JPS61257462A

JPS61257462A - 熱処理方法および装置

Info

Publication number: JPS61257462A
Application number: JP9689785A
Authority: JP
Inventors: Terufusa Watanabe; 渡辺　輝興; Tadao Sugano; 菅野　忠雄; Hitoshi Imai; 今井　仁司; Kunio Kishino; 岸野　邦雄
Original assignee: Honda Motor Co Ltd
Current assignee: Honda Motor Co Ltd
Priority date: 1985-05-08
Filing date: 1985-05-08
Publication date: 1986-11-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明はイオンを応用した熱処理方法および装置に関し
、一層詳細にはイオン浸炭、イオン窒化のように高温で
の金属表面の熱処理と、低温での金属表面の熱処理とを
単一の装置によって効果的に行うようにした金属表面の
熱処理方法および装置に関する。

グロー放電により雰囲気中の窒素（Ｎ２）や炭化水素（
Ｃｓｌｌｓ）等のガスをイオン化し、被処理物へイオン
ボンバードにより浸透拡散させる表面熱処理方法が最近
脚光を浴びている。このイオンボンバードを利用した熱
処理方法、例えば、イオン浸炭、イオン窒化の特徴は希
薄なガスを効率よくイオン化し、被処理物の表面へ衝突
させ、加熱と同時に炭素、窒素等の原子を被処理物の表
面に浸透拡散することによって行うことにある。この熱
処理方法によれば、■　０□等の強酸化原子が炉内に存
在しないため被処理物の表面において粒界酸化が生じな
い。

■　排気ガスを燃焼処理する必要がなく、しかも、炉が
汚れない。

■　周囲の環境を汚染しない。

等の種々の利点がある。然しなから、従来から存在する
イオン浸炭炉やイオン窒化炉はイオン浸炭、イオン窒化
処理の単一の目的にのみ利用されるものであって、炉は
その目的に懲らして単体で個別に使用され、このために
表面処理を行うにあたって、一つの炉をイオン浸炭並び
にイオン窒化の如く異なる二種以」二の表面処理に利用
することは到底困勤であった。ごのため、多機種少量の
製品を生産するラインにおいては、少なくともイオン窒
化に用いられる低温処理用の炉とイオン浸炭に用いられ
る高温処理用の炉との二種の炉を設置する必要があり、
夫々の炉に冷却装置、ワーク搬送装置等を付設しなけれ
ばならず、設備投資に相当な経済的貨担がかかり、さら
に、二種の炉が独立に設置されることと相俟って広大な
スペースを占有するために工場空間の有効な活用が図れ
ない等の問題点が指摘されていた。しかも、イオン浸炭
炉やイオン窒化炉はグロー放電を行う必要から、夫々の
炉自体に相当大容量の電源装置を付設しなげればならず
、それに付随して各種の変電設備や配線機構も複雑化し
、経済的な負担も一層過大となり、さらにまた、安全管
理」二も種々の蕪点を露呈していた。

本発明は前記の種々の不都合を克服するためになされた
ものであって、イオン浸炭処理とイオン窒化処理のよう
に高温熱処理と低温熱処理とを行う炉を並設し、搬送装
置、冷却装置等を共有させて小型化を図り、また、経済
的であると同時に電源設備その他の付帯装置を可及的に
少なくして安全で且つ有効な空間の活用を一層促進する
ことが可能な熱処理方法および装置を提供することを目
的とする。

前記の目的を達成するために、本発明はイオン窒化処理
、イオン浸炭処理若しくはイオン浸炭窒化処理を行う際
、夫々の処理室に付設された真空吸引装置を選択的に付
勢し、表面処理を行った後のワークを真空引きされた処
理室に導入して所定時間滞留させ、ワーク冷却後に外部
に取り出してワーク表面の酸化を阻止することを特徴と
する。

さらにまた、本発明はイオン窒化処理室とイオン浸炭処
理室と冷却室とを連設し、前記夫々の室と室との間に開
閉自在に開口部を密閉的に遮断可能なドア装置を設け、
さらに、前記夫々の室に真空吸引装置を設けることを特
徴とする。

次に、本発明に係る熱処理方法について、それを実施す
る装置との関係において好適な実施例を挙げ、添付の図
面を参照しながら以下詳細に説明する。

第１図において参照符号１０は熱処理装置本体を示し、
この熱処理装置１０の両側には被処理物の搬送を行う移
動台１２．１４を配設している。これらの移動台１２．
１４の間に前記熱処理装置本体１０を構成するイオン窒
化処理室１６、イオン浸炭処理室１８および冷却室２０
をこの順序で配置している。

