JP6302002B2 - 精密整列装置を用いた高真空容器の内部の加速管変位測定システム及び方法 - Google Patents
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 49
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 27
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 24
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 12
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 238000002076 thermal analysis method Methods 0.000 description 1
- 239000003440 toxic substance Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/028—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring lateral position of a boundary of the object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H5/00—Direct voltage accelerators; Accelerators using single pulses
- H05H5/02—Details
- H05H5/03—Accelerating tubes
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
- H05H7/001—Arrangements for beam delivery or irradiation
- H05H2007/008—Arrangements for beam delivery or irradiation for measuring beam parameters
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
110、110a、110b 第1ビューポート
120、120a、120b 第2ビューポート
200 加速管
210、210a、210b 基準尺
211 表示部
300、300a、300b 精密整列装置
310 接眼レンズ部
320 調節部
330 照射部
410、410a、410b 第1レンズ装置
411 傾斜調節部
420、420a、420b 第2レンズ装置
421 光源
Claims (11)
- 内部が真空状態に形成可能な真空容器と、
前記真空容器の内部に位置する中空型の加速管と、
前記加速管の表面上に付着されて突出形成された基準尺と、
前記真空容器の一側面に所定の距離に離隔して位置する精密整列装置と、
前記精密整列装置及び前記真空容器の間に配置される第1レンズ装置と、
前記真空容器の他側に所定の距離に離隔して位置する第2レンズ装置とを含み、
前記真空容器は各一側面及び他側面上に互いに対応するように位置する第1及び第2ビューポートを備え、
前記精密整列装置、前記第1レンズ装置、前記第1ビューポート、前記基準尺、前記第2ビューポート、及び前記第2レンズ装置は、一方向の同一な軸線上に整列され、
前記精密整列装置、前記第1レンズ装置、前記第1ビューポート、前記基準尺、前記第2ビューポート、及び前記第2レンズ装置を全て一対で含んで一対が2つの軸をなして配置され、
一対の前記基準尺は前記加速管の両側に突出形成されたことを特徴とする、精密整列装置を用いた加速管変位測定システム。 - 前記第2レンズ装置は光源を含むことを特徴とする、請求項1に記載の精密整列装置を用いた加速管変位測定システム。
- 前記第1レンズ装置は傾斜調節器を含むことを特徴とする、請求項1に記載の精密整列装置を用いた加速管変位測定システム。
- 前記光源が1つの光軸を形成して前記精密整列装置、前記第1レンズ装置、前記第1ビューポート、前記基準尺、前記第2ビューポート、及び前記第2レンズ装置が前記光軸を基準に整列されることを特徴とする、請求項2に記載の精密整列装置を用いた加速管変位測定システム。
- 真空容器、精密整列装置、第1レンズ装置、第1ビューポート、基準尺、第2ビューポート、及び第2レンズ装置を含んだ精密整列装置を用いた加速管変位測定システムであって、
(a)前記精密整列装置が地面と水平を保つように調節されるステップと、
(b)前記第2レンズ装置に備えられた光源により形成された光軸を基準に前記精密整列装置、前記第1レンズ装置、第1ビューポート、前記基準尺、前記第2ビューポート、及び前記第2レンズ装置が一列に整列されるステップと、
(c)前記精密整列装置に付着されたインジケータが前記光軸が整列された状態で座標初期値を上下(X1 0 )、左右(Y1 0 )で読み取るステップと、
(d)前記基準尺が付着された加速管が前記真空容器の内部に位置した状態で前記真空容器が高真空状態に維持され、目標した高真空状態に到達されれば前記基準尺上で前記インジケータが座標変形値を垂直移動(X1 1 )、水平移動(Y1 1 )で読み取るステップと、
(e)前記(c)ステップ及び前記(d)ステップの各々で得た前記座標初期値及び座標変形値が使われて第1補正値が算出されるステップと、
を含み、
前記(b)ステップにおいて、前記精密整列装置、前記第1レンズ装置、前記第1ビューポート、前記基準尺、前記第2ビューポート、及び前記第2レンズ装置を全て一対で含んで一対が2つの軸をなして配置され、
一対の前記基準尺は前記加速管の両側に突出形成されたことを特徴とする、精密整列装置を用いた加速管変位測定方法。 - 前記(e)ステップの前記第1補正値は前記座標初期値及び前記座標変形値の差(△X1=X1 0 −X1 1 ,△Y1=Y1 0 −Y1 1 )であることを特徴とする、請求項5に記載の精密整列装置を用いた加速管変位測定方法。
- 前記精密整列装置、前記第1レンズ装置、前記第1ビューポート、前記基準尺、前記第2ビューポート、及び前記第2レンズ装置を全て一対で含んで一対が2つの軸をなして配置され、
一対の前記基準尺は前記加速管の両側に突出形成されたことを特徴とし、
前記(a)ステップ及び前記(b)ステップが前記2つの軸の軸線上に各々配置された前記精密整列装置、前記第1レンズ装置、前記第1ビューポート、前記基準尺、前記第2ビューポート、及び前記第2レンズ装置に同一に適用されることを特徴とする、請求項5に記載の精密整列装置を用いた加速管変位測定方法。 - 前記(c)ステップは、
(c1)前記精密整列装置と対をなす他の精密整列装置に付着されたインジケータが前記光軸と対をなす他の光軸の座標初期値を上下(X2 0 )、左右(Y2 0 )で読み取るステップを含み、
前記(d)ステップは、
(d1)前記目標した高真空状態に到達されれば前記基準尺と対をなす他の基準尺上で前記他の精密整列装置のインジケータが座標変形値を垂直移動(X2 1 )、水平移動(Y2 1 )で読み取るステップを含み、そして
前記(e)ステップは、
(e1)各前記(c1)ステップ及び前記(d1)ステップの各々で得た前記座標初期値及び前記座標変形値が使われて第2補正値が算出されるステップを含むことを特徴とする、請求項7に記載の精密整列装置を用いた加速管変位測定方法。 - 前記(e1)ステップの前記第2補正値は前記(c1)ステップ及び前記(d1)ステップの各々で得た前記座標初期値及び前記座標変形値の差(△X2=X2 0 −X2 1 ,△Y2=Y2 0 −Y2 1 )であることを特徴とする、請求項8に記載の精密整列装置を用いた加速管変位測定方法。
