JP7152670B2 - 光源装置およびその製造方法 - Google Patents
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とができる。
Claims (22)
- レーザダイオードと、
前記レーザダイオードを直接または間接的に支持する基板と、
前記基板に固定され、前記レーザダイオードを覆うキャップと、
を備え、
前記キャップは、
前記レーザダイオードから出射されるレーザ光を透過する第1ガラス部分と、
第2ガラス部分と、
前記キャップの内部において前記第1ガラス部分に設けられた反射防止膜と、
を含み、
前記第1ガラス部分および前記第2ガラス部分の少なくとも一方はアルカリガラス領域を含み、
前記第1ガラス部分および前記第2ガラス部分は、前記アルカリガラス領域に接触する導電層を介して接合されており、
前記キャップの前記第2ガラス部分は、肉薄部と、前記肉薄部よりも厚い肉厚部とを有している、光源装置。 - 前記第1ガラス部分および前記第2ガラス部分の少なくとも一方はアルカリガラスである、請求項1に記載の光源装置。
- 前記第1ガラス部分は、アルカリガラスであり、
前記第1ガラス部分のアルカリ金属元素の濃度は、前記導電層に接する領域で局所的に低下している、請求項1に記載の光源装置。 - 前記第1ガラス部分は、前記アルカリガラス領域と、前記アルカリガラス領域に連結した無アルカリガラス領域とを有する、請求項1に記載の光源装置。
- 前記レーザダイオードは、前記レーザ光を出射する端面を有する端面出射型であり、前記レーザ光を前記基板に沿う方向に出射するように前記基板上に実装されており、
前記第1ガラス部分は、前記基板上において前記レーザ光を横切る位置に配置され、
前記第2ガラス部分は、前記レーザダイオードの側方に位置する一対の側壁部と、前記レーザダイオードの上方に位置して前記一対の側壁部を連結するカバー部を有している、
請求項1から4のいずれか1項に記載の光源装置。 - 前記キャップは、前記レーザダイオードを間に置いて前記第1ガラス部分に対向する第3ガラス部分を含み、
前記第2ガラス部分は、前記第1ガラス部分と前記第3ガラス部分とを連結している、請求項5に記載の光源装置。 - 前記第2ガラス部分および前記第3ガラス部分の少なくとも一方はアルカリガラス領域を含み、
前記第2ガラス部分および前記第3ガラス部分は、前記アルカリガラス領域に接触する他の導電層を介して接合されている、請求項6に記載の光源装置。 - 前記第3ガラス部分は、前記アルカリガラス領域と、前記アルカリガラス領域に連結した無アルカリガラス領域とを有し、請求項7に記載の光源装置。
- 前記第2ガラス部分は、前記アルカリガラス領域と、前記アルカリガラス領域に連結した無アルカリガラス領域とを有し、請求項7または8に記載の光源装置。
- 前記第2ガラス部分および前記第3ガラス部分は、同一のガラス材料から形成された一体部品である、請求項6に記載の光源装置。
- 前記キャップは、前記肉薄部の表面に金属層のパターンを有している、請求項1から10のいずれか1項に記載の光源装置。
- 前記金属層のパターンは、バーコードまたはデータマトリックスである、請求項11に記載の光源装置。
- レーザダイオードを直接または間接的に支持する基板を用意する工程と、
前記レーザダイオードから出射されるレーザ光を透過する第1部分と、第2部分とを含むキャップであって、前記第1部分および前記第2部分の少なくとも一方はアルカリガラス領域を含み、前記第1部分および前記第2部分は、前記アルカリガラス領域に接触する導電層を介して接合され、前記キャップの内部において前記第1部分に設けられた反射防止膜を有する、キャップを用意する工程と、
前記キャップによって前記レーザダイオードを覆い、前記キャップを前記基板に固定する工程と、
を含み、
前記キャップを用意する工程は、
第1面、および、前記第1面とは反対の側に位置する第2面を有するプレートであって、前記第1面内における第1の方向および前記第1の方向に交差する第2の方向に沿って二次元的に配列された複数の、前記第1面から前記第2面に達する、貫通孔を有するプレートを用意する工程と、
前記プレートの前記第1面および前記第2面のそれぞれに金属層を形成する工程と、
陽極接合によって前記プレートの前記第1面に、前記貫通孔に整合する形状および大きさを有するようにパターニングされた前記反射防止膜を有する第1のガラスシートを接合し、前記プレートの前記第2面に第2のガラスシートを接合して、複数の空洞を有するパネルを作製する工程と、
前記第1の方向に沿って前記パネルを切断することにより、第1の切断面が前記第1の方向に直線状に並んだ複数の前記貫通孔を横切り、かつ、前記第1の切断面に平行な第2の切断面が、前記第2の方向に隣接する前記貫通孔の間を横切る、複数のバーを作製する工程と、
