JP6235224B2 - 周波数情報検出装置 - Google Patents
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Description
第1の高周波電源110及び第2の高周波電源120は、共通の発振器100から出力される高周波信号を進行波電力出力部(図略)で増幅して高周波電力を出力する。第1の高周波電源110及び第2の高周波電源120から出力された高周波電力は、負荷となるプラズマ処理装置130内の電極(131,132)の2箇所に供給される。この図5では、電極131及び電極132のぞれぞれに高周波電力を供給する例を示したが、例えば、図6に示すように、上側の電極131の2箇所に高周波電力を供給することも可能である。
例えば、一方の高周波電圧波形の山と他方の高周波電圧波形の山が同じ位相になると重なり合って生じる電圧の波形は最大値となるが、一方の高周波電圧波形の山と他方の高周波電圧波形の谷が同じ位相になると重なり合って生じる電圧の波形は最小値となる。この最大値と最小値との差は大きいので、2種類の高周波電圧が重なり合って生じる電圧の波形は大きな振幅の変化を伴って周期的に変動する。
アナログの正弦波信号Vinの周波数情報を検出する周波数情報検出装置であって、
アナログの正弦波信号Vinを、予め定めたサンプリング周期(サンプリング周波数fsの逆数:1/fs)でデジタル信号に変換することによって得られる時刻[t]における入力信号Vinの瞬時値Vin[t]を順次出力することにより、複数のサンプリングデータで構成される正弦波信号に変換するA/Dコンバータと、
時刻[t]における入力信号Vinの瞬時値Vin[t]を微分した余弦値(cos(α[t]))の推定値を、時刻[t−1]における入力信号Vinの瞬時値Vin[t−1]、時刻[t+1]における入力信号Vinの瞬時値Vin[t+1]及び入力信号V in の設定周波数f set を用いて演算される定数Kを用いた下式によって演算する余弦値推定部と、
時刻[t]における入力信号Vinの瞬時値Vin[t]を正弦要素(sin要素)とし、前記余弦値推定部で推定された時刻[t]における余弦値(cos(α[t]))を余弦要素(cos要素)として、逆正接関数(tan−1)を用いて時刻[t]における余弦値(cos(α[t]))の位相α[t]を演算する位相推定部と、
前記位相推定部で演算された時刻[t−1]における位相α[t−1]及び時刻[t]における位相α[t]に基づいて、時刻[t]における位相変位量Δα[t]を演算する位相変位量演算部と、
前記位相変位量演算部で演算された時刻[t]における位相変位量Δα[t]に基づいて、時刻[t]における入力信号Vinの周波数推定値情報を演算する周波数推定部と、
前記周波数推定部で演算された時刻[t]における入力信号Vinの周波数推定値情報の移動平均値を演算する移動平均部と、
を備えている。
cos(α[t])=K・{V in [t+1]−V in [t−1]}
前記定数Kを下式によって演算することを特徴としている。
K=1/{2sin(2π・(fset/fs)[t])}
第1の高周波電源110は、発振器100から出力される高周波信号を増幅し、無線周波数帯域の出力周波数を有する進行波電力PFを出力して負荷となるプラズマ処理装置130に供給するための装置である。高周波電源110から出力された進行波電力PFは、伝送線路140を介してプラズマ処理装置130に供給される。なお、一般にこの種の高周波電源では、数百kHz上の周波数(例えば、13MHz,40MHz等の周波数)を有する進行波電力PFを出力している。
なお、入力信号Vinは、アナログの電圧信号であるので、出力周波数をf、時間をt、位相オフセットをθ、角周波数をω(=2π・f)とすると、入力信号Vinは、式(1)のように表すことができる。なお、ここでは、正弦波信号の振幅を「1」としている。
Vin=sin(2π・f・t+θ)
=sin(ω・t+θ) ・・・(1)
Vin[t]=sin(2π・(fin/fs)[t]+θ’)
=sin(ωin[t]+θ’) ・・・・・(2)
cos(α[t])
={(2sin(ωin[t])・cos(α[t])}/(2sin(ωin[t]))
={sin(α[t]+ωin[t])−sin(α[t]−ωin[t])}/(2sin(ωin[t]))
={sin(2ωin[t]+θ’)−sin(θ’)}/(2sin(ωin[t])) ・・・(3)
2sin(ωin[t])=2sin(2π・(fin/fs)[t])
→ 2sin(2π・(fset/fs)[t]) ・・・(4)
cos(α[t])=K・{sin(2ωin[t]+θ’)−sin(θ’)}
=K・{Vin[t+1]−Vin[t−1]} ・・・(5)
α[t]=tan−1(Vin[t]/cosα[t]) ・・・(6)
Δα[t]=α[t]−α[t−1] ・・・(7)
Δα[t]=(α[t]−α[t−1])+2π ・・・(8)
ωest[t]=Δα・fs ・・・(9)
fest[t]=Δα・fs/(2π) ・・・(10)
ωdif[t] =ωest[t]−ωset[t] ・・・(11)
fdif[t] =fest[t]−fset[t] ・・・(12)
