JP6264885B2 - ガラス基板及びガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Description
前記端部の端面形状は曲面であり、
前記ガラス基板の断面視において、
前記端部の最先端から前記主表面に対して平行方向に25μmの距離における前記端部の前記主表面に対して直交方向の幅W1が160μm以上であり、
前記端部の最先端から25μmの距離における前記端部の厚さ方向の幅W1と、前記ガラス基板の厚さW2との比(W1/W2)が49%以上90%以下であることを特徴とするガラス基板が提供される。
〔第1の実施形態〕
本実施形態では、先ず本発明に係るガラス基板の加工工程(手順)の一例について説明する。図3は本発明の第1の実施形態におけるガラス基板端部の加工の流れを示す工程図である。
ガラス基板の端部を研削する際の研削方法としては、例えば以下の方法がある。
(1)研削形状に対応した研削溝を有する総型砥石を用いた研削方法
(2)カップ状に形成されたカップ砥石を用いた研削方法
(3)円盤形状に形成されたマルチ砥石を用いた研削方法
(4)テープの表面に遊離砥粒が塗布されたテープを用いたテープ研磨方法
ここで、上記方法の何れかにより研削されるガラス基板Gの端部の形状について説明する。図4は、研削されるガラス基板Gの端部形状を拡大して示す縦断面図である。図4に示されるように、砥石等により研削されるガラス基板Gの端部形状は、顕微鏡により拡大されたガラス基板Gの画像に計測用の規準線を重ねてガラス基板Gの各寸法を計測する計測装置を用いて以下の手順により規定される。
G ガラス基板
K1 第1基準線
K2 第2基準線
J 輪郭線
L 距離
R 曲率半径
W1 幅(距離)
W2 幅(厚さ)
Claims (6)
- 主表面と端部とを有し、前記端部が研削されたガラス基板であって、
前記端部の端面形状は曲面であり、
前記ガラス基板の断面視において、
前記端部の最先端から前記主表面に対して平行方向に25μmの距離における前記端部の前記主表面に対して直交方向の幅W1が160μm以上であり、
前記端部の最先端から25μmの距離における前記端部の厚さ方向の幅W1と、前記ガラス基板の厚さW2との比(W1/W2)が49%以上90%以下であることを特徴とするガラス基板。 - 主表面と端部とを有し、前記端部が研削されたガラス基板であって、
前記端部の端面形状は曲面であり、
前記ガラス基板の断面視において、
前記端部の最先端から前記主表面に対して平行方向に50μmの距離における前記端部の前記主表面に対して直交方向の幅W1が230μm以上であり、
前記端部の最先端から50μmの距離における前記端部の厚さ方向の幅W1と、前記主表面の厚さW2との比(W1/W2)が67%以上100%未満であることを特徴とするガラス基板。 - 主表面と端部とを有し、前記端部が研削されたガラス基板であって、
前記端部の端面形状は曲面であり、
前記ガラス基板の断面視において、
前記端部の最先端から前記主表面に対して平行方向に25μmの距離における前記端部の前記主表面に対して直交方向の幅W1が160μm以上であり、前記端部の最先端から25μmの距離における前記端部の厚さ方向の幅W1と、前記ガラス基板の厚さW2との比(W1/W2)が49%以上90%以下であり、且つ、
前記端部の最先端から前記主表面に対して平行方向に50μmの距離における前記端部の前記主表面に対して直交方向の幅W1が230μm以上であり、前記端部の最先端から50μmの距離における前記端部の厚さ方向の幅W1と、前記主表面の厚さW2との比(W1/W2)が67%以上100%未満であることを特徴とするガラス基板。 - 前記最先端を含む端面の曲率半径は、160μm以上であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のガラス基板。
- ガラス基板の端部を請求項1〜4の何れかに記載されたガラス基板の端部形状に研削する工程と、
前記ガラス基板の主表面をエッチング処理によりスリミング加工する工程と、
を有するガラス基板の製造方法。 - 前記エッチング処理は、前記ガラス基板を垂直状態又は所定角度傾斜させた傾斜状態に保持し、前記ガラス基板の前記主表面に対し側方からエッチング液を吹き付ける請求項5に記載のガラス基板の製造方法。
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