JP6303924B2 - 水冷式光源装置 - Google Patents
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Description
例えば、実公昭48−19499号公報(特許文献1)や特許第3075094号公報(特許文献2)には、発光管の封止部内に空洞路が設けられており、光源装置の動作中において前記空洞路に冷却水を循環させることで、封止部や電極を好適に冷却することができ、高熱に伴う劣化を抑え、高出力かつ長寿命な光源装置とする技術が開示されている。
冷却水は冷却水導入管54から冷却水路55を流れて口金キャップ56内の冷却水路57を流れて冷却水導出管58から排水される。
この間に、発光管51の封止部52および電極53が冷却されるとともに、封止部52と口金キャップ56との間に設けられる接合層59が、動作中の熱によって溶解されることを防止している。
他方、ガラス部材である封止部と金属部材である口金キャップの接合手段は限られており、これらを強固に接合させることがなかなか困難であった。
特に当該光源装置は、発光管内の気密性の維持だけでなく、口金キャップ内部の水冷機構の維持も必要であり、両部材の熱膨張差に伴う応力負荷も考慮しなければならないという問題もある。
また、前記封止キャップと前記水冷ジャケットの間には、前記封止キャップの軸方向に直交する端面に緩衝部材が設けられていることを特徴とする。
また、前記発光管の両端封止部に取り付けられた前記水冷ジャケットには、該水冷ジャケット同士を軸方向に圧縮する連結固定具が取り付けられていることを特徴とする。
また、前記封止部の外周面には、前記封止キャップが低融点金属で封着される部分にメタライズ層が形成されていることを特徴とする。
本発明の水冷式光源装置1は、発光ガスが封入される発光部3とその両端に伸びる封止部4、4とからなる発光管2と、前記封止部4を冷却する水冷機構10とからなる。
水冷機構10は、前記封止部4の外部で封着され、該封止部4の内部に延びて先端部で密閉された封止キャップ11と;この封止キャップ11の内部まで伸びる冷却水導出管15と;前記封止部4の外周部に外嵌されるとともに前記導出管15が貫通される水冷ジャケット20と;この水冷ジャケット20に接続された冷却水導入管26とからなる。
図2(A)にも示されるように、発光管3の封止部4内には金属製の封止キャップ11が挿入されており、その先端部は発光部3内に臨んで密閉されていて、この実施例では、先端部に電極5が取り付けられている。
そして、封止キャップ11の鍔部11aが封止部4の後端面に当接するとともに、該鍔部11aの周縁部から封止部4の外周面に沿って伸びる円筒状縁部11bが、該封止部4に低融点材料によって封着されている。
このとき、石英ガラスなどのガラス製の封止部4の外周には、封止キャップ11が封着される部分にメタライズ層13が形成されていることが望ましい。
なお、接合層12としてフリットガラス等を用いることも可能であるが、低融点金属を用いる形態が望ましい。これは、ガラス部材と金属部材の接合においては、熱膨張差に伴う負荷がしばし問題となるが、低融点金属は、比較的塑性変形しやすい材質のため、応力の緩衝材としての役割を持ち、熱膨張差に伴う負荷を抑えることができるためである。
連結部材16の詳細が図3に示されている。連結部材16は、冷却水導出管15が挿通される円筒状本体部17と、大径鍔部18aおよび小径鍔部18bからなる鍔部18と、からなり、この鍔部18には、連通孔19が形成されていて、その一方の端部開口19bが封止キャップ11内に開口し、他方の端部開口19aが後述する水冷ジャケット20内に開口していて、封止キャップ11と水冷ジャケット20を連通している。
冷却水導出管15の外周に固定された連結部材16が、その小径鍔部18bにおいて封止キャップ11内に挿入され、大径鍔部18aが封止キャップ11の鍔部11aに当接して位置決めされる。
このとき、連結部材16と水冷ジャケット20と間には、前記封止キャップ11の軸方向に直交する端面に緩衝部材25が設けられていて、両者は、この緩衝部材25を挟んで、管軸方向に当接していて、水密状態とされている。そして、水冷ジャケット20の固定板22bには冷却水導入管26が取り付けられている。
