KR20170104993A - Ceramic plate-shaped body and method for producing same - Google Patents

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Abstract

본 발명의 세라믹스 판상체(10)는, 세라믹스로 구성되는 판상의 다공체의 부위를 가진다. 평면시했을 때에 제1 기공률을 가지는 제1 영역(21)과, 제1 기공률보다도 낮은 기공률인 제2 기공률을 가지는 제2 영역(22)을 가진다. 제1 영역(21)과 제2 영역(22)은 동일한 세라믹스 소재이다. 평면시에서 중앙 영역과, 상기 중앙 영역을 둘러싸면서 상기 판상체의 둘레가장자리단을 포함하는 영역인 둘레가장자리 영역을 가지며, 상기 중앙 영역이 하나 또는 복수의 제1 영역(21)으로 이루어지고, 상기 둘레가장자리 영역이 제2 영역(22)으로 이루어지는 것이 바람직하다.The ceramic plate material (10) of the present invention has a plate-shaped porous article portion made of ceramics. And has a first region 21 having a first porosity and a second region 22 having a second porosity, which is lower than the first porosity. The first region 21 and the second region 22 are made of the same ceramic material. A central region in the plan view, and a peripheral region surrounding the central region, the peripheral region being a region including the peripheral edge of the plate, wherein the central region comprises one or a plurality of first regions (21) And the peripheral region is composed of the second region 22.

Description

세라믹스 판상체 및 그 제조 방법{CERAMIC PLATE-SHAPED BODY AND METHOD FOR PRODUCING SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic plate,

본 발명은, 피(被)소성물의 세터로서 바람직하게 사용되는 세라믹스 판상체 및 그 제조 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a ceramic plate material preferably used as a setter of a to-be-burned material and a method of manufacturing the same.

세라믹스제의 전자부품이나 유리를 소성할 때에는, 피소성물을 선반판이나 밑판 등이라고도 불리는 세터 상에 재치(載置)하여 소성을 실시하는 것이 일반적이다. 이 경우, 치수가 큰 피소성물을 세터 상에 재치하는 경우나, 다수의 피소성물을 세터 상에 재치하는 경우에는, 세터에서의 피소성물의 재치면을 크게 할 필요가 있다. 그러나 상기 재치면의 치수를 크게 하면, 상기 재치면의 중심 영역과 둘레가장자리 영역에서 온도 차가 발생하기 쉬워진다. 온도 차의 발생은, 소성품에 휘어짐을 발생시키는 등, 소성품의 품질에 영향을 주는 경우가 있으므로, 재치면에 온도 차가 생기지 않도록 하는 것이 기대되고 있다.When firing an electronic component or glass made of ceramics, it is general to place the object to be cleaned on a setter, which is also referred to as a shelf plate, a base plate, or the like and perform firing. In this case, when placing a large-sized disposal object on a setter or when placing a large number of disposing objects on a setter, it is necessary to increase the placement surface of the object to be set in the setter. However, if the dimension of the placement surface is increased, a temperature difference easily occurs in the center region and the peripheral region of the placement surface. The generation of the temperature difference is likely to affect the quality of the fired product, such as causing warpage of the fired product, so that it is expected that the temperature difference does not occur on the fired surface.

소성 시에 균일한 가열을 실시하는 것을 목적으로 하여, 특허문헌 1에는, 통풍성이 뛰어남과 동시에, 고(高)열전도율의 다공질 세라믹스 세터가 기재되어 있다. 이 세터는, 세라믹스 파이버(ceramic fiber) 또는 위스커(whisker)와, 평균 입경 5~100㎛의 SiC, BN, AlN, BeO, MoSi2, TiN, ZrB2로부터 선택된 세라믹스 입자가, 내열성 무기질 결합제로 결합된 섬유 간에서의 서로 뒤엉킨 구조를 가지는 것이다.Patent Document 1 discloses a porous ceramic setter having excellent air permeability and high thermal conductivity for the purpose of performing uniform heating at the time of firing. The setter is formed by mixing a ceramic fiber or a whisker and ceramic particles selected from SiC, BN, AlN, BeO, MoSi 2 , TiN and ZrB 2 having an average particle size of 5 to 100 μm with a heat resistant inorganic binder And the fibers are entangled with each other.

특허문헌 1과 마찬가지로, 소성 시에 균일한 가열을 실시하는 것을 목적으로 하고, 특허문헌 2에는, 세라믹스 분말과, 상기 분말에 보형성을 부여하기 위한 유기 화합물이나 점토를 함유하는 원료를 사용하여 성형물을 형성하는 성형 공정과, 상기 성형물을 건조한 후, 건조한 성형물을 1300~1800℃의 온도에서 소성하는 건조ㆍ소성 공정과, 얻어진 소성물을 균일한 두께를 가지는 평판상으로 절단하는 절단 공정을 가지는 세라믹스판의 제조 방법이 기재되어 있다.Patent Document 2 discloses a method in which a ceramic powder and a raw material containing an organic compound or clay for imparting a bevel to the powder are used for the purpose of uniform heating at the time of firing as in Patent Document 1, A drying and firing step of drying the formed product, firing the dried molded product at a temperature of 1300 to 1800 ° C, and a cutting step of cutting the fired product into a flat plate having a uniform thickness A manufacturing method of a span is described.

일본 공개특허공보 평10-251071호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 10-251071 일본 공개특허공보 2005-29462호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-29462

그러나 특허문헌 1 및 2에 기재된 기술을 채용해도, 세터 재치면의 중앙 영역과 둘레가장자리 영역에서 생기는 온도 차를, 만족해야 할 수준까지 작게 하는 것은 용이하지 않다. 특히 소성 공정에서의 가열 또는 냉각 시, 특히 급열 시나 급냉 시의 온도 차를 작게 하는 것은 용이하지 않다.However, even when the techniques described in Patent Documents 1 and 2 are adopted, it is not easy to reduce the temperature difference between the center region and the peripheral region of the setter placement surface to a level that should be satisfied. Particularly, it is not easy to reduce the temperature difference during heating or cooling in the firing process, particularly during rapid heating or quenching.

본 발명의 과제는, 상술한 종래 기술이 가지는 다양한 결점을 해소할 수 있는, 세터로서 바람직하게 사용되는 세라믹스 판상체를 제공하는 것에 있다.It is an object of the present invention to provide a ceramic plate material preferably used as a setter which can solve various drawbacks of the above-described conventional techniques.

본 발명은, 세라믹스로 구성되는 판상의 다공체의 부위를 가지고, According to the present invention, there is provided a honeycomb structure having a plate-shaped porous article body made of ceramics,

평면시했을 때에 제1 기공률을 가지는 제1 영역과, 제1 기공률보다도 낮은 기공률인 제2 기공률을 가지는 제2 영역을 가지며, A first region having a first porosity when planar and a second region having a second porosity lower than a first porosity,

제1 영역과 제2 영역은 동일한 세라믹스 소재인, 세라믹스 판상체를 제공하는 것이다.And the first region and the second region are made of the same ceramic material.

또한 본 발명은, 상기의 세라믹스 판상체의 바람직한 제조 방법으로서, Further, the present invention provides a method for producing a ceramic plate,

목적으로 하는 세라믹스 판상체와 상보(相補) 형상의 오목부를 가지는 주조용 주형에서의 상기 오목부 내에 인서트(insert) 부재를 배치하고,An insert member is disposed in the concave portion of a mold for casting having a concave portion having a complementary shape with a desired ceramic plate material,

상기 오목부 내에, 세라믹스 원료분 및 겔(gel)화제를 포함하는 제1 슬러리를 공급하여 겔화시켜 제1 성형체를 형성하며,A first slurry containing a ceramic raw material powder and a gelating agent is supplied into the concave portion and gelled to form a first formed body,

상기 인서트 부재를 상기 오목부 내로부터 탈형(脫型)하고, 이어서 상기 인서트 부재의 탈형에 의해 생긴 탈형 공간에, 상기 세라믹스 원료분 및 겔화제를 포함하는 제2 슬러리를 공급하고,The second slurry including the ceramic raw material powder and the gelling agent is supplied to the demoulding space formed by demoulding the insert member,

제1 성형체, 및 상기 제1 성형체의 탈형 공간에 공급된 제2 슬러리의 동결을 실시하여 동결체를 얻으며,And a second slurry supplied to the demoulding space of the first formed body is frozen to obtain a frozen body,

동결체를 건조시켜 건조체를 얻고,The frozen product is dried to obtain a dried product,

이어서 건조체를 소성에 회부하는 공정을 가지며,Subsequently, the step of bringing the dried body to a firing step,

제1 및 제2 슬러리로서, 그들에 포함되는 상기 세라믹스 원료분의 농도가 서로 상이한 것을 사용하는, 세라믹스 판상체의 제조 방법을 제공하는 것이다.The present invention provides a method for producing a ceramic plate material, wherein the first and second slurries have different concentrations of the ceramic raw material powders contained in the first and second slurries.

도 1은, 본 발명의 세라믹스 판상체의 한 실시형태를 나타내는 사시도이다.
도 2는, 도 1에서의 II-II선 단면도이다.
도 3(a) 내지 (c)는, 도 1에 나타내는 세라믹스 판상체의 바람직한 제조 방법을 나타내는 공정도이다.
도 4(a) 내지 (d)는, 도 3(c)에 이어서, 도 1에 나타내는 세라믹스 판상체의 바람직한 제조 방법을 나타내는 공정도이다.
도 5는, 실시예 1에서 얻어진 세라믹스 판상체에서의 중앙 영역의 주사형 전자 현미경상이다.
도 6은, 실시예 1에서 얻어진 세라믹스 판상체에서의 둘레가장자리 영역의 주사형 전자 현미경상이다.
도 7은, 실시예 1에서 얻어진 세라믹 판상체를 가열한 후에 급냉했을 때의 서모그래피(thermography)상이다.
도 8은, 비교예 2에서 얻어진 세라믹 판상체를 가열한 후에 급냉했을 때의 서모그래피상이다.1 is a perspective view showing an embodiment of a ceramic plate material according to the present invention.
Fig. 2 is a sectional view taken along the line II-II in Fig. 1. Fig.
Figs. 3 (a) to 3 (c) are process drawings showing a preferred method of manufacturing the ceramic plate material shown in Fig.
Figs. 4 (a) to 4 (d) are process drawings showing a preferable manufacturing method of the ceramic plate material shown in Fig. 1, following Fig. 3 (c).
Fig. 5 is a scanning electron micrograph of the central region in the ceramic plate material obtained in Example 1. Fig.
6 is a scanning electron micrograph of the peripheral edge region in the ceramic plate material obtained in Example 1. Fig.
Fig. 7 is a thermographic image obtained when the ceramic plate material obtained in Example 1 is heated and quenched. Fig.
Fig. 8 is a thermographic image obtained when the ceramic plate material obtained in Comparative Example 2 is heated and quenched. Fig.

