WO2018159305A1 - ピラー供給用シートの製造方法、ガラスパネルユニットの製造方法及びガラス窓の製造方法 - Google Patents

Abstract

本発明の課題は、複数のピラーを基板上に適切にかつ容易に実装し、ガラスパネルユニットの製造を効率化する、ピラー供給用シートの製造方法、ガラスパネルユニットの製造方法及びガラス窓の製造方法を提供する。ピラー供給用シートの製造方法は、複数のピラー（４）と、キャリアシート（６０）と、各ピラー（４）とキャリアシート（６０）の間に介在する接着層（６５）を備えるピラー供給用シート（９００）の製造方法であって、ピラー形成工程を備える。複数のピラー（４）は、基材にエッチングまたはレーザ照射の処理を施し、処理後の基材から不要部分を除去して前記複数のピラーを形成する工程である。

Description

ピラー供給用シートの製造方法、ガラスパネルユニットの製造方法及びガラス窓の製造方法

　本開示は、ピラー供給用シートの製造方法、ガラスパネルユニットの製造方法及びガラス窓の製造方法に関する。本開示は、更に詳しくは、複数のピラーを供給するためのピラー供給用シートの製造方法と、このピラー供給用シートの製造方法を含むガラスパネルユニットの製造方法及びガラス窓の製造方法に関する。

　一対の基板間に複数のピラーが挟み込まれたガラスパネルユニットが、従来知られている。

　このようなガラスパネルユニットを製造するには、一つの基板上に複数のピラーを互いに距離をあけて実装し、これら複数のピラーを挟み込むように、一つの基板に対して別の基板を対向配置する（たとえば特許文献１等参照）。

　上記した従来の方法では、ガラスパネルユニットを製造するために用いる多数のピラーを、パンチング等で形成した後に保管しておき、保管された多数のピラーのうちから、必要な数のピラーを順次取り出して基板上に実装していくことが一般的である。

　この場合、保管された多数のピラーの向きが不統一であると、基板上に各ピラーを適切な向きで実装していくことが容易でないという問題がある。また、帯電したピラー同士が保管中に吸着していると、各ピラーを基板上に適切に実装していくことが容易でないという問題がある。

日本国公開特許公報１１－７９７９９号

　本開示は、基板上に複数のピラーを適切にかつ容易に実装することを可能とし、これによりガラスパネルユニットの製造を効率化することを、目的とする。

　本開示の一様態に係るピラー供給用シートの製造方法では、ピラー供給用シートは、ガラスパネルユニットに含まれる第一基板と第二基板の間の距離を維持するために用いられる複数のピラーと、前記複数のピラーが互いに距離をあけて配置されたキャリアシートと、前記複数のピラーと前記キャリアシートの間に介在する接着層と、を有する。前記ピラー供給用シートの製造方法は、基材に対してエッチングまたはレーザ照射の処理を施し、前記基材から不要部分を除去して、前記複数のピラーを形成するピラー形成工程を備える。

　本開示の一様態に係るガラスパネルユニットの製造方法では、前記ピラー供給用シートの製造方法により前記ピラー供給用シートを製造する工程と、ピラー実装工程と、接合工程と、を備える。前記ピラー実装工程は、前記第一基板と前記第二基板の少なくとも一方に、前記複数のピラーを実装する。前記接合工程は、前記複数のピラーを挟み込むように対向配置された前記第一基板と前記第二基板とを、前記複数のピラーを囲む枠状の封止材を介して気密に接合する。

　本開示の一様態に係るガラス窓の製造方法は、前記ガラスパネルユニットを、窓枠に嵌め込む嵌め込み工程を備える。

図１Ａは、一実施形態のピラー供給用シートを示す平面図であり、図１Ｂは、同上のピラー供給用シートを示す側面図である。 図２Ａは、同上のピラー供給用シートを製造するために用いられる仕掛品を示す平面図であり、図２Ｂは、図２Ａのａ－ａ線断面図である。 図３Ａは、同上の仕掛品にレーザ加工を施した状態を示す平面図であり、図３Ｂは、図３Ａのｂ－ｂ線断面図である。 図４Ａは、同上の仕掛品から不要部分を除いた状態を示す平面図であり、図４Ｂは、図４Ａのｃ－ｃ線断面図である。 図５Ａは、同上のピラー供給用シートをエッチングの手法で製造するために用いられる仕掛品を示す断面図であり、図５Ｂは、同上の仕掛品に露光と現像を施した状態を示す断面図であり、図５Ｃは、同上の仕掛品にエッチングを施した状態を示す断面図であり、図５Ｄは、同上の仕掛品からレジストの残存部分を剥がした状態を示す断面図である。 図６Ａは、同上のピラー供給用シートの第一変形例を示す要部断面図であり、図６Ｂは、同上のピラー供給用シートの第二変形例を示す要部断面図であり、図６Ｃは、同上のピラー供給用シートの第三変形例を示す要部断面図であり、図６Ｄは、同上のピラー供給用シートの第四変形例を示す要部断面図であり、図６Ｅは、同上のピラー供給用シートの第四変形例においてピラーが倒れる様子を示す一部破断図である。 図７は、同上のピラー供給用シートの第五変形例を示す側面図である。 図８Ａは、同上のピラー供給用シートを用いた第一の実装方法の第一手順を示す側面図であり、図８Ｂは、同上の第一の実装方法の第二手順を示す側面図であり、図８Ｃは、同上の第一の実装方法の第三手順を示す側面図である。 図９Ａは、同上のピラー供給用シートを用いた第二の実装方法の第一手順を示す側面図であり、図９Ｂは、同上の第二の実装方法の第二手順を示す側面図であり、図９Ｃは、同上の第二の実装方法の第三手順を示す側面図である。 図１０Ａは、同上のピラー供給用シートを用いた第三の実装方法の第一手順を示す側面図であり、図１０Ｂは、同上の第三の実装方法の第二手順を示す側面図であり、図１０Ｃは、同上の第三の実装方法の第三手順を示す側面図であり、図１０Ｄは、同上の第三の実装方法の第四手順を示す側面図である。 図１１は、同上のピラー供給用シートを用いてガラスパネルユニットを製造する途中の工程を示す斜視図である。 図１２は、同上のピラー供給用シートを用いて製造されたガラスパネルユニットを示す平面図である。 図１３は、図１２のｄ－ｄ線断面図である。 図１４は、同上のガラスパネルユニットの変形例を示す平面図である。 図１５は、図１４のｅ－ｅ線断面図である。 図１６は、同上のガラスパネルユニットの変形例の他例の断面図である。 図１７は、同上のガラスパネルユニットを用いて製造されたガラス窓を示す平面図である。