予め定めた数のデータがメモリに保存されていない。そのため、予め定めた数のデータがメモリに保存されていない間は、予め定めた数よりも少ないデータを用いて移動平均値を演算してもよい。または、予め定めた数のデータがメモリに保存された後に、移動平均値を演算してもよい。どのように移動平均値を演算するかは、予め定めておけばよい。
上記のように、時刻[t]における余弦値(cos(α[t]))には、誤差が含まれているので、位相α[t]にも誤差が含まれる。もちろん、時刻[t−1]における余弦値(cos(α)[t−1])、位相α[t−1]にも誤差が含まれる。その結果、位相変位量Δα[t]にも誤差が含まれる。そのため、時刻[t]における入力信号Vinの周波数推定値情報Fest[t]にも誤差が含まれる。
この時刻[t]における余弦値(cos(α[t]))の誤差は、上記のように正になることもあれば負になることもあるので、時刻[t]における入力信号Vinの周波数推定値情報Fest[t]の誤差も正になることもあれば負になることもある。そこで、移動平均部60によって、複数のデータの移動平均を行えば、誤差が相殺するので、誤差を小さくし、精度のよい周波数情報を得ることができる。
図3は、入力信号Vinの周波数finが設定周波数fsetからずれていると想定した場合に、移動平均部60から出力される差周波数の推定値fdif[t]の移動平均値fdif_ave[t]のシミュレーション結果である。図3(a)は、入力信号Vinの差周波数の推定値fdif[t]のシミュレーション結果であり、図3(b)は、入力信号Vinの差周波数の推定値fdif[t]の移動平均値fdif_ave[t]のシミュレーション結果であり、図3(c)は、図3(b)の一部拡大図である。また、図3(a)及び図3(b)は、サンプリング開始後、約150〜160μs間のデータであり、図3(c)は、サンプリング開始後、約159〜160μs間のデータである。
(1)サンプリング周波数fs :50MHz
(2)設定周波数fset :13.56MHz
(3)入力信号Vinの周波数fin:13.563MHz
(設定周波数fsetと3,000Hzだけずれていると想定)
(4)移動平均値の演算に用いるデータ数:500個(10μsの移動平均値)
なお、この図4は、入力信号Vinの周波数finが13.5603MHz(設定周波数fsetと300Hzだけずれていると想定)であることを除き、図3と同じ条件でのシミュレーション結果である。
このように、入力信号Vinの周波数が設定周波数fsetに対して大幅にずれている場合であっても、移動平均部60から出力される差周波数の推定値fdif[t]の移動平均値fdif_ave[t]は、検出すべき周波数に対して誤差が小さい。
10 A/Dコンバータ
20 余弦値推定部
30 位相推定部
40 位相変位量演算部
50 周波数推定部
60 移動平均部
100 発振器
110 第1の高周波電源
120 第2の高周波電源
130 プラズマ処理装置(負荷)
131 電極
132 電極
133 プラズマ
140 伝送線路
150 方向性結合器
160 フィルタ
Claims (2)
- アナログの正弦波信号Vinの周波数情報を検出する周波数情報検出装置であって、
アナログの正弦波信号Vinを、予め定めたサンプリング周期(サンプリング周波数fsの逆数:1/fs)でデジタル信号に変換することによって得られる時刻[t]における入力信号Vinの瞬時値Vin[t]を順次出力することにより、複数のサンプリングデータで構成される正弦波信号に変換するA/Dコンバータと、
時刻[t]における入力信号Vinの瞬時値Vin[t]を微分した余弦値(cos(α[t]))の推定値を、時刻[t−1]における入力信号Vinの瞬時値Vin[t−1]、時刻[t+1]における入力信号Vinの瞬時値Vin[t+1]及び入力信号V in の設定周波数f set を用いて演算される定数Kを用いた式(1)によって演算する余弦値推定部と、
時刻[t]における入力信号Vinの瞬時値Vin[t]を正弦要素(sin要素)とし、前記余弦値推定部で推定された時刻[t]における余弦値(cos(α[t]))を余弦要素(cos要素)として、逆正接関数(tan−1)を用いて時刻[t]における余弦値(cos(α[t]))の位相α[t]を演算する位相推定部と、
前記位相推定部で演算された時刻[t−1]における位相α[t−1]及び時刻[t]における位相α[t]に基づいて、時刻[t]における位相変位量Δα[t]を演算する位相変位量演算部と、
前記位相変位量演算部で演算された時刻[t]における位相変位量Δα[t]に基づいて、時刻[t]における入力信号Vinの周波数推定値情報を演算する周波数推定部と、
前記周波数推定部で演算された時刻[t]における入力信号Vinの周波数推定値情報の移動平均値を演算する移動平均部と、
を備えた周波数情報検出装置。
cos(α[t])=K・{V in [t+1]−V in [t−1]} ・・・(1) - 前記定数Kを式(2)によって演算することを特徴とする請求項1に記載の周波数情報検出装置。
K=1/{2sin(2π・(fset/fs)[t])} ・・・(2)
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Family Applications (1)
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