이하 본 발명을, 그 바람직한 실시형태에 기초하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1에는, 본 발명의 세라믹스 판상체의 한 실시형태가 나타나 있다. 도 2는, 도 1에서의 II-II선 단면도이다. 이들 도면에 나타내는 세라믹스 판상체(10)는, 피소성물의 소성 시에 세터로서 사용되는 것이다. 세라믹스 판상체(10)는, 판상의 본체부(11)를 가진다. 본체부(11)는 세라믹스로 구성되는 다공체로 이루어진다. 본체부(11)는, 제1 면(11a)과 그에 대향하는 제2 면(11b)을 가진다. 본체부(11)는 그 평면시에서 직사각형을 하고 있다. 단, 본체부(11)의 평면시에서의 형상은 직사각형에 한정되지 않고, 피소성물의 형상이나 수에 따라 다양한 형상을 취할 수 있다. 본체부(11)의 평면시에서의 형상이 어떠한 것이어도, 본체부(11)의 두께는, 임의의 위치에서 동일한 것이 바람직하다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings based on preferred embodiments thereof. Fig. 1 shows an embodiment of the ceramic plate material of the present invention. Fig. 2 is a sectional view taken along the line II-II in Fig. 1. Fig. The ceramic plate material 10 shown in these drawings is used as a setter at the time of firing the object to be cleaned. The ceramic plate material 10 has a plate-like body portion 11. The body portion 11 is made of a porous body made of ceramics. The main body portion 11 has a first surface 11a and a second surface 11b opposite to the first surface 11a. The main body portion 11 is rectangular in plan view. However, the shape of the main body portion 11 in a plan view is not limited to a rectangle, and various shapes can be adopted depending on the shape and number of the object to be cleaned. It is preferable that the thickness of the main body portion 11 is the same at any position, regardless of the shape of the main body portion 11 in a plan view.

세라믹스 판상체(10)는, 본체부(11)에 더하여 다리부(12)를 가진다. 다리부(12)는, 본체부(11)의 귀퉁이부에 마련되어 있다. 상술한 바와 같이, 본체부(11)는 평면시에서 직사각형을 하고 있으며, 다리부(12)는 본체부(11)의 네 귀퉁이에 위치하고 있다. 다리부(12)는, 본체부의 제2 면(11b)으로부터 아래로 내려와 있다. 다리부(12)는 본체부(11)와 일체(一體)적으로 형성되어 있다. 또한 다리부(12)는, 본체부(11)와 동일한 세라믹스 소재로 형성되어 있다. 단, 다리부(12)가 다공체인 것은 필요하지 않다.The ceramic plate material 10 has a leg portion 12 in addition to the main body portion 11. The leg portion 12 is provided at a corner portion of the main body portion 11. As described above, the main body portion 11 is rectangular in plan view, and the leg portions 12 are located at the four corners of the main body portion 11. The leg portion 12 descends from the second surface 11b of the main body portion. The leg portion 12 is integrally formed with the main body portion 11. As shown in Fig. The leg portion 12 is made of the same ceramics material as the body portion 11. However, it is not necessary that the leg portion 12 is a porous body.

본체부(11)의 제1 면(11a)은, 세라믹스 판상체(10)의 사용 시에, 즉 피소성물의 소성 시에, 상기 피소성물의 재치면이 된다. 제1 면(11a)은, 평탄면으로 되어 있다. 즉, 제1 면(11a)은 평면으로 되어 있고, 곡면으로는 되어 있지 않다. 또한 제1 면(11a)은 평활면으로 되어 있다. 즉, 제1 면(11a)은 매끄럽게 되어 있고, 볼록부나 오목부가 존재하고 있지 않다. 제1 면(11a)이 이렇게 평탄하면서 평활한 면으로 되어 있음으로써, 피소성물의 소성 시에, 제1 면(11a)에 상기 피소성물을 안정적으로 재치시킬 수 있고, 또한 균일한 소성을 실시할 수 있다. 한편, 제2 면(11b)에 관해서는, 그 표면형상은 특별히 문제되지 않는다.The first surface 11a of the body portion 11 becomes the surface of the object to be cleaned when the ceramic plate material 10 is used, that is, when the object to be cleaned is fired. The first surface 11a is a flat surface. That is, the first surface 11a is flat and is not curved. The first surface 11a is a smooth surface. That is, the first surface 11a is smooth, and convex portions and concave portions are not present. Since the first surface 11a is formed as a flat and smooth surface, it is possible to stably mount the object to be cleaned on the first surface 11a and to perform uniform firing at the time of firing the object to be fired . On the other hand, the surface shape of the second surface 11b is not particularly limited.

본체부(11)가 다공체로 이루어지는 것은 상술한 대로인 바, 상기 본체부(11)는, 기공률이 다른 2개의 영역을 가진다. 상세하게는, 본체부(11)는, 이것을 평면시했을 때에 제1 기공률을 가지는 제1 영역(21)과, 제1 기공률보다도 낮은 기공률인 제2 기공률을 가지는 제2 영역(22)을 가지고 있다. 후술하는 방법에 의해 제1 영역(21) 및 제2 영역(22)을 형성하면, 제1 영역(21)에서의 기공률과, 제2 영역(22)에서의 기공률은 계단상으로 변화된다. 단, 제1 영역(21)과 제2 영역(22)의 경계는 명확하지 않아도 되고, 제1 영역(21)에서 제2 영역(22)에 걸쳐 기공률이 점차 저하되어 가도 된다. 제1 영역(21)에서 제2 영역(22)에 걸쳐 기공률이 점차 저하되고 있는 경우, 양(兩) 영역의 경계는, 제1 영역(21)의 기공률과 제2 영역의 기공률의 평균치를 가지는 부위로 한다. 제1 영역(21)과 제2 영역(22)은, 바람직하게는 일체적으로 형성되어 있다. "일체적으로 형성되어 있다"란, 제1 영역(21)과 제2 영역(22)이 어떠한 접합 수단에 의해 접합되어 있는 것이 아니고, 양 영역(21, 22)이 세라믹스로서 연속된 구조체로 되어 있는 것을 말한다. 후술하는 바람직한 제조 방법에 의하면, 제1 영역(21)과 제2 영역(22)이 일체적으로 형성된 세라믹스 판상체(10)를 제조할 수 있지만, 다른 제조 방법을 채용한 경우에는, 양 영역(21, 22)이 일체적으로 형성되어 있지 않은 세라믹스 판상체(10)가 얻어지는 경우도 있다. 제1 영역(21)과 제2 영역(22)이 일체적으로 형성되어 있으면, 세라믹스 판상체(10)의 가열 시 및/또는 냉각 시에, 본체부(10)의 중앙 영역과 둘레가장자리 영역에서의 온도 차를 한층 작게 할 수 있으므로 바람직하다.The main body portion 11 is made of a porous body as described above, and the main body portion 11 has two regions having different porosity. Specifically, the main body portion 11 has a first region 21 having a first porosity and a second region 22 having a second porosity, which is lower than the first porosity, when viewed in plan view . When the first region 21 and the second region 22 are formed by a method described later, the porosity in the first region 21 and the porosity in the second region 22 are changed stepwise. However, the boundary between the first region 21 and the second region 22 is not necessarily clear, and the porosity may gradually decrease from the first region 21 to the second region 22. [ When the porosity gradually decreases from the first region 21 to the second region 22, the boundary between the both regions is set so that the ratio of the porosity of the first region 21 to the porosity of the second region . The first region 21 and the second region 22 are preferably integrally formed. Means that the first region 21 and the second region 22 are not bonded by any joining means and the both regions 21 and 22 are continuous structures as ceramics It says. It is possible to manufacture the ceramic plate material 10 in which the first region 21 and the second region 22 are integrally formed. However, when another manufacturing method is employed, 21, and 22 are not integrally formed, may be obtained. When the first region 21 and the second region 22 are integrally formed, the central region and the peripheral region of the ceramic body 10 are heated and / So that the temperature difference between the electrodes can be further reduced.