前記複数のバーのそれぞれにおいて前記第1の方向に隣接する前記貫通孔の間を前記第2の方向に沿って切断することにより、各バーから個片化された複数の前記キャップを作製する工程と、
を含み、
前記第1部分は、前記第1のガラスシートの一部から形成され、
前記第2部分は、前記プレートの一部から形成され、
前記導電層は、前記金属層の一部から形成されており、
更に、
前記複数のバーを作製する工程の前において、前記プレートの前記第2の切断面が形成される部分に、前記プレートの厚さよりも浅い溝を形成するハーフダイシング工程を含み、
前記溝の幅は、前記第2の切断面を形成するときに前記プレートに形成される切断幅よりも大きい、光源装置の製造方法。 - 前記プレートは、アルカリガラスから形成されており、
前記第1および第2のガラスシートは、無アルカリガラスから形成されている、請求項13に記載の製造方法。 - 前記プレートは、無アルカリガラスまたは半導体から形成されており、
前記第1および第2のガラスシートは、アルカリガラスから形成されている、請求項13に記載の製造方法。 - 前記第1のガラスシートは、前記アルカリガラス領域と、前記アルカリガラス領域に連結した無アルカリガラス領域とを有し、
前記陽極接合によって前記プレートの前記第1面に前記第1のガラスシートを接合するとき、前記第1のガラスシートの前記アルカリガラス領域を前記金属層に接触させる、請求項13に記載の製造方法。 - 前記第2のガラスシートは、前記アルカリガラス領域と、前記アルカリガラス領域に連結した無アルカリガラス領域とを有し、
前記陽極接合によって前記プレートの前記第2面に前記第2のガラスシートを接合するとき、前記第2のガラスシートの前記アルカリガラス領域を前記金属層に接触させる、請求項13または16に記載の製造方法。 - レーザダイオードを直接または間接的に支持する基板を用意する工程と、
前記レーザダイオードから出射されるレーザ光を透過する第1部分と、第2部分とを含むキャップであって、前記第1部分および前記第2部分の少なくとも一方はアルカリガラス領域を含み、前記第1部分および前記第2部分は、前記アルカリガラス領域に接触する導電層を介して接合され、前記キャップの内部において前記第1部分に設けられた反射防止膜を有する、キャップを用意する工程と、
前記キャップによって前記レーザダイオードを覆い、前記キャップを前記基板に固定する工程と、
を含み、
前記キャップを用意する工程は、
第1面、および、前記第1面とは反対の側に位置する第2面を有するプレートであって、前記第1面内における第1の方向および前記第1の方向に交差する第2の方向に沿って二次元的に配列された複数の、前記第1面から前記第2面に向かう、凹部を有するプレートを用意する工程と、
前記プレートの前記第1面に金属層を形成する工程と、
陽極接合によって前記プレートの前記第1面に、前記凹部に整合する形状および大きさを有するようにパターニングされた前記反射防止膜を有するガラスシートを接合して、複数の空洞を有するパネルを作製する工程と、
前記第1の方向に沿って前記パネルを切断することにより、第1の切断面が前記第1の方向に直線状に並んだ複数の前記凹部を横切り、かつ、前記第1の切断面に平行な第2の切断面が、前記第2の方向に隣接する前記凹部の間を横切る、複数のバーを作製する工程と、
前記複数のバーのそれぞれにおいて前記第1の方向に隣接する前記凹部の間を前記第2の方向に沿って切断することにより、各バーから個片化された複数の前記キャップを作製する工程と、
を含み、
前記第1部分は、前記ガラスシートの一部から形成され、
前記第2部分は、前記プレートの一部から形成され、
前記導電層は、前記金属層の一部から形成されており、
更に、
前記複数のバーを作製する工程の前において、前記プレートの前記第2の切断面が形成される部分に、前記プレートの厚さよりも浅い溝を形成するハーフダイシング工程を含み、
前記溝の幅は、前記第2の切断面を形成するときに前記プレートに形成される切断幅よりも大きい、光源装置の製造方法。 - 前記プレートは、アルカリガラスから形成されており、
前記ガラスシートは、無アルカリガラスから形成されている、請求項18に記載の製造方法。 - 前記プレートは、無アルカリガラスまたは半導体から形成されており、
前記ガラスシートは、アルカリガラスから形成されている、請求項18に記載の製造方法。 - 前記ガラスシートは、前記アルカリガラス領域と、前記アルカリガラス領域に連結した無アルカリガラス領域とを有し、
前記陽極接合によって前記プレートの前記第1面に前記ガラスシートを接合するとき、前記ガラスシートの前記アルカリガラス領域を前記金属層に接触させる、請求項18に記載の製造方法。 - 前記ハーフダイシング工程の後、前記プレートに形成された前記溝の表面に金属層のパターンを形成する工程を含む、請求項13から21のいずれか1項に記載の製造方法。
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