JP6196748B2 - Setter for firing ceramic products - Google Patents

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Description

本発明は、被焼成物のセッターとして好適に用いられるセラミックス板状体及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a ceramic plate-like body suitably used as a setter for an object to be fired and a method for producing the same.

セラミックス製の電子部品やガラスを焼成するときには、被焼成物を棚板や敷板などとも呼ばれるセッター上に載置して焼成を行うことが一般的である。この場合、寸法が大きい被焼成物をセッター上に載置する場合や、多数の被焼成物をセッター上に載置する場合には、セッターにおける被焼成物の載置面を大きくする必要がある。しかし、該載置面の寸法を大きくすると、該載置面の中心域と周縁域とで温度差が発生しやすくなる。温度差の発生は、焼成品に反りを発生させるなど、焼成品の品質に影響を与える場合があるので、載置面に温度差が生じないようにすることが望まれている。   When firing ceramic electronic parts or glass, firing is generally performed by placing an object to be fired on a setter called a shelf board or a floor board. In this case, when placing a to-be-fired object having a large size on the setter, or when placing many to-be-fired objects on the setter, it is necessary to enlarge the placement surface of the object to be fired in the setter. . However, when the size of the mounting surface is increased, a temperature difference is likely to occur between the central area and the peripheral area of the mounting surface. Since the occurrence of the temperature difference may affect the quality of the fired product, such as warping of the fired product, it is desired to prevent the temperature difference from occurring on the mounting surface.

焼成時に均一な加熱を行うことを目的として、特許文献1には、通気性に優れると同時に、高熱伝導率の多孔質セラミックスセッターが記載されている。このセッターは、セラミックスファイバー又はウイスカーと、平均粒径5〜100μmのSiC、BN、AlN、BeO、MoSi2、TiN、ZrB2から選ばれたセラミックス粒子とが、耐熱性無機質結合剤で結合された繊維間での絡み合い構造を有するものである。For the purpose of performing uniform heating during firing, Patent Document 1 describes a porous ceramic setter having excellent air permeability and high thermal conductivity. In this setter, ceramic fibers or whiskers and ceramic particles selected from SiC, BN, AlN, BeO, MoSi 2 , TiN, and ZrB 2 having an average particle diameter of 5 to 100 μm are bonded with a heat-resistant inorganic binder. It has an entangled structure between fibers.

特許文献1と同様に、焼成時に均一な加熱を行うことを目的として、特許文献2には、セラミックス粉末と、該粉末に保形性を付与するための有機化合物や粘土とを含有する原料を用いて成形物を形成する成形工程と、該成形物を乾燥後、乾燥した成形物を1300〜1800℃の温度で焼成する乾燥・焼成工程と、得られた焼成物を均一な厚みを有する平板状に切断する切断工程とを有するセラミックス板の製造方法が記載されている。   As in Patent Document 1, for the purpose of performing uniform heating during firing, Patent Document 2 includes a raw material containing ceramic powder and an organic compound or clay for imparting shape retention to the powder. A molding step for forming a molded product, a drying / firing step for drying the molded product at a temperature of 1300 to 1800 ° C. after drying the molded product, and a flat plate having a uniform thickness. The manufacturing method of the ceramic board which has the cutting process cut | disconnected in a shape is described.

特開平10−251071号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-255101 特開2005−29462号公報JP 2005-29462 A

しかし、特許文献1及び2に記載の技術を採用しても、セッター載置面の中央域と周縁域とで生じる温度差を、満足すべきレベルにまで小さくすることは容易でない。特に焼成工程における加熱又は冷却時、とりわけ急熱時や急冷時における温度差を小さくすることは容易ではない。   However, even if the techniques described in Patent Documents 1 and 2 are adopted, it is not easy to reduce the temperature difference generated between the central area and the peripheral area of the setter placement surface to a satisfactory level. In particular, it is not easy to reduce the temperature difference during heating or cooling in the firing process, particularly during rapid heating or rapid cooling.

本発明の課題は、前述した従来技術が有する種々の欠点を解消し得る、セッターとして好適に使用されるセラミックス板状体を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a ceramic plate-like body suitably used as a setter, which can eliminate the various disadvantages of the above-described conventional technology.

本発明は、セラミックスから構成される板状の多孔体の部位を有し、
平面視したときに第1の気孔率を有する第1領域と、第1の気孔率よりも低い気孔率である第2の気孔率を有する第2の領域とを有し、
第1領域と第2領域とは同一のセラミックス素材である、セラミックス板状体を提供するものである。
The present invention has a plate-like porous body portion made of ceramics,
A first region having a first porosity when viewed in plan, and a second region having a second porosity that is lower than the first porosity;
The first region and the second region provide a ceramic plate that is the same ceramic material.

また本発明は、前記のセラミックス板状体の好適な製造方法として、
目的とするセラミックス板状体と相補形状の凹部を有する鋳込み用型における該凹部内に入れ子部材を配置し、
前記凹部内に、セラミックス原料粉及びゲル化剤を含む第1のスラリーを供給してゲル化させて第1の成形体を形成し、
前記入れ子部材を前記凹部内から脱型し、次いで該入れ子部材の脱型によって生じた脱型空間に、前記セラミックス原料粉及びゲル化剤を含む第2のスラリーを供給し、
第1の成形体、及び該第1の成形体の脱型空間に供給された第2のスラリーの凍結を行い、凍結体を得、
凍結体を乾燥させて乾燥体を得、
次いで乾燥体を焼成に付す、工程を有し、
第1及び第2のスラリーとして、それらに含まれる前記セラミックス原料粉の濃度が互いに相違するものを用いる、セラミックス板状体の製造方法を提供するものである。
The present invention also provides a method for producing the ceramic plate-like body as described above.
Placing the nesting member in the concave portion of the casting mold having a concave portion complementary to the target ceramic plate,
In the recess, a first slurry containing a ceramic raw material powder and a gelling agent is supplied and gelled to form a first molded body,
Supplying the second slurry containing the ceramic raw material powder and the gelling agent to the demolding space generated by demolding the nested member from the recess and then demolding the nested member;
Freezing the first molded body and the second slurry supplied to the demolding space of the first molded body to obtain a frozen body,
The frozen body is dried to obtain a dried body,
And then subjecting the dried body to firing,
The present invention provides a method for producing a ceramic plate-like body using the first and second slurries having different concentrations of the ceramic raw material powder contained therein.

図1は、本発明のセラミックス板状体の一実施形態を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a ceramic plate-like body of the present invention. 図2は、図1におけるII−II線断面図である。2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. 図3(a)ないし(c)は、図1に示すセラミックス板状体の好適な製造方法を示す工程図である。3A to 3C are process diagrams showing a preferred method for producing the ceramic plate-like body shown in FIG. 図4(a)ないし(d)は、図3(c)に引き続き、図1に示すセラミックス板状体の好適な製造方法を示す工程図である。4 (a) to 4 (d) are process diagrams showing a preferred method for manufacturing the ceramic plate-like body shown in FIG. 1, following FIG. 3 (c). 図5は、実施例1で得られたセラミックス板状体における中央域の走査型電子顕微鏡像である。FIG. 5 is a scanning electron microscope image of the central region of the ceramic plate obtained in Example 1. 図6は、実施例1で得られたセラミックス板状体における周縁域の走査型電子顕微鏡像である。6 is a scanning electron microscope image of the peripheral area of the ceramic plate obtained in Example 1. FIG. 図7は、実施例1で得られたセラミック板状体を加熱した後に急冷したときのサーモグラフィー像である。FIG. 7 is a thermographic image when the ceramic plate obtained in Example 1 is heated and then rapidly cooled. 図8は、比較例2で得られたセラミック板状体を加熱した後に急冷したときのサーモグラフィー像である。FIG. 8 is a thermographic image when the ceramic plate obtained in Comparative Example 2 is heated and then rapidly cooled.

以下本発明を、その好ましい実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。図1には、本発明のセラミックス板状体の一実施形態が示されている。図2は、図1におけるII−II線断面図である。これらの図に示すセラミックス板状体10は、被焼成物の焼成時にセッターとして用いられるものである。セラミックス板状体10は、板状の本体部11を有する。本体部11はセラミックスから構成される多孔体からなる。本体部11は、第1面11aとそれに対向する第2面11bとを有する。本体部11はその平面視において矩形をしている。尤も、本体部11の平面視での形状は矩形に限られず、被焼成物の形状や数に応じて種々の形状をとり得る。本体部11の平面視での形状がいかなるものであっても、本体部11の厚みは、任意の位置において同じであることが好ましい。   The present invention will be described below based on preferred embodiments with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the ceramic plate-like body of the present invention. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. The ceramic plate-like body 10 shown in these drawings is used as a setter during firing of an object to be fired. The ceramic plate 10 has a plate-like main body 11. The main body 11 is made of a porous body made of ceramics. The main body 11 has a first surface 11a and a second surface 11b opposite to the first surface 11a. The main body 11 has a rectangular shape in plan view. However, the shape of the main body 11 in a plan view is not limited to a rectangle, and can take various shapes depending on the shape and number of objects to be fired. Whatever the shape of the main body 11 in plan view, the thickness of the main body 11 is preferably the same at an arbitrary position.

