JP6261820B2 - 電気音響変換フィルム原反、電気音響変換フィルム、および、その製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、加工されて、スピーカやマイクロフォンなどの音響デバイス等に用いられる電気音響変換フィルムとなる電気音響変換フィルム原反、および、電気音響変換フィルム、ならびに、これらの製造方法に関する。

液晶ディスプレイや有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイなど、ディスプレイの薄型化に対応して、これらの薄型ディスプレイに用いられるスピーカにも軽量化・薄型化が要求されている。このような軽量・薄型なスピーカとして、印加電圧に応答して伸縮する性質を有するシート状の圧電フィルムを採用することが考えられている。

例えば、特許文献１には、圧電フィルムとして、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ：Poly VinyliDene Fluoride）の一軸延伸フィルムを高電圧で分極処理したものを用いることが記載されている。
このような圧電フィルムをスピーカとして採用するためには、フィルム面に沿った伸縮運動をフィルム面の振動に変換する必要がある。この伸縮運動から振動への変換は、圧電フィルムを湾曲させた状態で周辺保持することにより達成され、これにより、圧電フィルムをスピーカとして機能させることが可能になる。

また、薄型のスピーカに利用可能な圧電フィルムとして、本願出願人は、特許文献２に開示される、常温で粘弾性を有する高分子材料からなる粘弾性マトリックス中に圧電体粒子を分散してなる高分子複合圧電体と、高分子複合圧電体の両面に形成された薄膜電極と、薄膜電極の表面に形成された保護層とを有する電気音響変換フィルムを提案した。

このような圧電フィルムは、印加電圧に応じて伸縮する圧電体層の両面に、圧電体層に電圧を印加するための電極対を構成する２つの薄膜電極が形成されており、２つの薄膜電極には、配線を接続する必要がある。
一方で、薄型スピーカとして用いられる圧電フィルムは、スピーカの薄型化のみならず、応答性や再生可能帯域の広帯域化等の観点からも薄型化する必要がある。しかしながら、蒸着膜のような薄い電極層では、ハンダ付け等によって配線を接続することが難しい。
また、薄膜電極への配線は、圧電体層の両面の薄膜電極間の絶縁を確保しつつ行う必要が有るが、圧電体層の厚さが数十μｍ程度と薄いため、容易ではない。

これに対して、本願出願人は、特許文献３において、薄膜電極および保護層が、圧電体層の面方向外部に、凸状に突出する電極引出し部を有する構成の電気音響変換フィルムを提案した。このような構成により、薄膜電極から電極を引出して、ハンダ付けによる配線の接続を容易に行うことができ、さらに、この電極の引出しを、両面の薄膜電極間の絶縁を確保して行うことができる。

特開２００８−２９４４９３号公報 特開２０１４−１４０６３号公報 特開２０１４−２０９７２４号公報

特許文献３には、薄膜電極および保護層が、圧電体層の面方向外部に、凸状に突出する電極引出し部を有する構成の電気音響変換フィルムを作製する方法として、圧電体層と薄膜電極および保護層とを全面的に積層した後に、溶剤を染み込ませた綿棒等で圧電体層を擦ってその一部を溶解、除去することで、凸状に突出する電極引出し部を設ける方法が記載されている。

しかしながら、圧電体層と薄膜電極および保護層とを積層した後に、電極引出し部となる部分の圧電体層を溶解して除去する方法は、薄膜電極まで溶かしてしまうなど薄膜電極を傷つけてしまうおそれがあった。また、作業工数が多くなり、設備投資が嵩み、高コストとなってしまうという問題があった。
また、電極引出し部を凸状に突出する形状に形成するので、電気音響変換フィルムを作製する際に、予め、電極引出し部の位置を決定しておく必要があり、作製後に、電極引出し部の位置を変更することはできない。したがって、電極引出し部の位置や形状等が異なる、多種多様な形状の電気音響変換フィルムを作製する場合には、電器音響変換フィルムごとに、電極引出し部を形成する工程での作製条件を変更する必要があり、生産性を高くできないという問題があった。

本発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決することにあり、薄膜電極を傷つけることなく、また、作業工数を減らしてコストを低減でき、また、電極引出し部の箇所を自由に決めることができ、生産性の高い電気音響変換フィルム原反、電気音響変換フィルム、電気音響変換フィルム原反の製造方法および電気音響変換フィルムの製造方法を提供することにある。

この課題を解決するために、本発明者らは、１つの薄膜電極と１つの保護層とが積層されてなる電極積層体を準備する準備工程、および、電極積層体と、圧電体層とを積層する積層工程を有し、積層工程において、電極積層体と圧電体層とを積層する際に、薄膜電極の少なくとも１つの端部に圧電体層と接着されない未接着部を設けることにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、以下の構成の電気音響変換フィルム原反、電気音響変換フィルム、電気音響変換フィルム原反の製造方法および電気音響変換フィルムの製造方法を提供する。

（１） 誘電性を有する圧電体層、圧電体層の両面にそれぞれ形成される２つの薄膜電極と、２つの薄膜電極上それぞれに形成される２つの保護層と、を有する電気音響変換フィルム原反の製造方法であって、
１つの薄膜電極と１つの保護層とが積層されてなる電極積層体を準備する準備工程、および、
電極積層体と、圧電体層とを積層する積層工程を有し、
積層工程において、電極積層体と圧電体層とを積層する際に、薄膜電極の少なくとも１つの端部に圧電体層と接着されない未接着部を設ける電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（２） 積層工程は、電極積層体の薄膜電極上に、圧電体層となる塗布組成物を塗布した後、硬化して圧電体層を形成して、電極積層体と圧電体層とを積層する第１積層工程であり、
第１積層工程において、塗布組成物を塗布する際に、薄膜電極の少なくとも１つの端部を、塗布組成物の塗布を行わない塗料未塗布部とすることで、未接着部を形成する（１）に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（３） 積層工程は、圧電体層と、電極積層体の薄膜電極側とを貼り合わせて、電極積層体と圧電体層とを積層する第２積層工程であり、
第２積層工程において、薄膜電極の少なくとも１つの端部を、圧電体層と貼り合わせない未貼合部とすることで、未接着部を形成する（１）に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（４） 準備工程は、大きさの異なる２つの電極積層体を準備する工程であり、
積層工程として、
大きい方の電極積層体の薄膜電極上に、圧電体層となる塗布組成物を塗布した後、硬化して圧電体層を形成して、大きい方の電極積層体と圧電体層とを積層する第１積層工程と、
大きい方の電極積層体と積層された圧電体層の、大きい方の電極積層体が積層された面とは反対側の面に、小さい方の電極積層体の薄膜電極側を貼り合わせて、小さい方の電極積層体と圧電体層とを積層する第２積層工程と、を有し、
第１積層工程において、塗布組成物を塗布する際に、薄膜電極の少なくとも１つの端部を、塗布組成物の塗布を行わない塗料未塗布部とすることで、未接着部を形成し、
第２積層工程において、薄膜電極の少なくとも１つの端部を、圧電体層と貼り合わせない未貼合部とすることで、未接着部を形成する（１）に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（５） 第２積層工程は、電極積層体の薄膜電極側に、接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、接着剤を介して圧電体層と電極積層体とを貼り合わせる貼合工程とを有し、
接着剤塗布工程において、薄膜電極の少なくとも１つの端部を、接着剤の塗布を行わない接着剤未塗布部とすることで、未接着部を形成する（３）または（４）に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（６） 第２積層工程は、圧電体層と電極積層体とを圧着して貼り合わせるものであり、
薄膜電極の少なくとも１つの端部を、圧電体層と圧着しない未圧着部とすることで、未接着部を形成する（３）〜（５）のいずれかに記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（７） 第２積層工程において、薄膜電極の少なくとも１つの端部をマスキングして、圧電体層と電極積層体とを貼り合わせることで、未接着部を形成する（３）〜（６）のいずれかに記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（８） 第２積層工程において圧電体層に積層される薄膜電極の、圧電体層の主面に垂直な方向から見た際の面積が、圧電体層の面積よりも小さい（３）〜（７）のいずれかに記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（９） 未接着部の幅が、５〜２０ｍｍである（１）〜（８）のいずれかに記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（１０） 薄膜電極の主面の形状が四角形状であり、薄膜電極の対向する２辺それぞれの側の端部を未接着部とする（１）〜（９）のいずれかに記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（１１） 電極積層体の厚さが、４〜２０μｍである（１）〜（１０）のいずれかに記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（１２） 圧電体層が、常温で粘弾性を有する高分子材料からなる粘弾性マトリックス中に圧電体粒子を分散してなる高分子複合圧電体である（１）〜（１１）のいずれかに記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（１３） 高分子材料の動的粘弾性測定による周波数１Ｈｚでの損失正接Ｔａｎδが０．５以上となる極大値が０〜５０℃の温度範囲に存在する（１２）に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（１４） 高分子材料が、シアノエチル基を有するものである（１２）または（１３）に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（１５） 高分子材料が、シアノエチル化ポリビニルアルコールである（１２）〜（１４）のいずれかに記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
（１６） （１）〜（１５）のいずれかに記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法で作製された電気音響変換フィルム原反を、所定の形状に切断する切断工程を有し、
切断工程において、薄膜電極の未接着部の少なくとも一部を残す形状に切断する電気音響変換フィルムの製造方法。
（１７） 誘電性を有する圧電体層と、圧電体層の一方の主面に形成される上部薄膜電極と、圧電体層の他方の主面に形成される下部薄膜電極と、上部薄膜電極上に形成される上部保護層と、下部薄膜電極上に形成される下部保護層とを有する電気音響変換フィルム原反であって、
圧電体層の主面に垂直な方向から見た際の、下部薄膜電極の面積が、圧電体層の面積よりも大きく、かつ、下部薄膜電極の少なくとも１つの端部に、圧電体層が積層されていない未接着部を有し、
圧電体層の主面に垂直な方向から見た際の、上部薄膜電極の面積が、圧電体層の面積よりも小さく、かつ、上部薄膜電極の少なくとも１つの端部に、圧電体層と接着されていない未接着部を有する電気音響変換フィルム原反。
（１８） 誘電性を有する圧電体層と、圧電体層の両面にそれぞれ形成される２つの薄膜電極と、２つの薄膜電極上それぞれに形成される２つの保護層とを有する電気音響変換フィルム原反であって、
圧電体層の主面に垂直な方向から見た際の、２つの薄膜電極それぞれの面積が、圧電体層の面積よりも小さく、かつ、薄膜電極それぞれの少なくとも１つの端部に、圧電体層と接着されていない未接着部を有する電気音響変換フィルム原反。
（１９） 誘電性を有する圧電体層と、圧電体層の両面にそれぞれ形成される２つの薄膜電極と、２つの薄膜電極上それぞれに形成される２つの保護層とを有する電気音響変換フィルムであって、
圧電体層、２つの薄膜電極、および、２つの保護層が、同一形状で、かつ、互いに接着された領域と、
圧電体層、２つの薄膜電極、および、２つの保護層が、積層方向に互いに重複し、かつ、圧電体層と２つの薄膜電極とが互いに接着されない領域とを有する電気音響変換フィルム。

このような本発明の電気音響変換フィルム原反、電気音響変換フィルム、電気音響変換フィルム原反の製造方法および電気音響変換フィルムの製造方法によれば、薄膜電極を傷つけることがなく、また、作業工数を減らしてコストを低減でき、また、電極引出し部の箇所を自由に決めることができ、生産性を高くできる。