본체부(11)는, 그 평면시에서 중앙 영역과, 상기 중앙 영역을 둘러싸면서 본체부(11)의 둘레가장자리단을 포함하는 영역인 둘레가장자리 영역을 가지고 있으며, 중앙 영역이 하나의 제1 영역(21)으로 이루어져 있다. 그리고 둘레가장자리 영역이, 제2 영역(22)으로 이루어져 있다. 중앙 영역에 위치하는 제1 영역(21)은, 본체부(11)의 평면시에서, 상기 본체부(11)의 형상과 대략 상사(相似)형의 직사각형을 하고 있다. 단, 제1 영역(21)의 평면시의 형상은, 본체부(11)의 평면시의 형상과 상사형인 것은 필요하지 않다. 또한 제1 영역(21)의 평면시의 형상은 직사각형인 것도 필요하지 않다. 예를 들면 제1 영역(21)의 평면시의 형상은 원형이나 직사각형 이외의 다각형이어도 된다. 중앙 영역과 둘레가장자리 영역에서의 온도 차를 매우 작게 하는 관점에서는, 평면시에서의 제1 영역(21)의 둘레가장자리 상에서의 임의의 위치에 그은 법선이, 본체부(11)의 둘레가장자리단과 교차할 때까지의 길이가, 둘레가장자리 상에서의 어느 위치에서도 동일한 것이 바람직하다. 예를 들면 제1 영역(21)이 원이면서, 제2 영역(22)이 상기 원과 동일한 내경을 가지는 원환(圓環)이며, 제1 영역(21)의 원과 제2 영역(22)의 원환이 동심(同心)으로 되어 있는 것이 바람직하다. 또한 평면시에서의 제1 영역(21)의 둘레가장자리 상에서의 임의의 위치에 그은 법선이, 본체부(11)의 둘레가장자리단과 교차할 때까지의 길이가, 상기 둘레가장자리 상에서의 임의의 2 이상의 위치에서 다른 경우에는, 가장 짧은 길이 Lmin에 대한 가장 긴 길이 Lmax의 비인 Lmax/Lmin의 값이 8 이하, 특히 4 이하인 것이 바람직하다.The main body portion 11 has a central region in a plan view thereof and a peripheral region which surrounds the central region and includes a peripheral edge of the body portion 11. The central region includes a first region (21). And the peripheral region is composed of the second region 22. The first region 21 located in the central region has a rectangular shape that is substantially similar to the shape of the main body portion 11 in a plan view of the main body portion 11. [ However, the shape of the first region 21 in the plan view is not required to be similar to the shape of the main body portion 11 in plan view. It is not necessary that the shape of the first region 21 in the plan view is rectangular. For example, the shape of the first region 21 in a plan view may be a circular shape or a polygon other than a rectangular shape. From the viewpoint of minimizing the temperature difference between the central region and the peripheral edge region, the normal line at an arbitrary position on the peripheral edge of the first region 21 at the time of plan view is perpendicular to the peripheral edge of the main body portion 11 Is preferably the same at any position on the peripheral edge. For example, when the first region 21 is a circle and the second region 22 is a ring having the same inner diameter as the circle, the circle of the first region 21 and the circle of the second region 22 It is preferable that the torus is concentric. Also, the length of the normal line at an arbitrary position on the peripheral edge of the first region 21 in the plane view, until the normal line crosses the peripheral edge of the main body portion 11, Position, it is preferable that the value of L max / L min which is the ratio of the longest length L max to the shortest length L min is 8 or less, particularly 4 or less.

제1 영역(21)은, 그 두께방향 및 면내(面內)방향의 전(全) 영역에 걸쳐 일정한 기공률, 즉 제1 기공률을 가지고 있는 것이 바람직하다. 한편, 제2 영역(22)은, 그 두께방향 및 면내방향의 전 영역에 걸쳐 일정한 기공률, 즉 제2 기공률을 가지고 있는 것이 바람직하다.The first region 21 preferably has a constant porosity, that is, a first porosity, over all the regions in the thickness direction and the in-plane direction. On the other hand, the second region 22 preferably has a constant porosity, i.e., a second porosity, over the entire region in the thickness direction and the in-plane direction.

제1 영역(21) 및 제2 영역(22)은, 동일한 세라믹스 소재로 이루어져 있다. 양 영역(21, 22)이 동일한 세라믹스 소재로 이루어져 있음으로써, 양 영역(21, 22)의 일체감이 높아져, 강도를 유지하는 점이나 열전도에서 유리하다. 특히, 상술한 바와 같이 양 영역(21, 22)이 일체적으로 형성되어 있는 경우에는, 양 영역(21, 22)이 동일한 세라믹스 소재로 이루어져 있으면, 일체감이 한층 높아진다. 그 결과, 세라믹스 판상체(10)의 가열 시 및/또는 냉각 시에, 본체부(10)의 중앙 영역과 둘레가장자리 영역에서의 온도 차를 한층 더 작게 할 수 있다.The first region 21 and the second region 22 are made of the same ceramic material. Since the two regions 21 and 22 are made of the same ceramic material, the sense of unity of the two regions 21 and 22 is enhanced, which is advantageous in terms of maintaining strength and thermal conduction. Particularly, in the case where the two regions 21 and 22 are integrally formed as described above, if both the regions 21 and 22 are made of the same ceramic material, the sense of unity is further enhanced. As a result, the temperature difference between the central region and the peripheral region of the main body portion 10 can be further reduced when the ceramic plate material 10 is heated and / or cooled.

이상과 같은 구성을 가지는 본 실시형태의 세라믹스 판상체(10)는, 이것을, 피소성물을 소성할 때의 세터로서 사용하면, 소성 과정에서의 가열 시 및 냉각 시에, 본체부(11)의 중앙 영역과 둘레가장자리 영역의 온도 차를 종래의 세터보다도 작게 할 수 있다. 그 이유는, 기공률이 높은 영역인 제1 영역(21)은, 기공률이 낮은 영역인 제2 영역(22)보다도 열용량이 작으므로, 열용량이 작은 제1 영역(21)을 중앙 영역에 배치하고, 상기 중앙 영역을 둘러싸는 둘레가장자리 영역에 열용량이 큰 제2 영역(22)을 배치함으로써, 가열 시에는, 가열되기 어려운 중앙 영역을 용이하게 가열할 수 있고, 한편, 냉각 시에는, 냉각되기 어려운 중앙 영역을 용이하게 냉각할 수 있으므로, 결과적으로 가열 시 및 냉각 시의 중앙 영역과 둘레가장자리 영역에서의 온도 차를 작게 할 수 있기 때문이다.When the ceramics plate material 10 of the present embodiment having the above-described structure is used as a setter for firing the object to be fired, the center of the body portion 11 The temperature difference between the region and the peripheral region can be made smaller than the conventional setter. This is because the first region 21 having a high porosity has a smaller heat capacity than that of the second region 22 having a low porosity so that the first region 21 having a small heat capacity is disposed in the central region, By disposing the second region 22 having a large heat capacity in the peripheral region surrounding the central region, it is possible to easily heat the central region, which is difficult to be heated at the time of heating, while at the same time, The region can be easily cooled, and as a result, the temperature difference between the central region and the peripheral region at the time of heating and cooling can be reduced.

특히, 후술하는 실시예 1 및 2에서 예증되는 바와 같이, 세라믹스 판상체(10)는, 둘레가장자리 영역의 온도보다도 중앙 영역의 온도 쪽이 낮아지도록 냉각이 진행되는 것이 바람직하다. 그 이유는 다음과 같다. 세라믹스 판상체(10)를, 예를 들면 피소성물의 세터로서 사용하는 경우, 상기 세터의 중앙 영역에 피소성물을 재치하는 경우가 많다. 그러한 재치 상태에서 소성을 실시하고, 그 후에 냉각을 실시할 때에는, 세터의 중앙 영역에서는, 상기 중앙 영역의 열용량과 소성물의 열용량의 총계에 대하여 냉각이 진행된다. 따라서 둘레가장자리 영역의 온도보다도 중앙 영역의 온도 쪽이 낮아지도록 냉각이 진행되면, 소성물의 열용량을, 세터의 둘레가장자리 영역의 열용량으로 상쇄할 수 있어, 냉각을 신속하게 실시할 수 있다.Particularly, as exemplified in Examples 1 and 2 to be described later, it is preferable that the cooling progresses so that the temperature of the central region of the ceramic plate material 10 becomes lower than the temperature of the peripheral region. The reason for this is as follows. When the ceramic plate material 10 is used, for example, as a setter of an object to be treated, in many cases, the object to be treated is placed in the central region of the setter. When firing is performed in such a putting state and then cooling is performed, cooling is progressed in the central region of the setter with respect to the total heat capacity of the central region and the total heat capacity of the fired product. Therefore, if the cooling progresses so that the temperature in the central region becomes lower than the temperature in the peripheral region, the heat capacity of the fired product can be canceled by the heat capacity in the peripheral region of the setter, and cooling can be performed quickly.

이상의 유리한 효과를 한층 현저하게 하는 관점에서, 제1 영역(21)의 기공률은 50% 이상 99% 이하인 것이 바람직하고, 60% 이상 90% 이하인 것이 더 바람직하며, 70% 이상 90% 이하인 것이 한층 바람직하다. 한편, 제2 영역(22)의 기공률은, 제1 영역(21)의 기공률보다도 낮은 것을 조건으로 하여, 0% 이상 70% 이하인 것이 바람직하고, 0% 이상 60% 이하인 것이 더 바람직하며, 0% 이상 50% 이하인 것이 한층 바람직하다.The porosity of the first region 21 is preferably 50% or more and 99% or less, more preferably 60% or more and 90% or less, still more preferably 70% or more and 90% or less, Do. On the other hand, the porosity of the second region 22 is preferably 0% or more and 70% or less, more preferably 0% or more and 60% or less, more preferably 0% or less, Or more and 50% or less.

기공률은, 아르키메데스법에 의해 측정되는 겉보기 기공률로 정의되는 물성치이다. 본체부(11)의 제1 영역(21) 및 제2 영역(22)의 기공률은, 다음 방법으로 측정된다. 본체부(11)를 커터로 가공하여 제1 영역(21) 및 제2 영역(22)만을 각각 별개로 꺼내고, JIS R1634(진공법)에 준하여 겉보기 기공률의 측정을 실시한다. 후술하는 제조 방법에 따라 제조된 세라믹스 판상체(10)에서는, 기공의 거의 모두가 개(開)기공이기 때문에, 개기공률이 그대로 기공률의 값이 된다.The porosity is a property defined by the apparent porosity measured by the Archimedes method. The porosity of the first region 21 and the second region 22 of the main body portion 11 is measured by the following method. The body portion 11 is cut with a cutter so that only the first region 21 and the second region 22 are taken out separately and the apparent porosity is measured according to JIS R1634 (vacuum method). In the ceramic plate material 10 produced according to the production method described later, since almost all of the pores are open pores, the open porosity becomes the value of the porosity as it is.

가열 시 및 냉각 시의 중앙 영역과 둘레가장자리 영역에서의 온도 차를 한층 작게 하는 관점에서, 평면시에서의 제1 영역(21)의 면적의 총계 S1의 비율은, 평면시에서의 본체부(11)의 면적 ST에 대하여, 20% 이상 95% 이하인 것이 바람직하고, 40% 이상 85% 이하인 것이 더 바람직하며, 50% 이상 70% 이하인 것이 한층 바람직하다. 동일한 관점에서, 평면시에서의 제2 영역(22)의 면적 S2의 비율은, 평면시에서의 본체부(11)의 면적 ST에 대하여 5% 이상 80% 이하인 것이 바람직하고, 15% 이상 60% 이하인 것이 더 바람직하며, 30% 이상 50% 이하인 것이 한층 바람직하다.The ratio of the total S1 of the area of the first area 21 in the plan view to the total area S1 of the main body 11 in plan view ) with respect to the area S T, is more preferably 20% or less than 95% or less is preferable, 85% or more and 40% of, more preferably it is 50% or more 70% or less. From the same viewpoint, the ratio of the area S2 of the second area 22 in the plan view to the area S T of the main body part 11 in plan view is preferably 5% or more and 80% or less, Or less, more preferably 30% or more and 50% or less.