セラミックス板状体10は、本体部11に加えて脚部12を有する。脚部12は、本体部11の隅部に設けられている。上述のとおり、本体部11は平面視において矩形をしており、脚部12は本体部11の四隅に位置している。脚部12は、本体部の第2面11bから垂下している。脚部12は本体部11と一体的に形成されている。また脚部12は、本体部11と同一のセラミックス素材から形成されている。尤も、脚部12が多孔体であることは要しない。   The ceramic plate-like body 10 has leg portions 12 in addition to the main body portion 11. The legs 12 are provided at the corners of the main body 11. As described above, the main body portion 11 has a rectangular shape in plan view, and the leg portions 12 are located at the four corners of the main body portion 11. The leg portion 12 is suspended from the second surface 11b of the main body portion. The leg portion 12 is formed integrally with the main body portion 11. Further, the leg portion 12 is formed of the same ceramic material as that of the main body portion 11. However, it is not necessary that the leg portion 12 is a porous body.

本体部11の第1面11aは、セラミックス板状体10の使用時に、つまり被焼成物の焼成時に、該被焼成物の載置面となる。第1面11aは、平坦面になっている。つまり、第1面11aは平面になっており、曲面とはなっていない。また第1面11aは平滑面になっている。つまり、第1面11aは滑らかになっており、凸部や凹部が存在していない。第1面11aがこのように平坦で且つ平滑な面になっていることで、被焼成物の焼成時に、第1面11aに該被焼成物を安定して載置させることができ、また均一な焼成を行うことができる。一方、第2面11bに関しては、その表面形状は特に問われない。   The first surface 11a of the main body 11 serves as a mounting surface for the fired product when the ceramic plate 10 is used, that is, when the fired product is fired. The first surface 11a is a flat surface. That is, the first surface 11a is a flat surface and not a curved surface. The first surface 11a is a smooth surface. That is, the first surface 11a is smooth, and there are no convex portions or concave portions. Since the first surface 11a is a flat and smooth surface as described above, the material to be fired can be stably placed on the first surface 11a when the material to be fired is fired. Calcination can be performed. On the other hand, the surface shape of the second surface 11b is not particularly limited.

本体部11が多孔体からなることは上述のとおりであるところ、該本体部11は、気孔率の異なる2つの領域を有する。詳細には、本体部11は、これを平面視したときに第1の気孔率を有する第1領域21と、第1の気孔率よりも低い気孔率である第2の気孔率を有する第2の領域22とを有している。後述する方法によって第1領域21及び第2領域22を形成すると、第1領域21における気孔率と、第2の領域22における気孔率とはステップ状に変化する。尤も、第1領域21と第2領域22との境界は明確でなくてもよく、第1領域21から第2領域22にかけて気孔率が漸次低下していってもよい。第1領域21から第2領域22にかけて気孔率が漸次低下している場合、両領域の境界は、第1領域21の気孔率と第2領域の気孔率との平均値を有する部位とする。第1領域21と第2領域22とは、好適には一体的に形成されている。「一体的に形成されている」とは、第1領域21と第2領域22とが何らかの接合手段によって接合されているのではなく、両領域21,22がセラミックスとして連続した構造体となっていることをいう。後述する好適な製造方法によれば、第1領域21と第2領域22とが一体的に形成されたセラミックス板状体10を製造することができるが、別の製造方法を採用した場合には、両領域21,22が一体的に形成されていないセラミックス板状体10が得られることもある。第1領域21と第2領域22とが一体的に形成されていると、セラミックス板状体10の加熱時及び/又は冷却時に、本体部10の中央域と周縁域とでの温度差を一層小さくすることができるので好ましい。   As described above, the main body 11 is made of a porous body, and the main body 11 has two regions having different porosity. Specifically, the main body 11 has a first region 21 having a first porosity when viewed in plan and a second region having a second porosity that is lower than the first porosity. Area 22. When the first region 21 and the second region 22 are formed by a method described later, the porosity in the first region 21 and the porosity in the second region 22 change in a step shape. However, the boundary between the first region 21 and the second region 22 may not be clear, and the porosity may gradually decrease from the first region 21 to the second region 22. When the porosity gradually decreases from the first region 21 to the second region 22, the boundary between the two regions is a portion having an average value of the porosity of the first region 21 and the porosity of the second region. The first region 21 and the second region 22 are preferably integrally formed. “Integrally formed” means that the first region 21 and the second region 22 are not joined by any joining means, but the two regions 21 and 22 are continuous structures as ceramics. It means being. According to a preferred manufacturing method described later, the ceramic plate 10 in which the first region 21 and the second region 22 are integrally formed can be manufactured. However, when another manufacturing method is employed, In some cases, the ceramic plate 10 in which the regions 21 and 22 are not integrally formed may be obtained. When the first region 21 and the second region 22 are integrally formed, when the ceramic plate 10 is heated and / or cooled, the temperature difference between the central region and the peripheral region of the main body 10 is further increased. Since it can be made small, it is preferable.

本体部11は、その平面視において中央域と、該中央域を囲繞し且つ本体部11の周縁端を含む領域である周縁域とを有しており、中央域が1つの第1領域21からなっている。そして周縁域が、第2領域22からなっている。中央域に位置する第1領域21は、本体部11の平面視において、該本体部11の形状と略相似形の矩形をしている。尤も、第1領域21の平面視の形状は、本体部11の平面視の形状と相似形であることは要しない。また第1領域21の平面視の形状は矩形であることも要しない。例えば第1領域21の平面視の形状は円形や矩形以外の多角形であってもよい。中央域と周縁域とでの温度差を極力小さくする観点からは、平面視での第1領域21の周縁上における任意の位置に引いた法線が、本体部11の周縁端と交わるまでの長さが、周縁上におけるいずれの位置においても同じであることが好ましい。例えば第1領域21が円であり、且つ第2領域22が該円と同一の内径を有する円環であり、第1領域21の円と第2領域22の円環とが同心になっていることが好ましい。また、平面視での第1領域21の周縁上における任意の位置に引いた法線が、本体部11の周縁端と交わるまでの長さが、該周縁上における任意の2以上の位置において異なる場合には、最も短い長さLminに対する最も長い長さLmaxの比であるLmax/Lminの値が8以下、特に4以下であることが好ましい。The main body 11 has a central area in a plan view and a peripheral area that surrounds the central area and includes the peripheral edge of the main body 11, and the central area is from one first area 21. It has become. The peripheral area is composed of the second area 22. The first region 21 located in the central region has a rectangular shape that is substantially similar to the shape of the main body 11 in a plan view of the main body 11. However, the shape of the first region 21 in plan view does not need to be similar to the shape of the main body portion 11 in plan view. Further, the shape of the first region 21 in plan view need not be rectangular. For example, the shape of the first region 21 in plan view may be a circle or a polygon other than a rectangle. From the viewpoint of minimizing the temperature difference between the central region and the peripheral region, the normal line drawn at an arbitrary position on the periphery of the first region 21 in plan view intersects with the peripheral edge of the main body 11. The length is preferably the same at any position on the periphery. For example, the first region 21 is a circle and the second region 22 is a ring having the same inner diameter as the circle, and the circle of the first region 21 and the ring of the second region 22 are concentric. It is preferable. Moreover, the length until the normal drawn to an arbitrary position on the periphery of the first region 21 in a plan view intersects with the peripheral edge of the main body 11 differs at any two or more positions on the periphery. In this case, the value of L max / L min which is the ratio of the longest length L max to the shortest length L min is preferably 8 or less, particularly 4 or less.

第1領域21は、その厚み方向及び面内方向の全域にわたって一定の気孔率、すなわち第1の気孔率を有していることが好ましい。一方、第2領域22は、その厚み方向及び面内方向の全域にわたって一定の気孔率、すなわち第2の気孔率を有していることが好ましい。   It is preferable that the 1st area | region 21 has a fixed porosity, ie, 1st porosity, in the whole area of the thickness direction and in-plane direction. On the other hand, it is preferable that the 2nd area | region 22 has a fixed porosity, ie, a 2nd porosity, throughout the thickness direction and the in-plane direction.