本発明の電気音響変換フィルム原反の一例を模式的に示す概略斜視図である。 図１ＡのＢ−Ｂ線断面図である。 電気音響変換フィルム原反の一部拡大断面図である。 本発明の電気音響変換フィルム原反の他の一例の概略断面図である。 本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法の一例を説明するための概念図である。 本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法の一例を説明するための概念図である。 本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法の一例を説明するための概念図である。 本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法の一例を説明するための概念図である。 本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法の一例を説明するための概念図である。 本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法の一例を説明するための概略斜視図である。 本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法の一例を説明するための概略斜視図である。 本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法の一例を説明するための概略斜視図である。 本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法の他の一例を説明するための概略斜視図である。 本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法の他の一例を説明するための概略斜視図である。 本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法の他の一例を説明するための概略斜視図である。 本発明の電気音響変換フィルムの製造方法における、切断工程を説明するための概略斜視図である。 本発明の電気音響変換フィルムを利用する圧電スピーカの一例を説明するための概念図である。 本発明の電気音響変換フィルムを利用する圧電スピーカの一例を説明するための概念図である。 本発明の電気音響変換フィルムを利用する圧電スピーカの一例を説明するための概念図である。

以下、本発明の電気音響変換フィルム原反、電気音響変換フィルム、電気音響変換フィルム原反の製造方法および電気音響変換フィルムの製造方法について、添付の図面に示される好適実施形態を基に、詳細に説明する。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。
なお、本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
ここで、本願において、『電気音響変換フィルム原反』とは、スピーカ等の電気音響変換器に組み込まれる、最終的な形状の電気音響変換フィルムに加工（カット）される前の状態のものであり、所定の大きさのフィルム状物（枚葉式）であってもよいし、長尺なフィルム状物であってもよい。長尺なフィルム状物の場合には、ロール状に巻き回されていてもよく、電気音響変換フィルムに加工する際に、電気音響変換フィルム原反を巻き回したロールから電気音響変換フィルム原反を送り出して加工すればよい。

［電気音響変換フィルム原反］
まず、本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法で作製される本発明の電気音響変換フィルム原反について説明する。
本発明の電気音響変換フィルム原反の第１態様は、誘電性を有する圧電体層と、圧電体層の一方の主面に形成される上部薄膜電極と、圧電体層の他方の主面に形成される下部薄膜電極と、上部薄膜電極上に形成される上部保護層と、下部薄膜電極上に形成される下部保護層とを有する電気音響変換フィルム原反であって、圧電体層の主面に垂直な方向から見た際の、下部薄膜電極の面積が、圧電体層の面積よりも大きく、かつ、下部薄膜電極の少なくとも１つの端部に、圧電体層が積層されていない未接着部を有し、圧電体層の主面に垂直な方向から見た際の、上部薄膜電極の面積が、圧電体層の面積よりも小さく、かつ、上部薄膜電極の少なくとも１つの端部に、圧電体層と接着されていない未接着部を有する電気音響変換フィルム原反である。

第１態様の電気音響変換フィルム原反の構成を図１Ａおよび図１Ｂを用いて説明する。
図１Ａは、本発明の第１態様の電気音響変換フィルム原反の一例を示す概略斜視図であり、図１Ｂは、図１ＡのＢ−Ｂ線断面図である。
図１Ａおよび図１Ｂに示す電気音響変換フィルム原反（以下、「変換フィルム原反」ともいう）１０は、基本的に、電界の状態に応じて伸縮する圧電体層１２と、圧電体層１２の一面に設けられる下部薄膜電極１４と、下部薄膜電極１４の表面に設けられる下部保護層１８と、圧電体層１２の他面に設けられる上部薄膜電極１６と、上部薄膜電極１６の表面に設けられる上部保護層２０と、を有して構成される。

ここで、図１Ａおよび図１Ｂに示すように、変換フィルム原反１０は、圧電体層１２の主面に垂直な方向から見た際の、下部薄膜電極１４の面積が、圧電体層１２の面積よりも大きく、下部薄膜電極１４の対向する２つの端辺それぞれの側に、圧電体層１２が積層されていない未接着部Ｃ₁を有する。すなわち、図１Ｂ中左右方向の、下部薄膜電極１４の幅が、圧電体層１２の幅よりも大きい。
また、圧電体層１２の主面に垂直な方向から見た際の、上部薄膜電極１６の面積は、圧電体層１２の面積よりも一回り小さく、また、圧電体層１２と上部薄膜電極１６とは接着剤層１７を介して接着されており、上部薄膜電極１６の面積は、接着剤層１７の面積よりも大きく、図１Ｂ中左右方向の、上部薄膜電極１６の幅が、接着剤層１７の幅よりも大きい。したがって、上部薄膜電極１６の対向する２つの端辺それぞれの側に、接着剤層１７が形成されない領域、すなわち、圧電体層１２と接着されていない未接着部Ｃ₂を有する。

下部薄膜電極１４の未接着部Ｃ₁、および、上部薄膜電極１６の未接着部Ｃ₂はそれぞれ、形成される側の端辺に平行な方向に延在し、この端辺に隣接する一方の端辺から他方の端辺までの領域に、すなわち、この端辺側の長手方向の全域に形成されている。
また、２つの未接着部Ｃ₁、および、２つの未接着部Ｃ₂はいずれも、圧電体層１２の同じ対向する２つの端辺側に形成されている。

図２に示すように、下部薄膜電極１４の未接着部Ｃ₁、および、上部薄膜電極１６の未接着部Ｃ₂は、配線３６が接続される部位、すなわち、電極引出し部である。電極引出し部に配線３６を接続することで、薄膜電極と外部の装置等を電気的に導通できる。

本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法では、このような電極引出し部となる未接着部Ｃ₁および未接着部Ｃ₂を、薄膜電極の損傷を防止して、また、作業工数を減らしコストを低減して、形成することができる。
この点に関しては、後に詳述する。

また、未接着部Ｃ₁および未接着部Ｃ₂を、薄膜電極の少なくとも１つの端部の全域に設けるので、多種多様な形状の変換フィルムを作製する際に、作製した変換フィルム原反をカットして所望の形状に形成することで、電極引出し部の位置を自由に決めることができ、デザインの自由度が高いため、生産性を高くすることができる。

ここで、未接着部Ｃ₁および未接着部Ｃ₂それぞれの、対応する端辺に垂直な方向の幅には特に限定はないが、配線との接続を容易にする、実質的な駆動面の大きさを確保する等の観点から、５〜２０ｍｍが好ましく、８〜１５ｍｍがより好ましい。

また、図示例においては、下部薄膜電極１４には２つの未接着部Ｃ₁を有する構成としたが、これに限定はされず、少なくとも１つの未接着部Ｃ₁を有していればよく、下部薄膜電極１４の４つの端辺それぞれの側に未接着部Ｃ₁を設けて、４つの未接着部Ｃ₁を有する構成としてもよい。
同様に、図示例においては、上部薄膜電極１６には２つの未接着部Ｃ₂を有する構成としたが、これに限定はされず、少なくとも１つの未接着部Ｃ₂を有していればよく、上部薄膜電極１６の４つの端辺それぞれの側に未接着部Ｃ₂を設けて、４つの未接着部Ｃ₂を有する構成としてもよい。

また、図示例においては、２つの未接着部Ｃ₁を、対向する２つの端辺側に設ける構成としたが、これに限定はされず、２つの未接着部Ｃ₁を、隣接する２つの端辺側に設ける構成としてもよい。
同様に、２つの未接着部Ｃ₂も隣接する２つの端辺側に設ける構成としてもよい。

なお、未接着部の数が多いほど、作製した電気音響変換フィルム原反をカットして所望の形状の電気音響変換フィルムを作製する際のデザインの自由度をより高くできる。しかしながら、未接着部を３辺以上に設ける場合や、２つの未接着部を隣接する２つの端辺側に設ける場合には、いわゆるロール・ツー・ロールによる製造工程を適用しにくい等、製造工程が複雑になるおそれがある。
したがって、２つの未接着部を対向する２つの端辺側に設ける構成とするのが好ましい。

また、図示例においては、下部薄膜電極１４の未接着部Ｃ₁と、上部薄膜電極１６の未接着部Ｃ₂とは、圧電体層１２の同じ端辺側に形成される構成としたが、これに限定はされず、未接着部Ｃ₁と未接着部Ｃ₂とが、圧電体層１２の互いに異なる端辺側に形成される構成としてもよい。

また、図示例においては、上部薄膜電極１６は、接着剤層１７を介して圧電体層１２に接着されているが、これに限定はされず、接着剤層１７を有さず、上部薄膜電極１６と圧電体層１２とが圧着等により直接接着されていてもよい。

次に、本発明の電気音響変換フィルム原反の第２態様について説明する。
本発明の電気音響変換フィルム原反の第２態様は、誘電性を有する圧電体層と、圧電体層の両面にそれぞれ形成される２つの薄膜電極と、２つの薄膜電極上それぞれに形成される２つの保護層とを有する電気音響変換フィルム原反であって、圧電体層の主面に垂直な方向から見た際の、２つの薄膜電極それぞれの面積が、圧電体層の面積よりも小さく、かつ、薄膜電極それぞれの少なくとも１つの端部に、圧電体層と接着されていない未接着部を有する電気音響変換フィルム原反である。

第２態様の電気音響変換フィルム原反の構成を、図３を用いて説明する。
図３は、本発明の第２態様の電気音響変換フィルム原反の一例を示す概略断面図である。
図３に示す変換フィルム原反１０ｂは、圧電体層１２と、圧電体層１２の一面に設けられる下部薄膜電極１４ｂと、下部薄膜電極１４ｂの表面に設けられる下部保護層１８ｂと、圧電体層１２の他面に設けられる上部薄膜電極１６と、上部薄膜電極１６の表面に設けられる上部保護層２０と、を有して構成される。
なお、図３に示す変換フィルム原反１０ｂは、下部薄膜電極１４および下部保護層１８に代えて、下部薄膜電極１４ｂ、下部保護層１８ｂおよび接着剤層１７を有する以外は、図１Ｂに示す変換フィルム原反１０と同様の構成を有するので、同じ部位には同じ符号を付し、以下の説明では異なる部位を主に行う。

図３に示すように、変換フィルム原反１０ｂは、圧電体層１２の主面に垂直な方向から見た際の、下部薄膜電極１４ｂの面積が、圧電体層１２の面積よりも小さく、また、圧電体層１２と下部薄膜電極１４ｂとは接着剤層１５を介して接着されており、下部薄膜電極１４ｂの面積は、接着剤層１５の面積よりも大きく、下部薄膜電極１４ｂの対向する２つの端辺それぞれの側に、接着剤層１５が形成されない領域である未接着部Ｃ₁を有する。
すなわち、下部薄膜電極１４ｂおよび下部保護層１８ｂは、圧電体層１２の反対側の面に積層される以外は、上部薄膜電極１６および上部保護層２０と同様の構成を有する。

本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法では、第２態様の変換フィルム原反を作製する場合においても、未接着部Ｃ₁および未接着部Ｃ₂を、薄膜電極の損傷を防止して、また、作業工数を減らしコストを低減して、形成することができる。
また、第２態様の変換フィルム原反も、未接着部Ｃ₁および未接着部Ｃ₂を、薄膜電極の少なくとも１つの端部の全域に設けるので、多種多様な形状の変換フィルムを作製する際に、作製した変換フィルム原反をカットして所望の形状に形成することで、電極引出し部の位置を自由に決めることができ、デザインの自由度が高いため、生産性を高くすることができる。

［電気音響変換フィルム］
本発明の電気音響変換フィルム（以下、「変換フィルム」ともいう）は、上述の変換フィルム原反を所望の形状に切断（カット）して得られる変換フィルムであり、薄膜電極の未接着部の少なくとも一部を残した形状を有する（図８参照）。
したがって、本発明の変換フィルムは、誘電性を有する圧電体層と、圧電体層の両面にそれぞれ形成される２つの薄膜電極と、２つの薄膜電極上それぞれに形成される２つの保護層とを有する変換フィルムであって、圧電体層、２つの薄膜電極、および、２つの保護層が、同一形状で、かつ、互いに接着された領域と、圧電体層、２つの薄膜電極、および、２つの保護層が、積層方向に互いに重複し、かつ、圧電体層と２つの薄膜電極とが互いに接着されない領域とを有する変換フィルムである。
カットの際に残した未接着部の少なくとも一部の領域が、圧電体層と２つの薄膜電極とが互いに接着されない領域であり、電極引出し部として利用される（図２参照）。