　添付図面に基づいて、一実施形態のピラー供給用シート９００、ガラスパネルユニット９０およびガラス窓９について、順に説明する。なお、添付図面においては各構成を模式的に示しており、図示の各構成の寸法形状は、実際の寸法形状とは相違する。

　（ピラー供給用シート）
　まず、一実施形態のピラー供給用シート（スペーサ供給用シート）９００の基本的な構成について説明する。

　ピラー供給用シート９００は、ガラスパネルユニット９０（図１２、図１３参照）を製造するために用いられる。より具体的に述べると、ピラー供給用シート９００は、ガラスパネルユニット９０の一部を構成する複数のピラー（スペーサ）４を、互いに距離をあけた状態で保持し、その状態を維持しながら、ガラスパネルユニット９０の製造現場に搬送するために用いられる。

　図１Ａ、図１Ｂに示すように、ピラー供給用シート９００は、複数のピラー４と、キャリアシート６０と、接着層６５を備える。

　複数のピラー４について説明する。

　複数のピラー４は、それぞれ円柱状に形成されている。各ピラー４は、低熱伝導率の樹脂で形成されていることが好ましく、特に、ポリイミド、ポリイミドベンゾオキサゾールで形成されていれば、高強度、低熱伝導性および耐熱性が両立するため好ましい。但し、各ピラー４の材質は樹脂に限定されず、金属、ガラス、セラミック、炭素材、あるいはこれら（樹脂、金属、ガラス、セラミック、炭素材等）が組み合わさった材質でもよい。

　各ピラー４の外形は円柱状に限定されず、楕円柱状、六角柱状等の他の外形を有してもよい。また、各ピラー４は中実に限定されず、中空（筒状）であってもよい。各ピラー４の寸法は特に限定されないが、直径が５０～１０００μｍの範囲内で設定されることや、軸方向の高さが５０～３００μｍの範囲内で設定されることが好ましい。

　キャリアシート６０について説明する。

　キャリアシート６０は、複数のピラー４を所定の配列および姿勢で支持するためのシートである。キャリアシート６０は、矩形状に形成されている。キャリアシート６０は、ポリエチレンテレフタラート等の樹脂で形成されていることが好ましいが、キャリアシート６０の材質は樹脂に限定されず、ガラス、金属、あるいはこれら（樹脂、ガラス、金属等）が組み合わさった材質でもよい。

　接着層６５について説明する。

　接着層６５は、複数のピラー４をそれぞれキャリアシート６０の一面側に接着するための層である。この実施形態では、キャリアシート６０の一面側の全部に接着層６５が形成されているが、接着層６５が形成される範囲はこれに限定されず、少なくとも各ピラー４とキャリアシート６０の間に接着層６５が介在すればよい。

　接着層６５は、ピラー供給用シート９００を保管および搬送する間は各ピラー４を良好に保持し、ピラー供給用シート９００を使用するときには各ピラー４を容易に取り外すことができるように（すなわち剥離可能に）構成されていればよく、たとえば弱接着剤（弱粘着剤）で形成可能である。この場合、接着層６５の接着力（剪断接着力）は、ＪＩＳ規格番号［ＪＩＳＺ０２３７］に基づく１８０°引き剥がし試験で１Ｎ／２５ｍｍ以下となるように設定されることが好ましい。

　但し、接着層６５は弱接着剤で形成されることに限定されず、光、熱等の外部刺激によって接着力が低下する性質の接着剤で形成されてもよい。

　ピラー供給用シート９００は、上記の構成を備えることから、ピラー供給用シート９００を保管および搬送する間は、各ピラー４を、キャリアシート６０および接着層６５を用いて、適切な配列および姿勢で保持することができる。

　（ピラー供給用シートの製造方法）
　次に、ピラー供給用シート９００を製造する方法について説明する。

　ピラー供給用シート９００を製造する方法として、たとえば、レーザ加工を用いる第一の方法と、エッチングを用いる第二の方法がある。

　まず、第一の方法について説明する。

　第一の方法は、準備工程と、ピラー（スペーサ）形成工程を備える。

　準備工程は、レーザ加工の対象となる仕掛品８１を準備する工程である。仕掛品８１は、図２Ａ、図２Ｂに示すように、キャリアシート６０の一面側に接着層６５を介して基材４０が形成された構造を有する。

　基材４０は、複数のピラー４の基になるシート状の部材であり、各ピラー４と同一の材質で形成されている。つまり、基材４０は、たとえば低熱伝導率の樹脂で形成されているが、基材４０の材質は樹脂に限定されず、金属、ガラス、セラミック、炭素材、あるいはこれら（樹脂、金属、ガラス、セラミック、炭素材等）が組み合わさった材質であることも有り得る。

　ピラー形成工程（スペーサ形成工程）は、仕掛品８１の基材４０に対してレーザ照射の処理が施され、処理後の基材４０から不要部分４５（図４Ａ等参照）を除去する工程である。ピラー形成工程を経ることで、複数のピラー４が、接着層６５を介してキャリアシート６０に接着された状態で形成される。

　ここで照射するレーザは、複数種類のレーザのうちから、基材４０の材質に応じて適切なものが選択される。選択可能なレーザは、グリーンレーザ、ＵＶレーザ、エキシマレーザ、アルゴンレーザ、Ｈｅ－Ｎｅレーザ等である。たとえば、基材４０の材質がポリイミドベンゾオキサゾールであるときには、２倍波のグリーンレーザ、または３倍波のＵＶレーザを選択することが好ましい。

　また、基材４０に照射するレーザは、ピコ秒レーザ、フェムト秒レーザ、ナノ秒レーザ等の、パルスレーザであることが好ましい。基材４０に照射するレーザがパルスレーザであると、レーザの熱を逃がしながら加工を行うことができる。