第1領域21及び第2領域22は、同一のセラミックス素材からなっている。両領域21,22が同一のセラミックス素材からなっていることで、両領域21,22の一体感が高まり、強度を維持する点や熱伝導において有利である。特に、上述のとおり両領域21,22が一体的に形成されている場合には、両領域21,22が同一のセラミックス素材からなっていると、一体感が一層高まる。その結果、セラミックス板状体10の加熱時及び/又は冷却時に、本体部10の中央域と周縁域とでの温度差を更に一層小さくすることができる。   The first region 21 and the second region 22 are made of the same ceramic material. Since both the regions 21 and 22 are made of the same ceramic material, the sense of unity between both the regions 21 and 22 is enhanced, which is advantageous in terms of maintaining strength and heat conduction. In particular, when both the regions 21 and 22 are integrally formed as described above, the sense of unity is further enhanced if both the regions 21 and 22 are made of the same ceramic material. As a result, the temperature difference between the central region and the peripheral region of the main body 10 can be further reduced when the ceramic plate 10 is heated and / or cooled.

以上のとおりの構成を有する本実施形態のセラミックス板状体10は、これを、被焼成物を焼成するときのセッターとして用いると、焼成過程における加熱時及び冷却時において、本体部11の中央域と周縁域との温度差を従来のセッターよりも小さくすることができる。この理由は、気孔率の高い領域である第1領域21は、気孔率の低い領域である第2領域22よりも熱容量が小さいので、熱容量が小さい第1領域21を中央域に配し、該中央域を囲繞する周縁域に熱容量の大きい第2領域22を配することで、加熱時には、加熱されにくい中央域を容易に加熱することができ、一方、冷却時には、冷却されにくい中央域を容易に冷却することができるので、結果として、加熱時及び冷却時における中央域と周縁域とでの温度差を小さくできるからである。   When the ceramic plate-like body 10 of the present embodiment having the configuration as described above is used as a setter when firing an object to be fired, the central region of the main body 11 during heating and cooling in the firing process. And the temperature difference between the peripheral region and the conventional setter can be made smaller. The reason for this is that the first region 21 that is a high porosity region has a smaller heat capacity than the second region 22 that is a low porosity region. By arranging the second region 22 having a large heat capacity in the peripheral region surrounding the central region, the central region which is difficult to be heated can be easily heated during heating, while the central region which is difficult to be cooled is easily heated during cooling. This is because the temperature difference between the central region and the peripheral region during heating and cooling can be reduced as a result.

特に、後述する実施例1及び2において例証されるとおり、セラミックス板状体10は、周縁域の温度よりも中央域の温度の方が低くなるように冷却が進行することが好ましい。この理由は次のとおりである。セラミックス板状体10を例えば被焼成物のセッターとして用いる場合、該セッターの中央域に被焼成物を載置することが多い。そのような載置状態で焼成を行い、その後に冷却を行うときには、セッターの中央域においては、該中央域の熱容量と焼成物の熱容量との総和に対して冷却が進行する。したがって、周縁域の温度よりも中央域の温度の方が低くなるように冷却が進行すれば、焼成物の熱容量を、セッターの周縁域の熱容量で相殺することができ、冷却を速やかに行うことができる。   In particular, as illustrated in Examples 1 and 2 to be described later, it is preferable that the ceramic plate-like body 10 is cooled so that the temperature in the central region is lower than the temperature in the peripheral region. The reason for this is as follows. When the ceramic plate-like body 10 is used as a setter for an object to be fired, for example, the object to be fired is often placed in the center area of the setter. When firing is performed in such a mounted state and then cooling is performed, in the central area of the setter, the cooling proceeds with respect to the sum of the heat capacity of the central area and the heat capacity of the fired product. Therefore, if the cooling proceeds so that the temperature in the central region is lower than the temperature in the peripheral region, the heat capacity of the fired product can be offset by the heat capacity in the peripheral region of the setter, and the cooling is performed quickly. Can do.

以上の有利な効果を一層顕著にする観点から、第1領域21の気孔率は50%以上99%以下であることが好ましく、60%以上90%以下であることが更に好ましく、70%以上90%以下であることが一層好ましい。一方、第2領域22の気孔率は、第1領域21の気孔率よりも低いことを条件として、0%以上70%以下であることが好ましく、0%以上60%以下であることが更に好ましく、0%以上50%以下であることが一層好ましい。   From the viewpoint of making the above advantageous effects more remarkable, the porosity of the first region 21 is preferably 50% or more and 99% or less, more preferably 60% or more and 90% or less, and 70% or more and 90%. % Or less is more preferable. On the other hand, on the condition that the porosity of the second region 22 is lower than the porosity of the first region 21, it is preferably 0% or more and 70% or less, and more preferably 0% or more and 60% or less. More preferably, it is 0% or more and 50% or less.

気孔率は、アルキメデス法により測定される見掛け気孔率で定義される物性値である。本体部11の第1領域21及び第2領域22の気孔率は、次の方法で測定される。本体部11をカッターで加工して、第1領域21及び第2領域22のみをそれぞれ別個に取り出し、JIS R1634(真空法)に準じて見掛け気孔率の測定を行う。後述する製造方法に従い製造されたセラミックス板状体10においては、気孔のほぼ全てが開気孔であるため、開気孔率がそのまま気孔率の値となる。   The porosity is a physical property value defined by the apparent porosity measured by the Archimedes method. The porosity of the first region 21 and the second region 22 of the main body 11 is measured by the following method. The main body 11 is processed with a cutter, and only the first region 21 and the second region 22 are separately taken out, and the apparent porosity is measured according to JIS R1634 (vacuum method). In the ceramic plate 10 manufactured according to the manufacturing method described later, since almost all of the pores are open pores, the open porosity becomes the value of the porosity as it is.

加熱時及び冷却時における中央域と周縁域とでの温度差を一層小さくする観点から、平面視における第1領域21の面積の総和S1の割合は、平面視における本体部11の面積Sに対して、20%以上95%以下であることが好ましく、40%以上85%以下であることが更に好ましく、50%以上70%以下であることが一層好ましい。同様の観点から、平面視における第2領域22の面積S2の割合は、平面視における本体部11の面積Sに対して5%以上80%以下であることが好ましく、15%以上60%以下であることが更に好ましく、30%以上50%以下であることが一層好ましい。The temperature difference between the central region and the peripheral region during heating and during cooling from the viewpoint of further reducing the proportion of the sum S1 of the area of the first region 21 in plan view, the area S T of the main body portion 11 in a plan view On the other hand, it is preferably 20% or more and 95% or less, more preferably 40% or more and 85% or less, and further preferably 50% or more and 70% or less. From the same viewpoint, the proportion of the area S2 of the second region 22 in plan view is preferably 80% or less than 5% relative to the area S T of the main body portion 11 in a plan view, 60% less than 15% More preferably, it is 30% or more and 50% or less.

図1に示す実施形態のセラミックス板状体10においては、第1領域21は、本体部11の中央域に1つだけ形成されているが、これに代えて、2以上の第1領域21を本体部11の中央域に形成してもよい。この場合には、2以上の第1領域21が第3領域(図示せず)によって区画されている。第3領域は、第1領域21よりも低い気孔率を有しているが、第2領域22よりは高い気孔率を有している領域である。第3領域は、隣り合う第1領域21間を区画していていることに加えて、第1領域21と第2領域22とを区画していてもよい。   In the ceramic plate 10 of the embodiment shown in FIG. 1, only one first region 21 is formed in the central region of the main body 11, but instead of this, two or more first regions 21 are formed. You may form in the center area of the main-body part 11. FIG. In this case, two or more first regions 21 are partitioned by a third region (not shown). The third region has a lower porosity than the first region 21, but has a higher porosity than the second region 22. The third region may partition the first region 21 and the second region 22 in addition to partitioning between the adjacent first regions 21.

セラミックス板状体10を構成するセラミックス素材としては、種々のものを用いることができる。例えば、アルミナ、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ジルコニア、ムライト、マグネシア、二硼化チタンなどが挙げられる。   Various materials can be used as the ceramic material constituting the ceramic plate 10. Examples thereof include alumina, silicon carbide, silicon nitride, zirconia, mullite, magnesia, and titanium diboride.

次に、図1及び図2に示すセラミックス板状体10の好適な製造方法について図3及び図4を参照しながら説明する。まず図3(a)に示すとおり、鋳込み用型30を用意する。鋳込み用型30は、平面視して略矩形の底面31と、該底面31の周縁から起立する4つの側面32を有し、上面が開口している。そして底面31と側面32とで、上方に向けて開放された凹部Sが画成されている。この凹部Sは、目的とするセラミックス板状体10と相補形状を有するものである。   Next, a preferred method for manufacturing the ceramic plate 10 shown in FIGS. 1 and 2 will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 3A, a casting mold 30 is prepared. The casting mold 30 has a bottom surface 31 that is substantially rectangular in plan view, and four side surfaces 32 that stand up from the periphery of the bottom surface 31, and the top surface is open. The bottom surface 31 and the side surface 32 define a recess S that opens upward. The recess S has a shape complementary to the target ceramic plate 10.

