JP6666990B2

JP6666990B2 - Ceramic lattice

Info

Publication number: JP6666990B2
Application number: JP2018243801A
Authority: JP
Inventors: 峻有馬; 光司本田
Original assignee: Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Current assignee: Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority date: 2018-12-26
Filing date: 2018-12-26
Publication date: 2020-03-18
Anticipated expiration: 2037-05-17
Also published as: JP2019081695A

Description

本発明はセラミックス製の格子体に関する。 The present invention relates to a ceramic lattice body.

セラミックス製の電子部品やガラスを焼成するときには、被焼成物を棚板や敷板などとも呼ばれるセッター上に載置して焼成を行うことが一般的である。被焼成物の脱脂・焼成時間を短くして、単位時間当たりの製造個数を増加させるためには、焼成工程を急熱及び急冷することが必要であるところ、従来のセラミックス製セッターはこれを急熱及び／又は急冷すると、割れ等の欠陥が生じやすくなる。また、繰り返しの使用によっても割れ等の欠陥が生じやすくなる。また、金属製セッターを用いた場合には、酸化雰囲気では使用できないという問題や、１２００℃以上の高温領域では、繰り返し使用すると、大きく変形するという問題が指摘されている。 When firing ceramic electronic components or glass, it is common to place the object to be fired on a setter, which is also called a shelf board or a floor board, and fire it. In order to shorten the degreasing / firing time of the material to be fired and increase the number of products manufactured per unit time, it is necessary to rapidly heat and cool the firing process. When heated and / or quenched, defects such as cracks are likely to occur. Defects such as cracks are liable to occur even by repeated use. In addition, it has been pointed out that when a metal setter is used, it cannot be used in an oxidizing atmosphere, and in a high-temperature region of 1200 ° C. or higher, it is greatly deformed when used repeatedly.

セラミックス製セッターに関する従来の技術としては、例えば窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスより作られ、且つ表裏を貫通する多数の穴を持つ多孔板からなる加熱成型加工用セッターが知られている（特許文献１参照）。同文献によれば、セラミックスとして窒化アルミニウムを用いることで、その使用可能な最高温度がアルミナやマグネシアに代表される酸化物セラミックスに比べて高く、且つ熱伝導率も大きいので、急熱や急冷の熱ショックに対して抵抗力が大きくなるとされている。 As a conventional technique related to a ceramic setter, there is known a heat-molding setter which is made of, for example, a ceramic containing aluminum nitride as a main component and has a perforated plate having a large number of holes penetrating the front and back sides (Patent Documents). 1). According to the same document, by using aluminum nitride as the ceramic, the highest usable temperature is higher than that of oxide ceramics represented by alumina and magnesia, and the thermal conductivity is higher. It is said that resistance to heat shock increases.

特許文献２には、被焼成物を載置する表面側、及び裏面側に少なくとも凹凸形状が付与されているとともに、開口部が形成されているセラミック焼成用窯道具板が記載されている。同文献には、この窯道具板によれば、熱容量の低減化とコスト削減化を図ることができ、焼成物との接触面積が減少することで、ガスの抜けが良化し、更に雰囲気の均一化によって被焼成物が均一に製造できると記載されている。 Patent Literature 2 describes a ceramic firing kiln tool plate in which at least an uneven shape is provided on a front surface side and a rear surface side on which an object to be fired is placed and an opening is formed. According to the same document, according to this kiln tool plate, it is possible to reduce the heat capacity and the cost, and the contact area with the fired material is reduced, so that the gas escape is improved, and the atmosphere is more uniform. It is described that an object to be fired can be uniformly produced by the conversion.

特開平６−２０７７８５号公報JP-A-6-207785 再表２００９／１１０４００号公報Publication No. 2009/110400

しかし、前記の各特許文献に記載の技術を用いても、被焼成物の急速な加熱及び冷却を行うときに、セッターに割れ等が発生することを、満足できるレベルにまで防止することは容易でない。 However, even when using the technology described in each of the above-mentioned patent documents, it is easy to prevent the setter from cracking or the like to a satisfactory level when the object to be fired is rapidly heated and cooled. Not.

したがって本発明の課題は、前述した従来技術が有する種々の欠点を解消し得るセラミックス格子体を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide a ceramic lattice body which can solve the above-mentioned various disadvantages of the related art.

本発明は、一方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第１の線条部と、該第１の線条部と交差する方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第２の線条部とを有するセラミックス格子体であって、
第１の線条部と第２の線条部との交差部は、いずれの該交差部においても、第１の線条部上に第２の線条部が配されており、
前記交差部において、第１の線条部は、その断面が、直線部と、該直線部の両端部を端部とする凸形の曲線部とから構成される形状を有しており、
前記交差部において、第２の線条部は、その断面が、円形又は楕円形の形状を有しており、
前記交差部の縦断面視において、第１の線条部と第２の線条部とは、第１の線条部における前記凸形の曲線部の頂部と、第２の線条部における前記円形又は楕円形における下向きに凸の頂部のみが接触している、セラミックス格子体を提供するものである。 The present invention relates to a plurality of ceramic first linear portions extending in one direction, and a plurality of ceramic second linear portions extending in a direction intersecting the first linear portions. A ceramic lattice body having
In the intersection of the first striated portion and the second striated portion, the second striated portion is disposed on the first striated portion at any of the intersections.
In the crossing portion, the first linear portion has a cross section having a shape composed of a linear portion and a convex curved portion having both ends of the linear portion as ends.
In the intersection, the second linear portion has a cross section having a circular or elliptical shape,
In a vertical cross-sectional view of the intersection, the first striated portion and the second striated portion are the top of the convex curved portion in the first striated portion, and the top in the second striated portion. An object of the present invention is to provide a ceramic lattice body in which only a downwardly convex top in a circular or elliptical shape is in contact.

本発明のセラミックス格子体は、高強度で且つ耐スポーリング性に優れたものである。 The ceramic lattice of the present invention has high strength and excellent spalling resistance.

図１（ａ）は、本発明のセラミックス格子体の一実施形態を示す斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すセラミックス格子体を反対側から見た斜視図である。FIG. 1A is a perspective view showing an embodiment of the ceramic lattice body of the present invention, and FIG. 1B is a perspective view of the ceramic lattice body shown in FIG. is there. 図２は、図１におけるII−II線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG. 図３は、図１におけるIII−III線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. 図４は、図１におけるIV−IV線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 図５は、図１におけるV−V線断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 図６は、図１に示すセラミックス格子体における第２の線条部側から見た交差部付近の投影図である。FIG. 6 is a projection view of the vicinity of the intersection of the ceramic lattice body shown in FIG. 1 as viewed from the second striated portion side. 図７は、図１に示すセラミックス格子体における第１の線条部側から見た交差部付近の投影図である。FIG. 7 is a projection view of the vicinity of the intersection of the ceramic lattice body shown in FIG. 1 as viewed from the first linear portion side. 図８は、図１に示すセラミックス格子体における貫通孔の形状を示す模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing the shape of a through hole in the ceramic lattice body shown in FIG. 図９（ａ）及び図９（ｂ）はそれぞれ、本発明のセラミックス格子体の別の実施形態を示す模式図である。FIGS. 9A and 9B are schematic views showing another embodiment of the ceramic lattice body of the present invention. 図１０は、本発明のセラミックス格子体の更に別の実施形態を示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram showing still another embodiment of the ceramic lattice body of the present invention.

以下本発明を、その好ましい実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。図１（ａ）及び図１（ｂ）には、本発明のセラミックス格子体の一実施形態が示されている。これらの図に示すセラミックス格子体（以下、単に「格子体」ともいう。）１は、一方向Ｘに向けて延びるセラミックス製の複数の第１の線条部１０を有する。それぞれの第１の線条部１０は、直線をしており互いに平行に延びている。またセラミックス格子体１は、Ｘ方向と異なる方向であるＹ方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第２の線条部２０を有する。それぞれの第２の線条部２０は、直線をしており互いに平行に延びている。Ｘ方向とＹ方向とは異なる方向なので、第１の線条部１０と第２の線条部２０とは交差している。両線条部１０，２０の交差角度は、セラミックス格子体１の具体的な用途に応じて設定することができる。例えば第１の線条部１０に対して、第２の線条部２０の交差角度を９０度とすることができる。あるいは、第１の線条部１０に対する第２の線条部２０の交差角度を９０度±１０度の範囲で変更させることもできる。複数の第１の線条部１０と、複数の第２の線条部２０とが交差していることによって格子体１が形成される。 Hereinafter, the present invention will be described based on preferred embodiments with reference to the drawings. FIGS. 1A and 1B show an embodiment of the ceramic lattice body of the present invention. A ceramic lattice body (hereinafter, also simply referred to as a “lattice body”) 1 shown in these drawings has a plurality of ceramic first linear portions 10 extending in one direction X. Each first linear portion 10 is straight and extends parallel to each other. The ceramic lattice 1 has a plurality of ceramic second linear portions 20 extending in the Y direction, which is a direction different from the X direction. Each of the second linear portions 20 is straight and extends parallel to each other. Since the X direction and the Y direction are different directions, the first striated portions 10 and the second striated portions 20 intersect. The intersection angle between the two linear portions 10 and 20 can be set according to the specific use of the ceramic lattice body 1. For example, the intersection angle of the second linear portion 20 with the first linear portion 10 can be set to 90 degrees. Alternatively, the crossing angle of the second striated portion 20 with respect to the first striated portion 10 can be changed within a range of 90 degrees ± 10 degrees. The lattice body 1 is formed by the intersection of the plurality of first striated portions 10 and the plurality of second striated portions 20.