도 1에 나타내는 실시형태의 세라믹스 판상체(10)에서는, 제1 영역(21)은, 본체부(11)의 중앙 영역에 하나만 형성되어 있지만, 이를 대신하여 2 이상의 제1 영역(21)을 본체부(11)의 중앙 영역에 형성해도 된다. 이 경우에는, 2 이상의 제1 영역(21)이 제3 영역(도시하지 않음)에 의해 구획되어 있다. 제3 영역은, 제1 영역(21)보다도 낮은 기공률을 가지고 있지만, 제2 영역(22)보다는 높은 기공률을 가지고 있는 영역이다. 제3 영역은, 서로 이웃하는 제1 영역(21) 간을 구획하고 있는 것에 더하여, 제1 영역(21)과 제2 영역(22)을 구획하고 있어도 된다.In the ceramic plate material 10 of the embodiment shown in Fig. 1, the first region 21 is formed only in the central region of the main body portion 11, It may be formed in the central region of the portion 11. In this case, the two or more first regions 21 are partitioned by a third region (not shown). The third region is a region having a porosity lower than that of the first region 21 but a porosity higher than that of the second region 22. [ The third region may partition the first region 21 and the second region 22 in addition to partitioning the adjacent first regions 21.

세라믹스 판상체(10)를 구성하는 세라믹스 소재로는, 다양한 것을 사용할 수 있다. 예를 들면, 알루미나, 탄화규소, 질화규소, 지르코니아, 멀라이트, 마그네시아, 2붕화티탄 등을 들 수 있다.A variety of ceramics materials constituting the ceramic plate material 10 can be used. Examples thereof include alumina, silicon carbide, silicon nitride, zirconia, mullite, magnesia, and titanium diboride.

다음으로, 도 1 및 도 2에 나타내는 세라믹스 판상체(10)의 바람직한 제조 방법에 대해 도 3 및 도 4를 참조하면서 설명한다. 먼저, 도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 주조용 주형(30)을 준비한다. 주조용 주형(30)은, 평면시하여 대략 직사각형의 바닥면(31)과, 상기 바닥면(31)의 둘레가장자리로부터 기립하는 4개의 측면(32)을 가지며, 상면이 개구되어 있다. 그리고 바닥면(31)과 측면(32)에서, 상방(上方)을 향하여 개방된 오목부(S)가 이루어져 있다. 이 오목부(S)는, 목적으로 하는 세라믹스 판상체(10)와 상보 형상을 가지는 것이다.Next, a preferable manufacturing method of the ceramic plate material 10 shown in Figs. 1 and 2 will be described with reference to Figs. 3 and 4. Fig. First, as shown in Fig. 3 (a), a casting mold 30 is prepared. The casting mold 30 has a substantially rectangular bottom surface 31 and four side surfaces 32 rising from the peripheral edge of the bottom surface 31 and has an upper surface opened. In the bottom surface 31 and the side surface 32, a concave portion S is opened upward. The concave portion S has a complementary shape to the intended ceramic plate-shaped body 10. [

이 주조용 주형(30)의 오목부(S) 내에서의 바닥면(31) 상에, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 중심 부재(33)를 재치한다. 중심 부재(33)는 직방체의 형상을 하고 있다. 중심 부재(33)는, 평면시하여, 목적으로 하는 세라믹스 판상체(10)에서의 제1 영역(21)의 형상과 동일한 형상을 하고 있다. 바닥면(31) 상에서의 중심 부재(33)의 재치 위치는, 목적으로 하는 세라믹스 판상체(10)에서의 제1 영역(21)의 형성 예정 영역과 일치시킨다.The center member 33 is placed on the bottom surface 31 in the recess S of the casting mold 30 as shown in Fig. 3 (b). The center member 33 has a rectangular parallelepiped shape. The center member 33 has the same shape as that of the first region 21 in the intended ceramic plate-like member 10 in plan view. The placement position of the center member 33 on the bottom surface 31 coincides with the area where the first region 21 is to be formed in the desired ceramic plate material 10. [

도 3(b)에 나타내는 상태하에, 도 3(c)에 나타내는 바와 같이, 이 주조용 주형(30)의 오목부(S) 내에 제1 슬러리(41)를 공급한다. 제1 슬러리(41)는, 세라믹스 원료분 및 겔화제를 매질로서 포함하고 있다. 또한 제1 슬러리(41)는, 물 또는 수용성 유기 용매를 매체로서 포함하고 있다.The first slurry 41 is fed into the concave portion S of the casting mold 30 under the condition shown in Fig. 3 (b), as shown in Fig. 3 (c). The first slurry 41 contains a ceramic raw material powder and a gelling agent as a medium. The first slurry (41) contains water or a water-soluble organic solvent as a medium.

제1 슬러리(41)에 포함되는 세라믹스 원료분은, 목적으로 하는 세라믹스 판상체(10)에서의 제2 영역(22)을 구성하는 세라믹스 소재의 원료가 되는 것이다. 세라믹스 원료분의 입자경은, 레이저 회절 산란식 입도 분포 측정법에 의한 누적 체적 50용량%에서의 체적 누적 입경 D50으로 표시하여 0.01㎛ 이상 100㎛ 이하인 것이 바람직하고, 0.05㎛ 이상 10㎛ 이하인 것이 더 바람직하며, 0.1㎛ 이상 5㎛ 이하인 것이 한층 바람직하다.The ceramic raw material powder contained in the first slurry 41 serves as a raw material of the ceramic material constituting the second region 22 in the desired ceramic plate material 10. The particle diameter of the ceramic raw material powder is preferably 0.01 탆 or more and 100 탆 or less, more preferably 0.05 탆 or more and 10 탆 or less, expressed as volume cumulative particle diameter D 50 at a cumulative volume of 50% by volume by a laser diffraction scattering particle size distribution measurement method And more preferably 0.1 占 퐉 or more and 5 占 퐉 or less.

제1 슬러리(41)에 포함되는 세라믹스 원료분의 농도는, 목적으로 하는 세라믹스 판상체(10)에서의 제2 영역(22)의 기공률과 관계된다. 상세하게는, 제1 슬러리에 포함되는 세라믹스 원료분의 농도가 높을수록, 제2 영역(22)의 기공률은 낮아진다. 이 관점에서, 제1 슬러리(41)에 포함되는 세라믹스 원료분의 농도는, 매체 100체적부에 대하여 17체적부 이상 150체적부 이하인 것이 바람직하고, 25체적부 이상 150체적부 이하인 것이 더 바람직하며, 33체적부 이상 150체적부 이하인 것이 한층 바람직하다.The concentration of the ceramic raw material powder contained in the first slurry 41 is related to the porosity of the second region 22 in the desired ceramic plate material 10. Specifically, the higher the concentration of the ceramic raw material powder contained in the first slurry, the lower the porosity of the second region 22. From this viewpoint, the concentration of the ceramic raw material powder contained in the first slurry 41 is preferably not less than 17 vol% and not more than 150 vol%, more preferably not less than 25 vol% and not more than 150 vol% , More preferably not less than 33 parts by volume and not more than 150 parts by volume.

제1 슬러리(41)에 포함되는 겔화제의 종류나 농도는, 후술하는 제1 슬러리(41)의 겔화의 정도와 관계된다. 이 관점에서, 제1 슬러리(41)에 포함되는 겔화제의 농도는, 매체 100질량부에 대하여 0.1질량부 이상 10질량부 이하인 것이 바람직하고, 0.5질량부 이상 7질량부 이하인 것이 더 바람직하며, 1질량부 이상 4질량부 이하인 것이 한층 바람직하다.The kind and concentration of the gelling agent contained in the first slurry 41 are related to the degree of gelling of the first slurry 41 described later. From this viewpoint, the concentration of the gelling agent contained in the first slurry 41 is preferably 0.1 part by mass or more and 10 parts by mass or less, more preferably 0.5 parts by mass or more and 7 parts by mass or less, based on 100 parts by mass of the medium, More preferably 1 part by mass or more and 4 parts by mass or less.

겔화제는, 후술하는 동결 건조에 의해 얻어진 동결 건조체에서, 세라믹스 원료분의 입자끼리를 결합하는 결합제로서 사용된다. 이 목적을 위해, 겔화제로서, N-알킬아미드계 고분자, N-이소프로필아크릴아미드계 고분자, 술포메틸화아크릴아미드계 고분자, N-디메틸아미노프로필메타크릴아미드계 고분자, 폴리알킬아크릴아미드계 고분자, 알긴산, 알긴산나트륨, 알긴산암모늄, 폴리에틸렌이민, 셀룰로오스 유도체계, 폴리아크릴산염, 폴리에틸렌글리콜, 폴리에틸렌옥사이드, 폴리비닐알코올, 폴리비닐피롤리돈, 카르복시비닐폴리머, 전분, 젤라틴, 한천, 펙틴, 글루코만난, 잔탄검, 로커스트빈검, 카라기난검, 구아검, 젤란검, 리그노술폰산염, 폴리아크릴아미드, 폴리비닐에스테르, 이소부티렌-무수말레산 공중합체, 아세트산비닐, 에폭시 수지, 페놀 수지 및 우레탄 수지 등을 사용할 수 있다. 이들 겔화제를, 1종을 단독으로, 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The gelling agent is used as a binder for binding the particles of the raw material powder of the ceramics to each other in the lyophilized product obtained by the lyophilization to be described later. For this purpose, it is preferable to use, as the gelling agent, an N-alkylamide-based polymer, an N-isopropylacrylamide-based polymer, a sulfomethylated acrylamide-based polymer, N-dimethylaminopropyl methacrylamide-based polymer, a polyalkyl acrylamide- Polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, carboxyvinyl polymer, starch, gelatin, agar, pectin, glucomannan, xanthan gum, alginic acid, sodium alginate, ammonium alginate, polyethyleneimine, cellulose induction system, polyacrylate, polyethylene glycol, polyethylene oxide, polyvinyl alcohol, Polyvinyl esters, isobutylene-maleic anhydride copolymers, vinyl acetate, epoxy resins, phenol resins, and urethane resins, and the like can be used. Can be used. These gelling agents may be used singly or in combination of two or more.