　照射されたレーザの熱が接着層６５に蓄積されると、接着層６５が溶けやすくなるという問題がある。また、照射されたレーザの熱が基材４０に蓄積されると、特に基材４０が樹脂である場合に、基材４０が焦げやすくなるという問題や、基材４０が積層材である場合に、熱応力によって積層材が剥がれやすくなるという問題がある。レーザがパルスレーザであると、これらの問題が解消される。

　上記のレーザ照射により、仕掛品８１の基材４０には、図３Ａ、図３Ｂに示すような幾何学的なパターン４２が精密に描画される。パターン４２は、環状（円環状）の複数のパターン４２１を含んでいる。各パターン４２１は、基材４０を厚み方向に貫通するように形成されている。レーザ加工された基材４０のうち、各パターン４２１に囲まれた部分が、円柱状のピラー４を構成する。

　次いで、図４Ａ、図４Ｂに示すように、レーザ照射後の基材４０の接着層６５から不要部分４５が剥がされることで、複数のピラー４を有するピラー供給用シート９００が得られる。不要部分４５は、基材４０のうち、複数のパターン４２１に囲まれる部分（複数のピラー４を構成する部分）を除いた部分である。

　なお、第一の方法のように基材４０にレーザ照射の処理を施す場合、キャリアシート６０は、基材４０よりもレーザの透過率が高いものを用いることが好ましい。このようにすることで、基材４０を加工するためのレーザがキャリアシート６０に影響を及ぼすことが抑えられる。

　次に、エッチングを用いる第二の方法について、図５Ａ～図５Ｄに基づいて説明する。図５Ａ～図５Ｄには、第二の方法でピラー供給用シート９００を製造する手順を示している。

　なお、以下の説明において、第一の方法と同様の構成については、同一符号を付して詳しい説明を省略する。

　第二の方法は、準備工程と、ピラー形成工程を備える。準備工程は、エッチングの対象となる仕掛品８１を準備する工程である。仕掛品８１は、キャリアシート６０の一面側に接着層６５を介して基材４０が形成された構造を有する。

　ピラー形成工程は、図５Ａ～図５Ｄに示す手順を経て、仕掛品８１の基材４０に対してエッチングが施され、基材４０を基にして複数のピラー４を形成する工程である。

　図５Ａに示すように、基材４０の上面には、その全体を覆うようにレジスト８７が形成される。レジスト８７に対して露光処理と現像処理が施されることで、図５Ｂに示すように、レジスト８７の残存部分８７５が所定の形状で残存する。この残存部分８７５を利用してエッチング処理が施されると、図５Ｃに示すように、基材４０が所定の形状でエッチングされ、複数のピラー４が、接着層６５を介してキャリアシート６０に接着された状態で形成される。

　ここでのエッチング処理としては、基材４０の材質に応じて、湿式および乾式の各種のエッチング処理のうちから、適切な処理が選択される。

　次いで、エッチング処理後の基材４０（複数のピラー４）から、レジスト８７の残存部分８７５が除去されることで、図５Ｄに示すように、複数のピラー４を有するピラー供給用シート９００が得られる。

　以上、第一の方法と第二の方法について説明したが、ピラー供給用シート９００の製造方法はこれらに限定されない。

　たとえば、ピラー形成工程において、基材４０をキャリアシート６０に接着された状態で加工するのではなく、キャリアシート６０とは別体の状態で加工することも可能である。

　この場合、ピラー形成工程と配置工程を経ることで、ピラー供給用シート９００が製造される。ピラー形成工程では、キャリアシート６０とは別体の基材４０に対してエッチングまたはレーザ照射の処理が施され、処理後の基材４０から不要部分が除去されることで、複数のピラー４を形成する。配置工程では、ピラー形成工程で形成した複数のピラー４を、接着層６５を介してキャリアシート６０に配置する。

　特に、基材４０の材質が硬度の高い樹脂（ポリイミド、ポリイミドベンゾオキサゾール等）である場合には、打ち抜き等の機械加工で良好な形状のピラー４を得ることは困難である。これに対して、レーザ照射またはエッチングの処理を行うことで、基材４０の材質が硬度の高い樹脂であっても、良好な形状のピラー４を得やすいという利点がある。

　（ピラー供給用シートの変形例）
　次に、図６Ａ～図６Ｅ、図７に基づいて、ピラー供給用シート９００の各種の変形例（第一～第五変形例）について説明する。なお、ピラー供給用シート９００について既に説明した構成と同様の構成については、同一符号を付して詳しい説明を省略する。

　図６Ａには、ピラー供給用シート９００の第一変形例の要部を示している。第一変形例では、各ピラー４が、複数の樹脂層４０５が積層された複層構造を有している。第一変形例においては、ピラー４を形成する過程で各樹脂層４０５から溶剤が抜けやすくなるので、ピラー４が単一の樹脂層で構成されている場合に比べて、高い強度を発揮しやすくなる。

　図６Ｂには、ピラー供給用シート９００の第二変形例の要部を示している。第二変形例では、各ピラー４に、第二接着層８２が形成されている。第二接着層８２は、各ピラー４が有する軸方向（高さ方向）の両面のうち、接着層６５に接着される面とは反対側の面に、形成されている。

　つまり、ピラー供給用シート９００の第二変形例を製造する方法は、第二接着層形成工程を、さらに備える。第二接着層形成工程は、各ピラー４の接着層６５に接着される面とは反対側の面に、第二接着層８２を設ける工程である。

　ピラー供給用シート９００の第二変形例によれば、後述する転写の手法で第二基板２に各ピラー４を実装するときに、各ピラー４を、第二接着層８２を介して第二基板２に接着させることができる。そのため、ガラスパネルユニット９０を効率的に製造することが可能である。

　図６Ｃには、ピラー供給用シート９００の第三変形例の要部を示している。第三変形例では、各ピラー４に、導電体層８３が形成されている。導電体層８３は、各ピラー４が有する軸方向（高さ方向）の両面のうち、接着層６５に接着される面とは反対側の面に、形成されている。

　つまり、ピラー供給用シート９００の第三変形例を製造する方法は、導電体層形成工程を、さらに備える。導電体層形成工程は、各ピラー４の接着層６５に接着される面とは反対側の面に、導電体層８３を設ける工程である。