なお、本発明の変換フィルム原反は、カットせずにそのまま変換フィルムとして用いることも可能である。

次に、変換フィルム原反および変換フィルムの各構成要素の材料および構成等について説明する。

〔圧電体層〕
本発明の変換フィルム原反において、圧電体層１２は、圧電性を有し、電界の状態に応じて面内方向に伸縮する層である。
図１Ｂならびに図３に示す変換フィルム原反の圧電体層１２は、高分子材料からなるマトリックス２４中に、圧電体粒子２６を分散した高分子複合圧電体である。
また、好ましくは、圧電体層１２は、分極処理されている。
また、圧電体層１２中の圧電体粒子２６は、粘弾性マトリックス２４中に、規則性を持って分散されていても、不規則に分散されていてもよい。

ここで、圧電体層１２を構成する高分子複合圧電体のマトリックス２４（マトリックス兼バインダ）の材料として、常温で粘弾性を有する高分子材料を用いるのが好ましい。
本発明の変換フィルム原反に用いられる高分子複合圧電体（圧電体層１２）は、次の用件を具備したものであるのが好ましい。従って、以下の要件を具備する材料として、常温で粘弾性を有する高分子材料を用いるのが好ましい。
なお、本明細書において、「常温」とは、０〜５０℃程度の温度域を指す。

（ｉ） 可撓性
例えば、携帯用として新聞や雑誌のように書類感覚で緩く撓めた状態で把持する場合、絶えず外部から、数Hz以下の比較的ゆっくりとした、大きな曲げ変形を受けることになる。この時、高分子複合圧電体が硬いと、その分大きな曲げ応力が発生し、高分子マトリックスと圧電体粒子との界面で亀裂が発生し、やがて破壊に繋がる恐れがある。従って、高分子複合圧電体には適度な柔らかさが求められる。また、歪みエネルギーを熱として外部へ拡散できれば応力を緩和することができる。従って、高分子複合圧電体の損失正接が適度に大きいことが求められる。
（ii） 音質
スピーカは、２０Ｈｚ〜２０ｋＨｚのオーディオ帯域の周波数で圧電体粒子を振動させ、その振動エネルギーによって振動板（高分子複合圧電体）全体が一体となって振動することで音が再生される。従って、振動エネルギーの伝達効率を高めるために高分子複合圧電体には適度な硬さが求められる。また、スピーカの周波数特性が平滑であれば、曲率の変化に伴い最低共振周波数ｆ_０が変化した際の音質の変化量も小さくなる。従って、高分子複合圧電体の損失正接は適度に大きいことが求められる。

以上をまとめると、本発明の変換フィルム原反に用いる高分子複合圧電体は、２０Ｈｚ〜２０ｋＨｚの振動に対しては硬く、数Ｈｚ以下の振動に対しては柔らかく振る舞うことが求められる。また、高分子複合圧電体の損失正接は、２０ｋＨｚ以下の全ての周波数の振動に対して、適度に大きいことが求められる。

一般に、高分子固体は粘弾性緩和機構を有しており、温度上昇あるいは周波数の低下とともに大きなスケールの分子運動が貯蔵弾性率（ヤング率）の低下（緩和）あるいは損失弾性率の極大（吸収）として観測される。その中でも、非晶質領域の分子鎖のミクロブラウン運動によって引き起こされる緩和は、主分散と呼ばれ、非常に大きな緩和現象が見られる。この主分散が起きる温度がガラス転移点（Ｔｇ）であり、最も粘弾性緩和機構が顕著に現れる。
高分子複合圧電体（圧電体層１２）において、ガラス転移点が常温にある高分子材料、言い換えると、常温で粘弾性を有する高分子材料をマトリックスに用いることで、２０Ｈｚ〜２０ｋＨｚの振動に対しては硬く、数Ｈｚ以下の遅い振動に対しては柔らかく振舞う高分子複合圧電体が実現する。特に、この振舞いが好適に発現する等の点で、周波数１Ｈｚでのガラス転移温度が常温、すなわち、０〜５０℃にある高分子材料を、高分子複合圧電体のマトリックスに用いるのが好ましい。

常温で粘弾性を有する高分子材料としては、公知の各種のものが利用可能である。好ましくは、常温、すなわち０〜５０℃において、動的粘弾性試験による周波数１Ｈｚにおける損失正接Ｔａｎδの極大値が、０．５以上有る高分子材料を用いる。
これにより、高分子複合圧電体が外力によってゆっくりと曲げられた際に、最大曲げモーメント部における高分子マトリックス／圧電体粒子界面の応力集中が緩和され、高い可撓性が期待できる。

また、高分子材料は、動的粘弾性測定による周波数１Ｈｚでの貯蔵弾性率（Ｅ’）が、０℃において１００ＭＰａ以上、５０℃において１０ＭＰａ以下、であることが好ましい。
これにより、高分子複合圧電体が外力によってゆっくりと曲げられた際に発生する曲げモーメントが低減できると同時に、２０Ｈｚ〜２０ｋＨｚの音響振動に対しては硬く振る舞うことができる。

また、高分子材料は、比誘電率が２５℃において１０以上有ると、より好適である。これにより、高分子複合圧電体に電圧を印加した際に、高分子マトリックス中の圧電体粒子にはより高い電界が掛かるため、大きな変形量が期待できる。
しかしながら、その反面、良好な耐湿性の確保等を考慮すると、高分子材料は、比誘電率が２５℃において１０以下であるのも、好適である。

このような条件を満たす高分子材料としては、シアノエチル化ポリビニルアルコール（シアノエチル化ＰＶＡ）、ポリ酢酸ビニル、ポリビニリデンクロライドコアクリロニトリル、ポリスチレン−ビニルポリイソプレンブロック共重合体、ポリビニルメチルケトン、および、ポリブチルメタクリレート等が例示される。また、これらの高分子材料としては、ハイブラー５１２７（株式会社クラレ製）などの市販品も、好適に利用可能である。なかでも、シアノエチル基を有する材料を用いることが好ましく、シアノエチル化ＰＶＡを用いるのが特に好ましい。
なお、これらの高分子材料は、１種のみを用いてもよく、複数種を併用（混合）して用いてもよい。

このような常温で粘弾性を有する高分子材料を用いるマトリックス２４は、必要に応じて、複数の高分子材料を併用してもよい。
すなわち、マトリックス２４には、誘電特性や機械特性の調整等を目的として、シアノエチル化ＰＶＡ等の粘弾性材料に加え、必要に応じて、その他の誘電性高分子材料を添加しても良い。

添加可能な誘電性高分子材料としては、一例として、ポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン共重合体及びポリフッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン共重合体等のフッ素系高分子、シアン化ビニリデン−酢酸ビニル共重合体、シアノエチルセルロース、シアノエチルヒドロキシサッカロース、シアノエチルヒドロキシセルロース、シアノエチルヒドロキシプルラン、シアノエチルメタクリレート、シアノエチルアクリレート、シアノエチルヒドロキシエチルセルロース、シアノエチルアミロース、シアノエチルヒドロキシプロピルセルロース、シアノエチルジヒドロキシプロピルセルロース、シアノエチルヒドロキシプロピルアミロース、シアノエチルポリアクリルアミド、シアノエチルポリアクリレート、シアノエチルプルラン、シアノエチルポリヒドロキシメチレン、シアノエチルグリシドールプルラン、シアノエチルサッカロース及びシアノエチルソルビトール等のシアノ基あるいはシアノエチル基を有するポリマー、ニトリルゴムやクロロプレンゴム等の合成ゴム等が例示される。
中でも、シアノエチル基を有する高分子材料は、好適に利用される。
また、圧電体層１２のマトリックス２４において、シアノエチル化ＰＶＡ等の常温で粘弾性を有する材料に加えて添加される誘電性ポリマーは、１種に限定はされず、複数種を添加してもよい。

また、誘電性ポリマー以外にも、ガラス転移点Ｔｇを調整する目的で、塩化ビニル樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、メタクリル樹脂、ポリブテン、イソブチレン、等の熱可塑性樹脂や、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂、マイカ、等の熱硬化性樹脂を添加しても良い。
更に、粘着性を向上する目的で、ロジンエステル、ロジン、テルペン、テルペンフェノール、石油樹脂、等の粘着付与剤を添加しても良い。

圧電体層１２のマトリックス２４において、シアノエチル化ＰＶＡ等の粘弾性材料以外のポリマーを添加する際の添加量には、特に限定は無いが、マトリックス２４に占める割合で３０重量％以下とするのが好ましい。
これにより、マトリックス２４における粘弾性緩和機構を損なうことなく、添加する高分子材料の特性を発現できるため、高誘電率化、耐熱性の向上、圧電体粒子２６や電極層との密着性向上等の点で好ましい結果を得ることができる。

なお、本発明においては、マトリックス２４の材料は、常温で粘弾性を有する高分子材料に限定はされず、上記の誘電性ポリマー等を用いることもできる。

圧電体粒子２６は、ペロブスカイト型或いはウルツ鉱型の結晶構造を有するセラミックス粒子からなるものである。
圧電体粒子２６を構成するセラミックス粒子としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸ジルコン酸ランタン酸鉛（ＰＬＺＴ）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、および、チタン酸バリウムとビスマスフェライト（ＢｉＦｅ３）との固溶体（ＢＦＢＴ）等が例示される。

このような圧電体粒子２６の粒径は、変換フィルム原反のサイズや用途に応じて、適宜、選択すれば良いが、本発明者の検討によれば、１〜１０μｍが好ましい。
圧電体粒子２６の粒径を上記範囲とすることにより、高い圧電特性とフレキシビリティとを両立できる等の点で好ましい結果を得ることができる。

なお、図１においては、圧電体層１２中の圧電体粒子２６は、マトリックス２４中に、規則性を持って、均一に分散されているが、不規則に分散されていてもよい。

また、本発明の変換フィルム原反において、圧電体層１２中におけるマトリックス２４と圧電体粒子２６との量比は、変換フィルム原反の面方向の大きさや厚さ、変換フィルム原反の用途、変換フィルム原反に要求される特性等に応じて、適宜、設定すればよい。
ここで、本発明者の検討によれば、圧電体層１２中における圧電体粒子２６の体積分率は、３０〜７０％が好ましく、特に、５０％以上とするのが好ましく、従って、５０〜７０％とするのが、より好ましい。
マトリックス２４と圧電体粒子２６との量比を上記範囲とすることにより、高い圧電特性とフレキシビリティとを両立できる等の点で好ましい結果を得ることができる。

また、本発明の変換フィルム原反において、圧電体層１２の厚さには、特に限定はなく、変換フィルム原反のサイズ、変換フィルム原反の用途、変換フィルム原反に要求される特性等に応じて、適宜、設定すればよい。
ここで、本発明者の検討によれば、圧電体層１２の厚さは５〜１００μｍが好ましく、５〜５０μｍがより好ましく、５〜３０μｍが特に好ましい。
圧電体層１２の厚さを、上記範囲とすることにより、剛性の確保と適度な柔軟性との両立や、応答性や再生可能帯域の広帯域化等の点で好ましい結果を得ることができる。
なお、圧電体層１２は、分極処理（ポーリング）されているのが好ましいのは、前述のとおりである。分極処理に関しては、後に詳述する。

また、上記実施形態においては、圧電体層１２として、高分子複合圧電体を用いたが、本発明は、これに限定はされず、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）等の圧電性を有する高分子圧電材料を用いてもよい。
なお、一軸延伸されたＰＶＤＦは、その圧電特性に面内異方性があるのに対し、高分子複合圧電体は面内異方性がないため、ＰＶＤＦと比較してより好適に伸縮運動を前後運動に変換することができ、十分な音量と音質を得ることができる点で好ましい。