겔화제는, 그 중량 평균 분자량이 바람직하게는 500 이상 2000000 이하, 보다 바람직하게는 2000 이상 1500000 이하, 더 바람직하게는 4000 이상 1000000 이하의 범위이다.The gelling agent has a weight average molecular weight of preferably 500 or more and 2,000,000 or less, more preferably 2,000 or more and 1,500,000 or less, and still more preferably 4,000 or more and 1,000,000 or less.

제1 슬러리에는, 상술한 성분에 더하여 다른 성분을 배합해도 된다. 예를 들면 세라믹스 원료분을 매체에 원활하게 분산시키기 위한 분산제를 배합할 수 있다. 분산제로는, 예를 들면 폴리카르복실산암모늄염, 폴리아크릴산암모늄염, 폴리에틸렌이민 등을 사용할 수 있다. 분산제의 배합량은, 세라믹스 원료분 100질량부에 대하여, 0.5질량부 이상 3질량부 이하인 것이 바람직하다.The first slurry may contain other components in addition to the above-mentioned components. For example, a dispersant for smoothly dispersing the ceramic raw material powder in the medium can be blended. As the dispersing agent, for example, a polycarboxylic acid ammonium salt, a polyacrylic acid ammonium salt, a polyethyleneimine and the like can be used. The blending amount of the dispersing agent is preferably 0.5 parts by mass or more and 3 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the raw material of the ceramic material.

주조용 주형(30)의 오목부(S) 내에 제1 슬러리(41)를 공급하면, 상기 슬러리를 겔화한다. 겔화하기 위해서는, 예를 들면 상기 슬러리를 냉각하면 된다. 냉각 온도는, 예를 들면 1℃ 이상 12℃ 이하로 설정할 수 있다. 제1 슬러리의 겔화에 의해, 상기 슬러리는 보형성을 획득하여 제1 성형체(41a)가 얻어진다.When the first slurry 41 is supplied into the concave portion S of the casting mold 30, the slurry is gelled. For gelling, the slurry may be cooled, for example. The cooling temperature can be set to, for example, 1 DEG C or more and 12 DEG C or less. By the gelling of the first slurry, the slurry obtains a bevel to obtain the first formed body 41a.

이어서 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 제1 성형체(41a)에 의해 둘러싸여 있는 중심 부재(33)를 탈형한다. 제1 성형체(41a)는 상술한 바와 같이 보형성을 가지고 있으므로, 중심 부재(33)를 탈형해도 제1 성형체(41a)의 형상은 변화되지 않는다. 그 결과, 탈형에 의해 제1 성형체(41a)의 중앙 영역에는 탈형 공간(43)이 형성된다. 탈형 공간(43)은 관통 구멍으로 되어 있고, 그 바닥부에는, 주조용 주형(30)의 바닥면(31)이 노출되어 있다.Subsequently, as shown in Fig. 4 (a), the center member 33 surrounded by the first formed body 41a is demoulded. Since the first formed body 41a has a bevel formation as described above, the shape of the first formed body 41a does not change even if the center member 33 is demoulded. As a result, the demoulding space 43 is formed in the central region of the first formed body 41a by demoulding. The demoulding space 43 is a through hole, and the bottom surface 31 of the casting mold 30 is exposed at the bottom.

중심 부재(33)의 탈형에 의해 형성된 탈형 공간(43)에는, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 제2 슬러리(42)가 공급된다. 제2 슬러리(42)는, 세라믹스 원료분 및 겔화제를 매질로서 포함하고 있다. 또한 제2 슬러리(42)는, 물 또는 수용성 유기 용매를 매체로서 포함하고 있다.The second slurry 42 is supplied to the demoulding space 43 formed by demoulding the center member 33 as shown in Fig. 4 (b). The second slurry 42 contains a ceramic raw material powder and a gelling agent as a medium. The second slurry 42 contains water or a water-soluble organic solvent as a medium.

제2 슬러리(42)에 포함되는 세라믹스 원료분은, 목적으로 하는 세라믹스 판상체(10)에서의 제1 영역(21)을 구성하는 세라믹스 소재의 원료가 되는 것이다. 이 세라믹스 원료분은, 제1 슬러리(41)에 포함되는 세라믹스 원료분과 동종의 것이다. 제2 슬러리(42)에 포함되는 세라믹스 원료분의 입자경은, 제1 슬러리(41)에 포함되는 세라믹스 원료분의 입자경과 동일해도 되고, 혹은 달라도 된다. 제2 슬러리(42)에 포함되는 세라믹스 원료분의 입자경은, 레이저 회절 산란식 입도 분포 측정법에 의한 누적 체적 50용량%에서의 체적 누적 입경 D50으로 표시하여 0.1㎛ 이상 100㎛ 이하인 것이 바람직하고, 0.05㎛ 이상 10㎛ 이하인 것이 더 바람직하며, 0.1㎛ 이상 1㎛ 이하인 것이 한층 바람직하다.The ceramic raw material powder contained in the second slurry 42 is a raw material for the ceramic material constituting the first region 21 in the desired ceramic plate material 10. The ceramic raw material powder is the same as the ceramic raw material powder contained in the first slurry (41). The particle diameter of the ceramic raw material powder contained in the second slurry 42 may be the same as or different from the particle diameter of the ceramic raw material powder contained in the first slurry 41. The particle diameter of the ceramic raw material powder contained in the second slurry 42 is preferably 0.1 탆 or more and 100 탆 or less in terms of cumulative volume particle diameter D 50 at a cumulative volume of 50% by volume by a laser diffraction scattering particle size distribution measurement method, More preferably 0.05 탆 or more and 10 탆 or less, and more preferably 0.1 탆 or more and 1 탆 or less.

제2 슬러리(42)에 포함되는 세라믹스 원료분의 농도는, 목적으로 하는 세라믹스 판상체(10)에서의 제1 영역(21)의 기공률과 관계된다. 상세하게는, 제2 슬러리(42)에 포함되는 세라믹스 원료분의 농도가 낮을수록, 제1 영역(21)의 기공률은 높아진다. 본 제조 방법의 대상물인 세라믹스 판상체(10)에서는, 제1 영역(21)과 제2 영역(22)에서 기공률이 상이하므로, 제2 슬러리(42)에 포함되는 세라믹스 원료분의 농도와, 제1 슬러리(41)에 포함되는 세라믹스 원료분의 농도를 서로 다르게 함으로써, 목적으로 하는 제1 영역(21) 및 제2 영역(22)을 순조롭게 형성할 수 있다. 이 관점에서, 제2 슬러리(42)에 포함되는 세라믹스 원료분의 농도는, 제1 슬러리(41)에 포함되는 세라믹스 원료분의 농도보다도 낮은 것을 조건으로 하여, 매체 100체적부에 대하여 1체적부 이상 33체적부 이하인 것이 바람직하고, 1체적부 이상 25체적부 이하인 것이 더 바람직하며, 1체적부 이상 18체적부 이하인 것이 한층 바람직하다.The concentration of the ceramics raw material powder contained in the second slurry 42 is related to the porosity of the first region 21 in the desired ceramic plate material 10. Specifically, the lower the concentration of the ceramic raw material powder contained in the second slurry 42, the higher the porosity of the first region 21 is. Since the porosity differs between the first region 21 and the second region 22 in the ceramics plate material 10 of the present manufacturing method, the concentration of the ceramics raw material powder contained in the second slurry 42, 1 slurry 41 can be smoothly formed by making the concentrations of the ceramic raw material powders contained in the slurry 41 different from each other. From this viewpoint, it is preferable that the concentration of the ceramic raw material powder contained in the second slurry 42 is set to be one volume portion relative to 100 volume portions of the medium, provided that the concentration of the ceramic raw material powder contained in the second slurry 42 is lower than that of the ceramic raw material powder contained in the first slurry 41 More preferably not less than 33 parts by volume, more preferably not less than 1 part by volume and not more than 25 parts by volume, further preferably not less than 1 part by volume and not more than 18 parts by volume.

제2 슬러리(42)에 포함되는 겔화제는, 제1 슬러리(41)에 포함되는 겔화제와 동종의 것이어도 되고, 혹은 이종(異種)의 것이어도 된다. 제2 슬러리(42)에 포함되는 겔화제의 농도는, 매체 100질량부에 대하여 0.1질량부 이상 10질량부 이하인 것이 바람직하고, 0.5질량부 이상 7질량부 이하인 것이 더 바람직하며, 1질량부 이상 4질량부 이하인 것이 한층 바람직하다.The gelling agent contained in the second slurry (42) may be the same as or different from the gelling agent contained in the first slurry (41). The concentration of the gelling agent contained in the second slurry 42 is preferably 0.1 parts by mass or more and 10 parts by mass or less, more preferably 0.5 parts by mass or more and 7 parts by mass or less, and more preferably 1 part by mass or more More preferably 4 parts by mass or less.

상기의 탈형 공간(43) 내에 공급하는 제2 슬러리(42)의 양은, 상기 제2 슬러리(42)의 액면이, 제1 성형체(41a)의 상면과 동일한 위치가 되도록 하는 것이 바람직하다. 이렇게 함으로써, 얻어지는 세라믹스 판상체(10)에서의 본체부(11)의 제1 면(11a)을 평탄면으로 할 수 있다.The amount of the second slurry 42 to be supplied into the demoulding space 43 is preferably such that the liquid level of the second slurry 42 is at the same position as the upper surface of the first formed body 41a. By doing so, the first surface 11a of the body portion 11 in the obtained ceramic plate material 10 can be made flat.

