JP6251782B2 - 導電性フィルム - Google Patents
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Description
本発明に用いられる長尺状フィルム基材2は、長手方向とそれに直交する幅方向とを有する。本発明において「長尺状」とは、長手方向寸法が、幅方向寸法よりも十分に大きいことをいい、好ましくは長手方向寸法が、幅方向寸法に対して10倍以上であることをいう。
本発明に用いられるインジウム系酸化物層3は、例えば、本発明の導電性フィルム1をタッチセンサに用いる場合、タッチパネル画面(中央窓部)の透明導電層として用いられる。
本発明に用いられる金属層4は、例えば、本発明の導電性フィルムをタッチセンサに用いる場合、タッチパネル画面(中央窓部)の外縁部に引き回し配線を形成するために用いられる。
本発明に用いられる酸化金属層5は、スパッタ成膜された厚み1nm〜15nmの層である。上記酸化金属層は、第2導電層(金属層)が、大気中の酸素の影響を受けて自然に酸化することを防止するために設けられる。
先ず、幅1.1m、長さ2000m、厚み100μmの押出成形されたポリシクロオレフィンフィルム(日本ゼオン社製 商品名「ZEONOR」(登録商標)」からなる長尺状フィルム基材の一方の側に、第1導電層として厚み25nmのインジウムスズ酸化物層を、第2導電層として厚み50nmの銅層を、第3導電層として厚み7nmの酸化銅層を、それぞれスパッタ法により順次形成した。
(実施例2)
スパッタリング時間を変更することにより、酸化銅層の厚みを5nmに変更した以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムを作製した。
(実施例3)
スパッタリング時間を変更することにより、酸化銅層の厚みを1.5nmに変更した以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムを作製した。
(比較例1)
第3導電層としての酸化銅層を形成しなかった以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムを作製し、23℃の大気中で72時間保管して、第2導電層(銅層)の表面に、厚み1.7nmの酸化皮膜層を形成した。
X線光電子分光(X-ray Photoelectron Spectroscopy)分析装置(PHI社製 製品名「QuanteraSXM」を用いて、酸化銅層の厚みを測定した。
得られた導電性フィルムの表面抵抗値を、4端子法を用いて、幅方向に15cm間隔で5点測定し、その標準偏差を求めた。
2 長尺上フィルム基材
3 インジウム系酸化物層
4 金属層
5 酸化金属層
10 易接着層
11 屈折率調整層
21 導電層
Claims (9)
- 長尺状フィルム基材と、第1導電層と、第2導電層と、第3導電層とをこの順に有する導電性フィルムであって、
前記長尺状フィルム基材は、長手方向とそれに直交する幅方向を有し、
前記長尺上フィルム基材の幅方向寸法は1m以上であり、
前記第1導電層は、インジウム系酸化物層であり、
前記第2導電層は、金属層であり、
前記第3導電層は、スパッタ成膜された物であって、酸化金属層であり、
前記第3導電層の形成材料は、第2導電層を形成した金属材料と同一の金属材料の酸化物を含む、
ことを特徴とする導電性フィルム。 - 前記幅方向における表面抵抗値の標準偏差が0.01Ω/□以下であることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
- 前記第3導電層の形成材料は、第2導電層を形成した金属材料と同一の金属材料の酸化物であることを特徴とする、請求項1又は2記載の導電性フィルム。
- 前記第3導電層の厚みは、1nm〜15nmであることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の導電性フィルム。
- 表面抵抗値が0.1Ω/□〜0.6Ω/□であることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
- 前記幅方向における表面抵抗値の標準偏差が、0.001〜0.005Ω/□であることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
- 前記第3導電層は、酸化銅、酸化銀、酸化銀合金又は酸化チタン合金からなることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
- 前記第2導電層は、銅、銀、銀合金又はチタン合金からなることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
- 前記第1導電層は、インジウムスズ酸化物、インジウム亜鉛酸化物又は酸化インジウム−酸化亜鉛酸化物からなる、請求項1記載の導電性フィルム。
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