〔保護層〕
図１Ｂならびに図３に示すように、本発明の変換フィルム原反は、圧電体層１２を下部薄膜電極１４および上部薄膜電極１６で挟持し、この積層体を下部保護層１８および上部保護層２０で挟持してなる構成を有する。
変換フィルム原反において、下部保護層１８および上部保護層２０は、高分子複合圧電体に適度な剛性と機械的強度を付与する役目を担っている。すなわち、本発明の変換フィルム原反において、マトリックス２４と圧電体粒子２６とからなる高分子複合圧電体（圧電体層１２）は、ゆっくりとした曲げ変形に対しては、非常に優れた可撓性を示す一方で、用途によっては、剛性や機械的強度が不足する場合がある。変換フィルム原反は、それを補うために下部保護層１８および上部保護層２０が設けられる。
なお、下部保護層１８および上部保護層２０は、配置位置および大きさが異なるのみで、構成は同じであるので、以下の説明においては、下部保護層１８および上部保護層２０を区別する必要がない場合には、両部材をまとめて、保護層ともいう。

保護層には、特に限定はなく、各種のシート状物が利用可能であり、一例として、各種の樹脂フィルム（プラスチックフィルム）が好適に例示される。中でも、優れた機械的特性および耐熱性を有するなどの理由により、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリフェニレンサルファイト（ＰＰＳ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、および、環状オレフィン系樹脂が好適に利用される。

保護層の厚さにも、特に、限定は無い。また、保護層の厚さは、基本的に同じであるが、異なってもよい。
ここで、保護層の剛性が高過ぎると、圧電体層１２の伸縮を拘束するばかりか、可撓性も損なわれるため、機械的強度やシート状物としての良好なハンドリング性が要求される場合を除けば、保護層は、薄いほど有利である。

ここで、本発明者の検討によれば、保護層の厚さがそれぞれ、圧電体層１２の厚さの２倍以下であれば、剛性の確保と適度な柔軟性との両立等の点で好ましい結果を得ることができる。
例えば、圧電体層１２の厚さが５０μｍで下部保護層１８および上部保護層２０がＰＥＴからなる場合、下部保護層１８および上部保護層２０の厚さはそれぞれ、１００μｍ以下が好ましく、５０μｍ以下がより好ましく、中でも２５μｍ以下とするのが好ましい。

〔薄膜電極〕
本発明の変換フィルム原反において、圧電体層１２と下部保護層１８との間には下部薄膜電極１４が、圧電体層１２と上部保護層２０との間には上部薄膜電極１６が、それぞれ形成される。
下部薄膜電極１４および上部薄膜電極１６は、圧電体層１２に電圧を印加するために設けられる。
なお、下部薄膜電極１４および上部薄膜電極１６は、大きさおよび配置位置が異なるのみで、構成は同じであるので、以下の説明においては、下部薄膜電極１４および上部薄膜電極１６を区別する必要がない場合には、両部材をまとめて、薄膜電極ともいう。

本発明において、薄膜電極の形成材料には、特に、限定はなく、各種の導電体が利用可能である。具体的には、炭素、パラジウム、鉄、錫、アルミニウム、ニッケル、白金、金、銀、銅、クロムおよびモリブデン等や、これらの合金、酸化インジウムスズ等が例示される。中でも、銅、アルミニウム、金、銀、白金、および、酸化インジウムスズのいずれかが、好適に例示される。

また、薄膜電極の形成方法にも、特に限定はなく、真空蒸着やスパッタリング等の気相堆積法（真空成膜法）やめっきによる成膜や、上記材料で形成された箔を貼着する方法等、公知の方法が、各種、利用可能である。

中でも特に、変換フィルム原反の可撓性が確保できる等の理由で、真空蒸着によって成膜された銅やアルミニウムの薄膜は、薄膜電極として、好適に利用される。その中でも特に、真空蒸着による銅の薄膜は、好適に利用される。
薄膜電極の厚さには、特に、限定は無い。また、薄膜電極の厚さは、基本的に同じであるが、異なってもよい。

ここで、前述の保護層と同様に、薄膜電極の剛性が高過ぎると、圧電体層１２の伸縮を拘束するばかりか、可撓性も損なわれるため、薄膜電極は、電気抵抗が高くなり過ぎない範囲であれば、薄いほど有利である。

ここで、本発明者の検討によれば、薄膜電極の厚さとヤング率との積が、保護層の厚さとヤング率との積を下回れば、可撓性を大きく損なうことがないため、好適である。
例えば、保護層がＰＥＴ（ヤング率：約６．２ＧＰａ）で、薄膜電極が銅（ヤング率：約１３０ＧＰａ）からなる組み合わせの場合、保護層の厚さが２５μｍだとすると、薄膜電極の厚さは、１．２μｍ以下が好ましく、０．３μｍ以下がより好ましく、中でも０．１μｍ以下とするのが好ましい。

前述のように、本発明の変換フィルム原反は、マトリックス２４に圧電体粒子２６を分散してなる圧電体層１２（高分子複合圧電体）を、下部薄膜電極１４および上部薄膜電極１６で挟持し、さらに、この積層体を、下部保護層１８および上部保護層２０で挟持してなる構成を有する。
このような本発明の変換フィルム原反は、動的粘弾性測定による周波数１Ｈｚでの損失正接（Ｔａｎδ）が０．５以上となる極大値が常温に存在するのが好ましい。
これにより、変換フィルム原反が外部から数Ｈｚ以下の比較的ゆっくりとした、大きな曲げ変形を受けたとしても、歪みエネルギーを効果的に熱として外部へ拡散できるため、高分子マトリックスと圧電体粒子との界面で亀裂が発生するのを防ぐことができる。

また、本発明の変換フィルム原反は、動的粘弾性測定による周波数１Ｈｚでの貯蔵弾性率（Ｅ’）が、０℃において１０〜３０ＧＰａ、５０℃において１〜１０ＧＰａであるのが好ましい。
これにより、常温で変換フィルム原反が貯蔵弾性率（Ｅ’）に大きな周波数分散を有することができる。すなわち、２０Ｈｚ〜２０ｋＨｚの振動に対しては硬く、数Ｈｚ以下の振動に対しては柔らかく振る舞うことができる。

また、本発明の変換フィルム原反は、厚さと動的粘弾性測定による周波数１Ｈｚでの貯蔵弾性率（Ｅ’）との積が、０℃において１．０×１０⁶〜２．０×１０⁶（１．０Ｅ＋０６〜２．０Ｅ＋０６）Ｎ／ｍ、５０℃において１．０×１０⁵〜１．０×１０⁶（１．０Ｅ＋０５〜１．０Ｅ＋０６）Ｎ／ｍであるのが好ましい。
これにより、変換フィルム原反が可撓性および音響特性を損なわない範囲で、適度な剛性と機械的強度を備えることができる。

さらに、本発明の変換フィルム原反は、動的粘弾性測定から得られたマスターカーブにおいて、２５℃、周波数１ｋＨｚにおける損失正接（Ｔａｎδ）が０．０５以上であるのが好ましい。
これにより、変換フィルム原反から切り出した変換フィルムを用いたスピーカの周波数特性が平滑になり、スピーカの曲率の変化に伴い最低共振周波数ｆ_０が変化した際の音質の変化量も小さくできる。

［電気音響変換フィルム原反の製造方法］
次に、本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法について説明する。
本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法は、誘電性を有する圧電体層、圧電体層の両面にそれぞれ形成される２つの薄膜電極と、２つの薄膜電極上それぞれに形成される２つの保護層と、を有する電気音響変換フィルム原反の製造方法であって、
１つの薄膜電極と１つの保護層とが積層されてなる電極積層体を準備する準備工程、および、
電極積層体と、圧電体層とを積層する積層工程を有し、
積層工程において、電極積層体と圧電体層とを積層する際に、薄膜電極の少なくとも１つの端部に圧電体層と接着されない未接着部を設ける電気音響変換フィルム原反の製造方法である。

ここで、積層工程は、電極積層体の薄膜電極上に、圧電体層となる塗布組成物を塗布した後、硬化して圧電体層を形成して、電極積層体と圧電体層とを積層する工程であり、塗布組成物を塗布する際に、薄膜電極の少なくとも１つの端部を、塗布組成物の塗布を行わない塗料未塗布部とすることで、未接着部を形成する第１積層工程、および、圧電体層と、電極積層体の薄膜電極側とを貼り合わせて、電極積層体と圧電体層とを積層する工程であり、薄膜電極の少なくとも１つの端部を、圧電体層と貼り合わせない未貼合部とすることで、未接着部を形成する第２積層工程の少なくとも一方である。
ここで、電極積層体は、圧電体層の両面に積層される。したがって、積層工程として、圧電体層の一方の面に電極積層体を積層する際には第１積層工程を行い、他方の面に電極積層体を積層する際には第２積層工程を行ってもよいし、両面共に第２積層工程で積層してもよい。

以下、本発明の電気音響変換フィルム原反の製造方法（以下、「本発明の製造方法」ともいう）を、図４Ａ〜図４Ｅ、および、図５Ａ〜図５Ｃを用いて説明する。
図４Ａ〜図４Ｅは、本発明の製造方法の一例を説明するための概念図であり、図５Ａ〜図５Ｃは、第２積層工程を説明するための概略斜視図である。
以下の説明においては、図１Ａおよび図１Ｂに示す電気音響変換フィルム原反１０を作製する製造方法を説明することにより、本発明の製造方法の説明を行う。

〔準備工程〕
準備工程は、１つの薄膜電極と１つの保護層とが積層されてなる電極積層体を準備する工程である。
まず、図４Ａに示すような、下部薄膜電極１４と下部保護層１８とが積層されてなるシート状物である下部電極積層体１１ａを準備する。
また、図４Ｅに示す、上部薄膜電極１６と上部保護層２０とが積層されてなるシート状物である上部電極積層体１１ｃを準備する。

下部電極積層体１１ａは、下部保護層１８の表面に、真空蒸着、スパッタリング、めっき等によって下部薄膜電極１４として銅薄膜等を形成して、作製すればよい。
同様に、上部電極積層体１１ｃは、上部保護層２０の表面に、真空蒸着、スパッタリング、めっき等によって上部薄膜電極１６として銅薄膜等を形成して、作製すればよい。

ここで、上部電極積層体１１ｃの主面は、下部電極積層体１１ａの主面よりも小さい。図示例においては、上部電極積層体１１ｃの主面と、下部電極積層体１１ａの主面の一方の長さは同じで、他方の長さが異なっている。

保護層が非常に薄く、ハンドリング性が悪い時などは、必要に応じて、セパレータ（仮支持体）付きの保護層を用いても良い。尚、セパレータとしては、厚さ２５〜１００μｍのＰＥＴ等を用いることができる。なお、セパレータは、薄膜電極および保護層の積層後に、取り除けばよい。
あるいは、保護層の上に銅薄膜等が形成された、市販品を電極積層体として利用してもよい。

〔第１積層工程〕
第１積層工程は、電極積層体の薄膜電極上に、圧電体層となる塗布組成物を塗布した後、硬化して圧電体層を形成して、電極積層体と圧電体層とを積層する工程である。本発明においては、この第１積層工程において、塗布組成物を塗布する際に、薄膜電極の少なくとも１つの端部を、塗布組成物の塗布を行わない塗料未塗布部とすることで、未接着部を形成する。

まず、有機溶媒に、シアノエチル化ＰＶＡ等のマトリックスの材料となる高分子材料を溶解し、さらに、ＰＺＴ粒子等の圧電体粒子２６を添加し、攪拌して分散してなる塗布組成物（塗料）を調製する。
なお、有機溶媒としては特に限定はなく、各種の有機溶媒が利用可能である。

次に、前述の下部電極積層体１１ａを準備し、かつ、塗料を調製したら、この塗料を下部電極積層体１１ａの下部薄膜電極１４側にキャスティング（塗布）して、有機溶媒を蒸発して乾燥する。これにより、図４Ｂに示すように、下部保護層１８の上に下部薄膜電極１４を有し、下部薄膜電極１４の上に圧電体層１２を形成してなる積層体１１ｂを作製する。

