JP6209190B2 - 無反射ナノコーティング構造及びその製造方法 - Google Patents
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Description
前記ナノピラー31は、その成分として、二酸化チタン以外に、IV族元素、V族元素をさらに含んでもよい。IV族元素、V族元素は、酸素を置換させたり、あるいはTiを置換させたりして、バンドギャップを低減させる。そのようなIV族元素、V族元素としては、例えば、C、N、Si、Ge、Sn、Pb、N、P、As、Sb、Biのうちから選択された一つ以上が使用可能であり、それらのうち、例えば、C、Nなどを使用することができる。前記IV族元素、V族元素の含有量は、二酸化チタン100重量部を基準に、25重量部以下でもある。その含有量が過度に多ければ、セカンド・フェーズ(second phase)が形成されて好ましくない。IV族元素、V族元素は、スパッタリング工程時、それら元素を含むガスをさらに注入する方式で、ナノピラー31に含めることができる。
Ti(s)+O2(g)→TiO2(s)
〔反2〕
Ti(s)+2CO(g)→TiO2(s)+2C(s)
〔反3〕
2C(s)+O2(g)→2CO(g)
チタン金属元素と酸素ガスとが反応し、二酸化チタンを生成する反応式1と、チタン金属元素と一酸化炭素ガスとが反応し、二酸化チタンを生成して一酸化炭素が還元される反応式2と、還元された炭素が酸素ガスと反応し、一酸化炭素を生成する反応式3とで表現することができる。
洗浄されたガラス基板を蒸着部に装着し、40cm幅のシリコン・スパッタリングターゲットが装置されたスパッタリング装備の基底圧力を、真空ポンプを介して、5×10−6Torrまで低めた後、アルゴン(Ar)と酸素(O2)との比率を100sccm:100sccmに調節し、チャンバ内の圧力を10−3Torrに上昇させた。常温において、1.5kWの電力で、スパッタリングターゲットに電圧を印加してプラズマを発生させた。前記ガラス基板上に、65nmほどの厚みにSiO2層を蒸着させた。
基板に対する入射角度別に、TiO2層が垂直自家配列されたナノ構造に成長するか否かということを確認するために、平板ガラス基板上に、下記のように、スパッタリングを実施した。
曲面基板として、所定の曲率を有するプラスチックレンズを蒸着部に装着し、40cm幅のチタン・スパッタリングターゲットが装置されたスパッタリング装備の基底圧力を、真空ポンプを介して、5.0×10−6Torrまで低めた後、Ar、CO及びO2を、100sccm:100sccm:3sccmに調節し、チャンバ内の圧力は、3×10−3Torrに固定させた。1.5kWの電力で、スパッタリングターゲットに電圧を印加してプラズマを発生させた。常温で曲面基板の中心部に対する蒸着角度を0゜にしてスパッタリングを実施し、曲面基板上に、150nmほどの厚みにTiO2層を蒸着させた。
洗浄された平板ガラス基板(n=1.52)を蒸着部に装着し、40cm幅のシリコン・スパッタリングターゲットが装置されたスパッタリング装備の基底圧力を、真空ポンプを介して、5×10−6Torrまで低めた後、Ar及びO2の比率を100sccm:100sccmに調節し、チャンバ内の圧力を10−3Torrに上昇させた。常温で、1.5kWの電力で、スパッタリングターゲットに電圧を印加してプラズマを発生させた。前記ガラス基板上に、65nmほど厚みにSiO2層を蒸着させた。
曲率を有する基板として、直径15mm、曲率R=11.66のカメラレンズを使用したことを除いては、前記実施例4と同一の過程を実施し、前記レンズの凹状面に3層構造の無反射ナノコーティング層を形成した。
屈折率(n)1.79及び1.89の平板ガラス基板上に、まず、ALD(atomic layer deposition)蒸着装備を使用して、窒素(N2)ガスでパージした後、チャンバステージ温度110℃で、トリメチルアルミニウム(TMA;Al(CH3)3)露出時間0.1秒、窒素(N2)パージング時間15秒、H2Oパージング時間0.1秒、窒素(N2)パージング時間15秒を1サイクルにして60サイクルを遂行し、Al2O3バッファ層を蒸着した。
図17から分かるように、高屈折率基板と、3層構造のナノコーティング層との間に、前記基板と、ナノコーティング層との中間屈折率を有するAl2O3バッファ層(n=1.65)を挿入させ、高屈折率を有する基板でも、優秀な無反射特性を具現するということが分かる。
20 第1コーティング層
30 第2コーティング層
31 テーパード・ナノピラー
40 第3コーティング層
100 平面基板
101 曲面基板
301 アイランド
302 ナノピラー
500 装着部
601 シリコン・スパッタリングターゲット