この鋳込み用型30の凹部S内における底面31上に、図3(b)に示すとおり、中子部材33を載置する。中子部材33は直方体の形状をしている。中子部材33は、平面視して、目的とするセラミックス板状体10における第1領域21の形状と同じ形状をしている。底面31上における中子部材33の載置位置は、目的とするセラミックス板状体10における第1領域21の形成予定領域と一致させる。   A core member 33 is placed on the bottom surface 31 in the recess S of the casting mold 30 as shown in FIG. The core member 33 has a rectangular parallelepiped shape. The core member 33 has the same shape as that of the first region 21 in the target ceramic plate 10 in plan view. The mounting position of the core member 33 on the bottom surface 31 is made to coincide with the intended formation region of the first region 21 in the target ceramic plate 10.

図3(b)に示す状態下に、図3(c)に示すとおり、この鋳込み用型30の凹部S内に第1のスラリー41を供給する。第1のスラリー41は、セラミックス原料粉及びゲル化剤を媒質として含んでいる。また第1のスラリー41は水又は水溶性有機溶媒を媒体として含んでいる。   Under the state shown in FIG. 3B, the first slurry 41 is supplied into the recess S of the casting mold 30 as shown in FIG. 3C. The first slurry 41 contains ceramic raw material powder and a gelling agent as a medium. The first slurry 41 contains water or a water-soluble organic solvent as a medium.

第1のスラリー41に含まれるセラミックス原料粉は、目的とするセラミックス板状体10における第2領域22を構成するセラミックス素材の原料となるものである。セラミックス原料粉の粒子径は、レーザー回折散乱式粒度分布測定法による累積体積50容量%における体積累積粒径D50で表して0.01μm以上100μm以下であることが好ましく、0.05μm以上10μm以下であることが更に好ましく、0.1μm以上5μm以下であることが一層好ましい。The ceramic raw material powder contained in the first slurry 41 is a raw material for the ceramic material constituting the second region 22 in the target ceramic plate 10. The particle size of the ceramic raw material powder is preferably 0.01 μm or more and 100 μm or less, expressed as a volume cumulative particle size D 50 at a cumulative volume of 50 vol% by a laser diffraction / scattering particle size distribution measurement method, and is 0.05 μm or more and 10 μm or less. More preferably, it is 0.1 μm or more and 5 μm or less.

第1のスラリー41に含まれるセラミックス原料粉の濃度は、目的とするセラミックス板状体10における第2領域22の気孔率に関係する。詳細には、第1のスラリーに含まれるセラミックス原料粉の濃度が高いほど、第2領域22の気孔率は低くなる。この観点から、第1のスラリー41に含まれるセラミックス原料粉の濃度は、媒体100体積部に対して17体積部以上150体積部以下であることが好ましく、25体積部以上150体積部以下であることが更に好ましく、33体積部以上150体積部以下であることが一層好ましい。   The concentration of the ceramic raw material powder contained in the first slurry 41 is related to the porosity of the second region 22 in the target ceramic plate 10. Specifically, the higher the concentration of the ceramic raw material powder contained in the first slurry, the lower the porosity of the second region 22. From this viewpoint, the concentration of the ceramic raw material powder contained in the first slurry 41 is preferably 17 parts by volume or more and 150 parts by volume or less, and 25 parts by volume or more and 150 parts by volume or less with respect to 100 parts by volume of the medium. More preferably, it is 33 volume parts or more and 150 volume parts or less.

第1のスラリー41に含まれるゲル化剤の種類や濃度は、後述する第1のスラリー41のゲル化の程度に関係する。この観点から、第1のスラリー41に含まれるゲル化剤の濃度は、媒体100質量部に対して0.1質量部以上10質量部以下であることが好ましく、0.5質量部以上7質量部以下であることが更に好ましく、1質量部以上4質量部以下であることが一層好ましい。   The type and concentration of the gelling agent contained in the first slurry 41 are related to the degree of gelation of the first slurry 41 described later. From this viewpoint, the concentration of the gelling agent contained in the first slurry 41 is preferably 0.1 parts by mass or more and 10 parts by mass or less, and 0.5 parts by mass or more and 7 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the medium. More preferably, it is 1 part by mass or more and 4 parts by mass or less.

ゲル化剤は、後述する凍結乾燥によって得られた凍結乾燥体において、セラミックス原料粉の粒子どうしを結合する結合剤として用いられる。この目的のために、ゲル化剤として、N−アルキルアミド系高分子、N−イソプロピルアクリルアミド系高分子、スルホメチル化アクリルアミド系高分子、N−ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド系高分子、ポリアルキルアクリルアミド系高分子、アルギン酸、アルギン酸ナトリウム、アルギン酸アンモニウム、ポリエチレンイミン、セルロース誘導体系、ポリアクリル酸塩、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシド、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、カルボキシビニルポリマー、デンプン、ゼラチン、寒天、ペクチン、グルコマンナン、キサンタンガム、ローカストビーンガム、カラギーナンガム、グァーガム、ジェランガム、リグニンスルホン酸塩、ポリアクリルアミド、ポリビニルエステル、イソブチレン−無水マレイン酸共重合体、酢酸ビニル、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びウレタン樹脂などを用いることができる。これらのゲル化剤を、1種を単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   The gelling agent is used as a binder for binding particles of ceramic raw material powder in a freeze-dried product obtained by freeze-drying described later. For this purpose, N-alkylamide polymers, N-isopropylacrylamide polymers, sulfomethylated acrylamide polymers, N-dimethylaminopropyl methacrylamide polymers, polyalkylacrylamide polymers are used as gelling agents. Molecule, alginic acid, sodium alginate, ammonium alginate, polyethyleneimine, cellulose derivative system, polyacrylate, polyethylene glycol, polyethylene oxide, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, carboxyvinyl polymer, starch, gelatin, agar, pectin, glucomannan, xanthan gum , Locust bean gum, carrageenan gum, guar gum, gellan gum, lignin sulfonate, polyacrylamide, polyvinyl ester, isobutylene - it can be used maleic acid anhydride copolymers, vinyl acetate, epoxy resin, phenol resin and urethane resin. These gelling agents can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

ゲル化剤は、その重量平均分子量が好ましくは500以上2000000以下、より好ましくは2000以上1500000以下、更に好ましくは4000以上1000000以下の範囲である。   The gelling agent preferably has a weight average molecular weight in the range of 500 to 2,000,000, more preferably 2,000 to 1,500,000, and even more preferably 4,000 to 1,000,000.

第1のスラリーには、上述した成分に加えて他の成分を配合してもよい。例えばセラミックス原料粉を媒体に円滑に分散させるための分散剤を配合することができる。分散剤としては、例えば ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリアクリル酸アンモニウム塩、ポリエチレンイミンなどを用いることができる。分散剤の配合量は、セラミックス原料粉100質量部に対して、0.5質量部以上3質量部以下であることが好ましい。   You may mix | blend another component with the 1st slurry in addition to the component mentioned above. For example, a dispersant for smoothly dispersing the ceramic raw material powder in the medium can be blended. As the dispersant, for example, polycarboxylic acid ammonium salt, polyacrylic acid ammonium salt, polyethyleneimine and the like can be used. It is preferable that the compounding quantity of a dispersing agent is 0.5 to 3 mass parts with respect to 100 mass parts of ceramic raw material powders.

鋳込み用型30の凹部S内に第1のスラリー41を供給したら、該スラリーをゲル化する。ゲル化するためには、例えば該スラリーを冷却すればよい。冷却温度は例えば1℃以上12℃以下に設定することができる。第1のスラリーのゲル化によって、該スラリーは保形性を獲得し、第1の成形体41aが得られる。   When the first slurry 41 is supplied into the recess S of the casting mold 30, the slurry is gelled. In order to gelate, for example, the slurry may be cooled. The cooling temperature can be set to, for example, 1 ° C. or more and 12 ° C. or less. By the gelation of the first slurry, the slurry acquires shape retention and the first molded body 41a is obtained.