セラミックス格子体１は、第１の線条部１０と第２の線条部２０とが交差することによって格子をなし、該格子によって画成される複数の貫通孔３を有する板状の形状をしている。セラミックス格子体１は、図２に示すとおり、第１面１ａと、これに対向する第２面１ｂとを有している。 The ceramic lattice body 1 forms a lattice by intersecting the first linear part 10 and the second linear part 20, and has a plate-like shape having a plurality of through holes 3 defined by the lattice. are doing. As shown in FIG. 2, the ceramic lattice 1 has a first surface 1a and a second surface 1b opposed thereto.

セラミックス格子体１は、それぞれの第１の線条部１０と、それぞれの第２の線条部２０とが交差する部位に交差部２を有する。交差部２は、セラミックス格子体１の平面視での投影像において、第１の線条部１０と第２の線条部２０とが重なり合う部位である。 The ceramic lattice body 1 has an intersection 2 at a portion where each of the first linear portions 10 and each of the second linear portions 20 intersect. The intersection 2 is a portion where the first striated portion 10 and the second striated portion 20 overlap in a projected image of the ceramic lattice body 1 in a plan view.

第１の線条部１０は、両線条部１０，２０の交差部２以外の位置において、平面視して一定の幅Ｗ１（図２参照）を有している。第１の線条部１０は、その長手方向に直交する方向での厚み方向に沿った断面形状が、図２及び図３に示すとおり、セラミックス格子体１の第１面１ａ側に位置する第１面１０ａと、セラミックス格子体１の第２面１ｂ側に位置する第２面１０ｂとで画成される。詳細には、第１の線条部１０は、その長手方向に直交する方向での厚み方向に沿った断面が、交差部２以外の部位において、直線部１０Ａと、該直線部１０Ａの両端部を端部とする凸形の曲線部１０Ｂとから構成される形状を有している。その結果、第１の線条部１０の第１面１０ａは、該線条部１０の厚み方向での断面が平坦面になっている。該平坦面は、セラミックス格子体１の面内方向と略平行になっている。一方、第１の線条部１０の第２面１０ｂは、該線条部１０の厚み方向での断面が、セラミックス格子体１の第１面１ａから第２面１ｂに向けた凸の曲面形状をしている。 The first striated portion 10 has a constant width W1 (see FIG. 2) in a plan view at a position other than the intersection 2 between the two striated portions 10, 20. As shown in FIGS. 2 and 3, the first linear portion 10 has a cross-sectional shape along the thickness direction in a direction perpendicular to the longitudinal direction, the first linear portion 10 being located on the first surface 1 a side of the ceramic lattice body 1. One surface 10a and a second surface 10b located on the second surface 1b side of the ceramic lattice 1 are defined. Specifically, the cross section along the thickness direction in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the first linear portion 10 has a straight portion 10A and both end portions of the linear portion 10A at portions other than the intersection portion 2. And a convex curved portion 10 </ b> B having an end as an end. As a result, the first surface 10a of the first striated portion 10 has a flat cross section in the thickness direction of the striated portion 10. The flat surface is substantially parallel to the in-plane direction of the ceramic lattice 1. On the other hand, the second surface 10b of the first striated portion 10 has a cross section in the thickness direction of the striated portion 10 having a convex curved surface shape from the first surface 1a of the ceramic lattice 1 toward the second surface 1b. You are.

第１の線条部１０と同様に、第２の線条部２０も、両線条部１０，２０の交差部２以外の位置において、平面視して一定の幅Ｗ２（図５参照）を有している。幅Ｗ２は、第１の線条部１０の幅Ｗ１と同じであってもよく、あるいは異なっていてもよい。第２の線条部２０は、その長手方向に直交する方向での厚み方向に沿った断面形状が、図４及び図５に示すとおり、セラミックス格子体１の第１面１ａ側に位置する第１面２０ａと、セラミックス格子体１の第２面１ｂ側に位置する第２面２０ｂとで画成される。第２の線条部２０の第１面２０ａは、セラミックス格子体１の第２面１ｂから第１面１ａに向けた凸の曲面形状になっている。一方、第２の線条部２０の第２面２０ｂは、該線条部２０の厚み方向での断面が、セラミックス格子体１の第１面１ａから第２面１ｂに向けた凸の曲面形状をしている。この曲面形状は、第１の線条部１０における曲面形状と同じであってもよく、あるいは異なっていてもよい。本実施形態においては、第２の線条部２０の第１面２０ａと第２面２０ｂとは対称形になっており、その結果、第２の線条部２０は、その長手方向に直交する方向での厚み方向に沿った断面形状が、円形又は楕円形になっている。 Like the first striated portion 10, the second striated portion 20 also has a constant width W2 (see FIG. 5) in a plan view at a position other than the intersection 2 between the two striated portions 10, 20. Have. The width W2 may be the same as the width W1 of the first linear portion 10, or may be different. As shown in FIGS. 4 and 5, the second linear portion 20 has a cross-sectional shape along the thickness direction in a direction orthogonal to the longitudinal direction, the second linear portion 20 being located on the first surface 1 a side of the ceramic lattice body 1. One surface 20a and a second surface 20b located on the second surface 1b side of the ceramic lattice body 1 are defined. The first surface 20a of the second striated portion 20 has a convex curved shape from the second surface 1b of the ceramic lattice body 1 toward the first surface 1a. On the other hand, the second surface 20b of the second striated portion 20 has a cross section in the thickness direction of the striated portion 20 having a convex curved surface shape from the first surface 1a of the ceramic lattice 1 toward the second surface 1b. You are. This curved surface shape may be the same as or different from the curved surface shape of the first linear portion 10. In the present embodiment, the first surface 20a and the second surface 20b of the second linear portion 20 are symmetrical, and as a result, the second linear portion 20 is orthogonal to the longitudinal direction. The cross-sectional shape along the thickness direction is circular or elliptical.

図３及び図４に示すとおり、第１の線条部１０における直線部１０Ａ、すなわち第１面１０ａを載置面として平面Ｐ上に載置したとき、各第１面１０ａはすべて平面Ｐ上に位置する。第１面１０ａは、セラミックス格子体１における第１面１ａをなすものであるから、各第１面１０ａがすべて平面Ｐ上に位置することは、該格子体１における第１面１ａが平坦面になっていることを意味する。したがってセラミックス格子体１を、その第１面１ａが、平坦な載置面と当接するように載置した場合には、該第１面１ａの全域が載置面と接することとなる。 As shown in FIGS. 3 and 4, when the linear portion 10A of the first linear portion 10, that is, the first surface 10 a is placed on the plane P with the first surface 10 a as a placement surface, all the first surfaces 10 a are on the plane P. Located in. Since the first surface 10a forms the first surface 1a of the ceramic lattice body 1, the fact that all the first surfaces 10a are located on the plane P means that the first surface 1a of the lattice body 1 is a flat surface. Means that Therefore, when the ceramic lattice body 1 is mounted such that the first surface 1a thereof comes into contact with the flat mounting surface, the entire area of the first surface 1a comes into contact with the mounting surface.

図３に示すとおり、第１の線条部１０における直線部１０Ａ、すなわち第１面１０ａを載置面として平面Ｐ上に載置したとき、第２の線条部２０は、隣り合う２つの交差部２の間において平面Ｐから離間する形状をしている。したがって、隣り合う２つの交差部２の間において、第２の線条部２０と平面Ｐとの間には空間Ｓが形成される。 As shown in FIG. 3, when the linear portion 10 </ b> A of the first linear portion 10, that is, the first surface 10 a is placed on the plane P with the mounting surface as the mounting surface, the second linear portion 20 becomes two adjacent linear portions. It is shaped to be separated from the plane P between the intersections 2. Therefore, a space S is formed between the second linear portion 20 and the plane P between two adjacent intersections 2.

一方、セラミックス格子体１における第２面１ｂは、図４に示すとおり、凸の曲面形状になっている第２の線条部２０の第２面２０ｂから構成されているので、平坦面ではなく、凹凸面となっている。 On the other hand, as shown in FIG. 4, the second surface 1b of the ceramic lattice body 1 is composed of the second surface 20b of the second linear portion 20 having a convex curved surface shape, and thus is not a flat surface. , Uneven surface.

セラミックス格子体１における第１の線条部１０と第２の線条部２０との交差部２において、両線条部１０，２０は一体化している。「一体化している」とは、交差部２の断面を観察において、両線条部１０，２０間が、セラミックスとして連続した構造体となっていることをいう。両線条部１０，２０の交差によってセラミックス格子体１に形成されている各貫通孔３は同寸法であり、且つ同形をしている。各貫通孔３は略矩形をしている。貫通孔３は規則的に配置されている。 At the intersection 2 between the first striated portion 10 and the second striated portion 20 in the ceramic lattice 1, the two striated portions 10, 20 are integrated. “Integrated” means that, when observing the cross section of the intersection 2, the structure between the two linear portions 10 and 20 is a continuous structure as ceramic. Each through-hole 3 formed in the ceramic lattice body 1 by the intersection of the two linear portions 10 and 20 has the same size and the same shape. Each through hole 3 has a substantially rectangular shape. The through holes 3 are regularly arranged.

