JP6236523B2 - 力学量測定装置およびそれを用いた圧力センサ - Google Patents
力学量測定装置およびそれを用いた圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6236523B2 JP6236523B2 JP2016513691A JP2016513691A JP6236523B2 JP 6236523 B2 JP6236523 B2 JP 6236523B2 JP 2016513691 A JP2016513691 A JP 2016513691A JP 2016513691 A JP2016513691 A JP 2016513691A JP 6236523 B2 JP6236523 B2 JP 6236523B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistors
- bridge
- resistor
- measuring device
- selection circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 78
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 74
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 30
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 15
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 4
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 47
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 22
- 238000004092 self-diagnosis Methods 0.000 description 19
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 17
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 9
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 5
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 5
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
自動車部品は、各種工業部品の中でも適用温度範囲、耐候性、精度、長期信頼性などに関する要求が特に厳しい分野である。本発明者等は、半導体ひずみセンサを用いた圧力センサにおいて、最新の各種要求を満たすべく研究を行っていたところ、半導体ひずみセンサのセンサ部分に異物・断線による高抵抗化や半導体ひずみセンサとダイヤフラムの接合部に障害や破損が生じることで、センサ部の出力が期待値とずれることを発見した。
rAv22の2個からなり、ブリッジ抵抗Rh1は不純物拡散抵抗体rAh11,rAh12の2個からなり、ブリッジ抵抗Rh2は不純物拡散抵抗体rAh21,rAh22の2個からなる。
SA2, SA4,SA5,SB1,SB2,SB4,SB5はいずれも抵抗を選択する側に設定する。また、不純物拡散抵抗体rAh11,rAh12, rAh21,rAh22, rAv11,rAv12, rAv21,rAv22の曲げ変形前の抵抗値は、それぞれrAで略等しいとする。
rAv11’ > rA ・・・ (1)
rAv12’ > rA ・・・ (2)
rAv21’ > rA ・・・ (3)
rAv22’ > rA ・・・ (4)
rAv11’ ≒ rAv12’ ≒ rAv21‘ ≒ rAv22’ ・・・ (5)
rAh11’ < rA ・・・ (6)
rAh12’ < rA ・・・ (7)
rAh21’ < rA ・・・ (8)
rAh22’ < rA ・・・ (9)
rAh11’ ≒ rAh12’ ≒ rAh21’ ≒ rAh22’ ・・・ (10)
となり、これにより演算回路6に接続されるノードVp,Vnにひずみ応じた差動電圧が現れる。この差動電圧を演算回路6にて増幅することで所望の出力を得ることができる。
Vn < VDD/2 ・・・(11)
となる。
Vp - Vn > 0
になるため、このため演算回路6内の選択回路によって、増幅回路の+端子にVpを、−端子にVnを接続する設定において、出力は略GNDで一定ではなく発生するひずみ量に応じて変化する。これにより、センサ部に異常があると推定することが可能となる。
Vn > VDD/2 ・・・(12)
となる。
Vp - Vn < 0
になるため、演算回路6内の選択回路によって、増幅回路の−端子にVpを、+端子にVnを接続する設定において、出力は略GNDで一定ではなく発生するひずみ量に応じて変化する。これにより、センサ部に異常があると推定することが可能となる。
SA1、SA2、SA4、SA5: 抵抗側を選択する場合を「R」それ以外は無表記とする。
SB1、SB2、SB4、SB5: 抵抗側を選択する場合を「R」それ以外は無表記とする。
SA5、SB5、同一の方向の抵抗を接続する診断側を「T」それ以外は無表記とする。