そこで、移動台１２について説明する。移動台１２には
矩形状の台座部２２を有し、この台座部２２の上面には
第１のシリンダ装置２４が配設される。

この場合、第１シリンダ２４のシリンダ装置ド２４ａは
、図において、水平方向に変位可能である。

第１シリンダ２４には近接してローラコンベア２６が配
設され、このローラコンベア２６の先端部は前記イオン
窒化処理室１６に臨む。一方、台座部２２の内部には、
図に示すように、四つのスブロケソ１４８ａ、２８ｂ、
２８ｃ、２８ｄを配設し、これらのスプロケソｌ−２８
ａ乃至２８ｄにチェーン３０を張架する。このチェーン
３０の一部には被処理物、ずなわち、ワークＷを取り出
ずための爪部材３２が装着される。さらにまた、台座部
２２の内部には第２のシリンダ装置３４が配設され、こ
のシリンダ装ｆｆ３４のシリンダロッド３４ａは、その
伸長時には、イオン窒化処理室１６からイオン浸炭処理
室１８まで延在自在である。

次に、前記移動台１２とイオン窒化処理室１６の間には
第１のト′７３６が設＆−１られ、この第１ドア３６は
垂直方向に移動可能である。すなわち、このドア３６の
上部にばこれを開閉するための駆動用の第３のシリンダ
３Ｂが配設され、このシリンダ３８から延在するシリン
ダロッド３８ａの先端部は前記ドア３６を保持する。こ
の場合、前記第１ドア３６には倍力機構４０を利用した
第２のドア４２が連結されている。

次に、イオン窒化処理室１６について説明する。

イオン窒化処理室１６の下部には垂直方向に第４のシリ
ンダ４４が配設される。このシリンダ４４から延在する
シリンダロッド４４ａは実質的なイオン窒化処理用の室
４６の内部に臨む。室４６の内部には前記第４シリンダ
４４を構成するシリンダロッド４４ａの先端部に支持さ
れたグロー放電用の陰極を兼ねる被処理物台４８が配設
される。一方、前記陰極を兼ねる被処理物台４８の上方
には陽極を兼ねるヒータ５０が配設される。ヒータ５０
は、第２図から容易に諒解されるように、上部は平板状
でありその両端部から下方に指向して複数個の分離した
脚部５１を連設している。従って、前記陰極を兼ねる被
処理物台４８と前記陽極を兼ねるヒータ５０とによって
被処理物台４８が」二昇した際、筐体状の空間が画成さ
れることが容易に諒解されよう。なお、この場合、前記
被処理物台４８が最下部の位置まで下降した時、その位
置と前記ヒータ５０との間に第１の搬送台５４が配置さ
れる。前記第１搬送台５４は第２シリンダロツド３４ａ
の先端部に固着され、前記被処理物台４８が上下方向へ
と変位可能なようにその中央部分に長方形状の空間５４
ａを画成している（第２図参照）。この搬送台５４の一
端部は前記第２シリンタ３４のシリンダロッド３４ａに
係合する。このように構成されるイオン窒化処理室１６
の上部にば回転駆動源５６によって駆動されるガス冷却
用ファン５８が設けられている。なお、イオン窒化処理
室１６の一例部上方には第５のシリンダ装置５９が設け
られ、このシリンダ装置５９から下方へと延在するシリ
ンダロッド５９ａの先端部には第３のドア６０が係着さ
れる。この第３ドア６０には倍力機構６１を介して第４
のドア６２が連結される。

この場合、前記第４ド゛アロ２はイオン窒化処理室１６
とイオン浸炭処理室１８の間に配設された壁部６４によ
って画成される開口部６４ａを閉塞するよう構成してい
る。

次に、前記のようにイオン窒化処理室１６に連設される
イオン浸炭処理室１８について説明する。

イオン浸炭処理室１８の下部には垂直方向に変位する第
６のシリンダ装置６６が配設され、このシリンダ装置６
６のシリンダロッド６６ａは断熱材からなる隔壁６８を
貫通して室７０の内部に臨む。

シリンダロッド６６ａの先端部には陰極を兼ねる被処理
物台７２が固着され、さらに、この被処理物台７２の上
方には陽極を兼ねるヒータ５０と同様のヒータ７４が配
設されている。ヒータ７４からは下方に指向して複数個
の等間隅に配設された脚部７５が垂下し、且つその上面
中央部から室７０の上方外部へと延在してロンドア６が
設けられる。

