JP6201066B2 - 弾性波デバイス - Google Patents
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Description
本願は、2014年7月31日に出願された「弾性波デバイス」との名称の、その全体がすべての目的のためにここに参照として組み入れられる同時係属中の特願2014−155795に基づく米国特許法第119条及び特許協力条約第8条の優先権を主張する。
Claims (20)
- 弾性波デバイスであって、
圧電基板と、
前記圧電基板に配置されたインターデジタルトランスデューサ(IDT)電極と、
前記IDT電極が弾性波を励振する励振空間を封止する誘電封止体と、
前記IDT電極に接続された配線電極であって、前記圧電基板の上面に直接配置されかつ接触する第1配線電極と、前記第1配線電極の上側に直接配置されかつ接触する第2配線電極とを含む配線電極と、
前記誘電封止体と前記第2配線電極との間に鉛直に延びるように前記誘電封止体の一部と連続して当該一部を形成する封止壁と
を含み、
前記第2配線電極は、前記第2配線電極の外周に形成されかつ前記第1配線電極の外周を超えて前記励振空間の中へと突出するように構成された突起を含み、
前記封止壁は、前記突起を介して前記IDT電極から離間され、
前記封止壁は、前記励振空間の側縁を画定する側面を有する弾性波デバイス。 - 前記IDT電極を覆う第1誘電膜をさらに含み、
前記第2配線電極の少なくとも一部分は前記第1誘電膜に配置される請求項1の弾性波デバイス。 - 前記第2配線電極の、前記第1誘電膜の上に配置された一部分が、前記突起を含む請求項2の弾性波デバイス。
- 前記IDT電極を覆う第1誘電膜をさらに含み、
前記第2配線電極は前記第1誘電膜の外周を覆う請求項1の弾性波デバイス。 - 前記IDT電極を覆いかつ前記第1配線電極の前記外周を覆う第1誘電膜をさらに含む請求項1の弾性波デバイス。
- 前記第2配線電極及び前記第1誘電膜を覆う第2誘電膜をさらに含み、
前記封止壁は前記第2誘電膜に配置される請求項5の弾性波デバイス。 - 前記IDT電極を覆う第1誘電膜をさらに含み、
前記突起は、前記第1誘電膜の外周の上に配置される請求項1の弾性波デバイス。 - 前記誘電封止体の上面に配置された端子電極と、
前記配線電極を前記端子電極に接続する接続電極と
をさらに含む請求項1の弾性波デバイス。 - 送信フィルタ及び受信フィルタを含むアンテナデュプレクサであって、
前記受信フィルタ及び前記送信フィルタの少なくとも一方が請求項1の弾性波デバイスを含むアンテナデュプレクサ。 - 請求項9のアンテナデュプレクサを含むモジュール。
- 弾性波フィルタを含むモジュールであって、
前記弾性波フィルタは請求項1の弾性波デバイスを含むモジュール。 - 請求項1の弾性波デバイスを含む通信デバイス。
- 弾性波デバイスを製造する方法であって、
圧電基板を与えることと、
前記圧電基板の第1表面にインターデジタルトランスデューサ(IDT)電極を形成することと、
前記圧電基板に配線電極を形成して前記IDT電極に接続することであって、前記IDT電極を形成するステップの間に前記圧電基板の前記第1表面に第1配線電極を形成することを含み、さらに前記第1配線電極の表面に第2配線電極を形成することを含み、前記第2配線電極は、前記第2配線電極の外周に形成された突起であって、前記IDT電極が弾性波を励振する励振空間の中へと前記第1配線電極を超えて突出するように構成された突起を含むことと、
前記励振空間を封止する誘電封止体を形成することと
を含み、
前記誘電封止体は、前記第2配線電極に配置されて前記突起を介して前記IDT電極から離間された封止壁を含み、
前記封止壁は、前記励振空間の縁を画定する側面を有する方法。 - 前記封止壁を通って前記第2配線電極まで延びる接続電極を形成することと、
前記封止壁を覆うように端子電極を形成することと、
前記接続電極を介して前記端子電極を前記第2配線電極に接続することと
を含む請求項13の方法。 - 前記IDT電極を覆う第1誘電膜を形成することをさらに含む請求項13の方法。
- 前記第2配線電極を形成することは、前記第2配線電極の、前記突起を含む一部分を、前記第1誘電膜の外周を覆うように形成することを含む請求項15の方法。
- 前記第1誘電膜を形成することは、前記第1配線電極の外周を覆うように前記第1誘電膜を形成することを含む請求項16の方法。
- 前記第2配線電極及び前記第1誘電膜を覆う第2誘電膜を形成することをさらに含む請求項17の方法。
- 前記誘電封止体を形成することは、前記第2誘電膜を覆うように前記封止壁を形成することを含む請求項18の方法。
- 弾性波デバイスであって、
圧電基板と、
前記圧電基板の第1表面に配置されたインターデジタルトランスデューサ(IDT)電極と、
前記圧電基板の前記第1表面において前記IDT電極に隣接して配置された第1配線電極と、
前記IDT電極と前記第1配線電極の外周とを覆う第1誘電膜と、
前記第1配線電極の表面に配置された第2配線電極であって、前記第1誘電膜の外周を覆うように、前記IDT電極の上にある前記IDT電極が弾性波を励振する励振空間の中へと延びる突起を含む第2配線電極と、
前記IDT電極が前記弾性波を励振する前記励振空間を覆うように延びて封止する誘電封止構造体と、
前記誘電封止構造体の上面に配置された端子電極と、
前記誘電封止構造体を通って延びて前記端子電極を前記第2配線電極に電気的に接続する接続電極と
を含み、
前記第1配線電極及び前記第2配線電極の少なくとも一方が、前記IDT電極に電気的に接続され、
前記誘電封止構造体は、前記第2配線電極に配置されて接触する封止壁を含み、
前記封止壁は、前記突起を介して前記IDT電極から離間され、
前記封止壁は、前記励振空間の側縁を画定する側面を有する弾性波デバイス。
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