JP6284425B2 - 空間電荷分布測定における電荷密度の校正方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明が適用された校正方法を行う空間電荷分布測定装置1の全体構成と、測定対象となる測定試料とを示した図である。
次に、空間電荷分布測定装置1を用いた空間電荷分布測定における電荷密度の校正方法について具体的に説明する。
直流電圧を印加しない状態、具体的には測定試料2を短絡状態で、パルス電圧のみを測定試料に印加して電圧信号V1を測定する。具体例として、パルスジェネレータ152を駆動して10nsecで−250Vのパルス電圧を測定試料に印加した時に、オシロスコープ162により測定した電圧信号V1を図2に示す。
直流電圧を測定試料2に印加した状態で、パルス電圧を測定試料2に印加して電圧信号V2を測定する。具体例として、直流電源151を駆動して−2kVの直流電圧を印加した状態でパルスジェネレータ152を駆動して10nsecで−250Vのパルス電圧を測定試料2に印加した時に、オシロスコープ162により測定した電圧信号V2を図3に示す。
ステップ2で印加した直流電圧を降圧した後に、直流電圧を測定試料2に印加しない状態、具体的には測定試料2を短絡状態で、パルス電圧のみを測定試料2に印加して電圧信号V3を測定する。具体例として、電圧信号V2の取得後に直流電圧を降圧させて接地した状態で、パルスジェネレータ162を駆動して10nsecで−250Vのパルス電圧を測定試料2に印加した時に、オシロスコープ162により測定した電圧信号V3を図4に示す。
V2−V3+V1を電圧信号V4として、これを基準波形、つまり、校正用電圧信号として校正を行う。
比較例として、電圧信号V2に電荷が蓄積していないものとみなして校正した結果について説明する。具体的に、電圧信号V2から空間電荷密度を得て、空間電荷密度を積分して得られた電界分布と電位分布に基づいて校正した時の、電圧信号V2に対応する空間電荷密度を図6に示す。図6に示す空間電荷密度は、上述の通り、電圧信号V1、V3が一致せず測定試料内部に電荷が蓄積されているので、この校正結果は間違っている。
他の実施形態として、以下では、電線またはケーブルを測定対象とした空間電荷分布測定装置の全体構成について、図8を参照して説明する。
11 上部電極
12 半導体シート
13 下部電極
14 圧電素子14
15 電源回路
16 測定処理部
2 測定試料
Claims (2)
- パルス電圧のみが印加された測定試料の内部を伝搬して前記測定試料の表面に到達した圧力波を、圧電素子を用いて変換することにより電圧信号V1を測定する第1ステップと、
前記第1ステップの後、直流電圧が印加された状態で前記パルス電圧が印加された前記測定試料の内部を伝搬して前記測定試料の表面に到達した圧力波を、前記圧電素子を用いて変換することにより電圧信号V2を測定する第2ステップと、
前記第2ステップの後、前記直流電圧を降圧直後に接地した状態で前記パルス電圧が印加された前記測定試料から、前記測定試料の内部を伝搬して前記測定試料の表面に到達した圧力波を、前記圧電素子を用いて電圧信号に変換することにより電圧信号V3を測定する第3ステップと、
前記電圧信号V2―前記電圧信号V3+前記電圧信号V1により算出される電圧信号V4を取得する第4ステップと、
前記電圧信号V4に基づいて、空間電荷分布測定における電荷密度を校正する第5ステップと、
を有することを特徴とする空間電荷分布測定における電荷密度の校正方法。 - 前記測定試料が、導体と、前記導体を被覆する絶縁体と、前記絶縁体を被覆する金属遮蔽層とを有する電線またはケーブルであり、前記電線または前記ケーブルは、前記金属遮蔽層を剥がして前記絶縁体を露出させた測定部位及び前記測定部位の両端の前記金属遮蔽層で覆われている部位とを有し、前記パルス電圧は、前記測定部位に取り付けられた第1電極及び前記金属遮蔽層で覆われている部位に取り付けられた第2電極を介して印加されることを特徴とする請求項1記載の空間電荷分布測定における電荷密度の校正方法。
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