なお、この場合、シリンダ６６を配設したイオン浸炭処
理室１８の内部には冷却媒体の攪拌を行う攪拌器７８が
配設され、そのファン８０は冷却室２０内に貯留される
冷却用油８２に臨む。一方、イオン浸炭処理室１８の一
側壁部上方には第７のシリンダ８４が配設され、このシ
リンダ８４のシリンダロッド８４ａの先端部には第５の
ドア８６が装着される。ドア８６には第６のドア８８が
倍力機構８９を介して連結されている。

次に、冷却室２０について説明する。冷却室２０の下方
には第８のシリンダ９０が配設される。第８シリンダ９
０から延在するシリンダロッド９０ａば前記冷却用油８
２の」−面からさらに冷却室２０の上方へと延在し、そ
の先端部に台座部９２を装着している。この冷却室２０
は第７のドア９４によって閉塞される。すなわち、ドア
９４ば冷却室２０の一方の側壁部に装着されたシリンダ
９６から延在するシリンダロッド９６ａに係着された第
８のドア９５と倍力機構９７を介して保合状態にある。

次に、他方側に配設された第２の被処理物移動台１４に
ついて説明する。被処理物移動台１４は前記一方の被処
理物移動台１２と略対称的に構成される。従って、被処
理物移動台１４は筐体状の台座部９８を有し、この台座
部９８の内部にはスプロケット１００ａ、１００ｈ、１
００ｃおよび１００ｄが配設され、夫々のスプロケット
１００ａ乃至１００ｄにチェーン１０２が懸架される。

そして、この被処理物移動台１４の内部には第１０のシ
リンダ１０４が配設され、このシリンダ１０４のシリン
ダロッド１０４ａは第２の搬送台１０６と係合している
。シリンダロッド１０４ａの先端部は下方に指向する爪
部材１０７を有し、一方、第２搬送台１０６は前記爪部
材１０７と噛合する爪部材１０６ａを有する。第２搬送
台１０６は前記冷却室２０の内部にシリンダ１０４の駆
動下に侵入可能である。なお、被処理物移動台１４の上
部にはローラコンベア１０８を設けると共に、チェーン
１０２には爪部材１０９を係着する。

次に、イオン浸炭処理室１８とイオン窒化処理室１６と
は夫々真空室を画成するように構成される。その詳細な
構成を第３図ａに示す。

すなわち、イオン窒化処理室１６並びにイオン浸炭処理
室１８には、夫々、ガス導入管１１２の先端部が臨入す
ると共に、このガス導入管１１２にばバルブ１１４が介
装される。一方、夫々の室１６並びに１８には排気管１
１６の先端部が臨み、この排気管１１６はバルブ１１８
を介してバキュームポンプ１２０に接続している。なお
、油冷却室２０にはガス導入管１１２の接続はなく、従
って、排気管１１６ａのバルブ１１８ａを介してバキュ
ームポンプ１２０ａに接続されている　（第３図す参照
）。この場合、陽極兼用ヒータ５０．７４と陰極兼用被
処理吻合４８．７２との間には直流高圧電源１１０を接
続しておく。

本発明に係る熱処理装置は基本的には以上のように構成
されるものであり、次にその作用並びに効果について説
明する。

先ず、イオン窒化処理について説明する。図示しない搬
送機構を介してワークＷがローラコンベア２６上に載置
されると、シリンダ装置３８が付勢され、イオン窒化処
理室１６への通路を開成する。すなわち、シリンダロッ
ド３８ａが上昇してドア３６．４２が」二昇する。そこ
で、シリンダ装置２４が付勢され、ワークＷはローラコ
ンベア２６上を矢印Ｂ方向に滑動して室４６の内部に導
入される。この場合、前記ローラコンベア２６と室４６
内に配置されている搬送台５４とば面一であるために前
記ローラコンベア２６を介して送給されてくるワークＷ
は段差なくこの搬送台５４上に移送され、陽極を兼ねる
ヒータ５０の下方に位置決めされることになる。次いで
、シリンダ２４が再び駆動されてシリンダロッド２４ａ
が退勤動作を行い、さらにシリンダ装置３８が付勢され
て第１ドア３６と第２ドア４２とが一体的に下降動作し
、室４６の開口部、すなわち、入口側通路を閉塞する。