次いで図4(a)に示すとおり、第1の成形体41aによって囲まれている中子部材33を脱型する。第1の成形体41aは上述のとおり保形性を有しているので、中子部材33を脱型しても第1の成形体41aの形状は変化しない。その結果、脱型によって第1の成形体41aの中央域には脱型空間43が形成される。脱型空間43は貫通孔になっており、その底部には、鋳込み用型30の底面31が露出している。   Next, as shown in FIG. 4A, the core member 33 surrounded by the first molded body 41a is removed. Since the first molded body 41a has shape retention as described above, the shape of the first molded body 41a does not change even if the core member 33 is removed. As a result, a demolding space 43 is formed in the central region of the first molded body 41a by demolding. The demolding space 43 is a through hole, and the bottom surface 31 of the casting mold 30 is exposed at the bottom.

中子部材33の脱型によって形成された脱型空間43には、図4(b)に示すとおり、第2のスラリー42が供給される。第2のスラリー42は、セラミックス原料粉及びゲル化剤を媒質として含んでいる。また第2のスラリー42は水又は水溶性有機溶媒を媒体として含んでいる。   As shown in FIG. 4B, the second slurry 42 is supplied to the demolding space 43 formed by demolding the core member 33. The second slurry 42 contains ceramic raw material powder and a gelling agent as a medium. The second slurry 42 contains water or a water-soluble organic solvent as a medium.

第2のスラリー42に含まれるセラミックス原料粉は、目的とするセラミックス板状体10における第1領域21を構成するセラミックス素材の原料となるものである。このセラミックス原料粉は、第1のスラリー41に含まれるセラミックス原料粉と同種のものである。第2のスラリー42に含まれるセラミックス原料粉の粒子径は、第1のスラリー41に含まれるセラミックス原料粉の粒子径と同じであってもよく、あるいは異なっていてもよい。第2のスラリー42に含まれるセラミックス原料粉の粒子径は、レーザー回折散乱式粒度分布測定法による累積体積50容量%における体積累積粒径D50で表して0.1μm以上100μm以下であることが好ましく、0.05μm以上10μm以下であることが更に好ましく、0.1μm以上1μm以下であることが一層好ましい。The ceramic raw material powder contained in the second slurry 42 is a raw material for the ceramic material constituting the first region 21 in the target ceramic plate 10. This ceramic raw material powder is the same type as the ceramic raw material powder contained in the first slurry 41. The particle diameter of the ceramic raw material powder contained in the second slurry 42 may be the same as or different from the particle diameter of the ceramic raw material powder contained in the first slurry 41. The particle diameter of the ceramic raw material powder contained in the second slurry 42 is 0.1 μm or more and 100 μm or less in terms of a volume cumulative particle diameter D 50 at a cumulative volume of 50% by volume measured by a laser diffraction / scattering particle size distribution measurement method. Preferably, it is 0.05 μm or more and 10 μm or less, and more preferably 0.1 μm or more and 1 μm or less.

第2のスラリー42に含まれるセラミックス原料粉の濃度は、目的とするセラミックス板状体10における第1領域21の気孔率に関係する。詳細には、第2のスラリー42に含まれるセラミックス原料粉の濃度が低いほど、第1領域21の気孔率は高くなる。本製造方法の対象物であるセラミックス板状体10においては、第1領域21と第2領域22とで気孔率が相違しているので、第2のスラリー42に含まれるセラミックス原料粉の濃度と、第1のスラリー41に含まれるセラミックス原料粉の濃度とを互いに相違させることで、目的とする第1領域21及び第2領域22を首尾よく形成することができる。この観点から、第2のスラリー42に含まれるセラミックス原料粉の濃度は、第1のスラリー41に含まれるセラミックス原料粉の濃度よりも低いことを条件として、媒体100体積部に対して1体積部以上33体積部以下であることが好ましく、1体積部以上25体積部以下であることが更に好ましく、1体積部以上18体積部以下であることが一層好ましい。   The concentration of the ceramic raw material powder contained in the second slurry 42 is related to the porosity of the first region 21 in the target ceramic plate 10. Specifically, the porosity of the first region 21 increases as the concentration of the ceramic raw material powder contained in the second slurry 42 decreases. In the ceramic plate 10 that is the object of this manufacturing method, since the porosity is different between the first region 21 and the second region 22, the concentration of the ceramic raw material powder contained in the second slurry 42 and By making the concentration of the ceramic raw material powder contained in the first slurry 41 different from each other, the intended first region 21 and second region 22 can be successfully formed. From this point of view, 1 part by volume with respect to 100 parts by volume of the medium is provided on the condition that the concentration of the ceramic raw material powder contained in the second slurry 42 is lower than the concentration of the ceramic raw material powder contained in the first slurry 41. It is preferably 33 parts by volume or less, more preferably 1 part by volume or more and 25 parts by volume or less, and still more preferably 1 part by volume or more and 18 parts by volume or less.

第2のスラリー42に含まれるゲル化剤は、第1のスラリー41に含まれるゲル化剤と同種のものであってもよく、あるいは異種のものであってもよい。第2のスラリー42に含まれるゲル化剤の濃度は、媒体100質量部に対して0.1質量部以上10質量部以下であることが好ましく、0.5質量部以上7質量部以下であることが更に好ましく、1質量部以上4質量部以下であることが一層好ましい。   The gelling agent contained in the second slurry 42 may be the same as or different from the gelling agent contained in the first slurry 41. The concentration of the gelling agent contained in the second slurry 42 is preferably 0.1 parts by mass or more and 10 parts by mass or less, and 0.5 parts by mass or more and 7 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the medium. More preferably, the amount is 1 part by mass or more and 4 parts by mass or less.

前記の脱型空間43内に供給する第2のスラリー42の量は、該第2のスラリー42の液面が、第1の成形体41aの上面と同じ位置となるようにすることが好ましい。このようにすることで、得られるセラミックス板状体10における本体部11の第1面11aを平坦面とすることができる。   The amount of the second slurry 42 supplied into the demolding space 43 is preferably such that the liquid level of the second slurry 42 is at the same position as the upper surface of the first molded body 41a. By doing in this way, the 1st surface 11a of the main-body part 11 in the ceramic plate-like body 10 obtained can be made into a flat surface.

第1の成形体41aの脱型空間43内に第2のスラリー42が充填された状態下に、これらは凍結工程に付される。これに先立ち第2のスラリー42を冷却によってゲル化してもよく、あるいはゲル化させずスラリーの状態のまま凍結乾燥工程に付してもよい。凍結工程に付すことで、一方向から凍結が進行して、氷の結晶が成長し、第1の成形体成形体41a及び第2のスラリー42中のセラミックス原料粉の配向組織が形成される。つまり、セラミックス原料粉の再配列が生じる。凍結には公知の冷却装置を利用することが可能である。具体的には、鋳込み用型30の下面を例えば冷却した金属板などの固体に接触させる方法や、冷却した液体中に鋳込み用型30ごと浸漬させる方法等を用いることができる。また、例えば所定の温度に冷却されたエタノールを、対面する一方の側から他方の側にエタノールの液面付近に淀みや波立ちが生じることなく流動するように循環させることで液面付近の温度を一定に保持したエタノール冷却装置を用いてもよい。かかる構成を有するエタノール冷却装置を適用し、冷却されたエタノールの液面に鋳込み用型30の底面を接触又は浸漬させて保持し、底部から上方に向けて一方向に凍結を行うことができる。これにより、気孔径のばらつきの少ないセラミックス板状体10を作製することができる。   These are subjected to a freezing step in a state in which the second slurry 42 is filled in the demolding space 43 of the first molded body 41a. Prior to this, the second slurry 42 may be gelled by cooling, or may be subjected to a lyophilization step without being gelled. By subjecting to the freezing step, freezing proceeds from one direction, ice crystals grow, and an oriented structure of the ceramic raw material powder in the first compact body 41a and the second slurry 42 is formed. That is, rearrangement of the ceramic raw material powder occurs. A known cooling device can be used for freezing. Specifically, a method of bringing the lower surface of the casting mold 30 into contact with a solid such as a cooled metal plate, a method of immersing the casting mold 30 together in a cooled liquid, or the like can be used. In addition, for example, by circulating ethanol cooled to a predetermined temperature from one side to the other side so that it flows without stagnation or undulations near the liquid level of ethanol, the temperature near the liquid level can be reduced. You may use the ethanol cooling device hold | maintained uniformly. By applying the ethanol cooling device having such a configuration, the bottom surface of the casting mold 30 is held in contact with or immersed in the cooled ethanol liquid surface, and freezing can be performed in one direction upward from the bottom. Thereby, the ceramic plate-like body 10 with less variation in pore diameter can be produced.