602 チタン・スパッタリングターゲット
603 プラズマ
701 アルゴンガス
702 一酸化炭素ガス
703 酸素ガス
Claims (18)
- 平面基板または曲面基板と、
前記基板上に配置され、前記基板に比べ、低屈折率を有する第1酸化物ナノ粒子を含む第1コーティング層と、
前記第1コーティング層上に垂直配列された、二酸化チタンナノ粒子からなる、前記第1コーティング層側に行くほど小径になる形態を有するナノピラーを含む第2コーティング層と、
前記ナノピラーの前記基板とは反対側の上端部に配置された、前記基板に比べ、低屈折率を有する第2酸化物ナノ粒子を含む第3コーティング層と、を含む無反射ナノコーティング構造。 - 前記基板は、ガラス基板、高分子基板、セラミックス基板、またはそれらの組み合わせであることを特徴とする請求項1に記載の無反射ナノコーティング構造。
- 前記基板の屈折率が、1.4ないし2.0の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の無反射ナノコーティング構造。
- 前記ナノピラーは、高さが50ないし200nmであり、平均直径が10ないし50nmであることを特徴とする請求項1に記載の無反射ナノコーティング構造。
- 前記ナノピラーは、前記第1コーティング層方向に行くほど直径が小さくなる形態であることを特徴とする請求項1に記載の無反射ナノコーティング構造。
- 前記ナノピラーの間に空隙を含み、前記第2コーティング層の屈折率(n)が、1<n<2.3の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の無反射ナノコーティング構造。
- 前記第1酸化物ナノ粒子及び前記第2酸化物ナノ粒子は、それぞれ独立して、二酸化ケイ素、二酸化窒化ケイ素及び二酸化炭化ケイ素のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項1に記載の無反射ナノコーティング構造。
- 前記基板及び前記第1コーティング層の間に、バッファ層をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の無反射ナノコーティング構造。
- 前記バッファ層は、酸化アルミニウムを含むことを特徴とする請求項8に記載の無反射ナノコーティング構造。
- 入射角0゜〜50゜において、380〜780nm領域での平均反射率が、0.8%未満であることを特徴とする請求項1に記載の無反射ナノコーティング構造。
- 入射角60゜〜80゜において、380〜780nm領域での平均反射率が、12%未満であることを特徴とする請求項1に記載の無反射ナノコーティング構造。
- 平面基板上または曲面基板上に、前記基板に比べ、低屈折率を有する第1酸化物ナノ粒子を蒸着し、第1コーティング層を形成する段階と、
非活性ガスと、一酸化炭素及び酸素を含む反応性ガスとの混合ガス下で、スパッタリング方法で、前記第1コーティング層上に、二酸化チタンナノ粒子を蒸着して、前記第1コーティング層側に行くほど小径になる形態を有するナノピラーを垂直成長させる段階と、
前記ナノピラーの端部に、前記基板に比べ、低屈折率を有する第2酸化物ナノ粒子を蒸着する段階と、を含む無反射ナノコーティング構造の製造方法。 - 前記第1酸化物ナノ粒子の蒸着、及び前記第2酸化物ナノ粒子の蒸着が、スパッタリングを利用して行われることを特徴とする請求項12に記載の無反射ナノコーティング構造の製造方法。
- 前記反応性ガスのうち、一酸化炭素及び酸素の比率が、100:0超過であり、90:10未満であることを特徴とする請求項12に記載の無反射ナノコーティング構造の製造方法。
- 前記混合ガスの圧力は、1×10−3Torrないし5×10−3Torrの範囲であることを特徴とする請求項12に記載の無反射ナノコーティング構造の製造方法。
- 前記ナノピラーの垂直成長段階において、前記第1コーティング層が形成された基板に対するチタンターゲットから発生したプラズマの入射角を、0゜ないし90゜の範囲に調節することを特徴とする請求項12に記載の無反射ナノコーティング構造の製造方法。
- 前記第1コーティング層を形成する前に、前記基板上に、前記基板の屈折率と、前記第1コーティング層の屈折率との間の中間屈折率を有するバッファ層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項12に記載の無反射ナノコーティング構造の製造方法。
- 前記バッファ層は、酸化アルミニウムを含むことを特徴とする請求項17に記載の無反射ナノコーティング構造の製造方法。
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