제1 성형체(41a)의 탈형 공간(43) 내에 제2 슬러리(42)가 충전된 상태하에, 이들은 동결 공정에 회부된다. 이에 앞서 제2 슬러리(42)를 냉각에 의해 겔화해도 되고, 혹은 겔화시키지 않고 슬러리 상태인 채로 동결 건조 공정에 회부해도 된다. 동결 공정에 회부함으로써, 일방향으로부터 동결이 진행되어 얼음의 결정이 성장하고, 제1 성형체 성형체(41a) 및 제2 슬러리(42) 중의 세라믹스 원료분의 배향 조직이 형성된다. 즉, 세라믹스 원료분의 재배열이 생긴다. 동결에는 공지의 냉각 장치를 이용하는 것이 가능하다. 구체적으로는, 주조용 주형(30)의 하면을, 예를 들면 냉각한 금속판 등의 고체에 접촉시키는 방법이나, 냉각한 액체 중에 주조용 주형(30)마다 침지시키는 방법 등을 사용할 수 있다. 또한 예를 들면 소정의 온도로 냉각된 에탄올을, 대면하는 한쪽 측에서 다른 쪽 측으로 에탄올의 액면 부근에 고이거나 물결이 생기는 경우가 없이 유동하도록 순환시킴으로써 액면 부근의 온도를 일정하게 유지한 에탄올 냉각 장치를 사용해도 된다. 이에 따른 구성을 가지는 에탄올 냉각 장치를 적용하고, 냉각된 에탄올의 액면에 주조용 주형(30)의 바닥면을 접촉 또는 침지시켜 유지하여, 바닥부로부터 상방을 향하여 일방향으로 동결을 실시할 수 있다. 이에 따라, 기공 지름의 편차가 적은 세라믹스 판상체(10)를 제작할 수 있다.Under the condition that the second slurry 42 is filled in the demoulding space 43 of the first formed body 41a, they are submitted to the freezing step. Prior to this, the second slurry 42 may be gelled by cooling, or it may be returned to the freeze-drying step while maintaining the slurry state without being gelled. The freezing proceeds from one direction to grow crystals of ice and an oriented texture of the ceramic raw material components in the first molded body 41a and the second slurry 42 is formed. That is, rearrangement of the raw materials of the ceramics occurs. A known cooling device can be used for freezing. Specifically, the lower surface of the casting mold 30 may be brought into contact with a solid such as a cooled metal plate, or the casting mold 30 may be immersed in the cooled liquid. In addition, for example, ethanol cooled to a predetermined temperature may be concentrated from the side facing the other side to the side of the ethanol level It is also possible to use an ethanol cooling apparatus in which the temperature in the vicinity of the liquid level is kept constant by circulating the liquid so as to flow without occurrence of a wave. The ethanol cooling apparatus having the configuration described above is applied and the bottom surface of the casting mold 30 is contacted or immersed in the liquid level of the cooled ethanol so as to be frozen in one direction upward from the bottom. Thus, the ceramic plate material 10 having a small variation in pore diameter can be manufactured.

동결 공정에서의 동결 온도는, 겔 또는 슬러리 중의 물이 동결되어 얼음을 생성하는 것이 가능한 정도라면 제한은 없다. 또한 겔화제의 종류에 따라서는, 물과의 상호작용에 기인하여 -10℃ 이상에서는 동결되지 않는 경우가 있으므로, -10℃ 이하의 동결 온도가 바람직하다. 예를 들면, 상술한 에탄올형 동결기를 이용하여, -15℃로 냉각한 에탄올에 주조용 주형(30)을 담그고, 바닥부로부터 일방향으로 동결을 실시하는 것이 바람직하다.The freezing temperature in the freezing process is not limited as long as it is possible to freeze the water in the gel or slurry to generate ice. Further, depending on the kind of the gelling agent, it may not be frozen at -10 캜 or higher due to interaction with water, and therefore, a freezing temperature of -10 캜 or lower is preferable. For example, it is preferable that the casting mold 30 is immersed in ethanol cooled at -15 占 폚 using the above-described ethanol type freezer and freezing is performed in one direction from the bottom portion.

이어서, 동결에 의해 생긴 동결체를, 도 4(d)에 나타내는 바와 같이 주조용 주형(30)으로부터 꺼내 건조시킨다. 건조 공정에서는, 동결체 내외의 건조 속도의 차를 억제하면서, 서서히 얼음을 기공으로 치환함으로써 균열을 막는 건조 방법을 이용하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 동결체를 동결 건조하거나, 혹은 수용성 유기 용제나 수용성 유기 용제 수용액 중으로의 침지 및 풍건(風乾)함으로써, 얼음을 기공으로 치환할 수 있다. 예를 들면, 동결체를 수용성 유기 용제나 수용성 유기 용제 수용액 중에 침지하면, 동결체 중의 얼음은 융해되고 수용성 유기 용제와 혼합된다. 이에 따른 조작을 1회 또는 복수 회 실행함으로써, 먼저 동결체 중의 얼음이었던 부분은 수용성 유기 용제로 치환된다. 그 후, 동결체 내부가 수용성 유기 용제로 치환된 동결체를, 대기 중 또는 감압 조건하에서 건조시키면, 동결 공정에서 얼음이었던 부분이 기공으로 치환된다.Subsequently, the frozen material produced by the freezing is taken out from the casting mold 30 and dried as shown in Fig. 4 (d). In the drying step, it is preferable to use a drying method in which cracks are prevented by gradually replacing ice with pores while suppressing a difference in drying speed between inside and outside of the frozen body. Concretely, ice can be replaced with pores by lyophilizing the frozen material, or immersing it in a water-soluble organic solvent or a water-soluble organic solvent aqueous solution and air-drying it. For example, when the frozen material is immersed in a water-soluble organic solvent or an aqueous solution of a water-soluble organic solvent, the ice in the frozen material is melted and mixed with the water-soluble organic solvent. By performing the operation according to the above operation once or plural times, first, the portion of ice in the frozen material is replaced with a water-soluble organic solvent. Thereafter, when the frozen body in which the inside of the frozen body is replaced with a water-soluble organic solvent is dried in the air or under reduced pressure, the portion which was ice in the freezing step is replaced with pores.

수용성 유기 용제를 사용한 건조 공정에서, 수용성 유기 용제로는, 겔화제를 침식하지 않으면서, 물보다도 휘발성이 높은 것이 사용된다. 구체적으로는, 메탄올, 에탄올, 이소프로필알코올, 아세톤, 아세트산에틸 등을 들 수 있지만, 이들에 한정되지 않는다. 이들 수용성 유기 용제를 단독으로, 혹은 복수 종류 병용한 건조를 1회 또는 복수 회 실행함으로써, 동결체 내에서 얼음이었던 부분에 기공이 형성된다.In the drying step using a water-soluble organic solvent, a water-soluble organic solvent is used which has a higher volatility than water, without eroding the gelling agent. Specific examples include methanol, ethanol, isopropyl alcohol, acetone, and ethyl acetate, but are not limited thereto. When these water-soluble organic solvents are used alone or in combination with a plurality of types of drying, the pores are formed in the portion of the frozen material that has been ice.

이어서, 건조에 의해 생긴 건조체(44)를 소성 공정에 회부한다. 이 소성에 의해 목적으로 하는 세라믹스 판상체(10)가 얻어진다. 소성은 일반적으로 대기하에서 실시할 수 있다. 소성 온도는, 세라믹스 원료분의 종류에 따라 적절한 온도를 선택하면 된다. 소성 온도에 관해서도 마찬가지이다.Subsequently, the dried body 44 produced by the drying is submitted to the baking step. By this firing, the intended ceramic plate material 10 is obtained. Firing can generally be carried out in the atmosphere. The baking temperature may be appropriately selected depending on the kind of the raw material powder of ceramics. The same applies to the firing temperature.

이상의 방법에 의해, 목적으로 하는 세라믹스 판상체(10)가 얻어진다. 이 세라믹스 판상체(10)는, 상술한 바와 같이 선반판이나 밑판 등, 세라믹스 제품의 소성용 세터로서 바람직하게 사용되는 것 외에, 세터 이외의 요도구(窯道具; kiln tool), 예를 들면 상자나 빔으로도 사용할 수 있다. 또한 요도구 이외의 용도, 예를 들면 각종 지그(jig)나 각종 구조재로서 이용할 수도 있다.By the above-described method, a desired ceramic plate material 10 is obtained. The ceramic plate material 10 is preferably used as a firing setter for a ceramic product such as a shelf plate or a base plate as described above, but also a kiln tool other than a setter, for example, It can also be used as a beam. It can also be used for purposes other than urethral meals, for example, various jigs and various structural materials.

이상, 본 발명을 그 바람직한 실시형태에 기초하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 제한되지 않는다. 예를 들면 상기 실시형태에서는, 판상의 본체부(11)의 중앙 영역의 기공률을, 둘레가장자리 영역의 기공률보다도 높게 했지만, 기공률이 높은 제1 영역(21)과 기공률이 낮은 제2 영역(22)의 배치 위치는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 발명의 세라믹스 판상체의 구체적인 용도에 따라서는, 기공률이 높은 제1 영역(21)을 판상체의 둘레가장자리 영역에 배치하고, 기공률이 낮은 제2 영역(22)을 판상체의 중앙 영역에 배치할 수도 있다. 혹은, 기공률이 높은 제1 영역(21)과, 기공률이 낮은 제2 영역(22)을, 스트라이프상으로 교대로 배치하거나, 체크 무늬상으로 해도 된다. While the present invention has been described based on the preferred embodiments thereof, the present invention is not limited to the above embodiments. For example, in the above embodiment, the porosity of the central region of the plate-like main body portion 11 is made higher than the porosity of the peripheral region. However, the first region 21 having a high porosity and the second region 22 having a low porosity, Is not limited to this. For example, depending on the specific use of the ceramics plate material of the present invention, the first region 21 having a high porosity may be disposed in the peripheral region of the plate material, and the second region 22 having a low porosity may be disposed on the peripheral portion of the plate material. It may be disposed in the central area. Alternatively, the first region 21 having a high porosity and the second region 22 having a low porosity may be arranged alternately in a stripe pattern or in a checkered pattern.

실시예Example

이하, 실시예에 의해 본 발명을 더 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명의 범위는, 이에 따른 실시예에 제한되지 않는다. 특별히 언급하지 않는 한, "부"는 "질량부"를 의미한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples. However, the scope of the present invention is not limited to the following embodiments. Unless otherwise stated, "part " means" part by mass ".

