JP6251782B2 - 導電性フィルム - Google Patents

導電性フィルム Download PDF

Info

Publication number
JP6251782B2
JP6251782B2 JP2016151754A JP2016151754A JP6251782B2 JP 6251782 B2 JP6251782 B2 JP 6251782B2 JP 2016151754 A JP2016151754 A JP 2016151754A JP 2016151754 A JP2016151754 A JP 2016151754A JP 6251782 B2 JP6251782 B2 JP 6251782B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductive
layer
conductive layer
oxide
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016151754A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016197607A (ja
Inventor
望 藤野
望 藤野
鷹尾 寛行
寛行 鷹尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Denko Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitto Denko Corp filed Critical Nitto Denko Corp
Priority to JP2016151754A priority Critical patent/JP6251782B2/ja
Publication of JP2016197607A publication Critical patent/JP2016197607A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6251782B2 publication Critical patent/JP6251782B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)

Description

本発明は、指やスタイラスペン等の接触によって情報を入力することが可能な入力表示装置等に適用される導電性フィルムに関する。
従来、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に、インジウムスズ酸化物層と、銅層とを積層した導電性フィルムが知られている(特許文献1)。上記導電性フィルムの銅層は、例えば、狭額縁対応のタッチセンサを作製するために、タッチパネル画面(中央窓部)の外縁部に引き回し配線を形成するように加工される。
特開2011−060146号公報
上記導電性フィルムは、銅層を加工する前に、ロール状にして長期間保管されることがあり、この場合、上記銅層は大気中の酸素の影響を受けて自然に酸化し、その表面に酸化銅層が形成される。しかしながら、上記導電性フィルムのフィルム幅がある程度大きい場合、酸化銅層が自然酸化により形成されると、部分的に酸化の度合いに差が生じて、フィルム幅方向に表面抵抗値のばらつきが生じ、フィルム特性が低下する場合がある。
本発明の目的は、幅方向における表面抵抗値のばらつきが少なく、フィルム特性の良好な導電性フィルムを提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明に係る導電性フィルムは、長尺状フィルム基材と、第1導電層と、第2導電層と、第3導電層とをこの順に有する導電性フィルムであって、前記長尺状フィルム基材は、長手方向とそれに直交する幅方向を有し、前記長尺上フィルム基材の幅方向寸法は1m以上であり、前記第1導電層は、インジウム系酸化物層であり、前記第2導電層は、金属層であり、前記第3導電層は、スパッタ成膜された物であって、酸化金属層であり、前記第3導電層の形成材料は、第2導電層を形成した金属材料と同一の金属材料の酸化物を含むことを特徴とする。 好ましくは、前記幅方向における表面抵抗値の標準偏差が0.01Ω/□以下である。
前記第3導電層の形成材料は、第2導電層を形成した金属材料と同一の金属材料の酸化物である。
好ましくは、前記第3導電層の厚みは、1nm〜15nmである。
また好ましくは、前記導電性フィルムの表面抵抗値が0.1Ω/□〜0.6Ω/□である。
また好ましくは、前記幅方向における表面抵抗値の標準偏差が、0.001〜0.005Ω/□である。
前記第3導電層は、酸化銅、酸化銀、酸化銀合金又は酸化チタン合金からなるのが好ましい。
前記第2導電層は、銅、銀、銀合金又はチタン合金からなるのが好ましい。
前記第1導電層は、インジウムスズ酸化物、インジウム亜鉛酸化物又は酸化インジウム−酸化亜鉛酸化物からなるのが好ましい。