一方、その際、シリンダ装置５９のシリンダロッド５９
ａが伸長状態にあるために、ドア６０とドア６２とはイ
オン浸炭処理室１８との境界をなす開口部６４ａを閉塞
している。このため、室４６は両方の開口部を閉塞され
た密閉空間となる。そこで、シリンダ装置４４が付勢さ
れてシリンダロッド４４ａが上昇動作を行い、この結果
、搬送台５４の空間部から陰極を兼ねる被処理物台４８
が上昇し、ワークＷを陽極５０の内部へと導入する。こ
こで、電源１１０がオンして陽極５０と陰極を兼ねる被
処理物台４８との間で通電が行われ、これによってワー
クＷに対して表面処理が行われる。すなわち、ヒータを
兼ねる陽極５０と陰極４８との間ではワークＷに対して
加熱処理が行われ、この間、バルブ１１８が開弁じてバ
キュームポンプ１２０の付勢作用下に排気管１１６は室
４６内の空気を吸引し、１０−１乃至１０−’Ｔｏｒｒ
程度までの真空度を得る。

所定時間経過後にバルブ１１４を開弁してＮ２等のイオ
ン窒化用ガスを室４６内に導入し、陽極５０と陰極４８
の間でグロー放電を生じさせれば、ワークＷに対してイ
オンボンバードが行われ、この結果、イオン窒化処理が
施されることになる。

所定時間ワークＷに対してこのようにイオン窒化処理が
施された後、電源１１０は再びオフ状態となり、且つバ
ルブ１１４が閉じられる。それと同時に回転駆動源５６
の付勢作用下にファン５８が回転し、ワークＷを強制的
に冷却する。冷却処理後、シリンダ装置４４が付勢され
てシリンダロッド４４ａが下降し、従って、被処理物台
４８」−に載置されたワークＷもこれと一体的に下降す
るが、このワークＷ自体は１般送台５４によってそれ以
」二の下降動作を阻止される。次いで、シリンダ装置３
８が再び駆動されて第１ドア３Ｇと第２１・′ア４２と
が上昇し、それによって通路が開成される。そこで、シ
リンダ装置３４が再び駆動されて搬送台５４はシリンダ
ロッド３４ａの退勤動作のもとに前記開口部近辺まで変
位する。このような状態において、図示しない回転駆動
源が回転駆動されてこの回転駆動源に連結されたスプロ
ケット２８ａ乃至２８ｄが回転を開始する。この結果、
チェーン３０が回転して爪部材３２を前記ワークＷに係
合させる。スプロケット２８ａ乃至２８ｄを反対方向へ
と回転駆動すると、前記ワークＷは矢印入方向へと変位
し、ローラコンベア２６上を滑動して原位置に復帰する
。ここで、図示しない搬送機構を介し前記ワークＷは取
り出される。

次に、イオン浸炭処理を行う場合について説明する。こ
の場合には、予め、シリンダ装置３日、シリンダ装置５
９が駆動されて、夫々のシリンダロッド３８ａ、５９ａ
の先端部に装着されたドア３６．４２および６０．６２
が開成される。そこで、一旦、第１シリンダ装置２４が
付勢されてローラコンベア２６」二のワークＷをイオン
窒化処理室１Ｇ方向、すなわち、矢印Ｂ方向へと移送す
る。搬送台５４上に移送されたワークに対しては前記と
同様にシリンダ装置３４が付勢され、さらに、この搬送
台５４はイオン浸炭処理室１８の内部にまで侵入してヒ
ータを兼ねる陽極７４の直下に位置決めされる。次いで
、シリンダ装置６６が付勢されてシリンダロッド６６ａ
が上昇し、その先端部に固着された陰極を兼ねる被処理
物台７２がワークＷをさらに上昇させ、陽極７４内に位
置決めする。そこで、シリンダ装置３４は退勤動作を行
って搬送台５４をイオン窒化処理室４６側へと変位させ
る。このように搬送台５４が原位置に復帰すると同時に
シリンダ装置５９が駆動されて倍力機構を有するドア６
０並びに６２が開口部６４ａを閉塞する。

このように所定空間が得られたイオン浸炭処理室１８内
では、次いで前記イオン窒化処理と同様に電源１１０が
オンして陽極７４と陰極７２との間で通電が行われ、こ
れによってワークＷに対してイオン浸炭処理が行われる
。このイオン浸炭処理に際しては、前記イオン窒化処理
と同様の作用が施されるが、この場合、特にイオン浸炭
に際してはイオン窒化処理よりもさらに一層高温の、例
えば、約９００°Ｃ乃至１０５０℃まで速やかに昇温す
る必要があるためにヒータを兼ねる陽極７４と陰極７２
との間では通電時間を一層長くするか、若しくは、処理
時間を可及的に短くするためにはこのヒータを兼ねる陽
極７４と陰極７２との容量を増大させ、短時間で少なく
とも所望の温度まで昇温出来るよう構成することも可能
である。