図１、図３及び図４に示すとおり、第１の線条部１０と第２の線条部２０との交差部２は、いずれの交差部２においても、第１の線条部１０上に第２の線条部２０が配されている。つまり、第１の線条部１０と第２の線条部２０との交差部２においては、格子体１の２つの面１ａ，１ｂのうち、相対的に第１面１ａ側に位置する第１の線条部１０上に、相対的に第２面１ｂ側に位置する第２の線条部２０が配されている。そして、交差部２における厚みが、該交差部以外の部位における第１の線条部の厚み及び第２の線条部の厚みのいずれよりも大きくなっている。つまり、両線条部１０，２０の交差部２以外の位置における第１の線条部１０の厚みをＴ１とし（図２参照）、両線条部１０，２０の交差部２以外の位置における第２の線条部２０の厚みをＴ２とし（図５参照）、更に交差部における厚みをＴｃとしたとき（図３及び図４参照）、Ｔｃ＞Ｔ１であり、Ｔｃ＞Ｔ２である。したがって、セラミックス格子体１の第２面１ｂにおいては、両線条部１０，２０の交差部の位置が最も高くなっている。なお交差部２の厚みＴｃは、セラミックス格子体１の厚みでもある。 As shown in FIG. 1, FIG. 3, and FIG. 4, the intersection 2 between the first linear portion 10 and the second linear portion 20 is on the first linear portion 10 at any intersection 2. The second striated portion 20 is disposed at the second position. That is, at the intersection 2 between the first striated portion 10 and the second striated portion 20, of the two surfaces 1 a and 1 b of the lattice body 1, the second surface 1 a, 1 b is relatively located on the first surface 1 a side. On the one striated portion 10, a second striated portion 20 relatively located on the second surface 1b side is arranged. The thickness at the intersection 2 is larger than both the thickness of the first striated portion and the thickness of the second striated portion at a portion other than the intersection. In other words, the thickness of the first striated portion 10 at a position other than the intersection 2 between the two striated portions 10 and 20 is T1 (see FIG. 2), and When the thickness of the second linear portion 20 is T2 (see FIG. 5) and the thickness at the intersection is Tc (see FIGS. 3 and 4), Tc> T1 and Tc> T2. Therefore, on the second surface 1 b of the ceramic lattice body 1, the position of the intersection of the two linear portions 10 and 20 is the highest. The thickness Tc of the intersection 2 is also the thickness of the ceramic lattice 1.

図４に示すとおり、第１の線条部１０は、交差部２以外の部位において、該第１の線条部１０における第２面１０ｂの最高位置、すなわち頂部の位置が、第１の線条部１０の延びる方向に沿って同じになっている。第２の線条部２０に関しては、図３に示すとおり、第２の線条部２０における第２面２０ｂの最高位置は、交差部２の位置及び交差部２以外の位置のいずれにおいても、第１の線条部１０の延びる方向に沿って互いに同じ位置になっている。第２の線条部２０における第１面２０ａの最低位置は、交差部２以外の部位において、第２の線条部２０の延びる方向に沿って互いに同じ位置になっている。 As shown in FIG. 4, the highest position of the second surface 10 b in the first linear portion 10, that is, the position of the top is the first linear portion at a portion other than the intersection 2. They are the same along the direction in which the ridges 10 extend. As for the second striated portion 20, as shown in FIG. 3, the highest position of the second surface 20b in the second striated portion 20 is determined at any of the position of the intersection 2 and the position other than the intersection 2. The first linear portions 10 are located at the same position along the extending direction. The lowest position of the first surface 20a in the second striated portion 20 is at the same position along the direction in which the second striated portion 20 extends in a portion other than the intersection 2.

図３及び図４に示すとおり、セラミックス格子体１の交差部２を縦断面視したときに、第１の線条部１０と第２の線条部２０とは、第１の線条部１０における凸形の曲線部１０Ｂの頂部と、第２の線条部２０における円形又は楕円形における下向きに凸の曲線の頂部、すなわち第１面２０ａの頂部のみが接触している。換言すれば、第１の線条部１０と第２の線条部２０とは点接触又は点接触に近い面接触をした状態になっている。第１の線条部１０と第２の線条部２０とが、このような接触状態になっていることで、セラミックス格子体１はその耐スポーリング性が高まることが本発明者の検討の結果判明した。この理由は、第１の線条部１０と第２の線条部２０とが点接触又はそれに近い面接触をして結合していることで、両線条部１０，２０が過度に強固に結合しにくくなり、そのことに起因して急速な加熱及び／又は冷却時に生じる体積変化を緩和できるからであると考えられる。この観点から、交差部２は、その厚みＴｃが、交差部２以外の位置における第１の線条部１０の厚みＴ１と、交差部２以外の位置における第２の線条部２０の厚みＴ２との和である（Ｔ１＋Ｔ２）に対して、好ましくは０．５以上１．０以下、更に好ましくは０．８以上１．０以下、一層好ましくは０．９以上１．０以下となるような程度の点接触状態となっている。 As shown in FIGS. 3 and 4, when a cross section 2 of the ceramic lattice body 1 is viewed in a longitudinal section, the first striated portion 10 and the second striated portion 20 are connected to the first striated portion 10. And only the top of the downwardly convex curve in the circular or elliptical shape of the second striated portion 20, that is, the top of the first surface 20a, is in contact with the top of the convex curved portion 10B. In other words, the first striated portion 10 and the second striated portion 20 are in a state of point contact or surface contact close to point contact. The present inventors have studied that the ceramic grid body 1 has improved spalling resistance when the first linear section 10 and the second linear section 20 are in such a contact state. The result turned out. The reason for this is that the first striated portions 10 and the second striated portions 20 are connected by point contact or surface contact close thereto, so that the two striated portions 10 and 20 are excessively strong. This is considered to be because bonding becomes difficult, and as a result, a volume change that occurs during rapid heating and / or cooling can be reduced. From this viewpoint, the thickness Tc of the intersection 2 is different from the thickness T1 of the first filament 10 at a position other than the intersection 2 and the thickness T2 of the second filament 20 at a position other than the intersection 2. With respect to (T1 + T2) which is the sum of It is in a point contact state of a degree.

本実施形態のセラミックス格子体１は、１層の第１の線条部１０と、１層の第２の線条部２０とから構成されたものであるところ、セラミックス格子体１が、ｎ層の第１の線条部１０と、ｍ層の第２の線条部２０とから構成される場合（ｎ及びｍはそれぞれ独立に１以上の整数である。ただしｎ及びｍは同時に１ではない。）には、交差部２は、セラミックス格子体１の厚みＴが、（ｎＴ１＋ｍＴ２）に対して、好ましくは０．５以上１．０以下、更に好ましくは０．８以上１．０以下、一層好ましくは０．９以上１．０以下となるような程度の点接触状態となっている。 The ceramic lattice 1 of the present embodiment is composed of one layer of the first linear part 10 and one layer of the second linear part 20. (Where n and m are each independently an integer of 1 or more. However, n and m are not 1 at the same time). ), The intersection 2 has a thickness T of the ceramic lattice body 1 of (nT1 + mT2), preferably 0.5 or more and 1.0 or less, more preferably 0.8 or more and 1.0 or less. Preferably, the point contact state is about 0.9 or more and 1.0 or less.

第１の線条部１０と第２の線条部２０とを、点接触又は点接触に近い面接触をした状態にするためには、例えば後述する方法でセラミックス格子体１を製造すればよい。 In order to bring the first striated portion 10 and the second striated portion 20 into a state of point contact or surface contact close to point contact, for example, the ceramic lattice body 1 may be manufactured by a method described later. .

図１（ａ）及び図６に示すとおり、第２の線条部２０は、交差部２における平面視での投影像の幅Ｗ２ａが、交差部２以外の部位における平面視での投影像の幅Ｗ２ｂと概ね同じになっているか、又はＷ２ｂよりも若干大きくなっている。詳細には、第２の線条部２０は、（ｉ）平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭が、交差部２において、略直線２１，２１になっているか、又は（ii）幅方向Ｘの外方に向けて非常に緩やかな凸の曲線（図示せず）を描いている。（ii）の場合、第２の線条部２０の平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭は、幅Ｗ２ａを有する最大幅部を有し、その最大幅部から離れるに連れて幅が漸次緩やかに減少していき、交差部２どうしの間の位置では幅Ｗ２ｂになる。幅Ｗ２ｂは、先に述べた幅Ｗ２と同じである。Ｗ２ａは、Ｗ２ｂの１倍以上１．５倍以下であることが好ましく、１倍以上１．３倍以下であることが更に好ましく、１倍以上１．１倍以下であることが一層好ましい。 As shown in FIGS. 1A and 6, the second striated portion 20 is such that the width W2a of the projected image in the plan view at the intersection 2 is equal to the width of the projected image in a plan view at a portion other than the intersection 2. The width is substantially the same as W2b, or slightly larger than W2b. More specifically, the second linear portion 20 has (i) a contour along the longitudinal direction of the projected image in a plan view that is substantially straight lines 21 and 21 at the intersection 2 or (ii) a width. A very gentle convex curve (not shown) is drawn outward in the direction X. In the case of (ii), the contour of the second linear portion 20 along the longitudinal direction of the projected image in plan view has a maximum width portion having a width W2a, and the width increases as the distance from the maximum width portion increases. The width gradually decreases gradually, and becomes a width W2b at a position between the intersections 2. The width W2b is the same as the width W2 described above. W2a is preferably at least 1 and at most 1.5 times W2b, more preferably at least 1 and at most 1.3 times, even more preferably at least 1 and at most 1.1 times.