,rAv13,rAv14の4個からなり、ブリッジ抵抗Rv2は不純物拡散抵抗体rAv21,rAv22,rA v23,rAv24の4個からなり、ブリッジ抵抗Rh1は不純物拡散抵抗体rAh11,rAh12 ,rAh13,rAh14の4個からなり、ブリッジ抵抗Rh2は不純物拡散抵抗体rAh21,rAh22 ,rAh23,rA h24の4個からなる。また、抵抗体群RGA1,それらセグメント33を構成する不純物拡散抵抗体の線方向が互いに直交する関係となるように配列されている。具体的には、抵抗体群RGA1内での一方のセグメント33は、不純物拡散抵抗体rAv11,rAv12,rAv21,rAv22の線方向がシリコン単結晶基板1の<1 1 0>方向に直交する方向となるにように配列され、各不純物拡散抵抗体rAv11,rAv12,rAv21,rAv22はその方向に電流が流れるように接続されている。抵抗体群RGA1内での一方のセグメント33と抵抗体群RGA1内で隣接する他方のセグメント33は、不純物拡散抵抗体rAh11,rAh12,rAh21,rAh22の線方向がシリコン単結晶基板1の<1 1 0>方向となるにように配列され、各不純物拡散抵抗体rAh11,rAh12,rAh21,rAh22はその方向に電流が流れるように接続されている。同様に、抵抗体群RGA2内での一方のセグメント33は、不純物拡散抵抗体rAv13,rAv14,rAv23,rAv24の線方向がシリコン単結晶基板1の<1 1 0>方向に直交する方向となるにように配列され、各不純物拡散抵抗体rAv13,rAv14,rAv23,rAv24はその方向に電流が流れるように接続されている。抵抗体群RGA2内での一方のセグメント33と抵抗体群RGA2内で隣接する他方のセグメント33は、不純物拡散抵抗体rAh13,rAh14,rAh23,rAh24の線方向がシリコン単結晶基板1の<1 1
0>方向となるにように配列され、各不純物拡散抵抗体rAh13,rAh14,rAh23,rAh24はその方向に電流が流れるように接続されている。
2…不純物拡散抵抗体
3…ホイートストンブリッジ
4…電源端子
5…グランド端子
6…演算回路(アンプ回路)
7…出力端子
10…半導体ひずみセンサ
20…疑似圧力センサ
21…金属板
22…はんだ接合層
23…端子台
30,30’…力学量測定装置
31…制御回路
32…検出回路
33…セグメント
34…ダミー抵抗体
40,40’…力学量測定装置
41…アンプ回路
50,60,70…力学量測定装置、
71,72…アンプ回路
80…圧力センサ
81…圧力導入部
82…フランジ
83…ダイアフラム
84…ひずみセンサ
85…制御機構
86…コンデンサ
87…コネクタ
88…接続端子
89…カバー
Rh1,Rh2,Rv1,Rv2…ブリッジ抵抗
SA1〜SA5…選択回路
SB1〜SB5…選択回路
rAh11,rAh12, rAh21,rAh22, rAv11,rAv12, rAv21,rAv22…不純物拡散抵抗体
Claims (11)
- 複数の抵抗体からなる第一のブリッジ抵抗と、複数の抵抗体からなる第二のブリッジ抵抗と、複数の抵抗体からなる第三のブリッジ抵抗と、複数の抵抗体からなる第四のブリッジ抵抗と、を備え、前記第一から第四のブリッジ抵抗によりホイートストンブリッジを構成し、前記第一のブリッジ抵抗と前記第二のブリッジ抵抗の中間電位と、前記第三のブリッジ抵抗と前記第四のブリッジ抵抗の中間電位と、の電位差をセンサ出力として用いる力学量測定装置において、
前記ホイートストンブリッジは、診断時には第一のブリッジ抵抗と第四のブリッジ抵抗を接続し、第二のブリッジ抵抗と第三のブリッジ抵抗を接続できるようにするブリッジ抵抗選択回路を有し、
前記第一のブリッジ抵抗は、該第一のブリッジ抵抗を構成する複数の抵抗体の一部をバイパスする経路と、該一部の抵抗体を通過する経路とを選択することができるバイパス選択回路を有し、
前記第二から第四のブリッジ抵抗にも、前記バイパス選択回路と同様のバイパス選択回路を有し、
前記第一から第四のブリッジ抵抗に設けられたバイパス選択回路がバイパスする抵抗体の数は同数であることを特徴とする力学量測定装置。 - 前記第一から第四のブリッジ抵抗を構成する抵抗体を含む抵抗体群は、複数の矩形状のセグメントが連なるように配列された構造を有しており、
前記抵抗体群のそれぞれの抵抗体は、線形状を有し、
前記セグメントを構成する前記複数の抵抗体は、該セグメント内で前記抵抗体の線方向が互いに平行になるよう配列されることを特徴とする請求項1に記載の力学量測定装置。 - 前記抵抗体群内で隣り合う前記セグメントは、それらセグメントを構成する前記抵抗体の線方向が互いに直交する関係となるように配列されていることを特徴とする請求項2に記載の力学量測定装置。
- 前記バイパス選択回路は、前記第一のブリッジ抵抗を構成する複数の抵抗体のうち、同一セグメント内の抵抗体をすべてバイパスするよう設けられていることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の力学量測定装置。
- 前記バイパス選択回路は、異なるセグメントの抵抗間に配置されることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の力学量測定装置。
- 複数のセグメントをひとつのエリアとし、
前記バイパス選択回路は、エリアが異なる抵抗間に配置されることを特徴とする請求項3に記載の力学量測定装置。 - 複数のセグメントをひとつのエリアとし、
前記バイパス選択回路は、前記第一のブリッジ抵抗を構成する複数の抵抗体のうち、同一エリア内の抵抗体をすべてバイパスするよう設けられていることを特徴とする請求項3に記載の力学量測定装置。 - 前記複数の抵抗体は、半導体基板上に設けられた不純物拡散抵抗体であり、
前記セグメントは、前記不純物拡散抵抗体と同じ構成であるが電気的に接続されないダミー抵抗体を有することを特徴とする請求項2乃至請求項4のいずれかに記載の力学量測定装置。 - 前記複数の抵抗体は、半導体基板上に設けられた不純物拡散抵抗体であり、
前記バイパス選択回路を制御し、ホイーストンブリッジの出力に基づいて前記複数の抵抗体の故障診断を行う演算回路が、前記半導体基板上に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の力学量測定装置。 - 前記故障診断の結果、異常だと判断した際に、その結果を外部に出力することが可能とする請求項9に記載の力学量測定装置。
- 前記半導体基板は、シリコン単結晶基板であり、
前記第一及び前記第四のブリッジ抵抗を構成する不純物拡散抵抗体は、自身を流れる電流方向が前記シリコン単結晶基板の<1 1 0>方向となるように接続され、
前記第二及び前記第三のブリッジ抵抗を構成する不純物拡散抵抗体は、自身を流れる電流方向が前記シリコン単結晶基板の<1 1 0>方向に直交する方向となるように接続されることを特徴とする請求項9に記載の力学量測定装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014084162 | 2014-04-16 | ||