　導電体層８３は、アルミニウム、銅、銀等の金属で形成されていることが好ましく、ＺｎＯ、ＳｎＯ２等の導電性酸化物で形成されていることも好ましい。また、導電体層８３は、軟質の材質（軟質の金属、軟質の導電性酸化物等）で形成されていることが好ましい。導電体層８３が硬質であると、他の部材（第一基板１等）に傷をつける可能性があるが、導電体層８３が軟質であるとこの可能性が低減される。

　ピラー供給用シート９００の第三変形例によれば、各ピラー４に導電体層８３が形成されていることで、各ピラー４が帯電することが抑えられる。これにより、帯電したピラー４が他の部材に対して電気的に吸着することや、帯電したピラー４同士が電気的に吸着することが抑えられる。

　図６Ｄには、ピラー供給用シート９００の第四変形例の要部を示している。第四変形例では、各ピラー４が、主材料で形成された部分４６と、主材料よりも比重が大きな副材料で形成された部分４７を含んでいる。一例として、主材料は樹脂であり、副材料は金属である。

　ピラー供給用シート９００の第四変形例においては、ピラー４が主材料（樹脂）だけで形成されている場合と比べて、ピラー４に質量を付加することができる。ピラー４が軽量であると、ピラー４が後述の吸着ピン８５や転写用シート７０から離れ難くなるという問題があるが、ピラー４が比重の大きな部分４７を含むことで、この問題が解消される。

　また、第四変形例においては、ピラー４において比重の大きな部分４７が占める領域を設定することによって、ピラー４の重心位置を自在に設定することができる。図６Ｄの左側のピラー４においては、ピラー４の重心が、軸方向において中心からずれて（中心よりも下側にずれて）位置している。これにより、左側のピラー４は、たとえば第二基板２に適正な姿勢で実装されなかった場合には、図６Ｅに示すように、自ずと倒れて適正な姿勢に至るように構成されている。

　図７には、ピラー供給用シート９００の第五変形例を示している。第五変形例では、互いに距離をあけて位置するように分断された複数の接着層６５５で、接着層６５が構成されている。複数のピラー４は、分断された複数の接着層６５５に、一対一で接着されている。分断された複数の接着層６５は、たとえば上記した第一の方法において、仕掛品８１の接着層６５に至るまでレーザ加工することや、第二の方法において接着層６５に至るまでエッチングすることで、形成することが可能である。

　以上、ピラー供給用シート９００の各種の変形例について説明したが、各種の変形例において更なる設計変更を行うことや、各種の変形例の特徴的な構成を組み合わせることも可能である。

　（ガラスパネルユニット）
　次に、ピラー供給用シート９００を用いて製造されたガラスパネルユニット９０について説明する。

　図１２、図１３に示すように、ガラスパネルユニット９０は、第一基板１、第二基板２、封止材５および複数（多数）のピラー４を備える。

　第一基板１は、平板状のガラス板１５と、ガラス板１５の厚み方向の第一の側（第二基板２に対向する側）を覆うコーティング１６を備える。第一基板１のうち第二基板２に対向する対向面１２は、コーティング１６の表面で構成されている。

　コーティング１６は、たとえば熱線反射膜であるが、他の物理特性を有する膜でもよい。また、第一基板１において、ガラス板１５の厚み方向の第一の側ではなく第二の側（第一の側と反対側）に適宜のコーティングが施されてもよいし、ガラス板１５の厚み方向の第一の側と第二の側のそれぞれに適宜のコーティングが施されてもよい。

　第一基板１は、少なくともガラス板１５で構成されていればよい。第一基板１は、全体として透明であるが、半透明や非透明でもよい。

　第二基板２は、平板状のガラス板２５で構成されている。第二基板２のうち第一基板１に対向する対向面２２は、ガラス板２５の表面で構成されている。第二基板２は、少なくともガラス板２５で構成されていればよく、ガラス板２５の厚み方向の両側または片側に、適宜のコーティングが施されてもよい。第二基板２は、全体として透明であるが、半透明や非透明でもよい。

　複数のピラー４は、互いに対向して位置する第一基板１と第二基板２の間に挟み込まれて位置する。各ピラー４が、第一基板１の対向面１２と第二基板２の対向面２２に接触することで、第一基板１と第二基板２の間隔が所定間隔に維持される。

　封止材５は、第一基板１と第二基板２の間に挟み込まれて位置する。封止材５は、第一基板１の対向面１２の周縁部に対して全周に亘って気密に接合され、かつ、第二基板２の対向面２２の周縁部に対して全周に亘って気密に接合されている。

　ガラスパネルユニット９０においては、第一基板１と第二基板２と封止材５に囲まれた内部空間５１が、所定の真空度にまで減圧された状態で、気密に封止されている。複数のピラー４は、封止材５に全周を囲まれて位置する。複数のピラー４は、減圧された内部空間５１に収容されている。なお、内部空間５１が減圧状態で封止されるのではなく、乾燥ガス等の断熱性の気体が充填された状態で封止されることも有り得る。

　（ガラスパネルユニットの製造方法）
　次に、ピラー供給用シート９００を用いてガラスパネルユニット９０を製造する方法について説明する。

　ガラスパネルユニット９０を製造する方法は、ピラー実装工程、接合工程、排気工程および封止工程を備える。

　まず、ピラー実装工程について説明する。

　ピラー実装工程（スペーサ実装工程）は、ピラー供給用シート９００の一部を構成する複数のピラー４を、第二基板２の対向面２２に実装する工程である。複数のピラー４は、対向面２２において互いに距離をあけてマトリクス状に実装される。なお、複数のピラー４が実装される箇所は、第二基板２の対向面２２に限定されない。複数のピラー４が、第一基板１の対向面１２に実装されることや、第一基板１と第二基板２の互いの対向面１２，２２に実装されることも有り得る。ピラー実装工程については、改めて詳述する。

　接合工程について説明する。

　接合工程は、複数のピラー４を挟み込むように対向配置された第一基板１と第二基板２を、枠状の封止材５を介して気密に接合する工程である。

　接合工程では、第二基板２の対向面２２に塗布された封止材５がいったん加熱溶融されることで、第一基板１と第二基板２を気密に接合する。これにより、第一基板１と第二基板２の間には、封止材５で囲まれた内部空間５１が形成される。接合工程が完了した段階において、内部空間５１は、第二基板２が備える排気孔５５（図１１参照）を通じて外部空間に連通されている。