[실시예 1] [Example 1]

도 1 및 도 2에 나타내는 세라믹스 판상체(10)를, 도 3 및 도 4에 나타내는 방법에 따라 제조했다. 물, 알루미나 입자 및 분산제를, 하이브리드 믹서를 이용하여 1분간 혼합하고, 이와는 달리 겔화제로서의 젤라틴을 뜨거운 물에 용해시킨 수용액을 조제하고, 양자를 혼합함으로써 제1 슬러리(41)를 얻었다. 이렇게 하여 얻어진 제1 슬러리(41)는, D50이 0.5㎛인 알루미나 입자를 포함하고, 또한 젤라틴 및 분산제를 포함하는 물 슬러리이다. 이 슬러리의 조성을 이하의 표 1에 나타낸다. 슬러리 중의 물 100체적부에 대한 알루미나 입자의 양은 43체적부였다.The ceramic plate material 10 shown in Figs. 1 and 2 was produced by the method shown in Figs. 3 and 4. Water, alumina particles and a dispersant were mixed for 1 minute using a hybrid mixer. Otherwise, an aqueous solution in which gelatin as a gelling agent was dissolved in hot water was prepared, and the both were mixed to obtain a first slurry (41). In this way the first slurry (41) thus obtained is an aqueous slurry of D, and 50 comprises a 0.5㎛ alumina particles, also contains a gelatin and a dispersing agent. The composition of this slurry is shown in Table 1 below. The amount of alumina particles relative to 100 parts by volume of water in the slurry was 43 parts by volume.

한편, 물, 알루미나 입자 및 분산제를, 하이브리드 믹서를 이용하여 1분간 혼합하고, 이와는 달리 겔화제로서의 젤라틴을 뜨거운 물에 용해시킨 수용액을 조제하고, 양자를 혼합함으로써 제2 슬러리(42)를 얻었다. 이렇게 하여 얻어진 제2 슬러리(42)는, D50이 0.5㎛인 알루미나 입자를 포함하고, 또한 젤라틴 및 분산제를 포함하는 물 슬러리이다. 이 슬러리의 조성을 이하의 표 1에 나타낸다. 슬러리 중의 물 100체적부에 대한 알루미나 입자의 양은 11체적부였다.On the other hand, water, alumina particles and a dispersant were mixed for 1 minute using a hybrid mixer, and an aqueous solution in which gelatin as a gelling agent was dissolved in hot water was prepared and mixed to obtain a second slurry (42). The second slurry 42 thus obtained is a water slurry containing alumina particles having a D 50 of 0.5 탆 and further containing gelatin and a dispersant. The composition of this slurry is shown in Table 1 below. The amount of alumina particles relative to 100 parts by volume of water in the slurry was 11 parts by volume.

주조용 주형(30)으로서, 평면시하여 정방형의 형상을 가지는 것을 사용했다. 평면시에서의 주조용 주형(30)의 치수는 130㎜×130㎜였다. 주조용 주형(30)의 오목부(S)의 중앙 영역에 직방체의 중심 부재(33)를 배치하고, 그 상태하에 제1 슬러리(41)를 공급했다. 중심 부재(33)는, 평면시하여 96.4㎜×96.4㎜의 직사각형상을 가지는 것이었다. 제1 슬러리(41)의 공급량은, 오목부(S) 내에서의 깊이가 5㎜가 되도록 했다. 주조용 주형(30)을 냉장고 내에 정치(靜置)하여 제1 슬러리(41)를 냉각하고 겔화시켜 제1 성형체(41a)를 얻었다.As the casting mold 30, a casting mold having a square shape in plan view was used. The dimension of the casting mold 30 in the plan view was 130 mm x 130 mm. A rectangular parallelepiped central member 33 was arranged in the central region of the concave portion S of the casting mold 30 and the first slurry 41 was supplied under this condition. The center member 33 had a rectangular shape of 96.4 mm x 96.4 mm in plan view. The supply amount of the first slurry 41 was such that the depth in the recess S was 5 mm. The casting mold 30 was allowed to stand in a refrigerator to cool and gel the first slurry 41 to obtain a first formed body 41a.

이어서, 중심 부재(33)를 탈형하고, 탈형에 의해 생긴 탈형 공간(43) 내에 제2 슬러리(42)를 공급했다. 제2 슬러리(42)의 공급량은, 제1 성형체(41a)의 상면과, 제2 슬러리(42)의 액면이 일치하는 바와 같은 양으로 했다. 이 상태하에, 주조용 주형(30)을, 에탄올을 사용하여 -10℃에서 동결했다. 얻어진 동결체를 주조용 주형(30)으로부터 꺼내고, 진공 동결 건조 장치(도쿄 리카키카이(주)제 FDU-1100)로 24시간에 걸쳐 건조시켰다.Subsequently, the center member 33 was demoulded, and the second slurry 42 was supplied into the demoulding space 43 formed by demoulding. The supply amount of the second slurry 42 was such that the upper surface of the first formed body 41a and the liquid surface of the second slurry 42 coincided with each other. Under this condition, the casting mold 30 was frozen at -10 DEG C using ethanol. The obtained frozen product was taken out from the casting mold 30 and dried in a vacuum freeze dryer (FDU-1100, manufactured by Tokyo Rikakikai Co., Ltd.) for 24 hours.

이렇게 하여 얻어진 건조체를 대기하에 1600℃에서 7시간에 걸쳐 소성했다. 소성품을 양면 연마하여 본체부(11)의 두께를 2㎜로 했다. 이에 따라, 목적으로 하는 세라믹스 판상체(10)를 얻었다. 이 세라믹스 판상체(10)에서의 본체부(11)의 중앙 영역의 기공률은 80%이며, 둘레가장자리 영역의 기공률은 25%였다. 본체부(11)는, 제1 영역(21)과 제2 영역(22)으로 구성되어 있었다. 평면시에서의 본체부(11)의 면적 ST에 대한 제1 영역(21)의 면적의 총계 S1의 비율은 표 2에 나타내는 바와 같았다. 도 5에 실시예 1의 세라믹스 판상체의 중앙 영역의 주사형 전자 현미경 사진을 나타내고, 도 6에 실시예 1의 세라믹스 판상체의 둘레가장자리 영역의 주사형 전자 현미경 사진을 나타낸다. 이들 주사형 전자 현미경 사진의 비교에 따라서도, 중앙 영역은 둘레가장자리 영역보다도 틈 부분이 많이 인정되어, 둘레가장자리 영역보다도 높은 기공률을 가지고 있는 것을 알 수 있다.The thus-obtained dried body was fired at 1600 占 폚 under the atmosphere for 7 hours. The fired product was polished on both sides to make the thickness of the main body 11 2 mm. Thus, a desired ceramic plate material 10 was obtained. The porosity of the central region of the body portion 11 in this ceramic plate material 10 was 80% and the porosity of the peripheral region was 25%. The main body portion 11 was constituted by the first region 21 and the second region 22. The ratio of the total S1 of the area of the first region 21 to the area S T of the main body portion 11 in the plan view was as shown in Table 2. [ Fig. 5 is a scanning electron micrograph of a central region of the ceramic plate material of Example 1, and Fig. 6 is a scanning electron micrograph of a peripheral region of the ceramic plate material of Example 1. Fig. According to the comparison of these scanning electron micrographs, it can be seen that the central region has more voids than the peripheral region and has a higher porosity than the peripheral region.

[실시예 2] [Example 2]

실시예 1에서, 중심 부재(33)로서, 평면시하여 111.7㎜×111.7㎜의 직사각형상을 가지는 것을 사용했다. 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 세라믹스 판상체(10)를 얻었다. 본체부(11)는, 제1 영역(21)과 제2 영역(22)으로 구성되어 있었다. 평면시에서의 본체부(11)의 면적 ST에 대한 제1 영역(21)의 면적의 총계 S1의 비율은 표 2에 나타내는 바와 같았다.In Example 1, the center member 33 having a rectangular shape of 111.7 mm x 111.7 mm in plan view was used. A ceramics plate material 10 was obtained in the same manner as in Example 1 except for the above. The main body portion 11 was constituted by the first region 21 and the second region 22. The ratio of the total S1 of the area of the first region 21 to the area S T of the main body portion 11 in the plan view was as shown in Table 2. [

[실시예 3] [Example 3]

실시예 1에서, 제1 및 제2 슬러리로서, 이하의 표 1에 나타내는 조성의 것을 사용했다. 또한 중심 부재(33)로서, 평면시하여 124.5㎜×124.5㎜의 직사각형상을 가지는 것을 사용했다. 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 세라믹스 판상체(10)를 얻었다. 본체부(11)는, 제1 영역(21)과 제2 영역(22)으로 구성되어 있었다. 평면시에서의 본체부(11)의 면적 ST에 대한 제1 영역(21)의 면적의 총계 S1의 비율은 표 2에 나타내는 바와 같았다. 제1 슬러리 중의 물 100체적부에 대한 알루미나 입자의 양은 25체적부였다. 제2 슬러리 중의 물 100체적부에 대한 알루미나 입자의 양은 11체적부였다. In Example 1, the first and second slurries having compositions shown in Table 1 below were used. The center member 33 having a rectangular shape of 124.5 mm x 124.5 mm in plan view was used. A ceramics plate material 10 was obtained in the same manner as in Example 1 except for the above. The main body portion 11 was constituted by the first region 21 and the second region 22. The ratio of the total S1 of the area of the first region 21 to the area S T of the main body portion 11 in the plan view was as shown in Table 2. [ The amount of alumina particles relative to 100 parts by volume of water in the first slurry was 25 parts by volume. The amount of alumina particles relative to 100 parts by volume of water in the second slurry was 11 parts by volume.

[비교예 1] [Comparative Example 1]

실시예 1에서, 제2 슬러리(42)만을 사용하면서, 중심 부재(33)를 사용하지 않았다. 이것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 세라믹스 판상체를 얻었다. 이 세라믹스 판상체에서의 본체부(11)의 기공률은 80%였다.In Example 1, only the second slurry 42 was used, and the center member 33 was not used. A ceramics plate was obtained in the same manner as in Example 1 except for this. The porosity of the body portion 11 in this ceramic plate material was 80%.

