JP6237355B2 - ガラスセル、機能デバイス及び機能デバイスの製造方法 - Google Patents
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(機能デバイス1の製造方法)
図1は、第1の実施形態に係る機能デバイス1の模式的平面図である。図2は、図1の線II−IIにおける模式的断面図である。図3は、図1の線III−IIIにおける模式的断面図である。図4は、図1の線IV−IVにおける模式的断面図である。図5は、図1の矢印Vから視たときの機能デバイスの模式的正面図である。
次に、機能デバイス1の製造方法の一例について説明する。
図7は、第2の実施形態に係る
機能デバイスの模式的平面図である。図8は、第3の実施形態に係る機能デバイスの模式的平面図である。
10 ガラスセル
10a,10g,10k 第1の内部空間
10b,10h,10l 第2の内部空間
10c,10i,10m 第3の内部空間
10d,10j,10n 第4の内部空間
10e 第1の側面
10f 第2の側面
11 機能剤
21 第1のガラス板
22 第2のガラス板
23 側壁部材
24,25 金属膜
31 第1の連通口
32 第2の連通口
33 第3の連通口
34 第4の連通口
31a,32a,33a,34a 第1の部分
31b,32b,33b,34b 第2の部分
41a,41b,42a,42b,43a,43b,44a,44b 閉口材
51 第1のマザーガラス板
52 第2のマザーガラス板
53 マザー側壁部材
54 マザー積層体
54a ガラスセル部
CL カットライン
Claims (12)
- 第1のガラス板と、
前記第1のガラス板と間隔を置いて対向している第2のガラス板と、
前記第1のガラス板と前記第2のガラス板との間に配されており、前記第1及び第2のガラス板と共に複数の内部空間を区画形成している側壁部材と、
前記複数の内部空間のそれぞれを外部に連通させる連通口と、
を備え、
一の前記内部空間に接続された連通口が前記第1のガラス板と前記側壁部材との間に設けられている一方、他の前記内部空間に接続された連通口が前記第2のガラス板と前記側壁部材との間に設けられている、ガラスセル。 - 平面視において、前記複数の内部空間が、一の方向に沿って配列されており、
平面視において、前記一の内部空間に接続された連通口が、前記一の方向に対して垂直な他の方向において前記複数の内部空間の一方側に位置している一方、前記他の内部空間に接続された連通口が、前記他の方向において前記複数の内部空間の他方側に位置している、請求項1に記載のガラスセル。 - 平面視において、前記複数の内部空間が、一の方向に沿って配列されており、
平面視において、前記一の内部空間に接続された連通口と、前記他の内部空間に接続された連通口とのそれぞれが、前記一の方向に対して垂直な他の方向において前記複数の内部空間の一方側に接続されている、請求項1に記載のガラスセル。 - 前記複数の連通口の全てが前記ガラスセルの一の側面まで延伸されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載のガラスセル。
- 前記側壁部材がガラス材、セラミック材又は金属材により構成されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載のガラスセル。
- 前記第1及び第2のガラス板と前記側壁部材とが陽極接合により接合されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載のガラスセル。
- 前記内部空間が4つ以上設けられている、請求項1〜6のいずれか一項に記載のガラスセル。
- 前記内部空間が偶数個設けられており、前記第1のガラス板と前記側壁部材との間に設けられている連通口の数と、前記第2のガラス板と前記側壁部材との間に設けられている連通口の数とが等しい、請求項1〜6のいずれか一項に記載のガラスセル。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載のガラスセルと、
前記内部空間に封入された機能剤と、
を備える、機能デバイス。 - 請求項9に記載の機能デバイスの製造方法であって、
前記複数の連通口のうちの一部を除いた連通口を閉口させた状態で、前記閉口されていない連通口に接続された内部空間に前記機能剤を真空注入する第1の真空注入工程と、
前記第1の真空注入工程の後に、前記機能剤が真空注入された内部空間に接続された連通口を閉口させる一方、他の前記連通口の少なくとも一部の閉口を解除した状態で、前記閉口されていない連通口に接続された内部空間に前記機能剤を真空注入する第2の真空注入工程と、
を備える、機能デバイスの製造方法。 - 請求項9に記載の機能デバイスの製造方法であって、
前記第1のガラス板を構成するための第1のマザーガラス板と、前記第2のガラス板を構成するための第2のマザーガラス板とを、前記側壁部材を介在させて接合することにより、複数の内部空間と前記複数の内部空間のそれぞれを外部に連通させる連通孔とを備えるマザー積層体を作製する工程と、
前記複数の連通口のうちの一部を除いた連通口を閉口させた状態で、前記閉口されていない連通口に接続された内部空間に前記機能剤を真空注入する第1の真空注入工程と、
前記第1の真空注入工程の後に、前記機能剤が真空注入された内部空間に接続された連通口を閉口させる一方、他の前記連通口の少なくとも一部の閉口を解除した状態で、前記閉口されていない連通口に接続された内部空間に前記機能剤を真空注入する第2の真空注入工程と、
前記機能剤が注入されたマザー積層体を複数に分断することにより複数の機能デバイスを得る工程と、
を備える、機能デバイスの製造方法。 - 前記マザー積層体において、一の前記機能デバイスを構成するための部分に含まれる一の前記内部空間に接続された連通口と、他の前記機能デバイスを構成するための部分に含まれる一の前記内部空間に接続された連通口とが接続されている、請求項11に記載の機能デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014045761A JP6237355B2 (ja) | 2014-03-07 | 2014-03-07 | ガラスセル、機能デバイス及び機能デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014045761A JP6237355B2 (ja) | 2014-03-07 | 2014-03-07 | ガラスセル、機能デバイス及び機能デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015170783A JP2015170783A (ja) | 2015-09-28 |
JP6237355B2 true JP6237355B2 (ja) | 2017-11-29 |
Family
ID=54203234
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014045761A Active JP6237355B2 (ja) | 2014-03-07 | 2014-03-07 | ガラスセル、機能デバイス及び機能デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6237355B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019035886A (ja) * | 2017-08-18 | 2019-03-07 | 日本電気硝子株式会社 | 波長変換部材及びその製造方法、波長変換部材の母材、並びに発光デバイス |
EP3796489B1 (en) | 2019-09-20 | 2022-04-27 | Nichia Corporation | Light source device and method of manufacturing the same |
JP7152670B2 (ja) * | 2019-09-20 | 2022-10-13 | 日亜化学工業株式会社 | 光源装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53117451A (en) * | 1977-03-23 | 1978-10-13 | Citizen Watch Co Ltd | Construction and production of liquid crystal cells |
JPH09262084A (ja) * | 1996-03-27 | 1997-10-07 | Technol Res Assoc Of Medical & Welfare Apparatus | Dna増幅装置 |
AU2001286511A1 (en) * | 2000-08-15 | 2002-02-25 | Nanostream, Inc. | Optical devices with fluidic systems |
JP2003066471A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-05 | Sharp Corp | 液晶表示装置用パネル基板およびその製造装置および製造方法ならびに液晶表示装置 |
JP5724685B2 (ja) * | 2011-07-01 | 2015-05-27 | 日本電気硝子株式会社 | 発光デバイス用セルの製造方法及び発光デバイスの製造方法 |
US9146444B2 (en) * | 2011-09-20 | 2015-09-29 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Liquid crystal element and cell for liquid crystal element |
JPWO2013121865A1 (ja) * | 2012-02-16 | 2015-05-11 | 日本電気硝子株式会社 | ガラスセル、液晶素子、ガラスセルの製造方法及び液晶素子の製造方法 |
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2014
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015170783A (ja) | 2015-09-28 |
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