- 前記真空容器に冷媒または熱源が供給されない場合には、前記第1及び第2補正値が使われて前記真空容器と前記加速管が整列され、
前記真空容器に冷媒または熱源が供給される場合には、
(f)対で配置される前記精密整列装置、前記第1レンズ装置、前記第1ビューポート、前記基準尺、前記第2ビューポート、及び前記第2レンズ装置が前記一対の第2レンズ装置に備えられた光源が形成する一対の光軸を基準に2列に並んで整列されるステップと、
(g)前記一対の精密整列装置に付着されたインジケータが前記一対の光軸の座標値を各々垂直移動(X1 2 及びX2 2 )、水平移動(Y1 2 及びY2 2 )で読み取るステップと、
(h)前記(g)ステップで得た前記座標値(X1 2 ,Y2 2 ,Y1 2 ,Y2 2 )と前記(c)ステップで得た前記座標初期値(X1 0 ,X2 0 ,Y1 0 ,Y2 0 )が使われて補正値が算出されるステップと、
(i)前記(h)ステップで算出された補正値が使われて前記真空容器と前記加速管が整列されるステップと、
を含むことを特徴とする、請求項8に記載の精密整列装置を用いた加速管変位測定方法。 - 前記(h)ステップで算出された前記補正値は、前記(g)ステップ及び前記(c)ステップの各々で得た前記座標値及び前記座標初期値の差(ΔX1=X1 0 −X1 2 ,ΔX2=X2 0 −X2 2 ,ΔY1=Y1 0 −Y1 2 ,ΔY2=Y2 0 −Y2 2 )であることを特徴とする、請求項10に記載の精密整列装置を用いた加速管変位測定方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2015-0178387 | 2015-12-14 | ||
KR1020150178387A KR101798407B1 (ko) | 2015-12-14 | 2015-12-14 | 정밀정렬장치를 이용한 고진공 용기 내부의 가속관 변위 측정 시스템 및 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017112084A JP2017112084A (ja) | 2017-06-22 |
JP6302002B2 true JP6302002B2 (ja) | 2018-03-28 |
Family
ID=59020635
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016094058A Active JP6302002B2 (ja) | 2015-12-14 | 2016-05-09 | 精密整列装置を用いた高真空容器の内部の加速管変位測定システム及び方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10082385B2 (ja) |
JP (1) | JP6302002B2 (ja) |
KR (1) | KR101798407B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108844496B (zh) * | 2018-04-27 | 2020-07-31 | 中国科学院近代物理研究所 | 四翼型射频四极场加速器腔体的标定方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3353365B2 (ja) | 1993-03-18 | 2002-12-03 | 静岡大学長 | 変位および変位速度測定装置 |
JPH06300587A (ja) | 1993-04-16 | 1994-10-28 | Yaskawa Electric Corp | 真空用光学式位置検出装置および方法 |
JP2000208300A (ja) * | 1999-01-14 | 2000-07-28 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高精度でアライメント可能な加速器及び当該加速器における高精度アライメント方法 |
US6496273B1 (en) | 1999-05-05 | 2002-12-17 | Renishaw Plc | Position determining apparatus for coordinate positioning machine |
JP2001223100A (ja) * | 2000-02-09 | 2001-08-17 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 加速管位置調整装置 |
JP2003046614A (ja) | 2001-07-27 | 2003-02-14 | Toshiba Corp | 移動無線端末装置 |
JP4457353B2 (ja) * | 2005-11-25 | 2010-04-28 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 調整ボルトの操作方法および電磁石の位置・姿勢調整方法 |
DE112006003999B4 (de) | 2006-09-15 | 2016-12-15 | Trimble Jena Gmbh | Korrektur von Kalibrierungsfehlern in einem optischen Instrument |
JP2008157955A (ja) | 2006-11-28 | 2008-07-10 | Toyonaka Kenkyusho:Kk | 変位測定方法ならびに変位測定装置および変位測定用ターゲット |
KR101575757B1 (ko) | 2014-03-12 | 2015-12-09 | 기초과학연구원 | 중이온 선형 가속기의 가속관 고압 세척 장치 |
KR101595767B1 (ko) | 2014-04-23 | 2016-02-22 | 기초과학연구원 | 중이온 가속관의 극저온 성능 시험장치 |
-
2015
- 2015-12-14 KR KR1020150178387A patent/KR101798407B1/ko active IP Right Grant
-
2016
- 2016-05-09 JP JP2016094058A patent/JP6302002B2/ja active Active
- 2016-05-20 US US15/160,871 patent/US10082385B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017112084A (ja) | 2017-06-22 |
KR101798407B1 (ko) | 2017-11-17 |
KR20170070926A (ko) | 2017-06-23 |
US20170167851A1 (en) | 2017-06-15 |
US10082385B2 (en) | 2018-09-25 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170509 |
|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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