　封止材５が塗布されるタイミングと、複数のピラー４が実装されるタイミングは、いずれが先でもよく、あるいは同時でもよい。内部空間５１に連通する排気孔５５は、第一基板１が備えてもよいし、第一基板１と第二基板２の両方が備えてもよい。

　排気工程について説明する。

　排気工程は、接合工程の後に行われる。排気工程では、内部空間５１の空気が、排気孔５５を介して外部に排出され、内部空間５１の全体が所定の真空度（例えば０．１Ｐａ以下の真空度）に至るまで減圧される。排気孔５５を通じての排気作業は、たとえば排気孔５５と連通するように第二基板２に接続された排気管を介して、適宜の真空ポンプを用いて行われる。

　封止工程について説明する。

　封止工程は、排気工程の後に行われる。封止工程において、内部空間５１の減圧状態を維持したまま排気孔５５を封止することで、減圧された内部空間５１を備えるガラスパネルユニット９０が得られる。

　次に、ピラー実装工程について、図８Ａ～図１０Ｄに基づいて改めて詳述する。

　ピラー実装工程で複数のピラー４を実装する方法として、たとえばピッキングの手法を用いた第一の実装方法、転写の手法を用いた第二の実装方法、ピッキングと転写の両方の手法を用いた第三の実装方法がある。

　図８Ａ～図８Ｃには、ピッキングの手法を用いた第一の実装方法で、複数のピラー４を第二基板２に実装する手順を示している。

　第一の実装方法では、図８Ａに示すように、ピラー供給用シート９００が第二基板２と隣接する位置にセットされる。ピラー供給用シート９００は、キャリアシート６０および接着層６５の上方に複数のピラー４が位置する姿勢で、セットされる。

　次いで、図８Ｂ、図８Ｃに示すように、ピラー供給用シート９００の一部を構成する各ピラー４が、先端からエアを吸引するように構成された吸着ピン８５を用いて接着層６５から剥がされ、第二基板２の上面（対向面２２）の所定箇所に順次実装される。

　上述したように、接着層６５は、各ピラー４を弱接着（粘着）するように構成されているか、あるいは、光、熱の外部刺激によって接着力が低下するように構成されていることが好ましい。

　前者の場合は、吸着ピン８５によって各ピラー４を容易に取り外すことができる。

　後者の場合は、ピラー実装工程において接着層６５に外部刺激を与えて接着力を低下させ、各ピラー４を吸着ピン８５で容易に取り外すことができる。接着層６５は、たとえば加熱によって接着力が低下する性質を有することや、光（紫外線）が照射されると接着力が低下する性質を有することが好ましい。

　第一の実装方法では、複数のピラー４をピッキングの手法で第二基板２に実装しているが、同様のピッキングの手法で第一基板１に実装することも可能であるし、同様のピッキングの手法で第一基板１と第二基板２の両方に実装することも可能である。

　なお、各ピラー４を第二基板２に実装しやすくするために、第二基板２に水滴等の液滴を予め付着させることも好ましい。各ピラー４は、液滴の吸着作用によって第二基板２に実装されやすくなる。

　図９Ａ～図９Ｃには、転写の手法を用いた第二の実装方法で、複数のピラー４を第二基板２に実装する手順を示している。

　第二の実装方法では、図９Ａに示すように、ピラー供給用シート９００が第二基板２と隣接する位置にまで搬送され、次いで、図９Ｂに示すように、ピラー供給用シート９００が転写用の姿勢に保持される。この姿勢で、ピラー供給用シート９００の一部を構成する複数のピラー４が、第二基板２の上面に押し当てられる。ピラー供給用シート９００の転写用の姿勢は、キャリアシート６０および接着層６５の下方に複数のピラー４が位置する姿勢である。

　次いで、図９Ｃに示すように、キャリアシート６０が第二基板２から離れるように持ち上げられると、複数のピラー４が第二基板２上に残存する。これにより、ピラー供給用シート９００の一部を構成する複数のピラー４が、第二基板２上に、所定の配列で一括的に実装される。

　なお、複数のピラー４が第二基板２に残存しやすくなるように、第二基板２に水滴等の液滴が予め付着されていることが好ましい。第二基板２に転写された各ピラー４は、液滴の吸着作用によって第二基板２上に残存しやすくなる。

　また、複数のピラー４が第二基板２に残存しやすくなるように、上記した第二変形例のピラー供給用シート９００（図６Ｂ参照）を用いることも好ましい。第二変形例のピラー供給用シート９００を用いれば、各ピラー４が第二接着層８２を介して第二基板２に接着するので、各ピラー４が第二基板２上に残存しやすくなる。

　第二の実装方法においても、ピラー供給用シート９００の接着層６５は、各ピラー４を弱接着（粘着）するように構成されているか、あるいは、光、熱の外部刺激によって接着力が低下するように構成されていることが好ましい。

　前者の場合は、転写の際に各ピラー４がキャリアシート６０から容易に取り外される。

　後者の場合は、転写の際に接着層６５に外部刺激を与えて接着力を低下させることで、各ピラー４がキャリアシート６０から容易に取り外される。接着層６５は、たとえば加熱によって接着力が低下する性質を有することや、光（紫外線）が照射されると接着力が低下する性質を有することが好ましい。

　この場合、接着層６５を形成する接着剤と、第二接着層８２を形成する接着剤とで、互いに性質を異ならせることが好ましい。一例として、加熱により接着力が低下する接着剤で接着層６５を形成し、かつ、加熱により接着力が高められる接着剤で第二接着層８２を形成することが好ましい。また、光（紫外線）照射により接着力が低下する接着剤で接着層６５を形成し、かつ、光（紫外線）の照射により接着力が高められる接着剤で第二接着層８２を形成することも好ましい。

　第二の実装方法では、複数のピラー４を転写の手法で第二基板２に実装しているが、同様の転写の手法で第一基板１に実装することも可能であるし、同様の転写の手法で第一基板１と第二基板２の両方に実装することも可能である。

