の移動方向に対し直交する幅寸法(Y方向寸法)よりも長く、かつ表面に粘着性を有しており、積層フィルム1を押えつつ積層フィルム吸着テーブル14の移動によって転動する構成である。このように構成される予備剥離ロール13は、粘着性を利用して偏りなく積層フィルム1を押えつつ相対的に移動することによって転動し、積層フィルム吸着テーブル14に吸着されたリリースフィルム4からカバーレイフィルム2を浮き上がらせて予備剥離代部Lを形成することが可能となる。   The preliminary peeling roll 13 is longer than the width dimension (Y direction dimension) orthogonal to the moving direction of the laminated film 1 and has adhesiveness on the surface, and holds the laminated film 1 while holding the laminated film 1. It is the structure which rolls by movement. The pre-peeling roll 13 configured as described above rolls by moving relatively while pressing the laminated film 1 without bias using the adhesiveness, and from the release film 4 adsorbed on the laminated film adsorption table 14. It is possible to form the preliminary peeling margin L by lifting the coverlay film 2.

リリースフィルム剥離ロール部15は、積層フィルム1の幅寸法よりも長く、かつ表面に粘着性を有する剥離ロール30と、剥離ロール30の下方側に、積層フィルム吸着テーブル14から剥離ロール30よりも離れた位置に配置され従動ロール31と、剥離ロール30と従動ロール31とを連結し剥離されたリリースフィルム4を移送する移送ベルト33と、から構成され、剥離ロール30及び従動ロール31には複数の溝34,35が形成されており、複数の溝それぞれに移送ベルト33が装着され、移送ベルト33が剥離ロール30の外周表面の内側に収まるように装着されている。   The release film peeling roll unit 15 is longer than the width dimension of the laminated film 1 and has a sticky surface on the surface, and on the lower side of the peeling roll 30, it is separated from the laminated film adsorption table 14 than the peeling roll 30. And a transfer belt 33 that connects the peel roll 30 and the driven roll 31 and transports the peeled release film 4. The release roll 30 and the driven roll 31 include a plurality of transfer rolls 33. Grooves 34 and 35 are formed, and a transfer belt 33 is attached to each of the plurality of grooves, and the transfer belt 33 is attached so as to fit inside the outer peripheral surface of the peeling roll 30.

このように構成されるリリースフィルム剥離ロール部15は、粘着性を有する剥離ロール30によってリリースフィルム4の幅全体に亘ってほぼ均等に巻き取るように剥離していき、剥離されたリリースフィルムは移送ベルト33によって下方に移送される。従って、剥離されたリリースフィルム4は剥離ロール30に巻きつくことなく移送ベルト33によって剥離ロール30から分離して移送することが可能となる。   The release film peeling roll unit 15 configured as described above is peeled off so as to be wound up almost uniformly over the entire width of the release film 4 by the adhesive peeling roll 30, and the peeled release film is transferred. The belt 33 is transported downward. Therefore, the released release film 4 can be separated and transferred from the peeling roll 30 by the transfer belt 33 without being wound around the peeling roll 30.

また、リリースフィルム剥離ロール部15は、剥離ロール30と従動ロール31の間において移送ベルト33と交差し、その交差部から従動ロール31側が移送ベルト33の外側に張り出すように配置される分離板36を有している。剥離ロール30によって剥離されつつあるリリースフィルム4は、移送ベルト33によって下方側(剥離ロール30から離れる方向)に移送され、分離板36によって移送ベルト33から分離され、除去することが可能となる。   Moreover, the release film peeling roll part 15 cross | intersects the transfer belt 33 between the peeling roll 30 and the driven roll 31, and the separating plate arrange | positioned so that the driven roll 31 side may protrude outside the transfer belt 33 from the crossing part. 36. The release film 4 being peeled off by the peeling roll 30 is transferred downward (in a direction away from the peeling roll 30) by the transfer belt 33, separated from the transfer belt 33 by the separation plate 36, and can be removed.

また、吸着ヘッド16は、リリースフィルム4が剥離されたカバーレイフィルム2を吸着した状態で、カバーレイフィルム2を貼着する回路基板(図示せず)の配置位置まで移動し、回路基板の所定位置にカバーレイフィルム2を加熱圧着する機能を有していることが好ましい。このような構成にすることによって、積層フィルム14からリリースフィルムを剥離し、除去する剥離機能と、カバーレイフィルム2を回路基板に加熱圧着する貼着機能とを併せ持つリリースフィルム剥離装置10を実現することが可能となる。   In addition, the suction head 16 moves to a position where a circuit board (not shown) to which the cover lay film 2 is adhered is attached in a state where the cover lay film 2 from which the release film 4 has been peeled is sucked. It is preferable that the cover lay film 2 has a function of thermocompression bonding at a position. By adopting such a configuration, a release film peeling apparatus 10 having both a peeling function for peeling and removing the release film from the laminated film 14 and a sticking function for thermocompression bonding the coverlay film 2 to the circuit board is realized. It becomes possible.

