JP6301796B2 - 有機化合物除去装置 - Google Patents
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- 試料に紫外線を照射する紫外線ランプと、前記試料および前記紫外線ランプを囲んで真空の雰囲気に保つチャンバと、前記チャンバを大気圧から排気する排気手段と、を備えた有機化合物除去装置において、
前記チャンバ内の圧力を測定する真空計と前記真空計から信号を受けて前記紫外線ランプを制御する制御部を設け、
前記制御部は前記排気手段を通って排気されるオゾン濃度が0.05ppm以下となるように前記チャンバ内の圧力がオゾンの発生が抑制される圧力の酸素分圧である第一閾値よりも小さくなると前記紫外線ランプを点灯させ、
前記制御部は前記排気手段を通って排気されるオゾン濃度が0.05ppmを超えないように前記第一閾値よりも大きい第二閾値を設定し、前記チャンバ内の圧力が前記第二閾値よりも大きくなると前記紫外線ランプを消灯させるように制御することを特徴とする有機化合物除去装置。
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