　図１０Ａ～図１０Ｄには、ピッキングと転写の両方の手法を用いた第三の実装方法で、複数のピラー４を第二基板２に実装する手順を示している。

　第三の実装方法では、ピッキングの手法を用いた再配置工程と、転写の手法を用いた転写工程を経ることで、ピラー供給用シート９００の一部を構成する複数のピラー４が、第二基板２に所定の配列で実装される。

　図１０Ａと図１０Ｂに示すように、再配置工程では、複数のピラー４がキャリアシート６０から取り外された後に、キャリアシート６０とは別の転写用シート７０に、所定の配列および姿勢で再配置される。複数のピラー４の再配置には、第一の実装方法と同様の吸着ピン８５が好適に用いられる。

　転写用シート７０の一面（上面）には接着層７５が形成されている。各ピラー４は、接着層７５を介して、転写用シート７０に所定の配列で接着される。

　図１０Ｃに示すように、転写工程では、複数のピラー４が再配置された転写用シート７０が、転写用の姿勢に保持され、この姿勢で、複数のピラー４が第二基板２の上面（対向面２２）に押し当てられる。転写用シート７０が転写用の姿勢にあるとき、複数のピラー４は転写用シート７０および接着層７５の下方に位置する。

　次いで、図１０Ｄに示すように、転写用シート７０が第二基板２から離れるように持ち上げられると、複数のピラー４は第二基板２に残存する。これにより、ピラー供給用シート９００の一部を構成する複数のピラー４が、第二基板２に所定の配列で一括的に実装される。

　第三の実装方法においても、第二の実装方法と同様に、複数のピラー４が第二基板２に残存しやすくなるように、第二基板２に水滴等の液滴が予め付着されていることが好ましい。第二基板２に転写された各ピラー４は、液滴の吸着作用によって第二基板２に残存しやすくなる。

　第三の実装方法においても、ピラー供給用シート９００の接着層６５は、各ピラー４を弱接着（粘着）するように構成されているか、あるいは、光、熱の外部刺激によって接着力が低下するように構成されていることが好ましい。

　前者の場合は、ピッキングの際に各ピラー４がキャリアシート６０から容易に取り外される。

　後者の場合は、ピッキングの際に接着層６５に外部刺激を与えて接着力を低下させることで、各ピラー４がキャリアシート６０から容易に取り外される。接着層６５は、たとえば加熱によって接着力が低下する性質を有することや、光（紫外線）が照射されると接着力が低下する性質を有することが好ましい。

　転写用シート７０に形成される接着層７５においても、各ピラー４を弱接着（粘着）するように構成されているか、あるいは、光、熱の外部刺激によって接着力が低下するように構成されていることが好ましい。

　前者の場合は、転写の際に各ピラー４が転写用シート７０から容易に取り外される。

　後者の場合は、転写の際に接着層７５に外部刺激を与えて接着力を低下させることで、各ピラー４が転写用シート７０から容易に取り外される。接着層７５は、たとえば加熱によって接着力が低下する性質を有することや、光（紫外線）が照射されると接着力が低下する性質を有することが好ましい。

　第三の実装方法では、複数のピラー４を第二基板２に実装しているが、第一基板１に実装することも可能であるし、第一基板１と第二基板２の両方に実装することも可能である。

　（ガラスパネルユニットの変形例）
　次に、ガラスパネルユニット９０の変形例について、図１４～図１６に基づいて説明する。

　ガラスパネルユニット９０の変形例は、第一基板１に対向して位置する第三基板３と、第一基板１と第三基板３の互いの周縁部を全周に亘って気密に接合する第二封止材３８を、さらに備える。

　第三基板３は、少なくともガラス板３５で構成されていればよく、適宜のパネルを用いることが可能である。第三基板３は、全体として透明であるが、半透明や非透明でもよい。

　第一基板１と第三基板３の互いの対向面１４，３２の間には、封止された第二内部空間５２が形成されている。

　第三基板３は、第一基板１と第二基板２のうち一方の基板に対向して位置すればよい。第三基板３が第二基板２に対向して位置する場合には、第二封止材３８が、第二基板２と第三基板３の互いの周縁部に接合され、第二基板２と第三基板３の間に第二内部空間５２が形成される（図１６参照）。

　図１５に示すように、枠状である第二封止材３８の内側には、中空部分を有する枠状のスペーサ３４が、さらに配置されている。スペーサ３４の中空部分には、乾燥剤３６が充填されている。

　スペーサ３４はアルミニウム等の金属で形成されており、その内周側に貫通孔３４１を有する。スペーサ３４の中空部分は、貫通孔３４１を介して第二内部空間５２に連通する。乾燥剤３６は、たとえばシリカゲルである。第二封止材３８は、たとえばシリコン樹脂、ブチルゴム等の高気密性の樹脂で形成されることが好ましい。

　第二内部空間５２は、第一基板１（または第二基板２）、第三基板３および第二封止材３８で密閉された空間である。第二内部空間５２には、乾燥ガスが充填される。乾燥ガスは、たとえばアルゴン等の乾燥した希ガス、または乾燥空気である。乾燥空気には、第二内部空間５２に封入された後に乾燥剤３６の作用で乾燥した空気も含まれる。

　ガラスパネルユニット９０の変形例は、厚み方向の両端に位置する第三基板３と第二基板２（または第一基板１）の間に、所定の真空度に至るまで減圧された内部空間５１と、乾燥ガスが充填された第二内部空間５２が介在するので、高い断熱性を発揮する。

　ガラスパネルユニット９０の変形例の製造方法は、上記したピラー形成工程、ピラー実装工程、接合工程、排気工程および封止工程に加えて、第二接合工程を備える。第二接合工程は、第一基板１（または第二基板２）に対して、第二封止材３８を介して第三基板３を接合する工程である。

　（ガラス窓）
　次に、ガラスパネルユニット９０を用いて製造されたガラス窓９について説明する。

　図１７に示すガラス窓９は、正面視矩形状のガラスパネルユニット９０と、ガラスパネルユニット９０の周縁部に嵌め込まれた矩形枠状の窓枠９５を備える。ガラス窓９においては、正面から視たときに、ガラスパネルユニット９０の封止材５が窓枠９５に隠れることが好ましい。