ここで、前述のとおり、この第１積層工程において、塗布組成物を塗布する際に、電極積層体の下部薄膜電極側の全面には塗布せず、一部の領域のみに塗布して、薄膜電極（電極積層体）の少なくとも１つの端部を、塗布組成物の塗布を行わない塗料未塗布部とする。
本実施形態においては、図４Ｂおよび図５Ａに示すように、下部電極積層体１１ａの対向する２つの端辺側それぞれには、塗布組成物の塗布を行わずに、２つの塗料未塗布部を形成している。この塗料未塗布部が、図１Ｂに示す変換フィルム原反１０の未接着部Ｃ₁となる。

塗料のキャスティング方法には、特に限定はなく、スライドコータやドクターナイフ等の公知の方法（塗布装置）が、全て、利用可能である。

また、塗布組成物を下部電極積層体１１ａの下部薄膜電極１４側の一部の領域のみに塗布する方法としては特に限定はなく、例えば、スライドコータで塗料のキャスティングを行う場合には、塗料を吐出するスリット開口の幅を下部薄膜電極１４の幅よりも小さく調整すればよい。あるいは、塗料未塗布部となる端部の領域をマスキングして塗布を行ってもよい。

なお、前述のように、本発明の変換フィルム原反１０において、マトリックス２４には、シアノエチル化ＰＶＡ等の粘弾性材料以外にも、ＰＶＤＦ等の高分子圧電材料を添加しても良い。
マトリックス２４に、これらの高分子圧電材料を添加する際には、上記塗料に添加する高分子圧電材料を溶解すればよい。
下部保護層１８の上に下部薄膜電極１４を有し、下部薄膜電極１４の上に圧電体層１２を形成してなる積層体１１ｂを作製したら、好ましくは、圧電体層１２の分極処理（ポーリング）を行う。

圧電体層１２の分極処理の方法には、特に限定はなく、公知の方法が利用可能である。好ましい分極処理の方法として、図４Ｃおよび図４Ｄに示す方法が例示される。

この方法では、図４Ｃおよび図４Ｄに示すように、積層体１１ｂの圧電体層１２の上面１２ａの上に、間隔ｇを例えば１ｍｍ開けて、この上面１２ａに沿って移動可能な棒状あるいはワイヤー状のコロナ電極３０を設ける。そして、このコロナ電極３０と下部薄膜電極１４とを直流電源３２に接続する。
さらに、積層体１１ｂを加熱保持する加熱手段、例えば、ホットプレートを用意する。

その上で、圧電体層１２を、加熱手段によって、例えば、温度１００℃に加熱保持した状態で、直流電源３２から下部薄膜電極１４とコロナ電極３０との間に、数ｋＶ、例えば、６ｋＶの直流電圧を印加してコロナ放電を生じさせる。さらに、間隔ｇを維持した状態で、圧電体層１２の上面１２ａに沿って、コロナ電極３０を移動（走査）して、圧電体層１２の分極処理を行う。

このようなコロナ放電を利用する分極処理（以下、便宜的に、コロナポーリング処理とも言う）において、コロナ電極３０の移動は、公知の棒状物の移動手段を用いればよい。
また、コロナポーリング処理では、コロナ電極３０を移動する方法にも、限定はされない。すなわち、コロナ電極３０を固定し、積層体１１ｂを移動させる移動機構を設け、この積層体１１ｂを移動させて分極処理をしてもよい。この積層体１１ｂの移動も、公知のシート状物の移動手段を用いればよい。
さらに、コロナ電極３０の数は、１本に限定はされず、複数本のコロナ電極３０を用いて、コロナポーリング処理を行ってもよい。
また、分極処理は、コロナポーリング処理に限定はされず、分極処理を行う対象に、直接、直流電界を印加する、通常の電界ポーリングも利用可能である。但し、この通常の電界ポーリングを行う場合には、分極処理の前に、上部薄膜電極１６を形成する必要が有る。
なお、この分極処理の前に、圧電体層１２の表面を、加熱ローラ等を用いて平滑化する、カレンダー処理を施してもよい。このカレンダー処理を施すことで、後述する上部電極積層体１１ｃの積層がスムーズに行える。

〔第２積層工程〕
第２積層工程は、圧電体層と、電極積層体の薄膜電極側とを貼り合わせて、電極積層体と圧電体層とを積層する工程である。本発明においては、この第２積層工程において、薄膜電極の少なくとも１つの端部を、圧電体層と貼り合わせない未貼合部とすることで、未接着部を形成する工程である。
本実施形態においては、第２積層工程は、電極積層体の薄膜電極側に、接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、接着剤を介して圧電体層と電極積層体とを貼り合わせる貼合工程とを有し、接着剤塗布工程において、薄膜電極の少なくとも１つの端部を、接着剤の塗布を行わない接着剤未塗布部とすることで、未接着部を形成する。

（接着剤塗布工程）
積層体１１ｂの圧電体層１２の分極処理を行う一方で、準備工程で準備した、上部保護層２０の上に上部薄膜電極１６が形成されたシート状物である上部電極積層体１１ｃに、接着剤を塗布して接着剤層１７を形成する。
ここで、接着剤塗布工程において、接着剤を塗布する際に、上部薄膜電極１６の主面の全面には塗布せずに、一部の領域のみに塗布して、上部薄膜電極１６の少なくとも１つの端部を、接着剤の塗布を行わない接着剤未塗布部とする。
図５Ｂに示す例では、上部電極積層体１１ｃの対向する２つの端辺側それぞれに、接着剤の塗布を行わずに、２つの接着剤未塗布部を形成している。この接着剤未塗布部が、図１Ｂに示す変換フィルム原反１０の未接着部Ｃ₂となる。

接着剤の塗布方法には、特に限定はなく、スライドコータやドクターナイフ等の公知の方法（塗布装置）が、全て、利用可能である。
また、接着剤を上部電極積層体１１ｃの上部薄膜電極１６側の一部の領域のみに塗布する方法としては特に限定はなく、例えば、スライドコータで接着剤の塗布を行う場合には、スリット開口の幅を上部薄膜電極１６の幅よりも小さく調整すればよい。あるいは、接着剤未塗布部となる端部の領域をマスキングして塗布を行ってもよい。

接着剤の材料としては特に限定はなく、変換フィルムにおいて圧電体層と薄膜電極との接着に用いられる公知の接着剤が適宜利用可能である。また、圧電体層として、高分子材料からなるマトリックス中に、圧電体粒子を分散した高分子複合圧電体を用いる場合には、マトリックスの材料と同じ高分子材料を接着剤として用いてもよい。

（貼合工程）
次に、貼合工程として、図４Ｅおよび図５Ｃに示すように、接着剤層１７を形成した上部薄膜電極１６側を圧電体層１２に向けて、上部電極積層体１１ｃを、圧電体層１２の分極処理を終了した積層体１１ｂに貼り合せて積層し、変換フィルム原反１０を作製する。
ここで、上部電極積層体１１ｃの、接着剤層１７が形成されない接着剤未塗布部は、圧電体層１２と接着されないため、変換フィルム原反１０の未接着部Ｃ₂となる。

前述のとおり、薄型スピーカとして用いられる圧電フィルムは、スピーカの薄型化のみならず、応答性や再生可能帯域の広帯域化等の観点からも薄型化する必要がある。しかしながら、蒸着膜のような薄い電極層では、ハンダ付け等によって配線を接続することが難しい。また、薄膜電極への配線は、圧電体層の両面の薄膜電極間の絶縁を確保しつつ行う必要が有るが、圧電体層の厚さが数十μｍ程度と薄いため、容易ではない。
電極積層体が圧電体層の面方向外部に、凸状に突出する電極引出し部を有する構成とすることで、薄膜電極から電極を引出して、ハンダ付けによる配線の接続を容易に行うことができ、さらに、この電極の引出しを、両面の薄膜電極間の絶縁を確保して行うことができる。

しかしながら、圧電体層と電極積層体とを全面的に積層した後に、溶剤を染み込ませた綿棒等で圧電体層を擦って、その一部を溶解、除去することで、凸状に突出する電極引出し部を設ける方法では、薄膜電極まで溶かしてしまうなど薄膜電極を傷つけてしまうおそれがあった。また、作業工数が多くなり、設備投資が嵩み、高コストとなってしまうという問題があった。
また、電極引出し部を凸状に突出する形状に形成しているので、電気音響変換フィルムを作製する際に、予め、電極引出し部の位置を決定しておく必要があり、作製後に、電極引出し部の位置を変更することはできない。したがって、電極引出し部の位置や形状等が異なる、多種多様な形状の電気音響変換フィルムを作製する場合には、電器音響変換フィルムごとに、電極引出し部を形成する工程での作製条件を変更する必要があり、生産性を高くできないという問題があった。

これに対して、本発明の製造方法は、積層工程において、電極積層体と圧電体層とを積層する際に、薄膜電極の少なくとも１つの端部に圧電体層と接着されない未接着部を設ける構成を有する。
具体的には、薄膜電極上に、圧電体層となる塗布組成物を塗布する際に、薄膜電極の少なくとも１つの端部を、塗布組成物の塗布を行わない塗料未塗布部とすることで、未接着部を形成する。あるいは、電極積層体と圧電体層とを積層する際に、薄膜電極の少なくとも１つの端部を、圧電体層と貼り合わせない未貼合部とすることで、未接着部を形成する。

本発明はこのように、圧電体層と薄膜電極とを積層する際に、薄膜電極が圧電体層と接着されていない未接着部を形成するので、圧電体層を溶解、除去する必要がなく、したがって、薄膜電極を傷つけてしまうこともない。また、圧電体層と薄膜電極とを積層する工程で、同時に未接着部を形成するので、作業工数の増加を抑制でき、設備投資やコスト増加を抑制できる。

ここで、第２積層工程における圧電体層の電極積層体との積層方法は、接着剤を用いる方法に限定はされない。
例えば、圧電体層と電極積層体とを、加熱プレス装置や加熱ローラ対等で熱圧着して変換フィルム原反を作製してもよい。
圧着により圧電体層と電極積層体とを積層する場合には、電極積層体（薄膜電極）の少なくとも１つの端部を圧電体層と圧着しない未圧着部とすることで未接着部を形成すればよい。

例えば、加熱ローラを用いて圧着する場合には、図６に示すように、上部電極積層体１１ｃよりも幅の小さい加熱ローラＲを用いて上部電極積層体１１ｃの両端部以外の領域を圧着することで、未接着部を形成することができる。

あるいは、図７Ａおよび図７Ｂに示すように、上部電極積層体１１ｃの両端部にマスク部材８０を配置して圧電体層１２と上部電極積層体１１ｃとを圧着して、マスク部材８０によりマスキングされた領域以外の領域の圧電体層１２と上部電極積層体１１ｃとを接着し、上部電極積層体１１ｃのマスキングした領域に未接着部を形成してもよい。
なお、図７Ａは、上部電極積層体１１ｃ（上部薄膜電極１６）の未接着部と、下部薄膜電極１４の未接着部とを、圧電体層１２の同じ端辺側に形成する場合の一例を示すものであり、図７Ｂは、上部薄膜電極１６の未接着部と、下部薄膜電極１４の未接着部とを、圧電体層１２の互いに異なる端辺側に形成する場合の一例を示すものである。

ここで、前述のとおり、第１積層工程で形成される未接着部の幅、および、第２積層工程で形成される未接着部の幅は、５〜２０ｍｍが好ましく、８〜１５ｍｍがより好ましい。

また、上記例では、第１積層工程および第２積層工程ではそれぞれ、対向する２つの端辺側に２つの未接着部を形成する構成としたがこれに限定はされず、少なくとも１つの端辺側に未接着部を形成する構成としてもよいし、あるいは、４つの端辺それぞれの側に未接着部を形成する構成としてもよい。

また、本発明の製造方法は、電極積層体の厚さが薄い場合でも、薄膜電極を損傷することなく容易に、電極引出し部となる未接着部を形成できる。この点から、本発明の製造方法は、電極積層体の厚さが４〜２０μｍの場合により好適に適用できる。

ここで、上記の説明においては、圧電体層の一方の面に電極積層体を積層する際には第１積層工程により積層し、他方の面に電極積層体を積層する際には第２積層工程により積層することで、図１Ａおよび図１Ｂに示すような変換フィルム原反を作製する方法を説明したが、本発明の製造方法はこれに限定はされず、両面共に第２積層工程によって電極積層体を積層して図３に示すような変換フィルム原反１０ｂを作製してもよい。