凍結工程における凍結温度は、ゲル又はスラリー中の水が凍結して氷を生成することが可能な程度であれば制限はない。なお、ゲル化剤の種類によっては、水との相互作用に起因して、−10℃以上では凍結しない場合があるので、−10℃以下の凍結温度が好ましい。例えば、上述したエタノール型凍結機を用い、−15℃に冷却したエタノールに鋳込み用型30を浸し、底部から一方向に凍結を行うことが好ましい。   The freezing temperature in the freezing step is not limited as long as the water in the gel or slurry can be frozen to produce ice. In addition, depending on the kind of gelling agent, it may not freeze at -10 degreeC or more due to interaction with water, Therefore The freezing temperature of -10 degreeC or less is preferable. For example, it is preferable to immerse the casting mold 30 in ethanol cooled to −15 ° C. and freeze in one direction from the bottom using the ethanol type freezer described above.

次いで、凍結によって生じた凍結体を、図4(d)に示すとおり鋳込み用型30から取り出し乾燥させる。乾燥工程においては、凍結体の内外の乾燥速度の差を抑制しながら、徐々に氷を気孔に置換することにより亀裂を防ぐ乾燥手法を利用することが好ましい。具体的には、凍結体を凍結乾燥するか、あるいは水溶性有機溶剤や水溶性有機溶剤水溶液中への浸漬及び風乾することによって、氷を気孔に置換することができる。例えば、凍結体を水溶性有機溶剤や水溶性有機溶剤水溶液中に浸漬すると、凍結体中の氷は融解し、水溶性有機溶剤と混合される。かかる操作を1回又は複数回実行することにより、まず、凍結体中の氷であった部分は水溶性有機溶剤に置換される。その後、凍結体内部が水溶性有機溶剤で置換された凍結体を、大気中又は減圧条件下において乾燥させると、凍結工程において氷であった部分が気孔に置換される。   Next, the frozen body generated by freezing is taken out from the casting mold 30 and dried as shown in FIG. In the drying step, it is preferable to use a drying method that prevents cracks by gradually replacing ice with pores while suppressing a difference in drying speed between the inside and outside of the frozen body. Specifically, ice can be replaced with pores by freeze-drying the frozen body, or by immersing in a water-soluble organic solvent or a water-soluble organic solvent aqueous solution and air-drying. For example, when the frozen body is immersed in a water-soluble organic solvent or a water-soluble organic solvent aqueous solution, the ice in the frozen body is melted and mixed with the water-soluble organic solvent. By performing such an operation once or a plurality of times, first, the portion that was ice in the frozen body is replaced with a water-soluble organic solvent. Thereafter, when the frozen body in which the inside of the frozen body is replaced with a water-soluble organic solvent is dried in the atmosphere or under reduced pressure, the portion that was ice in the freezing step is replaced with pores.

水溶性有機溶剤を利用した乾燥工程において、水溶性有機溶剤としては、ゲル化剤を浸食せず、且つ水よりも揮発性が高いものが用いられる。具体的には、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、アセトン、酢酸エチルなどが挙げられるが、これらに限定されない。これらの水溶性有機溶剤を単独で、あるいは複数種類併用した乾燥を1回又は複数回実行することにより、凍結体内で氷であった部分に気孔が形成される。   In the drying process using a water-soluble organic solvent, a water-soluble organic solvent that does not erode the gelling agent and has higher volatility than water is used. Specific examples include, but are not limited to, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, acetone, and ethyl acetate. By performing drying using these water-soluble organic solvents alone or in combination with a plurality of types once or a plurality of times, pores are formed in the portion that was ice in the frozen body.

次いで、乾燥によって生じた乾燥体44を焼成工程に付す。この焼成によって目的とするセラミックス板状体10が得られる。焼成は一般に大気下で行うことができる。焼成温度は、セラミックス原料粉の種類に応じて適切な温度を選択すればよい。焼成温度に関しても同様である。   Next, the dried body 44 generated by drying is subjected to a firing step. The target ceramic plate 10 is obtained by this firing. Baking can generally be performed in air. The firing temperature may be selected appropriately depending on the type of ceramic raw material powder. The same applies to the firing temperature.

以上の方法によって、目的とするセラミックス板状体10が得られる。このセラミックス板状体10は、上述のとおり、棚板や敷板など、セラミックス製品の焼成用セッターとして好適に用いられるほか、セッター以外の窯道具、例えば匣やビームとしても用いることができる。更に、窯道具以外の用途、例えば各種の治具や各種構造材として用いることもできる。   By the above method, the target ceramic plate 10 is obtained. As described above, the ceramic plate-like body 10 can be suitably used as a setter for firing ceramic products such as a shelf board and a floor board, and can also be used as a kiln tool other than a setter, such as a firewood or a beam. Furthermore, it can also be used for applications other than kiln tools, such as various jigs and various structural materials.

以上、本発明をその好ましい実施形態に基づき説明したが、本発明は前記実施形態に制限されない。例えば前記実施形態においては、板状の本体部11の中央域の気孔率を、周縁域の気孔率よりも高くしたが、気孔率の高い第1領域21と気孔率の低い第2領域22との配置位置はこれに限られない。例えば、本発明のセラミックス板状体の具体的な用途によっては、気孔率の高い第1領域21を板状体の周縁域に配置し、気孔率の低い第2領域22を板状体の中央域に配置することもできる。あるいは、気孔率の高い第1領域21と、気孔率の低い第2領域22とを、ストライプ状に交互に配置したり、市松模様状に配置したりしてもよい。   As mentioned above, although this invention was demonstrated based on the preferable embodiment, this invention is not restrict | limited to the said embodiment. For example, in the embodiment, the porosity of the central region of the plate-shaped main body 11 is set higher than the porosity of the peripheral region, but the first region 21 with a high porosity and the second region 22 with a low porosity The arrangement position is not limited to this. For example, depending on the specific application of the ceramic plate-like body of the present invention, the first region 21 having a high porosity is arranged in the peripheral region of the plate-like body, and the second region 22 having a low porosity is arranged in the center of the plate-like body. It can also be placed in the area. Or the 1st area | region 21 with a high porosity and the 2nd area | region 22 with a low porosity may be arrange | positioned alternately at stripe form, or may be arrange | positioned at checkered pattern shape.

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。しかしながら本発明の範囲は、かかる実施例に制限されない。特に断らない限り、「部」は「質量部」を意味する。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the scope of the present invention is not limited to such examples. Unless otherwise specified, “part” means “part by mass”.

〔実施例1〕
図1及び図2に示すセラミックス板状体10を、図3及び図4に示す方法に従って製造した。水、アルミナ粒子及び分散剤を、ハイブリッドミキサーを用いて1分間混合し、これとは別に、ゲル化剤としてのゼラチンを湯に溶解させた水溶液を調製し、両者を混合することで第1のスラリー41を得た。このようにして得られた第1のスラリー41は、D50が0.5μmであるアルミナ粒子を含み、更にゼラチン及び分散剤を含む水スラリーである。このスラリーの組成を以下の表1に示す。スラリー中の水100体積部に対するアルミナ粒子の量は43体積部であった。
[Example 1]
A ceramic plate 10 shown in FIGS. 1 and 2 was manufactured according to the method shown in FIGS. Water, alumina particles and a dispersing agent are mixed for 1 minute using a hybrid mixer. Separately from this, an aqueous solution in which gelatin as a gelling agent is dissolved in hot water is prepared, and both are mixed to form the first A slurry 41 was obtained. First slurry 41 obtained in this manner comprises alumina particles D 50 is 0.5 [mu] m, a water slurry further containing gelatin and a dispersing agent. The composition of this slurry is shown in Table 1 below. The amount of alumina particles relative to 100 parts by volume of water in the slurry was 43 parts by volume.

一方、水、アルミナ粒子及び分散剤を、ハイブリッドミキサーを用いて1分間混合し、これとは別に、ゲル化剤としてのゼラチンを湯に溶解させた水溶液を調製し、両者を混合することで第2のスラリー42を得た。このようにして得られた第2のスラリー42は、D50が0.5μmであるアルミナ粒子を含み、更にゼラチン及び分散剤を含む水スラリーである。このスラリーの組成を以下の表1に示す。スラリー中の水100体積部に対するアルミナ粒子の量は11体積部であった。On the other hand, water, alumina particles, and a dispersing agent are mixed for 1 minute using a hybrid mixer. Separately, an aqueous solution in which gelatin as a gelling agent is dissolved in hot water is prepared, and both are mixed. 2 slurry 42 was obtained. Second slurry 42 obtained in this manner comprises alumina particles D 50 is 0.5 [mu] m, a water slurry further containing gelatin and a dispersing agent. The composition of this slurry is shown in Table 1 below. The amount of alumina particles relative to 100 parts by volume of water in the slurry was 11 parts by volume.