JP2014084162 | 2014-04-16 | ||
PCT/JP2015/059021 WO2015159662A1 (ja) | 2014-04-16 | 2015-03-25 | 力学量測定装置およびそれを用いた圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015159662A1 JPWO2015159662A1 (ja) | 2017-04-13 |
JP6236523B2 true JP6236523B2 (ja) | 2017-11-22 |
Family
ID=54323874
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016513691A Active JP6236523B2 (ja) | 2014-04-16 | 2015-03-25 | 力学量測定装置およびそれを用いた圧力センサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6236523B2 (ja) |
WO (1) | WO2015159662A1 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07270206A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Aisan Ind Co Ltd | 吸入空気量検出装置 |
JP2004191189A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Hitachi Unisia Automotive Ltd | ブリッジ型抵抗回路装置 |
-
2015
- 2015-03-25 WO PCT/JP2015/059021 patent/WO2015159662A1/ja active Application Filing
- 2015-03-25 JP JP2016513691A patent/JP6236523B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015159662A1 (ja) | 2015-10-22 |
JPWO2015159662A1 (ja) | 2017-04-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6130598B2 (ja) | 力学量測定装置およびそれを用いた圧力センサ | |
CN108027291B (zh) | 力学量测量装置和使用它的压力传感器 | |
KR100844092B1 (ko) | 역학량 측정장치 | |
CN101788350B (zh) | 使用单个感测管芯和多个信号通道的多范围压力传感器设备和方法 | |
US8466676B2 (en) | Magnetic sensor with bridge circuit including magnetoresistance effect elements | |
CN110595524B (zh) | 传感器饱和故障检测 | |
JP4438193B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6154488B2 (ja) | 圧力測定装置 | |
US20060219021A1 (en) | Line pressure compensated differential pressure transducer assembly | |
US11500020B2 (en) | Sensor defect diagnostic circuit | |
US20210255011A1 (en) | Flow sensor with self heating sensor elements | |
WO2020084902A1 (ja) | 圧力センサ | |
JP2020020792A (ja) | ホールセンサ及びこのようなセンサを動作させる方法 | |
JP6192728B2 (ja) | 力学量測定装置およびそれを用いた圧力センサ | |
JP6236523B2 (ja) | 力学量測定装置およびそれを用いた圧力センサ | |
CN114441086A (zh) | 双压力传感器 | |
US20150276894A1 (en) | Hall-effect-based magnetic field sensor having an improved output bandwidth | |
WO2015133128A1 (ja) | 物理量検出装置 | |
JP6992412B2 (ja) | 圧力測定装置および圧力測定装置の動作状態診断方法 | |
JP2004191189A (ja) | ブリッジ型抵抗回路装置 | |
JP4309668B2 (ja) | 熱式空気流量測定装置及びその診断方法 | |
CN107430038B (zh) | 液压控制单元、车辆制动系统、压力测量和故障识别方法 | |
US20110286069A1 (en) | Connecting structure for micromechanical oscillating devices | |
WO2018130349A2 (en) | Failure tolerant thermos-voltage acquisition for thermocouple applications | |
JP2018021796A (ja) | 半導体歪ゲージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170808 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170915 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171030 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6236523 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |