JP6321997B2 - 除害装置、該除害装置で使用される掻き取り部及び軸受装置 - Google Patents
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Description
そして、例えば、シランや3フッ化窒素を無害化する場合は、燃焼分解による生成物としてシリカ(SiO2)粉末やフッ酸(HF)が発生する。
また、CVD処理如何によってはW2O5(酸化タングステン)の発生することがある。
シャフトの段差部が縮径部に対して当接されることで、シャフト回りに隙間は生じ難い。従って、ガス等の漏れにくい構造にできる。
燃焼式除害装置10の燃焼室30に配設された回転スクレーパ羽根71は定期的に手動ハンドル85により回転される。但し、手動ハンドル85に代えてモータにより自動駆動とされてもよい。
実験によれば、窒素ガスを10リットル/min流したときに、窒素ガスを流さなかったときに比べ軸受温度を270℃から80℃位にまで下げることができた。
23 燃焼室上層部
27 凹部
29 貫通穴
30 燃焼室
33 燃料・空気供給口
40 排ガス導出路
45 排ガス管路
50 シャフト軸受
51 外筒
52、54 内壁
55 穴
57 通気孔
59、69 テーパー
60 シャフト
61 軸下端部
63 メインシャフト部
65 軸上端部
71 回転スクレーパ羽根
75 ハウジング
77 パージガス導入口
79 ベアリング
81 シール
Claims (6)
- 回転自在のシャフトと、
該シャフトを支持するシャフト軸受と、
外部よりパージガスを導入するパージガス導入手段と、
前記シャフトに備えられた掻き取り部と、
該掻き取り部が配設された燃焼室と、
該燃焼室に排ガスを導入する排ガス導入手段と、
前記排ガスを燃焼させる燃焼手段とを備え、
前記パージガス導入手段で導入された前記パージガスが、前記シャフト軸受の内部を流れ、前記排ガスの前記シャフト軸受の前記内部への侵入を防止することを特徴とする除害装置。 - 前記シャフト軸受の内壁に縮径部を備え、
前記シャフトは軸端部の径が段差部を有して細く形成され、
該段差部が前記縮径部に対して当接されたことを特徴とする請求項1記載の除害装置。 - 前記シャフト軸受の内壁に縮径部を備え、
前記シャフトは軸端部の径がテーパー部を有して細く形成され、
該テーパー部が前記縮径部に対して当接されたことを特徴とする請求項1記載の除害装置。 - 前記シャフト軸受の前記内部と外部間を連通する通気孔を備え、
該通気孔を通じて前記パージガスが前記シャフト軸受の前記内部より前記外部に向けて吐出されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の除害装置。 - 回転自在のシャフトと、
該シャフトを支持するシャフト軸受と、
外部よりパージガスを導入するパージガス導入手段と、
燃焼室に排ガスを導入する排ガス導入手段と、
該排ガスを燃焼させる燃焼手段とを備え、
前記パージガス導入手段で導入された前記パージガスが、前記シャフト軸受の内部を流れ、前記排ガスの前記シャフト軸受の前記内部への侵入を防止する除害装置で使用される掻き取り部であって、
該掻き取り部は前記燃焼室に配設され、該燃焼室に付着した生成物を除去することを特徴とする掻き取り部。 - 回転自在のシャフトと、
該シャフトを支持するシャフト軸受と、
外部よりパージガスを導入するパージガス導入手段と、
前記シャフトに備えられた掻き取り部と、
該掻き取り部が配設された燃焼室と、
該燃焼室に排ガスを導入する排ガス導入手段と、
前記排ガスを燃焼させる燃焼手段とを備え、
前記パージガス導入手段で導入された前記パージガスが、前記シャフト軸受の内部を流れ、前記排ガスの前記シャフト軸受の前記内部への侵入を防止する除害装置で使用される軸受装置。
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