鋳込み用型30として、平面視して正方形の形状を有するものを用いた。平面視での鋳込み用型30の寸法は130mm×130mmであった。鋳込み用型30の凹部Sの中央域に直方体の中子部材33を配置し、その状態下に第1のスラリー41を供給した。中子部材33は、平面視して96.4mm×96.4mmの矩形状を有するものであった。第1のスラリー41の供給量は、凹部S内での深さが5mmとなるようにした。鋳込み用型30を冷蔵庫内に静置して第1のスラリー41を冷却してゲル化させ第1の成形体41aを得た。   A casting mold 30 having a square shape in plan view was used. The dimension of the casting mold 30 in plan view was 130 mm × 130 mm. A rectangular parallelepiped core member 33 is arranged in the central region of the concave portion S of the casting mold 30, and the first slurry 41 is supplied under this state. The core member 33 had a rectangular shape of 96.4 mm × 96.4 mm in plan view. The supply amount of the first slurry 41 was set so that the depth in the recess S was 5 mm. The casting mold 30 was left in the refrigerator, and the first slurry 41 was cooled and gelled to obtain a first molded body 41a.

次いで、中子部材33を脱型し、脱型によって生じた脱型空間43内に第2のスラリー42を供給した。第2のスラリー42の供給量は、第1の成形体41aの上面と、第2のスラリー42の液面とが一致するような量とした。この状態下に、鋳込み用型30を、エタノールを用いて−10℃で凍結した。得られた凍結体を鋳込み用型30から取り出し、真空凍結乾燥装置(東京理科器械(株)製FDU−1100)で24時間にわたり乾燥させた。   Next, the core member 33 was demolded, and the second slurry 42 was supplied into the demolding space 43 generated by the demolding. The supply amount of the second slurry 42 was set such that the upper surface of the first molded body 41a and the liquid surface of the second slurry 42 coincided. Under this condition, the casting mold 30 was frozen at −10 ° C. using ethanol. The obtained frozen body was taken out from the casting mold 30 and dried for 24 hours with a vacuum freeze-drying apparatus (FDU-1100 manufactured by Tokyo Science Instrument Co., Ltd.).

このようにして得られた乾燥体を大気下に1600℃で7時間にわたって焼成した。焼成品を両面研磨して、本体部11の厚みを2mmとした。これによって、目的とするセラミックス板状体10を得た。このセラミックス板状体10における本体部11の中央域の気孔率は80%であり、周縁域の気孔率は25%であった。本体部11は、第1領域21と第2領域22とから構成されていた。平面視における本体部11の面積Sに対する第1領域21の面積の総和S1の割合は表2に示すとおりであった。図5に実施例1のセラミックス板状体の中央域の走査型電子顕微鏡写真を、図6に実施例1のセラミックス板状体の周縁域の走査型電子顕微鏡写真を示す。これらの走査型電子顕微鏡写真の比較によっても、中央域は、周縁域よりも空隙部分が多く認められ、周縁域よりも高い気孔率を有していることが判る。The dried body thus obtained was calcined at 1600 ° C. for 7 hours in the air. The fired product was polished on both sides, and the thickness of the main body 11 was set to 2 mm. In this way, a target ceramic plate 10 was obtained. In the ceramic plate-like body 10, the porosity of the central region of the main body 11 was 80%, and the porosity of the peripheral region was 25%. The main body 11 was composed of a first region 21 and a second region 22. The proportion of the sum S1 of the area of the first region 21 to the area S T of the main body portion 11 in plan view are as shown in Table 2. FIG. 5 shows a scanning electron micrograph of the central region of the ceramic plate of Example 1, and FIG. 6 shows a scanning electron micrograph of the peripheral region of the ceramic plate of Example 1. Comparison of these scanning electron micrographs also shows that the central region has more voids than the peripheral region, and has a higher porosity than the peripheral region.

〔実施例2〕
実施例1において、中子部材33として、平面視して111.7mm×111.7mmの矩形状を有するものを用いた。これ以外は実施例1と同様にして、セラミックス板状体10を得た。本体部11は、第1領域21と第2領域22とから構成されていた。平面視における本体部11の面積Sに対する第1領域21の面積の総和S1の割合は表2に示すとおりであった。
[Example 2]
In Example 1, the core member 33 having a rectangular shape of 111.7 mm × 111.7 mm in plan view was used. Except for this, a ceramic plate 10 was obtained in the same manner as in Example 1. The main body 11 was composed of a first region 21 and a second region 22. The proportion of the sum S1 of the area of the first region 21 to the area S T of the main body portion 11 in plan view are as shown in Table 2.

〔実施例3〕
実施例1において、第1及び第2のスラリーとして、以下の表1に示す組成のものを用いた。また、中子部材33として、平面視して124.5mm×124.5mmの矩形状を有するものを用いた。これ以外は実施例1と同様にして、セラミックス板状体10を得た。本体部11は、第1領域21と第2領域22とから構成されていた。平面視における本体部11の面積Sに対する第1領域21の面積の総和S1の割合は表2に示すとおりであった。第1のスラリー中の水100体積部に対するアルミナ粒子の量は25体積部であった。第2のスラリー中の水100体積部に対するアルミナ粒子の量は11体積部であった。
Example 3
In Example 1, the first and second slurries having the compositions shown in Table 1 below were used. Further, the core member 33 having a rectangular shape of 124.5 mm × 124.5 mm in plan view was used. Except for this, a ceramic plate 10 was obtained in the same manner as in Example 1. The main body 11 was composed of a first region 21 and a second region 22. The proportion of the sum S1 of the area of the first region 21 to the area S T of the main body portion 11 in plan view are as shown in Table 2. The amount of alumina particles relative to 100 parts by volume of water in the first slurry was 25 parts by volume. The amount of alumina particles relative to 100 parts by volume of water in the second slurry was 11 parts by volume.

〔比較例1〕
実施例1において、第2のスラリー42のみを用い、且つ中子部材33を用いなかった。これ以外は実施例1と同様にしてセラミックス板状体を得た。このセラミックス板状体における本体部11の気孔率は80%であった。
[Comparative Example 1]
In Example 1, only the second slurry 42 was used, and the core member 33 was not used. A ceramic plate was obtained in the same manner as in Example 1 except for this. The porosity of the main body 11 in this ceramic plate was 80%.

〔比較例2〕
電融アルミナ40部、電融ムライト30部、ローソーダ仮焼アルミナ30部、適量の有機系バインダー、及び液体バインダーを混合して混合物を得た。この混合物を混練し、乾燥し、プレス成形して成形体を得た。この成形体を1750℃で大気焼成して、耐火物板状体を得た。この耐火物板状体における本体部11の気孔率は17%であった。本体部11の厚みは5mmであった。
[Comparative Example 2]
A mixture was obtained by mixing 40 parts of electrofused alumina, 30 parts of electrofused mullite, 30 parts of calcined alumina, an appropriate amount of an organic binder, and a liquid binder. This mixture was kneaded, dried, and press molded to obtain a molded body. This molded body was fired in the atmosphere at 1750 ° C. to obtain a refractory plate-like body. The porosity of the main body 11 in this refractory plate was 17%. The thickness of the main body 11 was 5 mm.

〔評価〕
実施例及び比較例で得られたセラミックス板状体を加熱した。加熱は、板状体の中央部の温度が500℃になるように行った。この温度に加熱されたセラミックス板状体を、加熱炉から大気中に取り出し急冷を行った。板状体の中央部の温度が約400℃に冷却されるまでの時間を測定した。また、板状体の中央部の温度が約400℃になったときの、該板状体の周縁部における最低温度を測定した。温度の測定は、サーモグラフィー((株)チノー製CPA−640A)を用いて行った。その結果を以下の表2に示す。また測定した温度分布をサーモグラフィーにより彩色した外観写真として、実施例1について撮影したものを図7に示し、また比較例2について撮影したものを図8に示す。
[Evaluation]
The ceramic plate obtained in Examples and Comparative Examples was heated. Heating was performed so that the temperature at the center of the plate-like body was 500 ° C. The ceramic plate-like body heated to this temperature was taken out of the heating furnace into the atmosphere and rapidly cooled. The time until the temperature of the central part of the plate-like body was cooled to about 400 ° C. was measured. Moreover, the minimum temperature in the peripheral part of this plate-shaped object when the temperature of the center part of a plate-shaped object became about 400 degreeC was measured. The measurement of temperature was performed using thermography (CPA-640A manufactured by Chino Co., Ltd.). The results are shown in Table 2 below. Moreover, what was image | photographed about Example 1 is shown in FIG. 7, and what was image | photographed about the comparative example 2 is shown in FIG. 8 as an external appearance photograph which colored the measured temperature distribution by thermography.