一方、第１の線条部１０は、図１（ｂ）及び図７に示すとおり、交差部２における平面視での投影像の幅Ｗ１ａが、交差部２以外の部位における平面視での投影像の幅Ｗ１ｂと概ね同じになっているか、又はＷ１ｂよりも若干大きくなっている。詳細には、第１の線条部１０は、（ｉ）平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭が、交差部２において、略直線１１，１１になっているか、又は（ii）幅方向Ｙの外方に向けて非常に緩やかな凸の曲線（図示せず）を描いている。（ii）の場合、第１の線条部１０の平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭は、幅Ｗ１ａを有する最大幅部を有し、その最大幅部から離れるに連れて幅が漸次緩やかに減少していき、交差部２どうしの間の位置では幅Ｗ１ｂになる。幅Ｗ１ｂは、先に述べた幅Ｗ１と同じである。Ｗ１ａは、Ｗ１ｂの１倍以上１．５倍以下であることが好ましく、１倍以上１．３倍以下であることが更に好ましく、１倍以上１．１倍以下であることが一層好ましい。 On the other hand, as shown in FIG. 1B and FIG. 7, the width W1a of the projected image in the plan view at the intersection 2 is different from that of the first linear part 10 in the area other than the intersection 2 in plan view. It is approximately the same as the width W1b of the image, or slightly larger than W1b. More specifically, the first linear portion 10 has (i) a contour along the longitudinal direction of the projected image in plan view that is substantially straight at the intersection 2, or (ii) a width. A very gentle convex curve (not shown) is drawn outward in the direction Y. In the case of (ii), the contour of the first linear portion 10 along the longitudinal direction of the projected image in plan view has a maximum width portion having a width W1a, and the width increases as the distance from the maximum width portion increases. The width gradually decreases gradually, and becomes a width W1b at a position between the intersections 2. The width W1b is the same as the width W1 described above. W1a is preferably at least 1 and at most 1.5 times W1b, more preferably at least 1 and at most 1.3 times, even more preferably at least 1 and at most 1.1 times.

図８には、セラミックス格子体１の平面図が示されている。同図に示すとおり、格子体１には、複数の第１の線条部１０と複数の第２の線条部２０とが略直交することで、該格子体の平面視において略矩形状の複数の貫通孔３が形成されている。略矩形状をなす貫通孔３は、対向する一組の辺である第１辺３ａ，３ａを有している。これとともに貫通孔３は、対向する別の一組の辺である第２辺３ｂ，３ｂを有している。第１辺３ａ，３ａは、第１の線条部１０の両側縁に対応する辺である。一方、第２辺３ｂ，３ｂは、第２の線条部２０の両側縁に対応する辺である。貫通孔３は、これらの四辺によって画定されている。対向する第１辺３ａ，３ａどうしは直線になっており互いに平行に延びている。同様に、対向する第２辺３ｂ，３ｂどうしも直線になっており互いに平行に延びている。そして、第１の線条部１０及び第２の線条部２０が、それらの交差部２において上述した略直線形状を有することによって、第１の線条部１０と第２の線条部２０とが略直交することによって形成される貫通孔３は、図８に示す模式図のように、隅部３０が略直角である矩形となる。 FIG. 8 shows a plan view of the ceramic lattice 1. As shown in FIG. 1, a plurality of first striated portions 10 and a plurality of second striated portions 20 are substantially orthogonal to each other in the lattice body 1, so that the lattice body 1 has a substantially rectangular shape in plan view. A plurality of through holes 3 are formed. The through hole 3 having a substantially rectangular shape has a first side 3a, which is a pair of sides facing each other. At the same time, the through-hole 3 has a second side 3b, which is another pair of sides facing each other. The first sides 3a, 3a are sides corresponding to both side edges of the first linear portion 10. On the other hand, the second sides 3b, 3b are sides corresponding to both side edges of the second linear portion 20. The through hole 3 is defined by these four sides. The opposing first sides 3a, 3a are straight and extend in parallel with each other. Similarly, the opposing second sides 3b, 3b are also straight and extend in parallel with each other. The first linear portion 10 and the second linear portion 20 have the above-mentioned substantially linear shape at the intersection 2 of the first linear portion 10 and the second linear portion 20. Are substantially orthogonal to each other, a through hole 3 formed by making the corners 30 substantially perpendicular to each other as shown in the schematic diagram of FIG.

以上の構成を有するセラミックス格子体１は、これを例えば被焼成体の焼成用セッターとして用いた場合、該格子体１の第１面１ａに被焼成体を載置すれば、該第１面１ａは平坦面であることから、平坦性を求められる被焼成体の載置に好適なものとなる。平坦性を求められる被焼成体としては、例えば積層セラミックコンデンサ等の小型のチップ状電子部品などが挙げられる。これらの小型電子部品は、焼成工程においてセッターに引っ掛からないことが必要とされるので、格子体１の第１面１ａが平坦であることは有利である。また、被焼成体は、第１面１ａを構成する部材である第１の線条部１０のみ接触するので、格子体１と被焼成体との接触面積が大幅に低減し、それによって被焼成体の急激な加熱及び冷却を行いやすくなる。また、格子体１は第１及び第２の線条部１０，２０の交差によって形成されており複数の貫通孔３が形成されているので、熱容量が小さく、その点からも被焼成体の急激な加熱及び冷却を行いやすい。更に格子体１は、複数の貫通孔３が存在していることに起因して通気性が良好なので、このことによっても被焼成体の急激な冷却を行いやすい。良好な通気性は、隣り合う交差部２どうしの間において第２の線条部２０が浮いていることによって一層顕著なものとなる。しかも格子体１においては、第１及び第２の線条部１０，２０が交差部２において一体化しているので、充分な強度を有するものである。 When the ceramic lattice body 1 having the above configuration is used as, for example, a setter for firing a body to be fired, if the body to be fired is placed on the first surface 1a of the lattice body 1, the first surface 1a Is a flat surface, which is suitable for placing a body to be fired which requires flatness. Examples of the object to be fired that require flatness include small chip-shaped electronic components such as multilayer ceramic capacitors. Since these small electronic components are required not to be caught by the setter in the firing step, it is advantageous that the first surface 1a of the lattice body 1 is flat. In addition, since the body to be fired contacts only the first linear portion 10 which is a member constituting the first surface 1a, the contact area between the lattice body 1 and the body to be fired is greatly reduced, and thereby the fired body is fired. Rapid heating and cooling of the body is facilitated. Further, the lattice body 1 is formed by the intersection of the first and second linear portions 10 and 20 and has a plurality of through-holes 3, so that the heat capacity is small, and from that point, the sharpness of the body to be fired is also increased. Easy heating and cooling. Furthermore, since the lattice body 1 has good air permeability due to the presence of the plurality of through holes 3, this also facilitates rapid cooling of the body to be fired. Good air permeability becomes more remarkable because the second linear portions 20 float between the adjacent intersections 2. Moreover, in the lattice body 1, the first and second striated portions 10 and 20 are integrated at the intersection 2, and thus have sufficient strength.

一方、格子体１の第２面１ｂには、ｍｍオーダーの被焼成体を載置することが有利である。第２面１ｂは、第２の線条部２０の曲面に起因する凹凸面となっているところ、このオーダーのサイズの電子部品は、それが載置される面に凹凸を有することが、脱脂性を高める観点から有利だからである。 On the other hand, it is advantageous to place an object to be fired on the order of mm on the second surface 1b of the lattice body 1. Although the second surface 1b is an uneven surface due to the curved surface of the second linear portion 20, an electronic component of this order size has unevenness on the surface on which it is placed, because it is degreased. This is because it is advantageous from the viewpoint of enhancing the performance.

このように本実施形態の格子体１は、その一方の面が平坦であり、他方の面が凹凸面になっていることから、被焼成体の種類に応じて載置面を使い分けることができるという点で有利である。 As described above, in the lattice body 1 of the present embodiment, since one surface is flat and the other surface is uneven, the mounting surface can be properly used depending on the type of the object to be fired. This is advantageous in that.

上述した各種の有利な効果を一層顕著なものとする観点から、Ｔ１の値は、５０μｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以上２ｍｍ以下であることが更に好ましい。一方、Ｔ２の値は、５０μｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以上２ｍｍ以下であることが更に好ましい。Ｔ１とＴ２の値の大小関係に特に制限はなく、Ｔ１＞Ｔ２であってもよく、逆にＴ１＜Ｔ２であってもよく、あるいはＴ１＝Ｔ２であってもよい。 From the viewpoint of making the above various advantageous effects more remarkable, the value of T1 is preferably from 50 μm to 5 mm, more preferably from 200 μm to 2 mm. On the other hand, the value of T2 is preferably 50 μm or more and 5 mm or less, and more preferably 200 μm or more and 2 mm or less. There is no particular limitation on the magnitude relationship between the values of T1 and T2, and T1> T2, T1 <T2, or T1 = T2.

同様の観点から、交差部２における厚みＴｃは、（Ｔ１＋Ｔ２）に対して、好ましくは０．５以上１．０以下であることを条件として、２０μｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以上２ｍｍ以下であることが更に好ましい。 From a similar viewpoint, the thickness Tc at the intersection 2 is preferably 20 μm or more and 5 mm or less, preferably 50 μm or more and 2 mm or less, provided that it is preferably 0.5 or more and 1.0 or less with respect to (T1 + T2). It is more preferred that:

また、第２の線条部２０の厚み方向での断面形状（図５参照）が楕円形である場合、楕円形の短軸が格子体１の厚み方向に一致し、且つ楕円形の長軸が格子体１の平面方向に一致することが、被焼成体の載置を首尾よく行える点から好ましい。この場合、長軸／短軸の比率は、１以上５以下であることが好ましく、１以上３以下であることが更に好ましい。また、第２の線条部２０の厚み方向での断面形状が楕円形又は円形であることは、格子体１の強度向上にも寄与している。 When the cross-sectional shape in the thickness direction of the second linear portion 20 (see FIG. 5) is elliptical, the minor axis of the ellipse matches the thickness direction of the lattice body 1 and the major axis of the ellipse Is preferably coincident with the plane direction of the lattice body 1 from the viewpoint that the object to be fired can be placed successfully. In this case, the ratio of the major axis / minor axis is preferably 1 or more and 5 or less, more preferably 1 or more and 3 or less. The fact that the cross-sectional shape in the thickness direction of the second linear portion 20 is elliptical or circular also contributes to the improvement of the strength of the lattice body 1.

