JP6267491B2 - 流体切換装置 - Google Patents
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Description
(1)流量を制御された第1流体が導入される第1流路。
(2)流量を制御された第2流体が導入される第2流路。
(3)前記第1流体または第2流体を導出するための第1導出流路。
(4)前記第1流体または第2流体を排出するための第2導出流路。
(5)前記第1流路が前記第1導出流路に連通するとともに前記第2流路が前記第2導出流路に連通する態様と、前記第2流路が前記第1導出流路に連通するとともに前記第1流路が前記第2導出流路に連通する態様とを切り換える切換機構。
(6)前記第2導出流路の圧力を前記第1導出流路の圧力に近づけるべく制御する圧力制御機構。
そのために、この流体切換装置100は、図1に示すように、以下の構成要素を有している。
(b)導入された各原ガスを異なる比率で混合して組成の違う2種類のガス(請求項でいう第1流体および第2流体に相当し、以下、第1ガスG1及び第2ガスG2という。)を生成するガス混合機構3。
(c)前記ガス混合機構3から出力される、流量の制御された第1ガスG1および第2ガスG2がそれぞれ流れる第1流路11及び第2流路12。
(d)前記第1ガスG1または第2ガスG2を送出するための送出流路21(請求項でいう第1導出流路に相当する。)。
(e)前記第1ガスG1または第2ガスG2を排出するための排出流路22(請求項でいう第2導出流路に相当する。)。
(f)前記第1流路11が前記送出流路21に連通するとともに前記第2流路12が前記排出流路22に連通する第1連通態様と、前記第2流路12が前記送出流路21に連通するとともに前記第1流路11が前記排出流路22に連通する第2接続態様とを切り換える切換機構4。
(j)前記排出流路22の圧力を前記送出流路21の圧力に近づけるべく制御する圧力制御機構5。
第1導入ポートIP1及び第2導入ポートIP2は、例えば、この流体切換装置100が収容されている筐体に形成したものであり、この第1導入ポートIP1及び第2導入ポートIP2に、種類の異なる原ガスを貯留した例えばタンク(図示しない)がそれぞれ配管を介して接続されている。
なお、ここでは第1ガスG1と第2ガスG2との組成は異なる一方、その流量は同一又は異なるようにしてある。
可変絞り弁53、54は、例えばピエゾ素子によって絞り開度を調整できるようにしたものであるが、電磁式のもの等であってもよい。
この実施形態における流体切換装置100は、上述した構成要素(a)〜(j)の他に、図1中符号61、62、71〜74で示される構成要素を有している。
前記切換機構4によって、第1ガスG1と第2ガスG2とが交互に送出ポートOTPから送出されるが、このとき、圧力制御機構5がないものと比べると、切換時に生じるガス流量の立ち上がりの鈍りやハンチングが飛躍的に軽減される。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、図2に示すように、圧力制御機構5における可変絞り弁53、54を一方の流路(図2では送出流路21)のみに設けても構わない。
切換機構4には、開閉弁ではなく、図4に示すように、三方弁49a、49bを用いても構わない。
ガス混合機構3は、必須ではない。
前記実施形態では、排出流路22によって第1ガスG1又は第2ガスG2を排出していたが、排出ではなく、別に利用するようにしてもよい。
その他、本発明は、その趣旨に反しない範囲で様々な変形が可能である。
11・・・第1流路
G1・・・第1ガス(第1流体)
12・・・第2流路
G2・・・第2ガス(第2流体)
21・・・送出流路(第1導出流路)
22・・・排出流路(第2導出流路)
3・・・切換機構
4・・・圧力制御機構
Claims (5)
- 流量を制御された第1流体が導入される第1流路と、
流量を制御された第2流体が導入される第2流路と、
前記第1流体または第2流体を導出するための第1導出流路と、
前記第1流体または第2流体を排出するための第2導出流路と、
前記第1流路が前記第1導出流路に連通するとともに前記第2流路が前記第2導出流路に連通する第1連通態様と、前記第2流路が前記第1導出流路に連通するとともに前記第1流路が前記第2導出流路に連通する第2連通態様とを切り換える切換機構と、
前記第2導出流路の圧力と前記第1導出流路の圧力とを取得して比較しながら前記第2導出流路の圧力を前記第1導出流路の圧力に近づけるべく制御する圧力制御機構とを具備することを特徴とする流体切換装置。 - 前記第1流路に設けられる第1可変絞り弁と、
前記第2流路に設けられる第2可変絞り弁と、をさらに具備し、
前記切換機構が、前記第1流路の前記第1可変絞り弁よりも下流側が前記第1導出流路に連通するとともに前記第2流路の前記第2可変絞り弁よりも下流側が前記第2導出流路に連通する第1連通態様と、前記第2流路の前記第2可変絞り弁よりも下流側が前記第1導出流路に連通するとともに前記第1流路の前記第1可変絞り弁よりも下流側が前記第2導出流路に連通する第2連通態様とを切り換えるものである請求項1記載の流体切換装置。 - 前記第1導出流路が、前記第1流体または第2流体を他機器に供給するためのものであり、
前記第2導出流路が、前記第1流体または第2流体を排出するためのものである請求項1記載の流体切換装置。 - 前記切換機構よりも下流側の流路上に設けられた流体抵抗部材をさらに具備している請求項1記載の流体切換装置。
- 前記第1流路が2本に分岐してその一方が第1導出流路に、その他方が第2導出流路に接続されており、
前記第2流路が2本に分岐してその一方が第1導出流路に、その他方が第2導出流路に接続されており、
前記切換機構が、分岐した第1流路のいずれか一方を開通させるとともに他方を閉止する第1切換弁と、分岐した第2流路のいずれか一方を開通させ、他方を閉止する第2切換弁とを具備したものであり、
前記流体抵抗部材が、分岐した一対の第1流路および分岐した一対の第2流路のそれぞれに設けてある請求項4記載の流体切換装置。
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