JP6285645B2 - 排水処理方法及び排水処理装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態の超純水製造システムの構成を示すブロック図である。図1に示す超純水製造システム1は、原水を処理する前処理装置10と、排水を処理する排水処理装置20とを備えている。排水処理装置20は、逆浸透膜装置(RO)21と、逆浸透膜装置21の被処理水にアルミニウム剤を供給するアルミニウム剤供給装置22を備えている。アルミニウム剤供給装置22は例えば逆浸透膜装置20の被処理水の供給管に分岐して設けられた分岐管上に備えられている。
本実施形態に係る超純水製造システム2の構成を図2に示す。以下の説明において、図1と共通の機能を有する装置は同一の符号を付して示し、重複する説明を省略する。
図2に示す超純水製造システム2と同様の超純水製造システムを次の装置で構成した。実施例1で用いた装置の仕様は次のとおりである。
活性炭装置(AC)23:F400(カルゴン カーボン ジャパン株式会社製)
2段逆浸透膜装置(RO)21a,21b:TML20−400(東レ株式会社製)
処理水ピットT1:容量500m3
2段逆浸透膜装置(RO)33a:TML20D(東レ株式会社製)
33b:SU−720(東レ株式会社製)
膜脱気装置(MDG)34:X−40(ポリポア社製)
電気脱イオン装置(EDI)35:E−CELL MK3(GE社製)
紫外線酸化装置(TOC−UV)36:SUV−8000TOC(日本フォトサイエンス社製)
混床式イオン交換装置(MB)37:イオン交換樹脂としてDuolite MBGP(ローム・アンド・ハース社製)を充填したもの
膜脱気装置(MDG)38:X−40(ポリポア社製)
紫外線酸化装置(TOC−UV)41:SUV−8000TOC(日本フォトサイエンス社製)
非再生式ポリッシャー(Polisher)42:イオン交換樹脂としてDuolite MBGP(ローム・アンド・ハース社製)を充填したもの
膜脱気装置(MDG)43:X−40(ポリポア社製)
限外ろ過装置(UF)44:OLT―6036V(旭化成株式会社製)
TOC計:Anatel A1000XP(商品名、HACH社製)
比抵抗率計:比抵抗モニター
過酸化水素濃度計:NOXIA−LII(商品名(登録商標)、野村マイクロ・サイエンス(株)社製)
各種金属:誘導結合プラズマ質量分析計
各種イオン:イオンクロマトグラフィー装置
実施例1で用いた工業用水及び排水の水質を、上記以外の水質とともに表1に示す。
純水に、フッ化水素酸、硫酸及びアンモニア水を添加してpH2.5、フッ素濃度5mg/L、硫酸イオン(SO4 2−)濃度200mg/Lに調整し、実施例1の排水を模擬した模擬排水を作成した。この模擬排水に、塩化アルミニウムを添加してアルミニウム濃度を7mg/Lとし、これを逆浸透膜装置(ダウ・ケミカル社製逆浸透膜モジュール、商品名BW30 4040の1本)に流量210L/hr、水回収率75%で供給したときの通水差圧を測定した。ここで、通水差圧=[(供給水圧力+濃縮水圧力)/2−透過水圧力]で計算される値である。また、逆浸透膜装置の透過水のフッ素濃度は0.3mg/Lであった。
実施例2において、塩化アルミニウムを添加しない以外は実施例2と同様に模擬排水を処理した場合の逆浸透膜装置の透過水のフッ素濃度は、4.3mg/Lであった。
実施例2で用いた模擬排水に水酸化ナトリウム水溶液を添加してpH6とし、さらに塩化アルミニウムを添加してアルミニウム濃度を7mg/Lとした。これを逆浸透膜装置(ダウ・ケミカル社製逆浸透膜モジュール、商品名BW30 4040の1本)に流量210L/hr、水回収率75%で供給し、このときの通水差圧を測定した。
Claims (7)
- pHが5以下のフッ素含有排水にアルミニウム剤を添加する工程と、
アルミニウム剤の添加された前記排水を逆浸透膜によってろ過する工程と
を有し、
前記排水は、使用済み超純水であり、
前記逆浸透膜は、スパイラル型膜又はホローファイバ型膜であり、ポリアミドからなることを特徴とする排水処理方法。 - 前記アルミニウム剤は、硫酸アルミニウム、塩化アルミニウム及びポリ塩化アルミニウムから選ばれる1種以上であることを特徴とする請求項1記載の排水処理方法。
- 前記アルミニウム剤の量は、前記排水中のフッ素モル量1に対してアルミニウムモル量が0.1〜3.5となる量であることを特徴とする請求項1又は2記載の排水処理方法。
- 前記逆浸透膜は、第1段目の逆浸透膜と前記第1段目の逆浸透膜でろ過した前記排水をろ過する第2段目の逆浸透膜とからなり、
アルミニウム剤の添加された前記排水を前記第1段目の逆浸透膜でろ過した後さらに前記第2段目の逆浸透膜でろ過することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の排水処理方法。 - 前記逆浸透膜は、第1段目の逆浸透膜と前記第1段目の逆浸透膜でろ過した前記排水をろ過する第2段目の逆浸透膜とからなり、
前記アルミニウム剤は、前記第1段目の逆浸透膜でろ過した前記排水のみに添加することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の排水処理方法。 - フッ素含有排水を供給する排水供給部と、
前記排水にアルミニウム剤を添加するアルミニウム剤添加装置と、
アルミニウム剤の添加された前記排水をろ過する逆浸透膜装置と
を有し、前記排水は、使用済み超純水であり、前記逆浸透膜は、スパイラル型膜又はホローファイバ型膜であり、ポリアミドからなることを特徴とする排水処理装置。 - 請求項6記載の排水処理装置の下流側に、前記排水処理装置で処理された排水処理水を処理する一次純水製造部を有する超純水製造システム。
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