圧電体層の両面に第２積層工程によって電極積層体を積層する場合には、まず、仮支持体上に圧電体層を形成し、この圧電体層の仮支持体とは反対側の面に、上述の第２積層工程を適用して電極積層体を積層する。次に、仮支持体を圧電体層から剥離して、圧電体層の仮支持体を剥離した面に、第２積層工程を適用して電極積層体を積層することで、図３に示すような変換フィルム原反１０ｂを作製することができる。

［電気音響変換フィルムの製造方法］
次に、本発明の電気音響変換フィルムの製造方法について説明する。
本発明の電気音響変換フィルムの製造方法は、上述の電気音響変換フィルム原反の製造方法で作製された変換フィルム原反を、所定の形状に切断する切断工程を有する製造方法であり、切断工程において、薄膜電極の未接着部の少なくとも一部を残す形状に切断する製造方法である。

（切断工程）
切断工程は、積層工程において圧電体層の両面に電極積層体を積層した変換フィルム原反１０を所定の形状に切断する工程である。

ここで、切断工程において、下部薄膜電極１４の未接着部Ｃ₁および上部薄膜電極１６の未接着部Ｃ₂の少なくとも一部を残した形状に変換フィルム原反１０を切断する。
例えば、図８に示す例は、変換フィルム原反１０を、二点鎖線で示す星型に切り抜くように切断する例を示すものである。図８において、変換フィルム原反は、図中ａで示す部分の未接着部Ｃ₁およびＣ₂を含むように、切断され、変換フィルムとされる。

このようにして作製された変換フィルムは、圧電体層、２つの薄膜電極、および、２つの保護層が、同一形状で、かつ、互いに接着された領域と、圧電体層、２つの薄膜電極、および、２つの保護層が、積層方向に互いに重複し、かつ、圧電体層と２つの薄膜電極とが互いに接着されない領域とを有する形状となる。圧電体層と２つの薄膜電極とが互いに接着されない領域が、電極引出し部として利用可能である。

なお、本発明において、所定の形状とは、利用される薄型スピーカの形状等に応じた所望の形状である。また、切断工程において切断された変換フィルムの形状（所定の形状）には特に限定はなく、利用される薄型スピーカの形状等に応じて適宜設定すればよい。

本発明の製造方法で作製された変換フィルム原反は、薄膜電極の少なくとも１つの端部の全域に未接着部を有するので、変換フィルムを作製する際に、この変換フィルム原反の未接着部の一部を残すように変換フィルム原反をカットすることで、電極引出し部の位置を自由に決めることができ、所望の形状に形成することができ、デザインの自由度が高いので、多種多様な形状の変換フィルムを容易に作製することができ、生産性を高くできる。

［電気音響変換器］
次に、本発明の製造方法で作製される変換フィルムを用いる電気音響変換器について説明する。
図９Ａは、本発明の変換フィルムを用いる電気音響変換器の一例を示す概略断面図であり、図９Ｂは、図９Ａの上面図である。すなわち、図９Ａは、図９Ｂのａ−ａ線断面図である。
図９Ａおよび図９Ｂに示す電気音響変換器４０は、前述の本発明の変換フィルム４４を、電気信号を振動エネルギーに変換するスピーカ用振動板として用いる、平板型の圧電スピーカである。
なお、圧電スピーカ４０は、マイクロフォンや楽器用センサー等として使用することも可能である。

図示例の圧電スピーカ４０は、基本的に、変換フィルム４４（圧電フィルム）と、ケース４２と、粘弾性支持体４６と、枠体４８とを有して構成される。
変換フィルム４４は、本発明の変換フィルム原反から、略矩形状に切り出して形成された変換フィルムである。
ケース４２は、プラスチック等で形成される、一面が開放する薄い正四角筒状の筐体である。なお、本発明の変換フィルムを利用する圧電スピーカにおいて、ケース４２（すなわち圧電スピーカ）は、四角筒状に限定はされず、円筒状や底面が長方形の四角筒状等の各種の形状の筐体が利用可能である。
また、枠体４８は、中央に開口部を有する、ケース４２の上端面（開放面側）と同様の形状を有する板材である。
さらに、粘弾性支持体４６は、適度な粘性と弾性を有し、変換フィルム４４を支持すると共に、変換フィルムのどの場所でも一定の機械的バイアスを与えることによって、変換フィルムの伸縮運動を無駄なく前後運動（フィルムの面に垂直な方向の運動）に変換させるためのものである。一例として、羊毛のフェルト、レーヨンやＰＥＴを含んだ羊毛のフェルトなどの不織布、グラスウール、或いはポリウレタンなどの発泡材料（発泡プラスチック）、紙を複数枚重ねたもの、塗料等が例示される。
図示例において、粘弾性支持体４６は、ケース４２の底面よりも、若干、大きい底面形状を有する四角柱状である。
粘弾性支持体４６の比重には、特に限定はなく、粘弾性支持体の種類に応じて、適宜、選択すればよい。一例として、粘弾性支持体としてフェルトを用いた場合には、比重は、５０〜５００ｋｇ／ｍ³が好ましく、１００〜３００ｋｇ／ｍ³がより好ましい。また、粘弾性支持体としてグラスウールを用いた場合には、比重は、１０〜１００ｋｇ／ｍ³が好ましい。

圧電スピーカ４０においては、このケース４２の中に粘弾性支持体４６を収容して、変換フィルム４４によってケース４２および粘弾性支持体４６を覆い、変換フィルム４４の周辺を枠体４８によってケース４２の上端面に押圧した状態で、枠体４８をケース４２に固定して、構成される。
なお、ケース４２への枠体の固定方法には、特に限定はなく、ビスやボルトナットを用いる方法、固定用の治具を用いる方法等、公知の方法が、各種、利用可能である。

ここで、この圧電スピーカ４０においては、粘弾性支持体４６は、高さ（厚さ）がケース４２の内面の高さよりも厚い、四角柱状である。すなわち、図９Ｃに模式的に示すように、変換フィルム４４および枠体４８が固定される前の状態では、粘弾性支持体４６は、ケース４２の上面よりも突出した状態となっている。
そのため、圧電スピーカ４０では、粘弾性支持体４６の周辺部に近くなるほど、粘弾性支持体４６が変換フィルム４４によって下方に押圧されて厚さが薄くなった状態で、保持される。すなわち、変換フィルム４４の主面が湾曲した状態で保持される。
また、この際においては、変換フィルム４４の面方向において、粘弾性支持体４６の全面を押圧して、全面的に厚さが薄くなるようにするのが好ましい。すなわち、変換フィルム４４の全面が粘弾性支持体４６により押圧されて支持されるのが好ましい。

なお、本発明の変換フィルム４４を利用する圧電スピーカ４０において、変換フィルム４４による粘弾性支持体４６の押圧力には、特に限定はないが面圧が低い位置における面圧で０．０２〜０．２ＭＰａ程度とするのが好ましい。
圧電スピーカ４０に組み込んだ変換フィルム４４の高低差、図示例では、枠体４８の底面に対して最も近い所と最も遠い所との距離にも、特に限定はないが、薄型の平面スピーカが得られる、変換フィルム４４の十分な上下運動が可能になる等の点で、１〜５０ｍｍ、特に５〜２０ｍｍ程度とするのが好ましい。
加えて、粘弾性支持体４６の厚さにも、特に限定は無いが、押圧される前の厚さが、１〜１００ｍｍ、特に１０〜５０ｍｍであるのが好ましい。

このような圧電スピーカ４０において、圧電体層１２への電圧印加によって、変換フィルム４４が面内方向に伸長すると、この伸長分を吸収するために、変換フィルム４４は、上方（音の放射方向）に移動する。
逆に、圧電体層１２への電圧印加によって、変換フィルム４４が面内方向に収縮すると、この収縮分を吸収するために、変換フィルム４４は、下方（ケース４２側）に移動する。
圧電スピーカ４０は、この変換フィルム４４の伸縮の繰り返しによる振動によって、音を発生する。

圧電スピーカ４０において、粘弾性支持体４６は枠体４８に近づくほど厚さ方向に圧縮された状態になるが、静的粘弾性効果（応力緩和）によって、変換フィルム４４のどの場所でも機械的バイアスを一定に保つことができる。これにより、変換フィルム４４の伸縮運動が無駄なく前後運動へと変換されるため、薄型、かつ、十分な音量が得られ、音響特性に優れる平面状の圧電スピーカ４０を得ることができる。

ここで、図示例の圧電スピーカ４０は、枠体４８によって、変換フィルム４４の周辺全域をケース４２（すなわち、粘弾性支持体４６）に押し付けているが、本発明は、これに限定されない。
すなわち、本発明の変換フィルム４４を利用する電気音響変換器は、枠体４８を有さずに、例えばケース４２の４箇所の角において、ビスやボルトナット、治具などによって、変換フィルム４４をケース４２の上面に押圧／固定してなる構成も利用可能である。
また、ケース４２と変換フィルム４４との間には、Ｏリング等を介在させてもよい。このような構成を有することにより、ダンパ効果を持たせることができ、変換フィルム４４の振動がケース４２に伝達されることを防止して、より優れた音響特性を得ることができる。

また、変換フィルム４４を利用する電気音響変換器は、粘弾性支持体４６を収容するケース４２に代えて、粘弾性支持体４６を載置する支持板を有する構成としてもよい。
すなわち、剛性を有する支持板の上に粘弾性支持体４６を載置し、粘弾性支持体４６を覆って変換フィルム４４を載せ、先と同様の枠体４８を変換フィルム４４の周辺部に載置して、ビス等によって枠体４８を支持板に固定することにより、枠体４８と一緒に変換フィルム４４で粘弾性支持体４６を押圧して、変換フィルム４４を湾曲させる構成も、利用可能である。
また、このようなケース４２を有さない構成でも、枠体４８を用いずに、ビス等によって粘弾性支持体４６を押圧して薄くした状態として、変換フィルム４４を保持してもよい。
なお、支持板の材質として、ポリスチレンや発泡ＰＥＴ、或いはカーボンファイバーなどの各種振動板を用いることで、変換フィルム４４の振動を更に増幅する構成としてもよい。

さらに、変換フィルム４４を利用する電気音響変換器は、周辺を押圧する構成にも限定はされず、例えば、粘弾性支持体４６と変換フィルム４４の積層体の周辺以外の箇所を、何らかの手段によって押圧して、変換フィルム４４の少なくとも一部を湾曲させた状態で保持してなる構成も利用可能である。
あるいは、変換フィルム４４に樹脂フィルムを貼り付けて張力を付与する（保持する）構成としてもよい。樹脂フィルムで保持する構成とし、湾曲させた状態で保持できるようにすることでフレキシブルなスピーカとすることができる。
あるいは、変換フィルム４４を湾曲したフレームに張り上げた構成としてもよい。

また、本発明の変換フィルムを用いる電気音響変換器は、粘弾性支持体４６を利用する構成にも限定はされない。
例えば、粘弾性支持体４６に代えて、弾性を有する弾性支持体を有する構成としてもよい。弾性支持体としては、天然ゴムや各種合成ゴムが例示される。
あるいは、ケースとして、ケース４２と同様の形状で気密性を有する物を用い、ケースの開放端を変換フィルム４４で覆って閉塞し、ケース内に気体を導入して変換フィルム４４に圧力を掛けて、凸状に膨らました状態で、保持する構成としてもよい。

なお、内部に圧力を掛ける構成では、空気ばねの影響で歪み成分が増大し、音質が低下するおそれがある。一方、グラスウールやフェルト等の粘弾性支持体で変換フィルム４４を支持する構成の場合は、粘性を付与することになるため、歪み成分が増大することなく好適である。
また、ケース内に充填するのは気体以外でも良く、磁性流体や塗料でも適度な粘性を付与できれば使用可能である。
また、粘弾性支持体を利用する構成と内部に圧力をかける構成とを組み合わせてもよい。