このように、十分加熱作用が施される間、バキュームポ
ンプ１２０が付勢され、バルブ１１８の開弁作用の下に
排気管１１６はイオン浸炭処理室１８からその内部空気
を吸引し外部へと放出する。

従って、イオン浸炭処理室１８の室７０の内部では、例
えば、前記と同様に、１０弓乃至１Ｏ−３Ｔｏｒｒ程度
の真空度が得られる。そこで、バルブ１１４が開弁され
て導入管１１２からＣＨ，若しくはＣ３１１ｅの炭化水
素ガスが導入され、この結果、陰極７２と陽極７４のグ
ロー放電作用下にイオン浸炭が効果的に行われる。ワー
クＷに対して前記のようにイオン浸炭処理が行われた後
、ワークＷは油冷却室２０方向へと導出される。すなわ
ち、シリンダ装置８４が付勢されてドア８６並びに８８
がシリンダロッド８４ａの」二昇作用と共に一体的に上
昇する。

これによって、油冷却室２０への開口部が開成されるこ
とになる。そこで、シリンダ装置１０４が付勢されてそ
のシリンダロッド１０４ａが矢印入方向へと変位し、従
って、搬送台１０６はイオン浸炭処理室１８内のワーク
Ｗ直下に延在する。そこで、シリンダ装置６６が付勢さ
れて陰極７２が下降動作を行う。ワークＷは前記陰極７
２の下降動作と共に下降するが、フォーク状の搬送台１
０６はこのワークＷの両端部を受は止め、それ以後陰極
７２は単独で下降動作を行う。ワークＷを捕捉した搬送
台１０６は再びシリンダ装置１０４の駆動作用下に油冷
却室２０内へと退勤動作を行う。次いで、シリンダ装置
９０が付勢され、シリンダロッド９０ａが上昇動作を行
い、台座部９２は前記搬送台１０６をワークＷと共に一
体的に着座させる。

そして、シリンダ装置９０を再び反対方向へ、すなわち
、矢印り方向へと変位させれば、爪部材１０７は爪部材
１０６ａからの係合を離脱し、ワークＷは前記１般送台
１０６と共に油８２の内部へと浸漬する。そこで、攪拌
器７８が付勢され、ファン８０はこの冷却用の油８２を
好適に攪拌し、従って、高温のワークＷに対して冷却用
油８２を常時接せしめ、この高温のワークＷを所定の温
度にまで冷却する。冷却作用が施されたワークＷに対し
ては再びシリンダ装置９０がイ」勢されて台座部９２が
矢印Ｃ方向へと変位し、搬送台１０６がローラコンベア
１０８と同じ高さにまで到達する時、一旦、このシリン
ダ装置９０はその付勢を停止させられる。そこで、水平
方向に延在するシリンダロッド１０４ａを有するシリン
ダ装置１０４が再び駆動されて、このシリンダ装Ｗ１０
４は矢印Ｂ方向へと搬送台１０６を変位させる。この間
、シリンダ装置９６が付勢されてシリンダロッド９６ａ
がドア９４並びにドア９５を」二昇させ、外部へ連通す
る開口部が開成されている。そこで、図示しない回転駆
動源を介してスプロケット１００ａ乃至１００ｄが付勢
され、これによって回転するチェーン１０２の一部に係
着された爪部材１０９ば前記開口部近傍にまで移送され
、ワークＷと係合する。このような状態において前記図
示しない回転駆動源は逆転動作を開始し、スプロケソ）
　１００ａ乃至１００ｄがそれに応することによって爪
部材１０９はワークＷを外部へと導出する。