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。   It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and modifications, improvements, and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.

前述した実施形態では、1枚の単板の積層フィルム1からリリースフィルム4を剥離し、除去する例を説明したが、剥離対象の積層フィルムの数を1枚に限らずもっと増やすことが可能である。例えば、積層フィルム吸着テーブル14に、積層フィルムをY方向、又はX方向、又はY方向及びX方向に複数枚ずつ配列し、それぞれからリリースフィルムを剥離するようにしてもよい。このような場合には、積層フィルムの配列に合わせて基板吸着テーブル20に回路基板を配列しておき、リリースフィルムが剥離されたカバーレイフィルムを貼着すればよい。   In the above-described embodiment, the example in which the release film 4 is peeled from the single laminated film 1 and removed is described. However, the number of laminated films to be peeled is not limited to one and can be increased further. is there. For example, a plurality of laminated films may be arranged on the laminated film suction table 14 in the Y direction, the X direction, or the Y direction and the X direction, and the release film may be peeled from each. In such a case, the circuit board may be arranged on the substrate adsorption table 20 in accordance with the arrangement of the laminated films, and the cover lay film from which the release film has been peeled may be attached.

また、前述した実施形態では、積層フィルム1は、単板に形成したものからリリースフィルム4を剥離しているが、例えば、ロールに巻回された長尺の積層フィルムを、積層フィルム吸着テーブル14に給材する手前において、単板の積層フィルムに切断して給材するようにしてもよい。   Moreover, in embodiment mentioned above, although the laminated | multilayer film 1 has peeled the release film 4 from what was formed in the single plate, for example, the long laminated | multilayer film wound by the roll is laminated film adsorption | suction table 14. Before feeding the material, the material may be fed by cutting into a single laminated film.

また、前述した実施形態では、リリースフィルム剥離ロール部15は、積層フィルム吸着テーブルと一体でX方向に移動可能となっているが、吸着ヘッド16が積層フィルム1を吸着した後に、リリースフィルム剥離ロール部15を積層フィルム吸着テーブルに対して独立して移動可能な構成としてもよい。このような場合には、吸着ヘッド16が積層フィルム1を吸着した後に、積層フィルム吸着テーブルを初期位置に移動し、その後、リリースフィルム剥離ロール部15を移動すれば、前述した実施形態と同じような方法でリリースフィルム4を剥離、除去することが可能となる。   Moreover, in embodiment mentioned above, although the release film peeling roll part 15 is integrally movable with the lamination film adsorption | suction table and can move to a X direction, after the adsorption | suction head 16 adsorb | sucks the lamination film 1, it is a release film peeling roll. It is good also as a structure which can move the part 15 independently with respect to a lamination | stacking film adsorption | suction table. In such a case, after the suction head 16 sucks the laminated film 1, if the laminated film suction table is moved to the initial position and then the release film peeling roll unit 15 is moved, the same as in the above-described embodiment. The release film 4 can be peeled and removed by a simple method.

1…積層フィルム、2…カバーレイフィルム、3…接着剤層、4…リリースフィルム、10…リリースフィルム剥離装置、11…積層フィルム吸着テーブルユニット、13…予備剥離ロール、14…積層フィルム吸着テーブル、15…リリースフィルム剥離ロール部、16…吸着ヘッド、30…剥離ロール、31…従動ロール、33…移送ベルト、34,35…溝、36…分離板、L…予備剥離代部   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laminated film, 2 ... Coverlay film, 3 ... Adhesive layer, 4 ... Release film, 10 ... Release film peeling apparatus, 11 ... Laminated film adsorption table unit, 13 ... Preliminary peeling roll, 14 ... Laminated film adsorption table, DESCRIPTION OF SYMBOLS 15 ... Release film peeling roll part, 16 ... Adsorption head, 30 ... Release roll, 31 ... Driven roll, 33 ... Transfer belt, 34, 35 ... Groove, 36 ... Separation plate, L ... Preliminary peeling margin part

Claims (9)

