JP6221349B2 - 可変絞り形静圧軸受 - Google Patents
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Description
前記可変絞りは、流体貯留室と、中央部に突起部を備えた流体供給室と、前記流体供給室と前記流体貯留室の間を仕切り、自らの外周部が固定され、自らの厚さ方向と直交する面が前記突起部と所定の隙間を隔てて正対するダイアフラムと、前記突起部に前記静圧ポケットへ連通する流路を備え、前記ダイアフラムと前記突起部の隙間の開度により絞り量を調整する可変絞り形静圧軸受において、
前記ダイアフラムの前記突起部に正対する面の裏面に、凸部を備え、前記流体貯留室に前記凸部を摺動自在に収容し、前記凸部との間に液室を形成する凹部を備えることである。
図1に示すように、テーブル送り装置1はベース10のスライド部にテーブル2を摺動自在に搭載し、テーブル2の両端の下部に1対の裏板5を取り付けることによりX軸方向のみに移動可能にした構造である。
図2に示すように、テーブル2のベース10に対向する面に静圧ポケット2aを下向きに2箇所、横向きに対向する1対の静圧ポケット2cを備えている。静圧ポケット2a、2cには可変絞り3が連通しており、可変絞り3には各々給油管路4が連通している。給油管路4にはポンプ11(流体供給手段)が連結しており流体を供給する。
裏板5にも静圧ポケット5aを上向きに備えており、静圧ポケット5aには可変絞り3が連通しており、可変絞り3には各々給油管路4が連通している。
ダイアフラム33が撓まないで中立位置にある場合は、突起部31bとダイアフラム33は隙間t2を備えて正対する。流体貯留室32aには流路32cを経由して管路4が連通し、流体供給室31aには流路31dと流路32cを経由して管路4が連通し、吐出口31cはテーブル2の流入路2bを経由して静圧ポケット2aと連通している。
管路4に流体が供給されると流路32cを経由して流体貯留室32aに流体が充満し、さらに穴32bと凸部33aの嵌合部の隙間(絞り)を経由して液室6にも流体が充満する。一方、流路32cと流路31dを経由して流体供給室31aに流体が充満し、さらに、流体供給室31a内の流体はダイアフラム33と突起部31bの間の隙間と吐出口31cを経由して静圧ポケット2aに流量Q0で流入する。静圧ポケット2a内からは、静圧ポケット2aとベース10の間隔t1から流出する流量Q0の流体が流出する。
以上のことが、テーブル2の水平方向に設置された静圧ポケット2eと裏板5の静圧ポケット5a部においても同様に起きる。この結果として、ベース10とテーブル2は静圧ポケット2a部で間隔t1を備えた状態で保持される。
Claims (2)
- 軸受面に設けられた静圧ポケットと、
前記静圧ポケットに流体を供給する流体供給手段と、
前記流体供給手段から前記静圧ポケットに至る流体の流路を形成する流体流路と、
前記流体流路の途中に設けられ、流体の流量を絞って前記静圧ポケットに流入させる可変絞りを備え、
前記可変絞りは、
流体貯留室と、
中央部に突起部を備えた流体供給室と、
前記流体供給室と前記流体貯留室の間を仕切り、自らの外周部が固定され、自らの厚さ方向と直交する面が前記突起部と所定の隙間を隔てて正対するダイアフラムと、
前記突起部に前記静圧ポケットへ連通する流路を備え、前記ダイアフラムと前記突起部の隙間の開度により絞り量を調整する可変絞り形静圧軸受において、
前記ダイアフラムの前記突起部に正対する面の裏面に、凸部を備え、
前記流体貯留室に前記凸部を摺動自在に収容し、前記凸部との間に液室を形成する凹部を備え、
前記凸部の外周と前記凹部の内周の間に絞りを構成する可変絞り形静圧軸受。 - 前記凸部が前記ダイアフラムの中央部に配置される請求項1に記載の可変絞り形静圧軸受。
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