　ガラス窓９を製造する方法は、ガラスパネルユニット９０を製造するための各工程に加えて、ガラスパネルユニット９０に窓枠９５を嵌め込む嵌め込み工程を備える。嵌め込み工程において、ガラスパネルユニット９０の変形例の周縁部に窓枠９５を嵌め込むことも可能である。

　（態様）
　上述した実施形態および変形例から明らかなように、第１の態様のピラー供給用シートの製造方法は、ピラー供給用シート（９００）を製造する方法である。ピラー供給用シート（９００）は、ガラスパネルユニット（９０）に含まれる第一基板（１）と第二基板（２）の間の距離を維持するために用いられる複数のピラー（４）と、複数のピラー（４）が互いに距離をあけて配置されたキャリアシート（６０）と、前記複数のピラー（４）とキャリアシート（６０）の間に介在する接着層（６５）を有する。第１の態様のピラー供給用シートの製造方法は、基材（４０）に対してエッチングまたはレーザ照射の処理を施し、基材（４０）から不要部分（４５）を除去して、複数のピラー（４）を形成するピラー形成工程を備える。

　したがって、第１の態様のピラー供給用シートの製造方法によれば、ピラー供給用シート（９００）を用いて、第一基板（１）と第二基板（２）の少なくとも一方に、複数のピラー（４）を適切にかつ容易に実装することができる。しかも、各ピラー（４）は、レーザ照射またはエッチングで形成されるので、形成されたピラー（４）にバリが発生することが抑えられる。仮に、ピラー（４）が大きなバリを有する場合には、該バリを原因としてピラー（４）が大きく視認されるという問題や、ピラー（４）に圧力が加わったときに該バリを原因として破損しやすいという問題がある。第１の態様のピラー供給用シートの製造方法によれば、これらの問題が解決される。

　第２の態様のピラー供給用シートの製造方法は、第１の態様との組み合わせにより実現され得る。第２の態様では、キャリアシート（６０）に接着層（６５）を介して基材（４０）が形成された仕掛品（８１）を準備する準備工程を、さらに備える。ピラー形成工程は、準備工程の後に実行される。

　したがって、第２の態様のピラー供給用シートの製造方法によれば、ピラー供給用シート（９００）を効率的に製造することができる。

　第３の態様のピラー供給用シートの製造方法は、第２の態様との組み合わせにより実現され得る。第３の態様では、キャリアシート（６０）は、基材（４０）よりもレーザの透過率が高い。ピラー形成工程では、キャリアシート（６０）に接着された基材（４０）に対して、レーザ照射の処理を施す。

　したがって、第３の態様のピラー供給用シートの製造方法によれば、仕掛品（８１）に対してレーザ照射を施すことで、ピラー供給用シート（９００）を効率的に製造することができる。

　第４の態様のピラー供給用シートの製造方法は、第１の態様との組み合わせにより実現され得る。第４の態様では、ピラー形成工程で形成した複数のピラー（４）をキャリアシート（６０）に配置する配置工程を、さらに備える。

　したがって、第４の態様のピラー供給用シートの製造方法によれば、多様な態様のピラー供給用シート（９００）を効率的に製造することができる。

　第５の態様のピラー供給用シートの製造方法は、第１～第４のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現され得る。第５の態様では、接着層（６５）は、前記複数のピラー（４）を弱接着するように構成されている。

　したがって、第５の態様のピラー供給用シートの製造方法によれば、ピラー供給用シート（９００）を使用してガラスパネルユニット（９０）を製造するときに、各ピラー（４）を容易に取り外すことができる。

　第６の態様のピラー供給用シートの製造方法は、第５の態様との組み合わせにより実現され得る。第６の態様では、接着層（６５）の接着力は、１Ｎ／２５ｍｍ以下である。ここでの接着力は、ＪＩＳ規格番号［ＪＩＳＺ０２３７］に基づく１８０°引き剥がし試験で測定される剪断接着力である。

　したがって、第６の態様のピラー供給用シートの製造方法によれば、ピラー供給用シート（９００）を使用してガラスパネルユニット（９０）を製造するときに、各ピラー（４）を容易に取り外すことができる。

　第７の態様のピラー供給用シートの製造方法は、第１～第４のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現され得る。第７の態様では、接着層（６５）は、光または熱の外部刺激により接着力が低下するように構成されている。

　したがって、第７の態様のピラー供給用シートの製造方法によれば、ピラー供給用シート（９００）を保管、搬送する間は各ピラー（４）を良好に保持し、ピラー供給用シート（９００）を使用するときは各ピラー（４）を容易に取り外すことができる。

　第８の態様のピラー供給用シートの製造方法は、第１～第７のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現され得る。第８の態様では、第二接着層形成工程を、さらに備える。第二接着層形成工程は、前記複数のピラー（４）の各々の接着層（６５）に接着される面とは反対側の面に、第二接着層（８２）を設ける工程である。

　したがって、第８の態様のピラー供給用シートの製造方法によれば、各ピラー（４）を、第二接着層（８２）を介して第一基板（１）または第二基板（２）に接着させることができる。

　第９の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１～第８のいずれか一つの態様のピラー供給用シートの製造方法によりピラー供給用シート（９００）を製造する工程と、ピラー実装工程と接合工程とを備える。ピラー実装工程は、第一基板（１）と第二基板（２）の少なくとも一方に、複数のピラー（４）を実装する工程である。接合工程は、複数のピラー（４）を挟み込むように対向配置された第一基板（１）と第二基板（２）とを、複数のピラー（４）を囲む枠状の封止材（５）を介して気密に接合する工程である。

　したがって、第９の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、ピラー供給用シート（９００）に保持される複数のピラー（４）を用いて、ガラスパネルユニット（９０）を効率的に製造することができる。しかも、各ピラー（４）にバリが発生することが抑えられるので、バリを原因としてピラー（４）が大きく視認されることや、バリを原因として第一基板（１）や第二基板（２）に破損を生じることが抑えられる。

　第１０の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第９の態様との組み合わせにより実現され得る。第１０の態様では、ピラー実装工程では、複数のピラー（４）をキャリアシート（６０）から取り外した後に、第一基板（１）と第二基板（２）の少なくとも一方に搬送する。