また、変換フィルム４４自体を予め凸状あるいは凹状に成型してもよい。その際、変換フィルム４４全体を凸状あるいは凹状に成型してもよく、変換フィルム４４の一部を凸部（凹部）に成型してもよい。凸部の成型方法としては特に限定はなく、種々の公知の樹脂フィルムの加工方法が利用可能である。例えば、真空加圧成型法、エンボス加工等の形成方法により、凸部を形成することができる。

本発明の電気音響変換フィルムは、有機ＥＬディスプレイ等のフレキシブルディスプレイと組み合わせてスピーカとして好適に利用することができる。また、本発明の電気音響変換フィルムは薄型であるので、液晶表示装置、電子ペーパ、プロジェクター用のスクリーン等の薄型の表示装置と好適に組み合わせることができる。
このような構成により、変換フィルムの意匠性や娯楽性を向上できる。また、スピーカとしての変換フィルムと、スクリーンやディスプレイとを一体化することにより、画像が表示される方向から音を再生することができ、臨場感を向上させることができる。
また、プロジェクター用スクリーンは、フレキシブルであるので曲率を持たせることができる。画像表示面に曲率を持たせることで、観察者から画面までの距離を、画面の中央と端部とで略一様にすることができ、臨場感を向上させることができる。
なお、このように画像表示面に曲率を持たせた場合には、投射した画像に歪みが生じる。従って、画像表示面の曲率に合わせて歪みを低減するように、投射する画像のデータに画像処理を施すのが好ましい。

また、前述のとおり、本発明の変換フィルム４４は、圧電体層１２が、振動エネルギーを電気信号に変換する性能も有する。
そのため、本発明の変換フィルム４４は、これを利用して、マイクロフォンや楽器用センサー（ピックアップ）にも、好適に利用可能である。例えば、本発明の変換フィルム４４は可撓性を有するので、複雑な曲面を有する、人の咽喉部に貼り付けることが可能であり、声帯付近に貼り付けるだけで、声帯マイクロフォンとして作用する。

以上、本発明の電気音響変換フィルムおよびその製造方法について詳細に説明したが、本発明は上述の例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいのは、もちろんである。

以下、本発明の具体的実施例を挙げ、本発明についてより詳細に説明する。

［実施例１］
前述の図４Ａ〜図４Ｅおよび図５Ａ〜図５Ｃに示す方法によって、図１Ａおよび図１Ｂに示す本発明の変換フィルム原反１０を作製した。

〔準備工程〕
まず、厚さ４μｍ、大きさ２００ｍｍ×３５０ｍｍＰＥＴフィルムに、厚さ０．１μｍの銅薄膜を真空蒸着してなる下部電極積層体１１ａ、および、厚さ４μｍ、大きさ１８０ｍｍ×３５０ｍｍのＰＥＴフィルムに、厚さ０．１μｍの銅薄膜を真空蒸着してなる上部電極積層体１１ｃを用意した。すなわち、本例においては、下部薄膜電極１４および上部薄膜電極１６は、厚さ０．１μｍの銅蒸着薄膜であり、下部保護層１８および上部保護層２０は厚さ４μｍのＰＥＴフィルムとなる。
なお、プロセス中、良好なハンドリングを得るために、ＰＥＴフィルムには厚さ５０μｍのセパレータ（仮支持体 ＰＥＴ）付きのものを用い、変換フィルム原反の作製後に、各保護層のセパレータを取り除いた。

〔第１積層工程Ａ〕
次に、下記の組成比で、シアノエチル化ＰＶＡ（ＣＲ−Ｖ 信越化学工業株式会社製）をジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）に溶解した。その後、この溶液に、ＰＺＴ粒子を下記の組成比で添加して、プロペラミキサー（回転数２０００ｒｐｍ）で分散させて、圧電体層１２を形成するための塗料Ａを調製した。
・ＰＺＴ粒子・・・・・・・・・・・３００質量部
・シアノエチル化ＰＶＡ・・・・・・・３０質量部
・ＤＭＦ・・・・・・・・・・・・・・７０質量部
なお、ＰＺＴ粒子は、市販のＰＺＴ原料粉を１０００〜１２００℃で焼結した後、これを平均粒径５μｍになるように解砕および分級処理したものを用いた。
この塗料Ａを用いて形成される圧電体層１２は、高分子材料からなるマトリックス２４であるシアノエチル化ＰＶＡ中に、圧電体粒子２６であるＰＺＴ粒子を分散した高分子複合圧電体である。

先に準備した下部電極積層体１１ａの下部薄膜電極１４（銅蒸着薄膜）の上に、スライドコータを用いて、調製した圧電体層１２を形成するための塗料Ａを塗布した。なお、塗料Ａは、乾燥後の塗膜の膜厚が４０μｍになるように、塗布した。
ここで、塗布の際の、スライドコータのスリット開口の幅を１８０ｍｍとし、下部薄膜電極１４の長辺である対向する２つの端辺側の領域が塗料未塗布部となるように塗布を行った。
すなわち、未接着部Ｃ₁となる塗料未塗布部の幅は１０ｍｍとした。

次いで、下部電極積層体１１ａの上に塗料Ａを塗布した物を、１２０℃のホットプレート上で加熱乾燥することでＤＭＦを蒸発させた。これにより、ＰＥＴ製の下部保護層１８の上に銅製の下部薄膜電極１４を有し、その上に、厚さが４０μｍの圧電体層１２を形成してなる積層体１１ｂを作製した。

この積層体１１ｂの圧電体層１２を、図４Ｃおよび図４Ｄに示す前述のコロナポーリングによって、分極処理した。なお、分極処理は、圧電体層１２の温度を１００℃として、下部薄膜電極１４とコロナ電極３０との間に６ｋＶの直流電圧を印加してコロナ放電を生じさせて、行った。

〔第２積層工程Ａ〕
（接着剤塗布工程）
まず、上部電極積層体１１ｃの上部薄膜電極１６側に、接着剤（信越化学工業株式会社製シアノレンジCR-V）を塗布した。
ここで、接着剤の塗布の際に、塗布領域の一方の幅を１６０ｍｍとし、上部薄膜電極１６の長辺である対向する２つの端辺側の領域が接着剤未塗布部となるように塗布を行った。
すなわち、未接着部Ｃ₂となる接着剤未塗布部の幅は１０ｍｍとした。

（貼合工程）
次に、接着剤を塗布した上部電極積層体１１ｃを、接着剤側を圧電体層１２に向けて、分極処理を行った積層体１１ｂの上に載置して貼り合わせて変換フィルム原反１０を作製した。

その後、下部薄膜電極１４の未接着部Ｃ₁、および、上部薄膜電極１６の未接着部Ｃ₂のそれぞれを電極引出し部として配線３６を接続した。

［実施例２］
第２積層工程Ａを、以下に示す第２積層工程Ｂに変更した以外は、実施例１と同様にして、変換フィルム原反を作製した。

〔第２積層工程Ｂ〕
分極処理を行った積層体１１ｂの上に、上部薄膜電極１６を圧電体層１２に向けて上部電極積層体１１ｃを載置した。
次いで、積層体１１ｂと上部電極積層体１１ｃとの積層体を、ラミネータ装置を用いて１２０℃で熱圧着することで、圧電体層１２と上部薄膜電極１６とを接着した。
ここで、熱圧着する際に、図６に示すように、上部電極積層体よりも幅の狭い加熱ローラを用いることで、上部電極積層体１１ｃの対向する２つの端辺側の領域を、圧着しない未圧着部として未接着部Ｃ₂を形成した。

［実施例３］
第２積層工程Ａを以下に示す第２積層工程Ｃに変更した以外は、実施例１と同様にして、変換フィルム原反を作製した。

〔第２積層工程Ｃ〕
分極処理を行った積層体１１ｂの上に、上部薄膜電極１６を圧電体層１２に向けて上部電極積層体１１ｃを載置した。
次に、図７Ａに示すように、圧電体層１２と上部薄膜電極１６との間の、上部電極積層体１１ｃの、対向する２つの端辺側の領域にマスク部材８０を配置した。
マスク部材８０としては、ポリイミドからなる厚さ１５μｍのフィルム状物を用いた。
次いで、積層体１１ｂと上部電極積層体１１ｃとの積層体を、ラミネータ装置を用いて１２０℃で熱圧着することで、圧電体層１２と上部薄膜電極１６とを接着し、その後、マスク部材８０を取り除いた。
マスキングされた領域の上部薄膜電極１６は、圧電体層１２とは接着されず、未接着部Ｃ₂となる。

［実施例４〜６］
圧電体層として、圧電体粒子を含まないＰＶＤＦを用い、この圧電体層を形成するための塗料として、以下に示す塗料Ｂを用いた以外はそれぞれ、実施例１〜３と同様にして、変換フィルム原反を作製した。

ＰＶＤＦからなる圧電体層の塗料Ｂとして、下記の組成比のＰＶＤＦとＭＥＫを含む塗料を調製した。
・ＰＶＤＦ・・・・・・・・・・・・・１００質量部
・ＭＥＫ・・・・・・・・・・・・・・３００質量部

［実施例７〜９］
圧電体層として、以下に示す高誘電性ポリマーを用い、この圧電体層を形成するための塗料として、以下に示す塗料Ｃを用いた以外はそれぞれ、実施例１〜３と同様にして、変換フィルム原反を作製した。

高誘電性ポリマーからなる圧電体層の塗料Ｃとして、下記の組成比の高誘電性ポリマーを含む塗料を調製した。
・高誘電性ポリマー（シアノレジンCR-S：信越化学工業株式会社製）・・１００質量部
・シクロヘキサノン・・・・・・・・・・・・・・３００質量部

［比較例１］
第１積層工程Ａを、以下に示す第１積層工程Ｂに変更し、第２積層工程Ａを以下に示す第２積層工程Ｄに変更した以外は、実施例１と同様にして、変換フィルムを作製した。

〔第１積層工程Ｂ〕
下部電極積層体の下部薄膜電極の全面に塗料Ａを塗布した後、１２０℃のホットプレート上で加熱乾燥することでＤＭＦを蒸発させて、下部保護層の上に下部薄膜電極を有し、その上に、厚さが４０μｍの圧電体層を形成してなる積層体を作製した。
この積層体に分極処理を行った後、この積層体の一辺側をカットして、凸状に突出する部位を設け、さらに、溶剤（アセトン）を染み込ませた綿棒を用いて、この凸状に突出する部位の圧電体層を溶解、除去して（以下「脱膜」ともいう）、凸状に突出する電極引出し部を設けた。

〔第２積層工程Ｄ〕
下部電極積層体と同じ大きさの上部電極積層体の一端をカットして、面方向に凸状に突出する部位を設けた後、この上部電極積層体を、下部電極積層体と圧電体層との積層体の上に載置し、ラミネータ装置を用いて１２０℃で熱圧着することで、圧電体層と上部薄膜電極とを接着し、変換フィルムを作製した。なお、上部電極積層体の凸状に突出する部位（電極引出し部）が、圧電体層と重ならないように、かつ、下部電極積層体の凸状に突出する部位と重ならないように、上部電極積層体を積層した。
下部薄膜電極１４の電極引出し部、および、上部薄膜電極１６の電極引出し部のそれぞれに配線３６を接続した。

［比較例２］
第１積層工程Ａおよび第２積層工程Ａに代えて、以下に示す積層工程Ｅを行った以外は、実施例１と同様にして、変換フィルムを作製した。

〔積層工程Ｅ〕
下部電極積層体の下部薄膜電極の全面に塗料Ａを塗布した後、１２０℃のホットプレート上で加熱乾燥することでＤＭＦを蒸発させて、下部保護層の上に下部薄膜電極を有し、その上に、厚さが４０μｍの圧電体層を形成してなる積層体を作製した。
この積層体に分極処理を行った後、下部電極積層体と同じ大きさの上部電極積層体を圧電体層上に載置し、ラミネータ装置を用いて１２０℃で熱圧着することで、圧電体層と上部薄膜電極とを接着した。
次に、レーザー加工により、下部保護層および上部保護層の一部を溶融して除去し、下部薄膜電極および上部薄膜電極の一部を表面に露出させて変換フィルムを作製した。この露出させた部分を電極引出し部とした。
下部薄膜電極１４の電極引出し部、および、上部薄膜電極１６の電極引出し部のそれぞれに配線３６を接続した。