セラミックス格子体１に形成された貫通孔３は、その面積が１００μｍ^２以上１００ｍｍ^２以下、特に２５００μｍ^２以上１ｍｍ^２以下であることが、格子体１の熱容量を低下させる点や、通気性を向上させる点、及び格子体１の強度維持の点から好ましい。また、平面視におけるセラミックス格子体１の見かけの面積に対する貫通孔３の面積の総和の割合は、１％以上８０％以下であることが好ましく、３％以上７０％以下であることが更に好ましく、１０％以上７０％以下であることが一層好ましい。この割合は、セラミックス格子体１を平面視して、任意の大きさの矩形に切り取り、その矩形内に含まれる貫通孔３の面積の総和を算出し、その総和を矩形の面積で除し１００を乗じて算出される。また、各貫通孔３の面積は、格子体１の顕微鏡観察像を画像解析することで測定できる。 The through-hole 3 formed in the ceramic lattice 1 has an area of 100 μm ² or more and 100 mm ² or less, and particularly 2500 μm ² or more and 1 mm ² or less, which reduces the heat capacity of the lattice 1 and improves air permeability. This is preferable from the viewpoint of maintaining the strength of the lattice body 1. Further, the ratio of the total area of the through holes 3 to the apparent area of the ceramic lattice body 1 in a plan view is preferably 1% or more and 80% or less, more preferably 3% or more and 70% or less, More preferably, it is 10% or more and 70% or less. This ratio is obtained by cutting the ceramic lattice 1 into a rectangle of an arbitrary size in plan view, calculating the sum of the areas of the through holes 3 included in the rectangle, and dividing the sum by the area of the rectangle. Is multiplied. The area of each through-hole 3 can be measured by image analysis of a microscope observation image of the lattice body 1.

貫通孔３の面積に関連して、第１の線条部１０の幅Ｗ１は５０μｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましく、７５μｍ以上１ｍｍ以下であることが更に好ましい。一方、第２の線条部２０の幅Ｗ２は５０μｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましく、７５μｍ以上１ｍｍ以下であることが更に好ましい。Ｗ１とＷ２の値の大小関係に特に制限はなく、Ｗ１＞Ｗ２であってもよく、逆にＷ１＜Ｗ２であってもよく、あるいはＷ１＝Ｗ２であってもよい。 Regarding the area of the through hole 3, the width W1 of the first linear portion 10 is preferably 50 μm or more and 10 mm or less, and more preferably 75 μm or more and 1 mm or less. On the other hand, the width W2 of the second linear portion 20 is preferably not less than 50 μm and not more than 10 mm, and more preferably not less than 75 μm and not more than 1 mm. There is no particular limitation on the magnitude relationship between the values of W1 and W2. W1> W2 may be satisfied, W1 <W2 may be satisfied, or W1 = W2 may be satisfied.

第１及び第２の線条部１０，２０の幅Ｗ１，Ｗ２との関連において、隣り合う第１の線条部１０間のピッチＰ１は、１００μｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以上５ｍｍ以下であることが更に好ましい。一方、隣り合う第２の線条部２０間のピッチＰ２は、１００μｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以上５ｍｍ以下であることが更に好ましい。 In relation to the widths W1 and W2 of the first and second filament portions 10, 20, the pitch P1 between the adjacent first filament portions 10 is preferably 100 μm or more and 10 mm or less, and more preferably 150 μm or more and 5 mm or less. It is more preferred that: On the other hand, the pitch P2 between the adjacent second linear portions 20 is preferably 100 μm or more and 10 mm or less, and more preferably 150 μm or more and 5 mm or less.

第１の線条部１０は、その表面のうち第１面１０ａが平滑であることが好ましい。線条部１０の第１面１０ａが平滑であることによって、セラミックス格子体１上に被焼成体を載置したときに、該被焼成体に傷がつきにくくなるという利点がある。また被焼成体の焼成によって得られた焼成体が、セラミックス格子体１に引っ掛かりにくくなり、取り出し性が良好になるという利点もある。更に、被焼成体が基板などの薄肉のテープ成形体であれば、第１面１０ａの表面状態が被焼成体の底面に転写されるため、被焼成体底面がより平滑に仕上がりやすくなるメリットもある。一方で、表面粗さが大きいと、被焼成体を載置したときに、被焼成体下のガスの流れがよくなるため、脱脂がスムーズに進みやすくなるという利点がある。これらの観点から、第１の線条部１０の第１面１０ａの表面粗さＲａは、０．０１μｍ以上１０μｍ以下であることが好ましく、０．０１μｍ以上５μｍ以下であることが更に好ましい。一方、第２の線条部２０の第２面２０ｂの表面粗さＲａは、５μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以上５０μｍ以下であることが更に好ましい。表面粗さＲａは、具体的には、カラー３Ｄレーザー顕微鏡（例えば（株）キーエンス製、ＶＫ―８７１０）を用い撮影倍率を２００倍としてスキャンされた断面曲線を、ＪＩＳＢ０６０１（２００１）に準拠して算出される中心線表面粗さの値である。第１の線条部１０の第１面１０ａに関しては、第１面１０ａの中線に沿って、表面粗さを測定し、２０個の測定値から平均値を算出し、Ｒａとした。一方、第２の線条部２０の第２面２０ｂでは、第２面２０ｂの中線に沿って表面粗さを測定し、２０個の測定値から平均値を算出し、Ｒａとした。 It is preferable that the first linear portion 10 has a smooth first surface 10a among its surfaces. The smoothness of the first surface 10a of the striated portion 10 has the advantage that the fired body is less likely to be damaged when the fired body is mounted on the ceramic lattice body 1. Further, there is also an advantage that the fired body obtained by firing the fired body is less likely to be caught on the ceramic lattice body 1 and the take-out property is improved. Furthermore, if the object to be fired is a thin tape molded body such as a substrate, the surface state of the first surface 10a is transferred to the bottom surface of the object to be fired, so that the bottom surface of the object to be fired can be more smoothly finished. is there. On the other hand, when the surface roughness is large, when the object to be fired is placed, the flow of the gas under the object to be fired is improved, so that there is an advantage that the degreasing can easily proceed smoothly. From these viewpoints, the surface roughness Ra of the first surface 10a of the first linear portion 10 is preferably from 0.01 μm to 10 μm, more preferably from 0.01 μm to 5 μm. On the other hand, the surface roughness Ra of the second surface 20b of the second linear portion 20 is preferably 5 μm or more and 100 μm or less, more preferably 10 μm or more and 50 μm or less. The surface roughness Ra is, specifically, based on a cross-sectional curve obtained by using a color 3D laser microscope (for example, VK-8710 manufactured by KEYENCE CORPORATION) at a magnification of 200 times according to JIS B0601 (2001). It is a value of the center line surface roughness calculated by: Regarding the first surface 10a of the first striated portion 10, the surface roughness was measured along the middle line of the first surface 10a, and the average value was calculated from 20 measured values, which was defined as Ra. On the other hand, on the second surface 20b of the second striated portion 20, the surface roughness was measured along the middle line of the second surface 20b, and the average value was calculated from the 20 measured values, which was defined as Ra.

第１の線条部１０の第１面１０ａ及び第２の線条部２０の第２面２０ｂの表面粗さＲａの値を小さくするためには、例えば、該線条部の形成に用いられるペーストを塗布する基板として表面粗さの小さいものを用いたり、あるいは該ペーストとして低粘度のものを用いたりすればよい。一方、第１の線条部１０の第１面１０ａ及び第２の線条部２０の第２面２０ｂの表面粗さＲａの値を大きくするためには、例えば、該ペーストとして、高粘度のものを用いたり、吐出させるノズル径を大きくしたりすればよい。場合によっては、セラミックス格子体１の第１面１ａ及び／又は第２面１ｂを研磨して所定の表面粗さとなるように加工してもよい。 In order to reduce the value of the surface roughness Ra of the first surface 10a of the first striated portion 10 and the second surface 20b of the second striated portion 20, for example, it is used for forming the striated portion. What is necessary is just to use a thing with small surface roughness as a board | substrate to apply a paste, or a thing with low viscosity as this paste. On the other hand, in order to increase the value of the surface roughness Ra of the first surface 10a of the first striated portion 10 and the second surface 20b of the second striated portion 20, for example, a high-viscosity paste may be used. What is necessary is just to use a thing and to make the diameter of the nozzle to discharge large. In some cases, the first surface 1a and / or the second surface 1b of the ceramic lattice body 1 may be polished and processed to have a predetermined surface roughness.

