JP6200489B2 - 磁歪材料を含む光学素子 - Google Patents
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Description
本願は、米国特許法119条(a)に基づき、2012年4月27日出願の独国特許出願第10 2012 207 003号の優先権を主張するものであり、その全開示を本願の一部とみなすとともに、参照により本願の開示に援用する。
Claims (20)
- 光学素子(21)であって、
基板(30)、
反射コーティング(31)、
磁歪材料を含む少なくとも一つの活性層(34、34a、34b)、及び
前記少なくとも一つの活性層(34、34a、34b)において磁界(36、36b)を生成するための永久磁性材料を含む少なくとも一つの磁化層(35)を含み、
前記反射コーティング(31)は、高屈折率層材料と低屈折率層材料を含んでなる交互層(33a、33b)を有する複数の層ペア(32)を備え、
前記少なくとも一つの活性層(34)は、前記反射コーティング(31)内に形成されている、
ことを特徴とする光学素子(21)。 - 前記反射コーティング(31)は、EUV照射を反射するための反射コーティングである、請求項1に記載の光学素子。
- 前記反射コーティング(31)は、N層の前記交互層(33a、33b)を備え、該交互層の第1層は、前記基板(30)に隣接して配置されており、前記交互層の第N番目の層は周囲環境に面しており、
前記活性層(34)は、前記第1層及び前記第N−5番目の層(33a、33b)との間に配置されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の光学素子。 - 前記反射コーティング(31)は、N層の前記交互層(33a、33b)を有し、その第1層目の層は前記基板(30)に隣接し、第N番目の層は周囲環境に面する表面(38)に隣接しており、前記活性層(34)は、第N−5番目の層と第N番目の層との間に配置されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記活性層(34)の厚さ(d)は、0.5nm〜7nmであることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記活性層(34)の厚さ(d)は、2nm〜4nmであることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学素子。
- 少なくとも一つの活性層(34)が、すべての層ペア(32)内に備えられていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の光学素子。
- 各層ペア(32)の前記少なくとも一つの活性層(34)は、層厚が最大2.5nmであることを特徴とする、請求項7に記載の光学素子。
- 各層ペア(32)の前記少なくとも一つの活性層(34)は、層厚が最大1.0nmであることを特徴とする、請求項7に記載の光学素子。
- 光学素子(21)であって、
基板(30)、
反射コーティング(31)、
磁歪材料を含む少なくとも一つの活性層(34、34a、34b)、及び、
前記少なくとも一つの活性層(34、34a、34b)において磁界(36、36b)を生成するための永久磁性材料を含む少なくとも一つの磁化層(35)を含み、さらに、前記光学素子(21)は、正磁歪特性を有する材料を含む少なくとも一つの第1活性層(34a)及び負磁歪特性を有する材料を含む少なくとも一つの第2活性層(34b)を含み、
前記活性層(34a、34b)の層厚(d1、d2)及び層材料は、磁界(36、36b)により生成される前記活性層(34a、34b)における機械的応力の変化や長さの変化が相殺されるように選択されることを特徴とする、光学素子。 - 前記磁化層(35)の前記永久磁性材料は、フェライト、サマリウムコバルト(Sm−Co)、ビスマノール、ネオジム−鉄−ホウ素(NdFeB)、及びスチールを含むグループから選択されることを特徴とする、請求項1、2、又は10に記載の光学素子。
- 前記永久磁性材料は磁歪性であることを特徴とする、請求項1、2、10又は11に記載の光学素子。
- 前記少なくとも一つの活性層(34、34a、34b)を含む複数の活性層を備え、該複数の活性層の少なくとも一部及び/又は磁化層(35)は、前記反射コーティング(31)及び前記基板(30)の間に配置されていることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記活性層(34、34a、34b)の前記磁歪材料は、SeFe2、TbFe2、DyFe2、ターフェノールD(Tb(x)Dy(1-x)Fe 2)、ガルフェノール(Ga(x)Fe(1-x))、Ni、Fe、Co、Gd、Er、SmFe2、サムフェノールD(Samfenol-D)、及びこれらの複合物を含むグループから選択されることを特徴とする、請求項1〜13のいずれか一項に記載の光学素子。
- 請求項1〜14のいずれか一項に記載の光学素子(15、21)を少なくとも一つ含む光学装置(40)。
- 前記光学装置(40)はEUVリソグラフィー装置である、請求項15に記載の光学装置。
- 前記少なくとも一つの活性層(34)内で、変化する磁界(36、36b)を生成するための磁界生成装置(17a、17b)をさらに備える、請求項15又は16に記載の光学装置。
- 前記磁界(36、36b)は位置に応じて変化する、請求項17に記載の光学装置。
- 前記磁界生成装置(17a、17b)は、周期的に変化する磁界(36、36b)を生成することにより、前記少なくとも一つの活性層(34、34a、34b)及び/又は前記少なくとも一つの磁化層(35)を、誘導加熱するように設計されていることを特徴とする、請求項17又は18に記載の光学装置。
- 前記磁界生成装置(17a、17b)は、20kHz超である周波数(f)で周期的に変化する磁界を生成するように設計されていることを特徴とする、請求項19に記載の光学装置。
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