つまり、冷却水導出管15に取り付けられた連結部材16の円筒状本体部17に、水冷ジャケット20の取り付け開口23が嵌挿されて、両者が水密状態で取り付けられ、連結部材16の小径鍔部18bが封止キャップ11内に挿入されて固定されるものである。
これにより、冷却水導入管26から導入された冷却水Wは、仕切り部材22の外周を流れてその内部に至り、発光管3の封止部4の外周部に沿って流れ、更に、連結部材16の連通孔19から封止キャップ11の内部に至り、その先端側にまで導入される。これにより、封止部4の冷却と、封止キャップ11先端の電極5の冷却がなされる。
そして、冷却水Wは、封止キャップ11の先端まで挿入された冷却水導出管15から系外に導出される。
図4に示すように、連結固定具30は、一対の保持部31、31と、これらを連結する連結部32、32とからなる。保持部31は、水冷ジャケット20の後端側に当接していて、連結部32をネジ締めすることで、水冷ジャケット20、20同士を互いに引き寄せあうように圧縮している。これにより、水冷ジャケット20、20が封止部4、4に対して強固に取り付けられる。
なお、図4においては、一対の保持部31、31として異なる構造のものを記載したが、同構造であってもよいことは勿論である。
また、封止キャップ11に挿入されたものを冷却水導出管15とし、水冷ジャケット20に取り付けられたものを冷却水導入管26としたが、冷却水の導入導出は反対であってもよく、即ち、封止キャップ11側を冷却水導入管とし、水冷ジャケット20側を冷却水導出管としてもよい。
しかも、水冷ジャケットとは別体の封止キャップを封止部に接合すればよいので、その接合構造として低融点金属を用いて封止部外部で封着できて、水密性が向上するとともに、接合強度が強固なものとなる。
2 発光管
3 発光部
4 封止部
5 電極
10 水冷機構
11 封止キャップ
12 接合層
13 メタライズ層
15 冷却水導出管
16 連結部材
17 円筒状本体部
18 鍔部
19 連通孔
20 水冷ジャケット
21 円筒状筐体
22 仕切り部材
23 取り付け開口
25 緩衝部材
26 冷却水導入管
27 封止リング
28 シール部材
30 連結固定具
31 保持部
32 連結部
W 冷却水
Claims (5)
- 発光部と封止部とからなる発光管と、前記発光管の封止部を水冷する水冷機構を備えた水冷式光源装置において、
前記水冷機構は、前記封止部の外部で低融点金属によって封着されるとともに、該封止部の内部に延びて先端部で密閉された封止キャップと、
前記封止キャップの内部まで伸びる冷却水導出管と、
前記封止キャップとは別体であって、前記封止部の外周部に外嵌されるとともに前記導出管が貫通される水冷ジャケットと、
前記水冷ジャケットに接続された冷却水導入管とからなり、
前記導入管からの冷却水が前記封止部の外周部を流れ、前記封止キャップ内部に導入されて前記導出管から流出されることを特徴とする水冷式光源装置。
- 前記水冷ジャケットは、前記封止部に外装された封止リングによって、シール部材を介在して前記封止部に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の水冷式光源装置。
- 前記封止キャップと前記水冷ジャケットは連結部材によって取り付けられ、該連結部材と前記水冷ジャケットの間には、前記封止キャップの軸方向に直交する端面に緩衝部材が設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の水冷式光源装置。
- 前記発光管の両端封止部に取り付けられた前記水冷ジャケットには、該水冷ジャケット同士を軸方向に圧縮する連結固定具が取り付けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の水冷式光源装置。
- 前記封止部の外周面には、前記封止キャップが低融点金属で封着される部分にメタライズ層が形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の水冷式光源装置。
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