セラミックス格子体１を構成するセラミックス素材としては、種々のものを用いることができる。例えば、アルミナ、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ジルコニア、ムライト、ジルコン、コージェライト、チタン酸アルミニウム、チタン酸マグネシウム、マグネシア、二硼化チタン、窒化ホウ素などが挙げられる。これらのセラミックス素材は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。特に、アルミナ、ムライト、コージェライト、ジルコニア又は炭化ケイ素を含むセラミックスからなることが好ましい。ジルコニアを含むセラミックスを用いる場合には、格子体１を高温焼成での使用により適したものとするため、イットリア添加により完全安定化したジルコニアなどを用いることができる。セラミックス格子体１を急激な加熱及び冷却に付す場合には、セラミックス素材として炭化ケイ素を用いることが特に好ましい。なお炭化ケイ素は、被焼成体との反応の懸念があることから、セラミックス素材として炭化ケイ素を用いる場合には、表面をジルコニア等の反応性の低いセラミックス素材でコートすることが好ましい。格子体１を構成するセラミックス素材の原料粉としては、ペーストにした場合の粘性や焼結されやすさを考慮すると、０．１μｍ以上２００μｍ以下の粒径のものを用いることが好ましい。第１の線条部１０を構成するセラミックス素材と、第２の線条部２０を構成するセラミックス素材とは同じでもよく、あるいは異なっていてもよい。交差部２における第１及び第２の線条部１０，２０の一体性を高くする観点からは、両線条部１０，２０を構成するセラミックス素材は同じであることが好ましい。 Various materials can be used as the ceramic material constituting the ceramic lattice body 1. Examples include alumina, silicon carbide, silicon nitride, zirconia, mullite, zircon, cordierite, aluminum titanate, magnesium titanate, magnesia, titanium diboride, boron nitride, and the like. These ceramic materials can be used alone or in combination of two or more. In particular, it is preferable to be made of ceramics containing alumina, mullite, cordierite, zirconia or silicon carbide. When a ceramic containing zirconia is used, zirconia or the like completely stabilized by adding yttria can be used in order to make the lattice body 1 more suitable for use in high-temperature firing. When the ceramic lattice 1 is subjected to rapid heating and cooling, it is particularly preferable to use silicon carbide as the ceramic material. When silicon carbide is used as the ceramic material, it is preferable to coat the surface with a low-reactivity ceramic material such as zirconia because silicon carbide has a fear of reacting with the object to be fired. As the raw material powder of the ceramic material constituting the lattice body 1, it is preferable to use a powder having a particle size of 0.1 μm or more and 200 μm or less in consideration of the viscosity and ease of sintering when formed into a paste. The ceramic material forming the first striated portion 10 and the ceramic material forming the second striated portion 20 may be the same or different. From the viewpoint of increasing the integrity of the first and second striated portions 10 and 20 at the intersection 2, it is preferable that the ceramic material forming the striated portions 10 and 20 be the same.

本発明者の検討の結果、第１の線条部１０と第２の線条部２０とがそれらの交差部２において点接触していることに加えて、第１の線条部１０及び第２の線条部２０がいずれも、２以上の結晶相が混在したセラミックスからなることが、セラミックス格子体１の強度向上、及び耐スポーリング性の一層の向上の点から有利であることが判明した。２以上の結晶相が混在したセラミックスとは、単一材料からなるセラミックスが、２以上の結晶相を有することである。２以上の結晶相の種類に特に制限はない。特に、第１の線条部１０及び第２の線条部２０がいずれも、正方晶と立方晶とが混在した部分安定化ジルコニアからなることが、セラミックス格子体１の一層の強度向上、及び耐スポーリング性の更に一層の向上の点から有利である。ジルコニアを部分安定化させて正方晶と立方晶とを混在させるには、例えばジルコニアにイットリアを添加すればよい。イットリアの添加量は、ＺｒとＹのモル数の総和に対して０ｍｏｌ％超８ｍｏｌ％未満とすればよい。 As a result of the study by the present inventor, in addition to the fact that the first striated portion 10 and the second striated portion 20 are in point contact with each other at the intersection 2, the first striated portion 10 and the It has been found that it is advantageous from the viewpoint of improving the strength of the ceramic lattice body 1 and further improving the spalling resistance that each of the two linear portions 20 is made of a ceramic in which two or more crystal phases are mixed. did. The ceramics in which two or more crystal phases are mixed means that a ceramic made of a single material has two or more crystal phases. There is no particular limitation on the type of two or more crystal phases. In particular, both the first and second striated portions 10 and 20 are made of partially stabilized zirconia in which tetragonal and cubic crystals are mixed, thereby further improving the strength of the ceramic lattice 1 and This is advantageous from the viewpoint of further improving the spalling resistance. In order to partially stabilize zirconia and mix tetragonal and cubic crystals, for example, yttria may be added to zirconia. The amount of yttria added may be more than 0 mol% and less than 8 mol% based on the total number of moles of Zr and Y.

次に、本実施形態のセラミックス格子体１の好適な製造方法について説明する。本製造方法においては、まずセラミックス素材の原料粉を用意し、該原料粉を、水等の媒体及び結合剤と混合して線条部製造用のペーストを調製する。 Next, a preferred method of manufacturing the ceramic lattice body 1 of the present embodiment will be described. In this production method, first, a raw material powder of a ceramic material is prepared, and the raw material powder is mixed with a medium such as water and a binder to prepare a paste for producing a striated portion.

結合剤としては、この種のペーストに従来用いられたものと同様のものを用いることができる。その例としてはポリビニルアルコール、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシド、デキストリン、リグニンスルホン酸ソーダ及びアンモニウム、カルボキシメチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシエチルメチルセルロース、アルギン酸ナトリウム及びアンモニウム、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アラビアゴム、ポリビニルブチラール、ポリアクリル酸及びポリアクリルアミドなどのアクリル系ポリマー、キサンタンガム及びグアガムなどの増粘多糖体類、ゼラチン、寒天及びペクチンなどのゲル化剤、酢酸ビニル樹脂エマルジョン、ワックスエマルジョン、並びにアルミナゾル及びシリカゾルなどの無機バインダーなどが挙げられる。これらのうちの２種類以上を混合して用いてもよい。 As the binder, those similar to those conventionally used for this type of paste can be used. Examples include polyvinyl alcohol, polyethylene glycol, polyethylene oxide, dextrin, sodium and ammonium ligninsulfonate, carboxymethylcellulose, ethylcellulose, hydroxypropylmethylcellulose, carboxymethylcellulose, hydroxyethylcellulose, hydroxyethylmethylcellulose, sodium and ammonium alginate, epoxy resin, phenol Resins, gum arabic, polyvinyl butyral, acrylic polymers such as polyacrylic acid and polyacrylamide, thickening polysaccharides such as xanthan gum and guar gum, gelatin, gelling agents such as agar and pectin, vinyl acetate resin emulsions, wax emulsions, And inorganic binders such as alumina sol and silica sol Etc., and the like. Two or more of these may be used in combination.

ペーストの粘度は、塗布時の温度において高粘度であることが、本実施形態の構造を有する格子体１を首尾よく製造し得る点から好ましい。詳細には、ペーストの粘度は、塗布時の温度において、１．５ＭＰａ・ｓ以上５．０ＭＰａ・ｓ以下であることが好ましく、１．７ＭＰａ・ｓ以上３．０ＭＰａ・ｓ以下であることが更に好ましい。ペーストの粘度は、コーンプレート型回転式粘度計又はレオメーターを用いて、回転数０．３ｒｐｍにて測定開始後４分時の測定値を用いた。 The viscosity of the paste is preferably high at the temperature at the time of application, from the viewpoint that the lattice body 1 having the structure of the present embodiment can be manufactured successfully. Specifically, the viscosity of the paste is preferably 1.5 MPa · s to 5.0 MPa · s at the temperature at the time of application, and more preferably 1.7 MPa · s to 3.0 MPa · s. preferable. As the viscosity of the paste, a value measured 4 minutes after the start of the measurement at a rotation speed of 0.3 rpm using a cone plate type rotary viscometer or a rheometer was used.

ペーストにおけるセラミックス素材の原料粉の割合は、２０質量％以上８５質量％以下であることが好ましく、３５質量％以上７５質量％以下であることが更に好ましい。ペーストにおける媒体の割合は、１５質量％以上６０質量％以下であることが好ましく、２０質量％以上５５質量％以下であることが更に好ましい。ペーストにおける結合剤の割合は、１質量％以上４０質量％以下であることが好ましく、５質量％以上２５質量％以下であることが更に好ましい。 The ratio of the raw material powder of the ceramic material in the paste is preferably from 20% by mass to 85% by mass, and more preferably from 35% by mass to 75% by mass. The proportion of the medium in the paste is preferably from 15% by mass to 60% by mass, and more preferably from 20% by mass to 55% by mass. The proportion of the binder in the paste is preferably from 1% by mass to 40% by mass, more preferably from 5% by mass to 25% by mass.