本発明によれば、長尺上フィルム基材の幅方向寸法は1m以上であり、第1導電層は、インジウム系酸化物層であり、第2導電層は、金属層であり、第3導電層は、スパッタ成膜された物であって、酸化金属層であり、第3導電層の形成材料は、第2導電層を形成した金属材料と同一の金属材料の酸化物を含んでいる。この構成によれば、その幅方向における表面抵抗値を小さくすることができ、フィルム特性の良好な導電性フィルムを提供することが可能となる。
本発明の実施形態に係る導電性フィルムの構成を示す斜視図である。 図1の導電性フィルムの変型例を示す断面図である。
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
図1に示すように、本実施形態に係る導電性フィルム1は、長尺状フィルム基材2と、インジウム系酸化物層3(第1導電層)と、金属層4(第2導電層)と、酸化金属層5(第3導電層)とを、この順に備えている。この長尺状フィルム基材1は、長手方向とそれに直交する幅方向とを有しており、該長尺状フィルムの幅方向寸法は1m以上である。
上記導電性フィルム1では、金属層4の表面に、スパッタ成膜された酸化金属層5が形成される。このため、導電性フィルムが長期間保管されても、自然酸化によっては、これ以上の酸化金属層は形成されない。自然酸化により形成される酸化金属層の厚み分布は、大気中における導電性フィルムの保管環境や状態によって左右されるのに対し、スパッタ成膜により形成された酸化金属層の厚み分布は比較的一定であるため、幅方向において表面抵抗値のばらつきが小さい導電性フィルムから得られる。
本発明の導電性フィルム1の表面抵抗値は、好ましくは0.1Ω/□〜0.6Ω/□であり、さらに好ましくは0.3Ω/□〜0.6Ω/□である。上記導電性フィルム1の幅方向における表面抵抗値の標準偏差は、好ましくは0.01Ω/□以下であり、さらに好ましくは0.001〜0.005Ω/□である。
(1)長尺状フィルム基材
本発明に用いられる長尺状フィルム基材2は、長手方向とそれに直交する幅方向とを有する。本発明において「長尺状」とは、長手方向寸法が、幅方向寸法よりも十分に大きいことをいい、好ましくは長手方向寸法が、幅方向寸法に対して10倍以上であることをいう。
上記長尺状フィルム基材2の幅方向寸法(単に「幅」ともいう)は1m以上であり、好ましくは1m〜3mである。上記長尺状フィルム基材の長手方向寸法は(単に「長さ」ともいう)は、好ましくは1000m以上である。このような条件下にて、本発明の導電性フィルムは優れた効果を奏する。
上記長尺状フィルム基材2は、好ましくは、押出成形されたポリシクロオレフィンフィルムである。押出成形されたポリシクロオレフィンフィルムは、残存揮発分量が少ないため、各導電層に及ぼす発生ガスの悪影響を小さくすることができ、成膜直後における各伝導層の表面抵抗値を均一にすることができる。上記ポリシクロオレフィンフィルムの標準試験方法ASTM D570(2010)に準じて求めた吸水率は、好ましくは0.1%以下であり、さらに好ましくは0.05%以下である。
さらに、上記ポリシクロオレフィンフィルムは、残存揮発分量が少ないため、厚みを大きくして、取扱性を向上させることもできる。上記長尺状フィルム基材の厚みは、好ましくは80μm〜200μmである。
なお、上記長尺状フィルム基材2は、その表面に、インジウム系酸化物層3と該長尺状フィルム基材との密着性を高めるための易接着層10を有していてもよく、また、長尺状フィルム基材2の反射率を調整するための屈折率調整層11(Index-matching layer)を有していてもよい(図2)。あるいは、上記長尺状フィルム基材の表面に傷が付き難くするためのハードコート層(不図示)を有していてもよい。
(2)インジウム系酸化物層(第1導電層)
本発明に用いられるインジウム系酸化物層3は、例えば、本発明の導電性フィルム1をタッチセンサに用いる場合、タッチパネル画面(中央窓部)の透明導電層として用いられる。
インジウム系酸化物層3を形成する材料は、透明性と導電性に優れる点から、好ましくは、インジウムスズ酸化物、インジウム亜鉛酸化物又は酸化インジウム−酸化亜鉛酸化物である。インジウム系酸化物層3の厚みは、好ましくは20nm〜80nmである。
(3)金属層(第2導電層)
本発明に用いられる金属層4は、例えば、本発明の導電性フィルムをタッチセンサに用いる場合、タッチパネル画面(中央窓部)の外縁部に引き回し配線を形成するために用いられる。
上記金属層を形成する材料は、例えば、銅、銀、銀合金又はチタン合金である。このような材料は、電気伝導性に優れるため、引き回し配線を細く形成することができる。上記金属層の厚みは、例えば、20nm〜700nmである。
(4)酸化金属層(第3導電層)
本発明に用いられる酸化金属層5は、スパッタ成膜された厚み1nm〜15nmの層である。上記酸化金属層は、第2導電層(金属層)が、大気中の酸素の影響を受けて自然に酸化することを防止するために設けられる。
