JP6230871B2 - 浸炭焼入れ設備 - Google Patents
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Description
本発明によれば、処理室からの被処理体の搬出と処理室への次の被処理体の搬入を搬送口扉の開放時に同時に行うことができる。
2 昇温室
3 浸炭室
3a 第1浸炭室
3b 第2浸炭室
3c 第3浸炭室
4 焼入れ室
5 搬送装置
6 搬送部
7 搬送路
20 受渡部
21 熱処理部
22 誘導加熱コイル
23 昇降装置
24 昇降ロッド
25 搬送口
26 搬送口扉
27 仕切扉
27a 扉本体
27b 扉本体
30 載置台
31 円板
32 支持羽根
33 載置台支持ピン
40a 第1の搬送アーム
40b 第2の搬送アーム
41 搬送アーム先端部
44 突出部
45 搬送アーム本体
46 側部突出部
47 開口
50 搬送用支持ピン
70 補助ピン
70a テーパー部
W(W1,W2) 被処理体
Wt 上面部
Ws 側面部
Claims (8)
- 被処理体に浸炭焼入れ処理に係る少なくとも1つの処理を施す処理室と、被処理体を搬送する搬送装置と、前記処理室内に設けられ、前記処理室内に搬送された被処理体が載置される載置台とを備えた、被処理体の浸炭焼入れ処理を行う浸炭焼入れ設備であって、
前記搬送装置は、
既に処理が施された被処理体を前記処理室から搬出する第1の搬送アームと、
次に処理が施される被処理体を前記処理室に搬入する第2の搬送アームと、
前記第1の搬送アームと前記第2の搬送アームとを互いに独立して可動させる可動機構とを備え、
前記第1の搬送アームと前記第2の搬送アームとが鉛直方向に沿って並んで配置され、
前記処理室に、前記第1の搬送アームと前記第2の搬送アームが通過可能な搬送口が設けられ、
前記搬送口の開閉を行う搬送口扉が設けられ、
前記搬送口扉の開放時に、前記処理室に前記第1の搬送アームと前記第2の搬送アームが挿入されるように構成されている、浸炭焼入れ設備。 - 前記載置台を昇降させる昇降装置を備える、請求項1に記載の浸炭焼入れ設備。
- 前記可動機構は、前記第1の搬送アームと前記第2の搬送アームとをそれぞれ前後方向にのみ可動させる構成である、請求項2に記載の浸炭焼入れ設備。
- 前記第1の搬送アームと前記第2の搬送アームとが同一形状であり、前記第1の搬送アームと前記第2の搬送アームとが一直線上に配置されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の浸炭焼入れ設備。
- 前記第1の搬送アーム及び前記第2の搬送アームの少なくともいずれかには、被処理体を支持する少なくとも3つの搬送用支持ピンが設けられている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の浸炭焼入れ設備。
- 被処理体は、上面部と側面部から成る凹形状であって、前記被処理体を支持した際に前記被処理体の側面部の内側に接して又は近接して前記被処理体の位置規制を行うように前記搬送用支持ピンが設けられている、請求項5に記載の浸炭焼入れ設備。
- 前記載置台には、前記被処理体を支持する少なくとも3つの載置台支持ピンが設けられている、請求項1〜6のいずれか一項に記載の浸炭焼入れ設備。
- 被処理体は、上面部と側面部から成る凹形状であって、前記載置台で前記被処理体を支持した際に前記被処理体の側面部の内側に接して又は近接して前記被処理体の位置規制を行うように前記載置台支持ピンが設けられている、請求項7に記載の浸炭焼入れ設備。
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JP2013217089A JP6230871B2 (ja) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | 浸炭焼入れ設備 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013217089A JP6230871B2 (ja) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | 浸炭焼入れ設備 |
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JP2015078417A JP2015078417A (ja) | 2015-04-23 |
JP6230871B2 true JP6230871B2 (ja) | 2017-11-15 |
Family
ID=53010087
Family Applications (1)
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JP2013217089A Active JP6230871B2 (ja) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | 浸炭焼入れ設備 |
Country Status (1)
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JPH07176472A (ja) * | 1993-12-20 | 1995-07-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板加熱装置 |
JPH11274283A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-10-08 | Tokyo Electron Ltd | 搬送方法及び搬送装置 |
JP2013062431A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Tokyo Electron Ltd | 接合装置、接合方法、接合システム、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
-
2013
- 2013-10-18 JP JP2013217089A patent/JP6230871B2/ja active Active
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