JP6309875B2 - イオンゲルおよびイオンゲルパターンの作製方法 - Google Patents
イオンゲルおよびイオンゲルパターンの作製方法 Download PDFInfo
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Description
以下、実施例を用いてより詳細に説明する。まず、感光性レジストとして、ポジ型フォトレジストである「MicroChem」社製S1805を用いる。これは、クレゾールノボラックに感光剤としてナフトキノンジアジドが添加されたポジ型フォトレジストである。また、イオン液体として「1-ethyl-3-methylimidazolium bis(trifluoromethylsulfonyl)imide」を用いる。
Claims (2)
- 感光性を有する感光性レジストと、前記感光性レジストに混合されたイオン液体とを備え、
前記感光性レジストは、感光剤としてナフトキノンジアジドが添加されたクレゾールノボラックからなるポジ型フォトレジストであり、
前記イオン液体は、1-ethyl-3-methylimidazolium bis(trifluoromethylsulfonyl)imideである
ことを特徴とするイオンゲル。 - 感光性を有する感光性レジストおよび前記感光性レジストに混合されたイオン液体から構成されたイオンゲルを基板の上に塗布して塗布膜を形成する第1工程と、
前記感光性レジストが感光する光源を用いたリソグラフィー技術により前記塗布膜をパターニングして前記基板の上に所望のパターン形状としたイオンゲルパターンを形成する第2工程と
を備え、
前記感光性レジストは、感光剤としてナフトキノンジアジドが添加されたクレゾールノボラックからなるポジ型フォトレジストであり、
前記イオン液体は、1-ethyl-3-methylimidazolium bis(trifluoromethylsulfonyl)imideである
ことを特徴とするイオンゲルパターンの作製方法。
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