表2に示す結果から明らかなとおり、実施例1で得られたセラミックス板状体10は、中央域と周縁域とで気孔率を異ならせたことに起因して、比較例のセラミックス板状体と比べて、中央域と周縁域とでの温度差が小さくなることが判る。また、短時間で冷却されることも判る。特に、実施例1及び2では、周縁域よりも中央域の方が温度が低くなっており、中央域に被焼成体を載置して焼成を行った場合には、周縁域と中央域とで熱量が相殺されやすくなることが判る。また図7と図8との対比から明らかなとおり、図8の比較例2では周縁域の温度が中央域より低く温度差が大きいのに対し、図7の実施例1では周縁部の温度が中央域の温度よりもやや高く、温度差が小さいことが判る。   As is apparent from the results shown in Table 2, the ceramic plate 10 obtained in Example 1 was a ceramic plate of the comparative example because the porosity was different between the central region and the peripheral region. It can be seen that the temperature difference between the central region and the peripheral region is smaller than that in FIG. Moreover, it turns out that it cools in a short time. In particular, in Examples 1 and 2, the temperature in the central region is lower than that in the peripheral region, and when the object to be fired is placed in the central region and fired, the peripheral region and the central region It can be seen that the amount of heat is easily offset. Further, as apparent from the comparison between FIG. 7 and FIG. 8, in Comparative Example 2 in FIG. 8, the temperature in the peripheral region is lower than that in the central region and the temperature difference is large, whereas in Example 1 in FIG. It can be seen that the temperature is slightly higher than the temperature in the central region and the temperature difference is small.

本発明によれば、板状体がセラミックスから構成されているので、該板状体を過酷な環境下で用いることができ、該板状体の一部の気孔率を、他の部分と比べて高く又は低くすることに起因する利点を、過酷な環境下で活かすことができる。特に本発明によれば、加熱時及び冷却時に、特に急熱時及び急冷時に、中心域と周縁域とで温度差が生じにくいセラミックス板状体が提供される。   According to the present invention, since the plate-like body is made of ceramics, the plate-like body can be used in a harsh environment, and the porosity of a part of the plate-like body is compared with other parts. The advantage resulting from the higher or lower height can be utilized in harsh environments. In particular, according to the present invention, there is provided a ceramic plate-like body that hardly causes a temperature difference between the central region and the peripheral region during heating and cooling, particularly during rapid heating and rapid cooling.

Claims (5)

セラミックスから構成される板状の多孔体の部位を有し、
前記板状の多孔体の部位は、これを平面視したときに第1の気孔率を有する第1領域と、第1の気孔率よりも低い気孔率である第2の気孔率を有する第2の領域とを有し、
第1領域と第2領域とは同一のセラミックス素材であり、
前記板状の多孔体の部位は、その平面視において中央域と、該中央域を囲繞し且つ前記板状の多孔体の部位の周縁端を含む領域である周縁域とを有し、
前記中央域が1つの第1領域からなり、前記周縁域が第2領域からなり、
平面視における第1領域の面積の総和の割合が、前記板状の多孔体の部位の面積に対して50%以上95%以下であり、
平面視における第2領域の面積の割合が、前記板状の多孔体の部位の面積に対して5%以上50%以下であり、
第1領域の気孔率が50%以上99%以下であり、
第2領域の気孔率が、第1領域の気孔率よりも低いことを条件として、40%以上70%以下であセラミックス製品の焼成用セッター
It has a plate-shaped porous body made of ceramics,
The plate-like porous body has a first region having a first porosity when viewed in plan, and a second porosity having a second porosity that is lower than the first porosity. And having an area of
The first region and the second region are the same ceramic material,
The plate-like porous body portion has a central area in a plan view and a peripheral area that surrounds the central area and includes a peripheral edge of the plate-like porous body part.
The central area consists of one first area, the peripheral area consists of a second area,
The ratio of the total area of the first regions in plan view is 50 % or more and 95% or less with respect to the area of the plate-like porous body portion,
The ratio of the area of the second region in plan view state, and are 5% to 50% relative to the area of the portion of the plate-shaped porous body,
The porosity of the first region is 50% or more and 99% or less,
The porosity of the second region, a condition that is lower than the porosity of the first region, 40% to 70% der Ru firing setter for ceramic products.
第1領域と第2領域とが一体として形成されている請求項1に記載のセラミックス製品の焼成用セッターThe setter for firing a ceramic product according to claim 1, wherein the first region and the second region are integrally formed. 第1領域は、前記板状の多孔体の部位の平面視において、該板状の多孔体の部位の形状と略相似形をしている請求項1又は2に記載のセラミックス製品の焼成用セッター 3. The setter for firing a ceramic product according to claim 1, wherein the first region is substantially similar to the shape of the plate-like porous body portion in a plan view of the plate-like porous body portion. . 平面視での第1領域の周縁上における任意の位置に引いた法線が、前記板状の多孔体の部位の周縁端と交わるまでの長さのうち、最も短い長さL min に対する最も長い長さL max の比であるL max /L min の値が8以下である請求項1ないし3のいずれか一項に記載のセラミックス製品の焼成用セッター Of the lengths until the normal line drawn at an arbitrary position on the peripheral edge of the first region in plan view intersects with the peripheral edge of the plate-like porous body portion, the longest with respect to the shortest length L min The setter for firing a ceramic product according to any one of claims 1 to 3, wherein a value of L max / L min which is a ratio of the length L max is 8 or less . セラミックスから構成される板状の多孔体の部位を有し、
平面視したときに第1の気孔率を有する第1領域と、第1の気孔率よりも低い気孔率である第2の気孔率を有する第2の領域とを有し、
第1領域と第2領域とは同一のセラミックス素材であるセラミックス板状体の製造方法であって、
目的とするセラミックス板状体と相補形状の凹部を有する鋳込み用型における該凹部内に入れ子部材を配置し、
前記凹部内に、セラミックス原料粉及びゲル化剤を含む第1のスラリーを供給してゲル化させて第1の成形体を形成し、
前記入れ子部材を前記凹部内から脱型し、次いで該入れ子部材の脱型によって生じた脱型空間に、前記セラミックス原料粉及びゲル化剤を含む第2のスラリーを供給し、
第1の成形体、及び該第1の成形体の脱型空間に供給された第2のスラリーの凍結を行い、凍結体を得、
凍結体を乾燥させて乾燥体を得、
次いで乾燥体を焼成に付す、工程を有し、
第1及び第2のスラリーとして、それらに含まれる前記セラミックス原料粉の濃度が互いに相違するものを用いる、セラミックス板状体の製造方法。
It has a plate-shaped porous body made of ceramics,
A first region having a first porosity when viewed in plan, and a second region having a second porosity that is lower than the first porosity;
The first region and the second region are a method for producing a ceramic plate that is the same ceramic material,
Placing the nesting member in the concave portion of the casting mold having a concave portion complementary to the target ceramic plate,
In the recess, a first slurry containing a ceramic raw material powder and a gelling agent is supplied and gelled to form a first molded body,
Supplying the second slurry containing the ceramic raw material powder and the gelling agent to the demolding space generated by demolding the nested member from the recess and then demolding the nested member;
Freezing the first molded body and the second slurry supplied to the demolding space of the first molded body to obtain a frozen body,
The frozen body is dried to obtain a dried body,
And then subjecting the dried body to firing,
The manufacturing method of the ceramic plate-shaped object using what the density | concentrations of the said ceramic raw material powder contained in them differ from each other as 1st and 2nd slurry.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6964534B2 (en) * 2018-02-19 2021-11-10 日本碍子株式会社 Method of constructing or dismantling storage shelves, method of manufacturing ceramic fired body, and transfer system
CN108358644A (en) * 2018-03-06 2018-08-03 济南大学 Based on xanthans gel casting forming TiB2The preparation method of composite ceramics biscuit
KR20220049586A (en) * 2019-12-03 2022-04-21 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 Setter for chip-shaped electronic components

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1184637A1 (en) * 2000-08-28 2002-03-06 Mino Yogyo Co., Ltd. Firing setters and process for producing these setters
JP2002145672A (en) * 2000-08-28 2002-05-22 Mino Ceramic Co Ltd Ceramic setter and method of producing the same
JP4443783B2 (en) * 2001-03-06 2010-03-31 イソライト工業株式会社 Electronic component firing setter
JP2003306386A (en) * 2002-04-09 2003-10-28 Mino Ceramic Co Ltd Alumina ceramic setter and method for manufacturing the same
JP5230903B2 (en) * 2006-02-06 2013-07-10 東京窯業株式会社 Setter for firing
CN103003038B (en) * 2010-07-22 2015-03-25 日本碍子株式会社 Molded article and process for production of molded article
JP2012158507A (en) * 2011-02-02 2012-08-23 Murata Mfg Co Ltd Setter for firing electronic component

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