［比較例３］
第１積層工程Ａおよび第２積層工程Ａに代えて、以下に示す積層工程Ｆを行った以外は、実施例１と同様にして、変換フィルムを作製した。

〔積層工程Ｆ〕
下部電極積層体の下部薄膜電極の全面に塗料Ａを塗布した後、１２０℃のホットプレート上で加熱乾燥することでＤＭＦを蒸発させて、下部保護層の上に下部薄膜電極を有し、その上に、厚さが４０μｍの圧電体層を形成してなる積層体を作製した。
この積層体に分極処理を行った後、下部電極積層体と同じ大きさの上部電極積層体を圧電体層上に載置し、ラミネータ装置を用いて１２０℃で熱圧着することで、圧電体層と上部薄膜電極とを接着した。
次に、機械加工により、下部保護層および上部保護層の一部を切削して除去し、下部薄膜電極および上部薄膜電極の一部を表面に露出させて変換フィルムを作製した。この露出させた部分を電極引出し部とした。
下部薄膜電極１４の電極引出し部、および、上部薄膜電極１６の電極引出し部のそれぞれに配線３６を接続した。

［比較例４］
第１積層工程Ａおよび第２積層工程Ａに代えて、以下に示す積層工程Ｇを行った以外は、実施例１と同様にして、変換フィルムを作製した。

〔積層工程Ｇ〕
下部電極積層体の下部薄膜電極の全面に塗料Ａを塗布した後、１２０℃のホットプレート上で加熱乾燥することでＤＭＦを蒸発させて、下部保護層の上に下部薄膜電極を有し、その上に、厚さが４０μｍの圧電体層を形成してなる積層体を作製した。
この積層体に分極処理を行った後、下部電極積層体と同じ大きさの上部電極積層体を圧電体層上に載置し、ラミネータ装置を用いて１２０℃で熱圧着することで、圧電体層と上部薄膜電極とを接着した。
次に、溶剤（アセトン）を染み込ませた綿棒を用いて、側面から圧電体層の一部を溶解、除去して、電極引出し部を設けた。
下部薄膜電極１４の電極引出し部、および、上部薄膜電極１６の電極引出し部のそれぞれに配線３６を接続した。

［比較例５〜８］
圧電体層の材料を実施例４と同じにした以外はそれぞれ、比較例１〜４と同様にして変換フィルムを作製した。

[比較例９〜１２]
圧電体層の材料を実施例７と同じにした以外はそれぞれ、比較例１〜４と同様にして変換フィルムを作製した。

［評価］
〔作業工数〕
電極引出し部を形成することのみを目的とした工程があるか否かにより作業工数を評価した。
電極引出し部を形成することのみを目的とした工程がない場合をＡとし、ある場合をＢとして評価した。

〔歩留まり〕
作製した変換フィルム原反（変換フィルム）の静電容量を測定して歩留まりを評価した。
測定条件は、測定周波数１ｋＨｚ、実行電圧５Ｖとし、温度２５℃、湿度４０〜５０％の環境下で静電容量を測定した。
１０個の試験片について測定を行い、静電容量が１．８〜２．２μＦを示すものが１０個の場合をＡとし、９個の場合をＢとし、８個以下の場合をＣとして評価した。
静電容量が範囲外の変換フィルム原反（変換フィルム）は、電極引出し部が損傷して、配線との接続不良が生じたものと考えられる。
評価の結果を表１に示す。

表１より、本発明の製造方法である実施例１〜９は、圧電体層と電極積層体とを積層する際に、電極引出し部となる未接着部を設けるので、電極引出し部を形成することのみを目的とした工程を有する必要がなく、比較例１〜１２に比べて、作業工数が少なくなる。
したがって、コストを削減できる。
また、本発明の製造方法である実施例１〜９で作製した変換フィルム原反は、圧電体層と電極積層体とを積層する際に、電極引出し部となる未接着部を設けるので、薄膜電極を傷つけることなく、比較例１〜１２に比べて、歩留まりを向上できる。
以上の結果より、本発明の効果は、明らかである。

１０、１０ｂ 電気音響変換フィルム原反
１１ａ 下部電極積層体
１１ｂ 積層体
１１ｃ 上部電極積層体
１２ 圧電体層
１２ａ 上面
１４、１４ｂ 下部薄膜電極
１５、１７ 接着剤層
１６ 上部薄膜電極
１８、１８ｂ 下部保護層
２０ 上部保護層
２４ マトリックス
２６ 圧電体粒子
３０ コロナ電極
３２ 直流電源
３６ 配線
４０ 圧電スピーカ
４２ ケース
４４ 電気音響変換フィルム
４６ 弾性支持体
４８ 枠体

Claims (19)

1. 誘電性を有する圧電体層、前記圧電体層の両面にそれぞれ形成される２つの薄膜電極と、２つの前記薄膜電極上それぞれに形成される２つの保護層と、を有する電気音響変換フィルム原反の製造方法であって、
   １つの前記薄膜電極と１つの前記保護層とが積層されてなる電極積層体を準備する準備工程、および、
   前記電極積層体と、前記圧電体層とを積層する積層工程を有し、
   前記積層工程において、前記電極積層体と前記圧電体層とを積層する際に、前記薄膜電極の少なくとも１つの端部に前記圧電体層と接着されない未接着部を設けることを特徴とする電気音響変換フィルム原反の製造方法。
2. 前記積層工程は、前記電極積層体の前記薄膜電極上に、前記圧電体層となる塗布組成物を塗布した後、硬化して前記圧電体層を形成して、前記電極積層体と前記圧電体層とを積層する第１積層工程であり、
   第１積層工程において、前記塗布組成物を塗布する際に、前記薄膜電極の前記少なくとも１つの端部を、前記塗布組成物の塗布を行わない塗料未塗布部とすることで、前記未接着部を形成する請求項１に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
3. 前記積層工程は、前記圧電体層と、前記電極積層体の前記薄膜電極側とを貼り合わせて、前記電極積層体と前記圧電体層とを積層する第２積層工程であり、
   前記第２積層工程において、前記薄膜電極の前記少なくとも１つの端部を、前記圧電体層と貼り合わせない未貼合部とすることで、前記未接着部を形成する請求項１に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
4. 前記準備工程は、大きさの異なる２つの前記電極積層体を準備する工程であり、
   前記積層工程として、
   大きい方の前記電極積層体の前記薄膜電極上に、前記圧電体層となる塗布組成物を塗布した後、硬化して前記圧電体層を形成して、大きい方の前記電極積層体と前記圧電体層とを積層する第１積層工程と、
   大きい方の前記電極積層体と積層された前記圧電体層の、大きい方の前記電極積層体が積層された面とは反対側の面に、小さい方の前記電極積層体の前記薄膜電極側を貼り合わせて、小さい方の前記電極積層体と前記圧電体層とを積層する第２積層工程と、を有し、
   前記第１積層工程において、前記塗布組成物を塗布する際に、前記薄膜電極の前記少なくとも１つの端部を、前記塗布組成物の塗布を行わない塗料未塗布部とすることで、前記未接着部を形成し、
   前記第２積層工程において、前記薄膜電極の前記少なくとも１つの端部を、前記圧電体層と貼り合わせない未貼合部とすることで、前記未接着部を形成する請求項１に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
5. 前記第２積層工程は、前記電極積層体の前記薄膜電極側に、接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、前記接着剤を介して前記圧電体層と前記電極積層体とを貼り合わせる貼合工程とを有し、
   前記接着剤塗布工程において、前記薄膜電極の前記少なくとも１つの端部を、前記接着剤の塗布を行わない接着剤未塗布部とすることで、前記未接着部を形成する請求項３または４に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
6. 前記第２積層工程は、前記圧電体層と前記電極積層体とを圧着して貼り合わせるものであり、
   前記薄膜電極の前記少なくとも１つの端部を、前記圧電体層と圧着しない未圧着部とすることで、前記未接着部を形成する請求項３〜５のいずれか１項に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
7. 前記第２積層工程において、前記薄膜電極の前記少なくとも１つの端部をマスキングして、前記圧電体層と前記電極積層体とを貼り合わせることで、前記未接着部を形成する請求項３〜６のいずれか１項に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
8. 前記第２積層工程において前記圧電体層に積層される前記薄膜電極の、前記圧電体層の主面に垂直な方向から見た際の面積が、前記圧電体層の面積よりも小さい請求項３〜７のいずれか１項に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
9. 前記未接着部の幅が、５〜２０ｍｍである請求項１〜８のいずれか１項に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
10. 前記薄膜電極の主面の形状が四角形状であり、前記薄膜電極の対向する２辺それぞれの側の端部を前記未接着部とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
11. 前記電極積層体の厚さが、４〜２０μｍである請求項１〜１０のいずれか１項に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
12. 前記圧電体層が、常温で粘弾性を有する高分子材料からなる粘弾性マトリックス中に圧電体粒子を分散してなる高分子複合圧電体である請求項１〜１１のいずれか１項に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
13. 前記高分子材料の動的粘弾性測定による周波数１Ｈｚでの損失正接Ｔａｎδが０．５以上となる極大値が０〜５０℃の温度範囲に存在する請求項１２に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
14. 前記高分子材料が、シアノエチル基を有するものである請求項１２または１３に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
15. 前記高分子材料が、シアノエチル化ポリビニルアルコールである請求項１２〜１４のいずれか１項に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法。
16. 請求項１〜１５のいずれか１項に記載の電気音響変換フィルム原反の製造方法で作製された電気音響変換フィルム原反を、所定の形状に切断する切断工程を有し、
    前記切断工程において、前記薄膜電極の未接着部の少なくとも一部を残す形状に切断する電気音響変換フィルムの製造方法。
17. 誘電性を有する圧電体層と、前記圧電体層の一方の主面に形成される上部薄膜電極と、前記圧電体層の他方の主面に形成される下部薄膜電極と、前記上部薄膜電極上に形成される上部保護層と、前記下部薄膜電極上に形成される下部保護層とを有する電気音響変換フィルム原反であって、
    前記圧電体層の主面に垂直な方向から見た際の、前記下部薄膜電極の面積が、前記圧電体層の面積よりも大きく、かつ、前記下部薄膜電極の少なくとも１つの端部に、前記圧電体層が積層されていない未接着部を有し、
    前記圧電体層の主面に垂直な方向から見た際の、前記上部薄膜電極の面積が、前記圧電体層の面積よりも小さく、かつ、前記上部薄膜電極の少なくとも１つの端部に、前記圧電体層と接着されていない未接着部を有することを特徴とする電気音響変換フィルム原反。
18. 誘電性を有する圧電体層と、前記圧電体層の両面にそれぞれ形成される２つの薄膜電極と、２つの前記薄膜電極上それぞれに形成される２つの保護層とを有する電気音響変換フィルム原反であって、
    前記圧電体層の主面に垂直な方向から見た際の、２つの前記薄膜電極それぞれの面積が、前記圧電体層の面積よりも小さく、かつ、前記薄膜電極それぞれの少なくとも１つの端部に、前記圧電体層と接着されていない未接着部を有することを特徴とする電気音響変換フィルム原反。
19. 誘電性を有する圧電体層と、前記圧電体層の両面にそれぞれ形成される２つの薄膜電極と、２つの前記薄膜電極上それぞれに形成される２つの保護層とを有する電気音響変換フィルムであって、
    前記圧電体層、２つの前記薄膜電極、および、２つの前記保護層が、同一形状で、かつ、互いに接着された領域と、
    前記圧電体層、２つの前記薄膜電極、および、２つの前記保護層が、積層方向に互いに重複し、かつ、前記圧電体層と２つの前記薄膜電極とが互いに接着されない領域とを有することを特徴とする電気音響変換フィルム。