ペーストには、粘性調整剤として、増粘剤、凝集剤、チクソトロピック剤などを含有させることができる。増粘剤の例としては、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、アルキルアリルスルホン酸、アルキルアンモニウム塩、エチルビニルエーテル・無水マレイン酸コポリマー、フュームドシリカ、アルブミンなどのタンパク質などが挙げられる。多くの場合、結合剤は、増粘効果があるため、増粘剤に分類されることがあるが、更に厳密な粘性調整が必要とされる場合には、別途、結合剤に分類されない増粘剤を用いることができる。凝集剤の例として、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸エステル、硫酸アルミニウム、ポリ塩化アルミニウムなどが挙げられる。チクソトロピック剤の例として、脂肪酸アマイド、酸化ポリオレフィン、ポリエーテルエステル型界面活性剤などが挙げられる。ペースト調製用の溶媒としては、水以外にも、アルコール、アセトン及び酢酸エチルなどが用いられ、これらを２種類以上混合してもよい。また吐出量を安定させるために、可塑剤、潤滑剤、分散剤、沈降抑制剤、ｐＨ調整剤などを添加してもよい。可塑剤には、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコールなどのグリコール系、グリセリン、ブタンジオール、フタル酸系、アジピン酸系、リン酸系などが挙げられる。潤滑剤には、流動パラフィン、マイクロワックス、合成パラフィンなどの炭化水素系、高級脂肪酸、脂肪酸アミドなどが挙げられる。分散剤には、ポリカルボン酸ナトリウム若しくはアンモニウム塩、アクリル酸系、ポリイチレンイミン、リン酸系などが挙げられる。沈降抑制剤には、ポリアマイドアミン塩、ベントナイト、ステアリン酸アルミニウムなどが挙げられる。ＰＨ調整剤には、水酸化ナトリウム、アンモニア水、シュウ酸、酢酸、塩酸などが挙げられる。 The paste may contain a thickener, a coagulant, a thixotropic agent, and the like as a viscosity modifier. Examples of the thickener include polyethylene glycol fatty acid ester, alkyl allyl sulfonic acid, alkyl ammonium salt, ethyl vinyl ether / maleic anhydride copolymer, fumed silica, and proteins such as albumin. In many cases, a binder is classified as a thickener because of its thickening effect, but if more strict viscosity adjustment is required, a thickener not separately classified as a binder is required. Agents can be used. Examples of coagulants include polyacrylamide, polyacrylate, aluminum sulfate, polyaluminum chloride and the like. Examples of thixotropic agents include fatty acid amides, oxidized polyolefins, and polyetherester surfactants. As a solvent for preparing the paste, besides water, alcohol, acetone, ethyl acetate and the like are used, and two or more of these may be mixed. Further, in order to stabilize the discharge amount, a plasticizer, a lubricant, a dispersant, a settling inhibitor, a pH adjuster, and the like may be added. Examples of the plasticizer include glycols such as trimethylene glycol and tetramethylene glycol, glycerin, butanediol, phthalic acid, adipic acid, and phosphoric acid. Examples of the lubricant include hydrocarbons such as liquid paraffin, microwax, and synthetic paraffin, higher fatty acids, and fatty acid amides. Examples of the dispersing agent include sodium or ammonium polycarboxylates, acrylic acid type, polyethylenimine, phosphoric acid type and the like. Examples of the sedimentation inhibitor include a polyamide amine salt, bentonite, and aluminum stearate. Examples of the pH adjuster include sodium hydroxide, aqueous ammonia, oxalic acid, acetic acid, and hydrochloric acid.

得られたペーストを用い、平坦な基板上に、複数条の線条第１塗工体を互いに平行に且つ直線状に形成する。線条第１塗工体は、目的とする格子体１における第１の線条部１０に対応するものである。線条第１塗工体の形成に用いられるペーストである第１ペーストは、上述したセラミックス素材の第１原料粉、媒体及び結合剤を含むものである。第１ペーストを用いた線条第１塗工体の形成には、小型押し出し機や印刷機などの種々の塗布装置を用いることができる。 Using the obtained paste, a plurality of linear first coated bodies are formed in parallel and linearly on a flat substrate. The first linear coated body corresponds to the first linear portion 10 in the target lattice body 1. The first paste, which is a paste used for forming the first linear coated body, includes the first raw material powder of the ceramic material, a medium, and a binder described above. Various coating apparatuses such as a small extruder and a printing machine can be used to form the first linear coated body using the first paste.

線条第１塗工体が形成されたら、次いで該線条第１塗工体から媒体を除去して乾燥させ、該線条第１塗工体の粘度を一層高める操作を行う。線条第１塗工体から媒体を除去するには例えば該線条第１塗工体に熱風を吹き付けたり、赤外線を照射したりすればよい。媒体が除去された後の線条第１塗工体における該媒体の割合は好ましくは５０質量％以下、より好ましくは３０質量％以下にまで低減され、線条第１塗工体の粘度は極めて高いものとなり、その保形性が一層高まる。 After the first coated filament is formed, the medium is removed from the first coated filament and dried to further increase the viscosity of the first coated filament. In order to remove the medium from the first linear coated body, for example, hot air may be blown to the first linear coated body or infrared rays may be irradiated. After removal of the medium, the proportion of the medium in the first linear coated body is preferably reduced to 50% by mass or less, more preferably to 30% by mass or less, and the viscosity of the first linear coated body is extremely low. It becomes high and the shape retention is further enhanced.

線条第１塗工体から媒体が除去されたら、次いで、第２ペーストを用い、該線条第１塗工体と交差するように、複数条の線条第２塗工体を互いに平行に且つ直線状に形成する。線条第２塗工体は、目的とする格子体１における第２の線条部２０に対応するものである。第２ペーストとしては、第１ペーストと同様の組成のものを用いることができ、セラミックス素材の第２原料粉、媒体及び結合剤を含むものである。線条第２塗工体の形成には、線条第１塗工体と同様の塗布装置を用いることができる。線条第２塗工体が形成されたら、次いで該線条第２塗工体から媒体を除去して乾燥させ、該線条第２塗工体の粘度を一層高める操作を行う。この操作は、線条第１塗工体に対して行う操作と同様に行うことができる。このように、線条第１塗工体の形成及び媒体の除去と、線条第２塗工体の形成及び媒体の除去とを順次行うことで、第１の線条部１０上に第２の線条部２０が位置する格子体１が首尾よく得られる。 After the medium is removed from the first linear coated body, a plurality of linear second coated bodies are parallel to each other using the second paste so as to intersect the first linear coated body. And it is formed linearly. The second linear coated body corresponds to the second linear portion 20 in the intended lattice body 1. As the second paste, one having the same composition as the first paste can be used, and contains the second raw material powder of the ceramic material, the medium, and the binder. The same coating apparatus as that for the first linear coated body can be used for forming the second linear coated body. When the second coated filament is formed, the medium is then removed from the second coated filament and dried to further increase the viscosity of the second coated filament. This operation can be performed in the same manner as the operation performed on the first linear coated body. As described above, the formation of the first linear coated body and the removal of the medium and the formation of the second linear coated body and the removal of the medium are sequentially performed, so that the second linear part is formed on the first linear part 10. Is successfully obtained.

このようにして得られた格子状前駆体は、これを基板から剥離して焼成炉内に載置して焼成を行う。この焼成によって目的とするセラミックス格子体１が得られる。焼成は一般に大気下で行うことができる。焼成温度は、セラミックス素材の原料粉の種類に応じて適切な温度を選択すればよい。焼成時間に関しても同様である。 The lattice-like precursor obtained in this manner is peeled off from the substrate and placed in a firing furnace for firing. By this firing, the desired ceramic lattice body 1 is obtained. The calcination can generally be performed in the atmosphere. As the firing temperature, an appropriate temperature may be selected according to the type of the raw material powder of the ceramic material. The same applies to the firing time.

以上の方法によって、目的とするセラミックス格子体１が得られる。このセラミックス格子体１は、棚板や敷板など、セラミックス製品の脱脂又は焼成用セッターとして好適に用いられるほか、セッター以外の窯道具、例えば匣やビームとしても用いることができる。更に、窯道具以外の用途、例えばフィルター、触媒担体などの各種の治具や各種構造材として用いることもできる。この場合、格子体１における凹凸面である第２面１ｂ上に被焼成体を載置することが一般的であるが、被焼成体の種類によっては、平坦面である第１面１ａ上に被焼成体を載置してもよい。例えば積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ）の製造過程における焼成工程を行う場合には、被焼成体を、平坦面である第１面１ａ上に載置することが好ましい。 By the above method, the target ceramic lattice body 1 is obtained. The ceramic lattice 1 is suitably used as a setter for degreasing or firing ceramic products such as a shelf board or a flooring board, and can also be used as a kiln tool other than the setter, for example, a box or a beam. Furthermore, it can also be used as applications other than kiln tools, for example, various jigs and various structural materials such as filters and catalyst carriers. In this case, it is general to place the object to be fired on the second surface 1b which is an uneven surface of the lattice body 1, but depending on the type of the object to be fired, the object to be fired is placed on the first surface 1a which is a flat surface. An object to be fired may be placed. For example, when performing a firing step in the process of manufacturing a multilayer ceramic capacitor (MLCC), it is preferable to place the object to be fired on the first surface 1a that is a flat surface.

以上、本発明をその好ましい実施形態に基づき説明したが、本発明は前記実施形態に制限されない。例えば前記実施形態のセラミックス格子体１は、第１の線条部１０と第２の線条部２０とが略直交するように交差していたが、両線条部１０，２０の交差角度は９０度に限られない。 Although the present invention has been described based on the preferred embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments. For example, in the ceramic lattice body 1 of the above embodiment, the first striated portions 10 and the second striated portions 20 intersect so as to be substantially orthogonal to each other. It is not limited to 90 degrees.

また、前記実施形態のセラミックス格子体１は、第１の線条部１０及び第２の線条部２０の２種類の線条部を用いていたが、これに加えて第３の線条部（図示せず）や、更に第４、第５の線条部（図示せず）といった３種類以上の線条部を用いてもよい。このような３種類以上の線条部を用いる場合において第３の線条部以降の線状部は、それぞれ厚みＴ１、幅Ｗ１及びピッチＰ１について前述のような第１及び第２の線条部と同様の構成であることが望ましい。また第３の線条部以降の線状部によって形成される交差部の構成についても、前述のような第１及び第２の線条部により形成される交差部と同様の構成を有することが望ましい。 Further, the ceramic lattice body 1 of the embodiment uses two types of linear portions, that is, the first linear portion 10 and the second linear portion 20, but in addition to this, the third linear portion is used. (Not shown) or three or more types of linear portions, such as fourth and fifth linear portions (not shown). In the case where three or more types of linear portions are used, the linear portions subsequent to the third linear portion are the first and second linear portions as described above with respect to the thickness T1, the width W1, and the pitch P1, respectively. It is desirable that the configuration be the same as that described above. Also, the configuration of the intersection formed by the linear portions subsequent to the third linear portion may have the same configuration as that of the intersection formed by the first and second linear portions as described above. desirable.