熱硬化性の接着剤層を有するカバーレイフィルムと前記接着剤層に積層されたリリースフィルムとから構成される単板の積層フィルムから前記リリースフィルムを剥離し、除去するリリースフィルム剥離方法であって、
前記積層フィルムの前記リリースフィルム側を積層フィルム吸着テーブルに真空吸着する工程と、
前記積層フィルムを一方方向に移動しながら予備剥離ロールで前記積層フィルムを前記カバーレイフィルム側から押えつつ前記予備剥離ロールを転動させ、前記カバーレイフィルムの端部を前記リリースフィルムから浮き上がらせ予備剥離代部を形成する工程と、
前記積層フィルム吸着テーブルへの前記積層フィルムの吸着を解除し、前記積層フィルムの前記カバーレイフィルム側を吸着ヘッドに真空吸着する工程と、
前記吸着ヘッドが前記積層フィルムを吸着した状態で、前記リリースフィルムに粘着性を有する剥離ロールを接触させ、前記積層フィルム吸着テーブル及び前記剥離ロールを他方向に移動させることによって前記剥離ロールを転動し、前記積層フィルムから前記リリースフィルムを巻き取りつつ剥離し、除去する工程と、
を含む、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離方法。
A release film peeling method for peeling and removing the release film from a single-layer laminated film composed of a coverlay film having a thermosetting adhesive layer and a release film laminated on the adhesive layer. ,
A step of vacuum adsorbing the release film side of the laminated film to a laminated film adsorption table;
While moving the laminated film in one direction, the preliminary peeling roll rolls the preliminary peeling roll while pressing the laminated film from the coverlay film side with the preliminary peeling roll, so that the end of the coverlay film is lifted from the release film. Forming a separation margin; and
Releasing the adsorption of the laminated film to the laminated film adsorption table, and vacuum adsorbing the coverlay film side of the laminated film to an adsorption head;
With the suction head adsorbing the laminated film, the release film having adhesiveness is brought into contact with the release film, and the peeling roll is rolled by moving the laminated film adsorption table and the peeling roll in the other direction. And peeling and removing the release film from the laminated film,
including,
The release film peeling method characterized by the above-mentioned.
請求項1に記載のリリースフィルム剥離方法において、
前記予備剥離代部を形成する工程では、前記カバーレイフィルムを押えつつ前記予備剥離ロールを転動させて前記カバーレイフィルムの端部を前記リリースフィルムから浮き上がらせ、前記接着剤層に空気を触れさせる、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離方法。
In the release film peeling method of Claim 1,
In the step of forming the preliminary peeling margin, the preliminary peeling roll is rolled while pressing the cover lay film to lift the end of the cover lay film from the release film, and the adhesive layer is exposed to air. Let
The release film peeling method characterized by the above-mentioned.
請求項1または請求項2に記載のリリースフィルム剥離方法において、
前記吸着ヘッドが前記積層フィルムを真空吸着する工程では、前記吸着ヘッドによって前記予備剥離代部を含む前記積層フィルムの全面を吸着する、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離方法。
In the release film peeling method according to claim 1 or 2,
In the step of vacuum suction of the laminated film by the suction head, the whole surface of the laminated film including the preliminary peeling margin is sucked by the suction head.
The release film peeling method characterized by the above-mentioned.
請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のリリースフィルム剥離方法において、
前記リリースフィルムを剥離し、除去する工程では、前記剥離ロールで前記リリースフィルムを剥離しつつ剥離された前記リリースフィルムを移送ベルトで移送し、分離板によって前記剥離ロール及び前記移送ベルトから前記リリースフィルムを分離し、除去する、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離方法。
In the release film peeling method according to any one of claims 1 to 3,
In the step of peeling and removing the release film, the release film peeled off while being peeled off by the release roll is transferred by a transfer belt, and the release film is released from the release roll and the transfer belt by a separation plate. Separating and removing,
The release film peeling method characterized by the above-mentioned.
熱硬化性の接着剤層を有するカバーレイフィルムと前記接着剤層に積層されたリリースフィルムとから構成される単板の積層フィルムから前記リリースフィルムを剥離し、除去するリリースフィルム剥離装置であって、
前記積層フィルムの前記リリースフィルム側を真空吸着しつつ一方向に往復移動可能な積層フィルム吸着テーブルと、
前記カバーレイフィルム側から前記積層フィルムを押え、前記積層フィルム吸着テーブルの一方方向への移動によって転動しつつ前記積層フィルムの進行方向側の端部に予備剥離代部を形成する予備剥離ロールと、
前記積層フィルムの前記カバーレイフィルム側を真空吸着する吸着ヘッドと、
前記積層フィルム吸着テーブルと一体となって移動可能であり、前記吸着ヘッドが前記積層フィルムを吸着した状態で、前記予備剥離代部において剥離ロールが前記リリースフィルムに当接し、前記積層フィルム吸着テーブルの他方向への移動により前記剥離ロールが転動しつつ前記積層フィルムから前記リリースフィルムを剥離するリリースフィルム剥離ロール部と、
を有する、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離装置。