酸化金属層5を形成する材料は、例えば、酸化銅、酸化銀、酸化銀合金又は酸化チタン合金である。密着性や耐腐食性の観点から、上記第3導電層を形成する材料は、上記第2導電層を形成した金属材料と同一金属材料の酸化物であることが好ましい。例えば、第2導電層が銅層である場合、第3導電層は、好ましくは酸化銅層である。
酸化金属層5の厚みは、自然酸化を防止するために、1nm〜15nmであり、好ましくは3nm〜10nmである。
上記のように構成される導電性フィルム1は、例えば、幅1.1m、長さ500m〜5000mの長尺状フィルム基材のロールをスパッタ装置に入れ、これを一定速度で繰り返しながら、該長尺状フィルム基材の一方の面に、インジウム系複合酸化物層、金属層及び酸化金属層を、スパッタ法により順次形成する方法により製造される。
上記スパッタ法は、低圧気体中で発生させたプラズマ中の陽イオンを、負電極であるターゲット材表面から飛散した物質を基板に付着させる方法である。この際、上記スパッタ装置内には、成膜する材料の焼成体ターゲットが、積層順に対応するように配置される。
上述したように、本実施形態によれば、長尺状フィルム基材2の幅方向寸法が1m以上であり、第1導電層はインジウム系酸化物層3であり、第2導電層は金属層4であり、第3導電層は、スパッタ成膜された厚み1nm〜15nmの酸化金属層5である。この構成によれば、幅方向寸法が1m以上である導電性フィルム1において、その幅方向における表面抵抗値を小さくすることができ、高品質な導電性フィルムを提供することが可能となる。
以上、本実施形態に係る導電性フィルムについて述べたが、本発明は記述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術思想に基づいて各種の変形および変更が可能である。
次に、本発明の実施例を説明する。
(実施例1)
先ず、幅1.1m、長さ2000m、厚み100μmの押出成形されたポリシクロオレフィンフィルム(日本ゼオン社製 商品名「ZEONOR」(登録商標)」からなる長尺状フィルム基材の一方の側に、第1導電層として厚み25nmのインジウムスズ酸化物層を、第2導電層として厚み50nmの銅層を、第3導電層として厚み7nmの酸化銅層を、それぞれスパッタ法により順次形成した。
(実施例2)
スパッタリング時間を変更することにより、酸化銅層の厚みを5nmに変更した以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムを作製した。
(実施例3)
スパッタリング時間を変更することにより、酸化銅層の厚みを1.5nmに変更した以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムを作製した。
(比較例1)
第3導電層としての酸化銅層を形成しなかった以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムを作製し、23℃の大気中で72時間保管して、第2導電層(銅層)の表面に、厚み1.7nmの酸化皮膜層を形成した。
次に、上記実施例1〜3および比較例1の各導電性フィルムを、以下の方法にて測定・評価した。
(1)第1導電層及び第2導電層の厚みの測定透過型電子顕微鏡(日立製作所製 H−7650)により断面観察して、インジウムスズ酸化物層と銅層の厚みを測定した。
(2)第3導電層の厚みの測定
X線光電子分光(X-ray Photoelectron Spectroscopy)分析装置(PHI社製 製品名「QuanteraSXM」を用いて、酸化銅層の厚みを測定した。
(3)表面抵抗値の測定および評価
得られた導電性フィルムの表面抵抗値を、4端子法を用いて、幅方向に15cm間隔で5点測定し、その標準偏差を求めた。
上記(1)〜(3)の方法にて、実施例1〜3および比較例1の導電性フィルムを測定・評価した結果を表1に示す。なお、表1中、実施例1〜3における「厚み」は、第3導電層の厚みを示し、比較例1の「厚み」は酸化皮膜層の厚みを示す。
Figure 0006251782
表1の結果から、実施例1〜3に示すように、幅寸法1.1mの導電性フィルムにおいて、酸化銅層の厚みが1.5nm、5nm、7nmの場合に、幅方向における表面抵抗値の標準偏差が0.002〜0.004Ω/□となり、ばらつきの小さい良好な表面抵抗値を示すことが分かった。一方、比較例1に示すように、幅寸法1.1mの導電性フィルムにおいて、自然酸化による厚み1.7nmの酸化皮膜層を形成した場合、幅方向における表面抵抗値の標準偏差が0.023Ω/□となり、ばらつきが大きいことが分かった。
本発明の導電性フィルムは、例えば、ディスプレイサイズに切断加工され、静電容量方式等のタッチセンサに使用される。
1 導電性フィルム
2 長尺上フィルム基材
3 インジウム系酸化物層
4 金属層
5 酸化金属層
10 易接着層
11 屈折率調整層
21 導電層