[비교예 2] [Comparative Example 2]

전융(電融) 알루미나 40부, 전융 멀라이트 30부, 로 소다(low soda) 가소(假燒) 알루미나 30부, 적정량의 유기계 바인더, 및 액체 바인더를 혼합하여 혼합물을 얻었다. 이 혼합물을 혼련하여 건조하고 프레스 성형하여 성형체를 얻었다 이 성형체를 1750℃에서 대기 소성하여 내화물 판상체를 얻었다. 이 내화물 판상체에서의 본체부(11)의 기공률은 17%였다. 본체부(11)의 두께는 5㎜였다.40 parts of molten alumina, 30 parts of molten mullite, 30 parts of low soda calcined alumina, a proper amount of organic binder, and a liquid binder were mixed to obtain a mixture. The mixture was kneaded, dried and press molded to obtain a molded article. The molded article was air-fired at 1750 ° C to obtain a refractory plate. The porosity of the body portion 11 in this refractory plate was 17%. The thickness of the main body portion 11 was 5 mm.

Figure pct00001
Figure pct00001

[평가] [evaluation]

실시예 및 비교예에서 얻어진 세라믹스 판상체를 가열했다. 가열은, 판상체의 중앙부의 온도가 500℃가 되도록 실시했다. 이 온도로 가열된 세라믹스 판상체를, 가열 화로로부터 대기 중으로 꺼내 급냉을 실시했다. 판상체의 중앙부의 온도가 약 400℃로 냉각될 때까지의 시간을 측정했다. 또한 판상체의 중앙부의 온도가 약 400℃가 되었을 때의, 상기 판상체의 둘레가장자리부에서의 최저 온도를 측정했다. 온도의 측정은, 서모그래피((주)치노제 CPA-640A)를 이용하여 실시했다. 그 결과를 이하의 표 2에 나타낸다. 또한 측정한 온도 분포를 서모그래피에 의해 채색한 외관 사진으로서, 실시예 1에 대해 촬영한 것을 도 7에 나타내고, 또한 비교예 2에 대해 촬영한 것을 도 8에 나타낸다. The ceramics plate bodies obtained in Examples and Comparative Examples were heated. Heating was carried out such that the temperature at the center of the plate was 500 ° C. The ceramic plate material heated to this temperature was taken out from the heating furnace into the atmosphere and quenched. The time until the temperature at the center of the plate was cooled to about 400 캜 was measured. And the lowest temperature at the periphery of the plate-like body when the temperature of the central portion of the plate-like body reached about 400 캜 was measured. The temperature was measured using thermography (CPA-640A made by Chino Corporation). The results are shown in Table 2 below. Fig. 7 is a photograph of the appearance of the image obtained by thermography of the measured temperature distribution, and Fig. 8 shows a photograph taken with respect to Comparative Example 2. Fig.

Figure pct00002
Figure pct00002

표 2에 나타내는 결과로부터 명백한 바와 같이, 실시예 1에서 얻어진 세라믹스 판상체(10)는, 중앙 영역과 둘레가장자리 영역에서 기공률을 다르게 한 것에 기인하여, 비교예의 세라믹스 판상체와 비교하여, 중앙 영역과 둘레가장자리 영역에서의 온도 차가 작아지는 것을 알 수 있다. 또한 단시간에 냉각되는 것도 알 수 있다. 특히, 실시예 1 및 2에서는, 둘레가장자리 영역보다도 중앙 영역 쪽이 온도가 낮아져 있으며, 중앙 영역에 피소성체를 재치하여 소성을 실시한 경우에는, 둘레가장자리 영역과 중앙 영역에서 열량이 상쇄되기 쉬워지는 것을 알 수 있다. 또한 도 7과 도 8의 대비로부터 명확한 바와 같이, 도 8의 비교예 2에서는 둘레가장자리 영역의 온도가 중앙 영역보다 낮고 온도 차가 큰 것에 반해, 도 7의 실시예 1에서는 둘레가장자리부의 온도가 중앙 영역의 온도보다도 다소 높고, 온도 차가 작은 것을 알 수 있다.As apparent from the results shown in Table 2, the ceramic plate material 10 obtained in Example 1 had a porosity different from that of the ceramics plate material of the comparative example due to the difference in porosity between the central region and the peripheral region, It can be seen that the temperature difference in the peripheral region is reduced. It can also be seen that it is cooled in a short time. Particularly, in Examples 1 and 2, the temperature is lower in the central region than in the peripheral region, and when the object to be treated is placed in the central region and fired, the amount of heat is likely to be canceled in the peripheral region and the central region Able to know. 7, the temperature of the periphery region is lower than that of the central region and the temperature difference is larger in Comparative Example 2 of FIG. 8, whereas in Embodiment 1 of FIG. 7, And the temperature difference is small.

본 발명에 의하면, 판상체가 세라믹스로 구성되어 있으므로, 상기 판상체를 가혹한 환경하에서 사용할 수 있고, 상기 판상체의 일부의 기공률을, 다른 부분과 비교하여 높게 또는 낮게 하는 것에 기인하는 이점을, 가혹한 환경하에서 살릴 수 있다. 특히 본 발명에 의하면, 가열 시 및 냉각 시에, 특히 급열 시 및 급냉 시에, 중심 영역과 둘레가장자리 영역에서 온도 차가 생기기 어려운 세라믹스 판상체가 제공된다.According to the present invention, since the plate member is made of ceramics, it is possible to use the plate member in a harsh environment, and the advantage attributable to the fact that the porosity of a part of the plate member is made higher or lower than the other parts, Can be saved under the environment. Particularly, according to the present invention, there is provided a ceramic plate-shaped body which is hard to generate a temperature difference between the central region and the peripheral region during heating and cooling, particularly during a sudden heating and quenching.

Claims (8)

세라믹스로 구성되는 판상의 다공체의 부위를 가지고,
평면시했을 때에 제1 기공률을 가지는 제1 영역과, 제1 기공률보다도 낮은 기공률인 제2 기공률을 가지는 제2 영역을 가지며,
제1 영역과 제2 영역은 동일한 세라믹스 소재인 것을 특징으로 하는 세라믹스 판상체.And a portion of a plate-shaped porous article composed of ceramics,
A first region having a first porosity when planar and a second region having a second porosity lower than a first porosity,
Wherein the first region and the second region are made of the same ceramics material. 제1항에 있어서,
제1 영역과 제2 영역이 일체(一體)로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 세라믹스 판상체.The method according to claim 1,
Wherein the first region and the second region are integrally formed. 제1항 또는 제2항에 있어서,
평면시에서 중앙 영역과, 상기 중앙 영역을 둘러싸면서 상기 판상체의 둘레가장자리단을 포함하는 영역인 둘레가장자리 영역을 가지며,
상기 중앙 영역이 하나 또는 복수의 제1 영역으로 이루어지고, 상기 둘레가장자리 영역이 제2 영역으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 세라믹스 판상체.3. The method according to claim 1 or 2,
A central region in a plan view and a peripheral region surrounding the central region and including a peripheral edge of the plate,
Wherein the central region comprises one or a plurality of first regions, and the peripheral region comprises a second region. 제2항에 있어서,
상기 중앙 영역이 하나의 제1 영역으로 이루어지고,
제1 영역이 제2 영역으로 이루어지는 상기 둘레가장자리 영역에 의해 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 세라믹스 판상체.3. The method of claim 2,
Wherein the central region comprises a first region,
Wherein the first region is surrounded by the peripheral region comprising the second region. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
제1 영역의 기공률이 50% 이상 99% 이하이며,
제2 영역의 기공률이, 제1 영역의 기공률보다도 낮은 것을 조건으로 하여 0% 이상 70% 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹스 판상체.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The porosity of the first region is 50% or more and 99% or less,
And the porosity of the second region is lower than the porosity of the first region. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
평면시에서의 제1 영역의 면적의 총계의 비율이, 상기 판상체의 면적에 대하여 20% 이상 95% 이하이며,
평면시에서의 제2 영역의 면적의 비율이, 상기 판상체의 면적에 대하여 5% 이상 80% 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹스 판상체.6. The method according to any one of claims 1 to 5,
The ratio of the total area of the first region in a plan view to the area of the plate is at least 20% and at most 95%
Wherein the ratio of the area of the second region in a plan view to the area of the plate is 5% or more and 80% or less. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
세라믹스 제품의 소성용 세터로서 사용되는 것을 특징으로 하는 세라믹스 판상체.7. The method according to any one of claims 1 to 6,
A ceramic plate material characterized by being used as a firing setter of a ceramic product. 제1항에 기재된 세라믹스 판상체의 제조 방법으로서,
목적으로 하는 세라믹스 판상체와 상보(相補) 형상의 오목부를 가지는 주조용 주형에서의 상기 오목부 내에 인서트(insert) 부재를 배치하고,
상기 오목부 내에, 세라믹스 원료분 및 겔(gel)화제를 포함하는 제1 슬러리를 공급하여 겔화시켜 제1 성형체를 형성하며,
상기 인서트 부재를 상기 오목부 내로부터 탈형(脫型)하고, 이어서 상기 인서트 부재의 탈형에 의해 생긴 탈형 공간에 상기 세라믹스 원료분 및 겔화제를 포함하는 제2 슬러리를 공급하고,
제1 성형체, 및 상기 제1 성형체의 탈형 공간에 공급된 제2 슬러리의 동결을 실시하여 동결체를 얻으며,
동결체를 건조시켜 건조체를 얻고,
이어서 건조체를 소성에 회부하는 공정을 가지며,
제1 및 제2 슬러리로서, 그들에 포함되는 상기 세라믹스 원료분의 농도가 서로 상이한 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹스 판상체의 제조 방법.A method for manufacturing a ceramic plate material according to claim 1,
An insert member is disposed in the concave portion of a mold for casting having a concave portion having a complementary shape with a desired ceramic plate material,
A first slurry containing a ceramic raw material powder and a gelating agent is supplied into the concave portion and gelled to form a first formed body,
A second slurry containing the ceramic raw material powder and a gelling agent is supplied to a demoulding space formed by demoulding the insert member,
And a second slurry supplied to the demoulding space of the first formed body is frozen to obtain a frozen body,
The frozen product is dried to obtain a dried product,
Subsequently, the step of bringing the dried body to a firing step,
Wherein the first and second slurries have different concentrations of the ceramic raw material powder contained in the first and second slurries.
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