A release film peeling apparatus for peeling and removing the release film from a single laminated film composed of a coverlay film having a thermosetting adhesive layer and a release film laminated on the adhesive layer. ,
A laminated film adsorption table capable of reciprocating in one direction while vacuum adsorbing the release film side of the laminated film;
A pre-peeling roll that presses the laminated film from the coverlay film side and rolls by moving the laminated film suction table in one direction to form a pre-peeling margin at the end of the laminated film on the traveling direction side; ,
A suction head for vacuum-sucking the coverlay film side of the laminated film;
In a state where the laminated film suction table can move integrally, and the suction head sucks the laminated film, a peeling roll abuts on the release film at the preliminary peeling margin, and the laminated film suction table A release film peeling roll part for peeling the release film from the laminated film while the peeling roll is rolling by movement in the other direction;
Having
The release film peeling apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項5に記載のリリースフィルム剥離装置において、
前記予備剥離ロールは、前記積層フィルムの移動方向に対し直交する幅寸法よりも長く、かつ表面に粘着性を有しており、前記積層フィルムを押えつつ前記積層フィルム吸着テーブルの移動によって転動する構成である、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離装置。
In the release film peeling apparatus according to claim 5,
The preliminary peeling roll is longer than the width dimension orthogonal to the moving direction of the laminated film and has adhesiveness on the surface, and rolls by moving the laminated film suction table while holding the laminated film. Is the configuration,
The release film peeling apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項5又は請求項6に記載のリリースフィルム剥離装置において、
前記リリースフィルム剥離ロール部は、前記積層フィルムの幅寸法よりも長く、かつ表面に粘着性を有する前記剥離ロールと、前記剥離ロールの下方側に、前記積層フィルム吸着テーブルから前記剥離ロールよりも離れた位置に配置される従動ロールと、前記剥離ロールと前記従動ロールとを連結し剥離された前記リリースフィルムを移送する移送ベルトと、を有し、
前記剥離ロール及び前記従動ロールには複数の溝が形成されており、複数の前記溝それぞれに前記移送ベルトが装着され、
前記移送ベルトが前記剥離ロールの外周表面の内側に収まるように装着されている、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離装置。
In the release film peeling apparatus according to claim 5 or 6,
The release film peeling roll portion is longer than the width dimension of the laminated film and has adhesiveness on the surface, and is separated from the laminated film adsorption table below the peeling roll on the lower side of the peeling roll. A driven roll disposed at a position, and a transfer belt that connects the release roll and the driven roll to transfer the released release film,
A plurality of grooves are formed in the peeling roll and the driven roll, and the transfer belt is attached to each of the plurality of grooves,
The transfer belt is mounted so as to fit inside the outer peripheral surface of the peeling roll,
The release film peeling apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1から請求項7のいずれかに記載のリリースフィルム剥離装置において、
前記リリースフィルム剥離ロール部は、前記剥離ロールと前記従動ロールの間において前記移送ベルトと交差し、その交差部から前記従動ロール側が前記移送ベルトの外側に張り出すように配置される分離板を有している、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離装置。
In the release film peeling apparatus in any one of Claims 1-7,
The release film peeling roll section has a separation plate arranged so as to intersect the transfer belt between the peeling roll and the driven roll, and so that the driven roll side protrudes outside the transfer belt from the intersection. doing,
The release film peeling apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項5に記載のリリースフィルム剥離装置において、
前記吸着ヘッドは、前記リリースフィルムが剥離された前記カバーレイフィルムを吸着した状態で、前記カバーレイフィルムを貼着する回路基板の配置位置まで移動し、前記回路基板の所定位置に前記カバーレイフィルムを加熱圧着する機能を有している、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離装置。
In the release film peeling apparatus according to claim 5,
The suction head moves to a position where a circuit board to which the cover lay film is adhered is attached in a state where the cover lay film from which the release film has been peeled is sucked, and the cover lay film is moved to a predetermined position on the circuit board. Has the function of thermocompression bonding,
The release film peeling apparatus characterized by the above-mentioned.
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