Claims (9)

  1. 長尺状フィルム基材と、第1導電層と、第2導電層と、第3導電層とをこの順に有する導電性フィルムであって、
    前記長尺状フィルム基材は、長手方向とそれに直交する幅方向を有し、
    前記長尺上フィルム基材の幅方向寸法は1m以上であり、
    前記第1導電層は、インジウム系酸化物層であり、
    前記第2導電層は、金属層であり、
    前記第3導電層は、スパッタ成膜された物であって、酸化金属層であり、
    前記第3導電層の形成材料は、第2導電層を形成した金属材料と同一の金属材料の酸化物を含む、
    ことを特徴とする導電性フィルム。
  2. 前記幅方向における表面抵抗値の標準偏差が0.01Ω/□以下であることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
  3. 前記第3導電層の形成材料は、第2導電層を形成した金属材料と同一の金属材料の酸化物であることを特徴とする、請求項1又は2記載の導電性フィルム。
  4. 前記第3導電層の厚みは、1nm〜15nmであることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の導電性フィルム。
  5. 表面抵抗値が0.1Ω/□〜0.6Ω/□であることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
  6. 前記幅方向における表面抵抗値の標準偏差が、0.001〜0.005Ω/□であることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
  7. 前記第3導電層は、酸化銅、酸化銀、酸化銀合金又は酸化チタン合金からなることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
  8. 前記第2導電層は、銅、銀、銀合金又はチタン合金からなることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
  9. 前記第1導電層は、インジウムスズ酸化物、インジウム亜鉛酸化物又は酸化インジウム−酸化亜鉛酸化物からなる、請求項1記載の導電性フィルム。
JP2016151754A 2016-08-02 2016-08-02 導電性フィルム Active JP6251782B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016151754A JP6251782B2 (ja) 2016-08-02 2016-08-02 導電性フィルム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016151754A JP6251782B2 (ja) 2016-08-02 2016-08-02 導電性フィルム

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012176852A Division JP5984570B2 (ja) 2012-08-09 2012-08-09 導電性フィルム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016197607A JP2016197607A (ja) 2016-11-24
JP6251782B2 true JP6251782B2 (ja) 2017-12-20

Family

ID=57358252

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016151754A Active JP6251782B2 (ja) 2016-08-02 2016-08-02 導電性フィルム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6251782B2 (ja)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3922109B2 (ja) * 2001-10-17 2007-05-30 東洋紡績株式会社 透明導電性フィルムロールの製造方法
JP2006124754A (ja) * 2004-10-27 2006-05-18 Bridgestone Corp Cu2O膜、その成膜方法及び太陽電池
JP4971618B2 (ja) * 2005-09-30 2012-07-11 ジオマテック株式会社 表示用電極パターン製造方法
KR20120053480A (ko) * 2010-11-17 2012-05-25 주식회사 엘지화학 산화막이 형성된 도전성 필름 및 그 제조방법
US20130008687A1 (en) * 2011-07-08 2013-01-10 Industrial Technology Research Institute Conductive film structure capable of resisting moisture and oxygen and electronic apparatus using the same
JP5984570B2 (ja) * 2012-08-09 2016-09-06 日東電工株式会社 導電性フィルム

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016197607A (ja) 2016-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5984570B2 (ja) 導電性フィルム
JP5531029B2 (ja) 導電性フィルム及び導電性フィルムロール
JP5969527B2 (ja) タッチスクリーン及びその製造方法
TWI413699B (zh) Transparent conductive film
JP6698064B2 (ja) 導電層付き基板、タッチパネル用透明電極付き基板及びそれらの製造方法
JP6031495B2 (ja) 透明導電性フィルム
JP2013169712A (ja) 積層体
JP2013084376A (ja) 透明導電性フィルム
JP5781428B2 (ja) 導電性フィルムおよび導電性フィルムロール
KR20130105323A (ko) 도전성 필름 롤의 제조 방법
KR20170089198A (ko) 투명 전극 및 이를 포함하는 전자 소자
US20140027021A1 (en) Method for manufacturing conductive film roll
KR101241632B1 (ko) 터치 패널의 제조 방법
JP2015133256A (ja) 透明導電積層体およびその製造方法ならびに静電容量方式タッチパネル
JP6251782B2 (ja) 導電性フィルム
KR102027775B1 (ko) 터치 센서
JP6242571B2 (ja) 透明導電性フィルム
US20160328040A1 (en) Touch panel and applications thereof
JPWO2016152808A1 (ja) 透明電極付き基板および透明電極付き基板の製造方法
KR101940693B1 (ko) 전도성 구조체 및 이의 제조방법
JP6248136B2 (ja) 導電性フィルムおよび導電性フィルムロール
JP6146658B2 (ja) 電子部品を作製するために用いられる積層体
JP2015112740A (ja) フィルムセンサ及びフィルムセンサを備えるタッチパネル装置、並びに、フィルムセンサを作製するために用いられる積層体
JP2017123333A (ja) 透明導電性フィルム
JP2013225507A (ja) 透明導電性フィルム

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170725

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170904

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171012

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20171030

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20171127

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6251782

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250