このようにイオン浸炭処理がなされ、且つ所定の温度に
まで冷却されたワークＷは図示しない搬送装置によって
次の工程へと移送されることになる。

ところで、イオン浸炭処理室１８内におけるイオン浸炭
処理では、前記の通り約１０５０℃の高温にまでワーク
Ｗは昇温する。一方、イオン浸炭処理が行われた直後の
ワークＷを外気にさらすと、その表面に空気中に含まれ
る酸素によって酸化が生じそれが品質の劣化になる。そ
こで、ワークＷは、所定時間、イオン浸炭処理室の内部
に滞留させておくことが好ましい。然しなから、前記の
高温から所望の低温に至るまでこのようにイオン浸炭処
理室１８内にワークＷを留めておくことはこの種の表面
処理に相当の時間を要し、結局、サイクルタイムが極め
て長くなるという不都合がある。そこで、油冷却処理室
２０にイオン窒化処理室あるいはイオン浸炭処理室と同
様に排気管１１６ａを介してバキュームポンプ１２０ａ
を接続しておき、ワークＷがイオン浸炭処理室１８内に
おいてイオン浸炭処理を行っている間、油冷却室２０を
十分に前記バキュームポンプ１２０の付勢作用下に真空
引きしておけばよい。

このようにすれば、ワークＷにイオン浸炭処理が行われ
た直後、シリンダ装置８４を駆動して油冷却室２０の内
部にワークＷを搬送したとしても、既にこの油冷却室２
０内では十分な真空引きが行われているために、ワーク
Ｗの表面に酸化作用が惹起することは回避される。同様
にして、イオン浸炭処理室１８内におけるワーク“Ｗに
対してのイオン浸炭処理中にイオン窒化処理室１６内を
真空引きしておけば、ワークＷに対しての酸化作用を阻
止出来ると共に、例えば、ファン５８を駆動して一挙に
冷却作用を施すことも可能となる。

本発明は以上のようにイオン窒化処理室とイオン浸炭処
理室とを並設し、しかも、搬送機構自体を共用出来るよ
うにすると共に、また場合によっては冷却室をも共用出
来るように構成している。このために、イオン窒化処理
装置、イオン浸炭処理装置が互いに分離構成されている
従来の表面処理システムに比較すれば、極めて占有面積
を小さく抑えることが可能であると共に、イオン浸炭、
イオン窒化あるいは冷却のサイクルタイムを極めて短縮
することが出来る。

このために生産能率の向上が一層高揚出来るという効果
が得られる。しかも、イオン窒化処理室、イオン浸炭処
理室および油冷却室に真空吸引装置を設けてこれらの王
室を必要に応じてイオン浸炭処理、イオン窒化処理の際
、選択的に真空パージ室として活用することが可能とな
るために、ワークに対しての表面処理を可及的に短時間
で高温から低温にまでコントロールすることが可能とな
る。従って、ワークＷの連続表面処理を効果的に行うこ
とが可能となる利点が得られる。

以」二、本発明について好適な実施例を挙げて説明した
が、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに
設計の変更が可能なことば勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る熱処理装置の概略縦断説明図、第
２図は本発明に係る熱処理装置に組み込まれるヒータを
兼ねる陽極と陰極と搬送台との相互関係を示す斜視説明
図、第３図ａはイオン窒化処理室、イオン浸炭処理室に
付設される真空吸引装置並びにガス導入装置の概略説明
図、第３図すは油冷却室に付設される真空吸引装置の概
略説明図である。１０・・熱処理装置　　　　１２．１４・・移動台１６
・・イオン窒化処理室］８・・イオン浸炭処理室　２０・・冷却室２４・　・
シリンダ２６・・ローラコンベア

Claims

【特許請求の範囲】

（１）イオン窒化処理、イオン浸炭処理若しくはイオン
浸炭窒化処理を行う際、夫々の処理室に付設された真空
吸引装置を選択的に付勢し、表面処理を行った後のワー
クを真空引きされた処理室に導入して所定時間滞留させ
、ワーク冷却後に外部に取り出してワーク表面の酸化を
阻止することを特徴とする熱処理方法。
（２）イオン窒化処理室とイオン浸炭処理室と冷却室と
を連設し、前記夫々の室と室との間に開閉自在に開口部
を密閉的に遮断可能なドア装置を設け、さらに、前記夫
々の室に真空吸引装置を設けることを特徴とする熱処理
装置。
（３）特許請求の範囲第２項記載の装置において、イオ
ン窒化処理室とイオン浸炭処理室と冷却室とをこの順序
で連設し、少なくともイオン窒化処理室、または、冷却
室のいずれか一方からイオン浸炭処理室にワークを搬送
する搬送機構を設けてなる熱処理装置。
（４）特許請求の範囲第３項記載の装置において、搬送
機構はイオン窒化処理室並びに冷却室の外部に設けられ
た手段と、前記イオン窒化処理室並びに冷却室の内部に
あってイオン浸炭処理室に伸長動作する一組のシリンダ
装置とこのシリンダ装置に付設された前記コンベアと略
等しい高さの搬送台とからなる熱処理装置。