　したがって、第１０の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、第一基板（１）と第二基板（２）の間に、複数のピラー（４）を多様な配列態様で実装することができる。

　第１１の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第９の態様との組み合わせにより実現され得る。第１１の態様では、ピラー実装工程では、ピラー供給用シート（９００）から、第一基板（１）または第二基板（２）に複数のピラー（４）を転写する。

　したがって、第１１の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、第一基板（１）と第二基板（２）の間に、複数のピラー（４）を効率的に実装することができる。

　第１２の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第９の態様との組み合わせにより実現され得る。第１２の態様では、ピラー実装工程は、再配置工程と転写工程を含む。再配置工程は、複数のピラー（４）をキャリアシート（６０）から取り外した後に、キャリアシート（６０）とは別の転写用シート（７０）に再配置する工程である。転写工程は、転写用シート（７０）から、第一基板（１）または第二基板（２）に複数のピラー（４）を転写する工程である。

　したがって、第１２の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、キャリアシート（６０）における複数のピラー（４）の配列と、転写用シート（７０）における複数のピラー（４）の配列を、互いに相違させることができる。そのため、第一基板（１）と第二基板（２）の間に、複数のピラー（４）を、多様な配列態様でかつ効率的に実装することができる。

　第１３の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第９～第１２のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現され得る。第１３の態様では、第二接合工程をさらに備える。第二接合工程は、ガラス板（３５）を含む第三基板（３）を、第一基板（１）または第二基板（２）に対して、枠状の第二封止材（３８）を介して気密に接合する工程である。

　したがって、第１３の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、より断熱性の高いガラスパネルユニット（９０）を効率的に製造することができる。

　第１４の態様のガラス窓の製造方法は、第９～第１３のいずれか一つの態様のガラスパネルユニットの製造方法で製造されたガラスパネルユニット（９０）を、窓枠（９５）に嵌め込む嵌め込み工程を備える。

　したがって、第１４の態様のガラス窓の製造方法によれば、断熱性の高いガラス窓（９）を効率的に製造することができる。

　１　第一基板
　１５　ガラス板
　２　第二基板
　２５　ガラス板
　３　第三基板
　３５　ガラス板
　３８　第二封止材
　４　ピラー
　４０　基材
　４５　不要部分
　５　封止材
　６０　キャリアシート
　６５　接着層
　７０　転写用シート
　８１　仕掛品
　８２　第二接着層
　９　ガラス窓
　９０　ガラスパネルユニット
　９５　窓枠
　９００　ピラー供給用シート

Claims (14)

1. 　ピラー供給用シートの製造方法であって、
   　前記ピラー供給用シートは、ガラスパネルユニットに含まれる第一基板と第二基板の間の距離を維持するために用いられる複数のピラーと、前記複数のピラーが互いに距離をあけて配置されたキャリアシートと、前記複数のピラーと前記キャリアシートの間に介在する接着層と、を有し、
   　前記製造方法は、基材に対してエッチングまたはレーザ照射の処理を施し、前記基材から不要部分を除去して、前記複数のピラーを形成するピラー形成工程を備える
   　ピラー供給用シートの製造方法。
2. 　前記キャリアシートに前記接着層を介して前記基材が形成された仕掛品を準備する準備工程を、さらに備え、
   　前記ピラー形成工程は、前記準備工程の後に実行される
   　請求項１に記載のピラー供給用シートの製造方法。
3. 　前記キャリアシートは、前記基材よりもレーザの透過率が高く、
   　前記ピラー形成工程では、前記キャリアシートに接着された前記基材に対して、レーザ照射の処理を施す
   　請求項２に記載のピラー供給用シートの製造方法。
4. 　前記ピラー形成工程で形成した前記複数のピラーを前記キャリアシートに配置する配置工程を、さらに備える
   　請求項１に記載のピラー供給用シートの製造方法。
5. 　前記接着層は、前記複数のピラーを弱接着するように構成されている
   　請求項１～４のいずれか一項に記載のピラー供給用シートの製造方法。
6. 　前記接着層の接着力は、１Ｎ／２５ｍｍ以下である
   　請求項５に記載のピラー供給用シートの製造方法。
7. 　前記接着層は、光または熱の外部刺激により接着力が低下するように構成されている
   　請求項１～４のいずれか一項に記載のピラー供給用シートの製造方法。
8. 　前記複数のピラーの各々の前記接着層に接着される面とは反対側の面に、第二接着層を設ける第二接着層形成工程を、さらに備える
   　請求項１～７のいずれか一項に記載のピラー供給用シートの製造方法。
9. 　請求項１～８のいずれか一項に記載のピラー供給用シートの製造方法により前記ピラー供給用シートを製造する工程と、
   　前記第一基板と前記第二基板の少なくとも一方に、前記ピラー供給用シートを用いて前記複数のピラーを実装するピラー実装工程と、
   　前記複数のピラーを挟み込むように対向配置された前記第一基板と前記第二基板とを、前記複数のピラーを囲む枠状の封止材を介して気密に接合する接合工程と、を備える
   　ガラスパネルユニットの製造方法。
10. 　前記ピラー実装工程では、
    　前記複数のピラーを前記キャリアシートから取り外した後に、前記第一基板と前記第二基板の少なくとも一方に搬送する
    　請求項９に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
11. 　前記ピラー実装工程では、
    　前記ピラー供給用シートから、前記第一基板または前記第二基板に前記複数のピラーを転写する
    　請求項９に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
12. 　前記ピラー実装工程は、
    　前記複数のピラーを前記キャリアシートから取り外した後に、前記キャリアシートとは別の転写用シートに再配置する再配置工程と、
    　前記転写用シートから、前記第一基板または前記第二基板に前記複数のピラーを転写する転写工程を含む
    　請求項９に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
13. 　ガラス板を含む第三基板を、前記第一基板または前記第二基板に対して、枠状の第二封止材を介して気密に接合する第二接合工程を、さらに備える
    　請求項９～１２のいずれか一項に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
14. 　請求項９～１３のいずれか一項に記載のガラスパネルユニットの製造方法で製造されたガラスパネルユニットを、窓枠に嵌め込む嵌め込み工程を備える
    　ガラス窓の製造方法。

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