また、前記実施形態のセラミックス格子体１は単層構造のものであったが、これに代えて該格子体１を複数用い、それらを例えば図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように複数段積層して用いてもよい。図９（ａ）に示す実施形態においては、第１の線条部１０’及び第２の線条部２０’からなる第１格子体１’と、第１の線条部１０”及び第２の線条部２０”からなる第２格子体１”とが積層されて格子体１が形成されている。第１格子体１’における第１の線条部１０’と、第２格子体１”における第１の線条部１０”とは同ピッチになるように配置されている。同様に、第１格子体１’における第２の線条部２０’と、第２格子体１”における第２の線条部２０”とも同ピッチになるように配置されている。 Although the ceramic lattice 1 of the above embodiment has a single-layer structure, a plurality of the lattices 1 are used in place of this, as shown in FIGS. 9 (a) and 9 (b), for example. May be used in multiple layers. In the embodiment shown in FIG. 9A, a first lattice body 1 'including a first linear portion 10' and a second linear portion 20 ', and a first linear portion 10 "and a second linear portion 10" are formed. And the second lattice body 1 "including the linear parts 20" are laminated to form the lattice body 1. The first linear parts 10 'in the first lattice body 1' and the second lattice body 1 " Are arranged so as to have the same pitch as the first linear portions 10 "in". Similarly, the second linear portions 20 'in the first lattice body 1' and the second linear parts 10 "in the second lattice body 1" are arranged. The second linear portions 20 "are arranged so as to have the same pitch.

一方、図９（ｂ）に示す実施形態においては、第１格子体１’における第１の線条部１０’と、第２格子体１”における第１の線条部１０”とは半ピッチずれるように配置されている。同様に、第１格子体１’における第２の線条部２０’と、第２格子体１”における第２の線条部２０”とも半ピッチずれるように配置されている。 On the other hand, in the embodiment shown in FIG. 9B, the first linear portions 10 'in the first lattice body 1' and the first linear parts 10 "in the second lattice body 1" have a half pitch. It is arranged so that it may shift. Similarly, the second linear portions 20 ′ of the first lattice 1 ′ and the second linear portions 20 ″ of the second lattice 1 ″ are arranged so as to be shifted by a half pitch.

図９（ａ）及び図９（ｂ）に示す実施形態のセラミックス格子体１においては、少なくとも、第１格子体１’における第１の線条部１０’と第２の線条部２０’とがそれらの交差部において点接触していることが好ましい。特に、上下に隣り合う任意の一組の線条部どうしがそれらの交差部において点接触していることが好ましい。 In the ceramic lattice 1 of the embodiment shown in FIGS. 9A and 9B, at least the first filament 10 ′ and the second filament 20 ′ in the first lattice 1 ′ Are preferably in point contact at their intersection. In particular, it is preferable that an arbitrary pair of linear parts vertically adjacent to each other be in point contact at their intersection.

図９（ａ）及び（ｂ）に示す実施形態の変形例として図１０に示す実施形態のセラミックス格子体１が挙げられる。図１０に示す実施形態のセラミックス格子体１は、第１の線条部１０及び第２の線条部を有することに加えて、一方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第３の線条部３３を更に有している。本実施形態においては第３の線条部３３が延びる方向は、第１の線条部１０が延びる方向と同方向になっているが、これに代えて、第３の線条部３３は、第１の線条部１０が延びる方向に対して、斜め方向（具体的には、好ましくは−４５°よりも大きく且つ４５°よりも小さく、更に好ましくは−４５°よりも大きく、且つ３０°よりも小さい。）に傾斜していてもよい。第３の線条部３３は、第２の線条部２０と交差しており、第３の線条部３３と第２の線条部２０との交差部は、いずれの該交差部においても、第２の線条部２０上に第３の線条部３３が配されている。本実施形態では、第３の線条部３３が、第１の線条部１０の配置のピッチと半ピッチ（０．５ピッチ）ずれて配置されている。この実施形態は、電子部品を載置し焼成する際に線状部からの電子部品の落下を防止するために最も好ましい態様である。しかし、本発明はこの実施形態に制限されず、第１の線条部１０と第３の線条部３３とのずれは、本発明の目的を損なわない範囲においては、ゼロ（０）以上半ピッチ（０．５ピッチ）未満の範囲を取り得る。本実施形態においても、これまでの実施形態のセラミックス格子体１と同様の効果が奏される。第３の線条部３３と第２の線条部２０との交差部の縦断面視において、第３の線条部３３と第２の線条部２０とは、第３の線条部における円形又は楕円形における下向きに凸の頂部と、第２の線条部における円形又は楕円形における上向きに凸の頂部のみが接触していることが好ましい。 As a modification of the embodiment shown in FIGS. 9A and 9B, there is a ceramic lattice body 1 of the embodiment shown in FIG. The ceramic lattice 1 of the embodiment shown in FIG. 10 has a plurality of third filaments made of ceramic extending in one direction in addition to having the first filaments 10 and the second filaments. A portion 33 is further provided. In the present embodiment, the direction in which the third striated portion 33 extends is the same as the direction in which the first striated portion 10 extends, but instead, the third striated portion 33 is The oblique direction (specifically, preferably larger than -45 ° and smaller than 45 °, more preferably larger than -45 ° and 30 ° with respect to the direction in which the first linear portion 10 extends) May be inclined.). The third striated portion 33 intersects with the second striated portion 20, and the intersection of the third striated portion 33 and the second striated portion 20 at any of the intersections The third striated portion 33 is arranged on the second striated portion 20. In the present embodiment, the third linear portions 33 are arranged so as to be shifted from the arrangement pitch of the first linear portions 10 by a half pitch (0.5 pitch). This embodiment is the most preferable mode for preventing the electronic component from dropping from the linear portion when the electronic component is placed and fired. However, the present invention is not limited to this embodiment, and the deviation between the first linear portion 10 and the third linear portion 33 is zero (0) or more and a half as long as the object of the present invention is not impaired. A range less than the pitch (0.5 pitch) can be taken. Also in this embodiment, the same effects as those of the ceramic lattice body 1 of the previous embodiments can be obtained. In a vertical cross-sectional view of the intersection between the third striated portion 33 and the second striated portion 20, the third striated portion 33 and the second striated portion 20 are in the third striated portion. It is preferable that only the downwardly convex top of the circular or elliptical shape and the upwardly convex top of the circular or elliptical shape of the second striated portion are in contact with each other.

また、前記の各実施形態のセラミックス格子体１の強度を向上させる目的で、該格子体１の外周に外枠を設けてもよい。この外枠は該格子体１と同じ材料から一体的に形成してもよく、あるいは該格子体１とは別途製造しておき、所定の接合手段で接合してもよい。また、耐スポーリング性を向上させる目的で、第１の線条部１０及び／又は第２の線条部２０の長手方向に沿う辺の一部に、幅方向内方に向けてスリットを入れてもよい。更に耐スポーリング性を向上させる目的で、各実施形態のセラミックス格子体１における各線条部はその端部が露出している態様、言い換えれば、セラミックス格子体１の外縁に、枠体からなる補強材が存在しない態様がより好ましい。 Further, an outer frame may be provided on the outer periphery of the lattice body 1 for the purpose of improving the strength of the ceramic lattice body 1 of each of the above embodiments. The outer frame may be integrally formed from the same material as the lattice body 1, or may be manufactured separately from the lattice body 1 and joined by a predetermined joining means. Further, for the purpose of improving the spalling resistance, a slit is formed in a part of the side along the longitudinal direction of the first striated portion 10 and / or the second striated portion 20 inward in the width direction. You may. For the purpose of further improving the spalling resistance, each linear portion in the ceramic lattice body 1 of each embodiment has an end exposed, in other words, a reinforcement made of a frame is provided on the outer edge of the ceramic lattice body 1. An embodiment in which no material is present is more preferred.

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。しかしながら本発明の範囲は、かかる実施例に制限されない。特に断らない限り、「％」及び「部」はそれぞれ「質量％」及び「質量部」を意味する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the scope of the present invention is not limited to such embodiments. Unless otherwise specified, “%” and “parts” mean “% by mass” and “parts by mass”, respectively.

〔実施例１〕
本実施例では、図１ないし図８に示すセラミックス格子体１を製造した。 [Example 1]
In this example, the ceramic lattice 1 shown in FIGS. 1 to 8 was manufactured.

（１）線条塗工体形成用のペーストの調製
平均粒径０．８μｍの３モル％イットリア添加部分安定化ジルコニア粉６５．３部と、水系結合剤としてヒドロキシプロピルメチルセルロース（平均重合度：３０万ｇ／ｍｏｌ）５．０部と、可塑剤として、グリセリン２．５部と、ポリカルボン酸系分散剤（分子量１２０００）１．１部と、水２６．１部とを混合し、脱泡してペーストを調製した。ペーストの粘度は２５℃において２．３ＭＰａ・ｓであった。
（２）線条塗工体の形成
前記のペーストを原料とし、直径０．４ｍｍのノズルを有するディスペンサを用いて樹脂基板上に線条第１塗工体を形成した。次いでドライヤーを用いて線条第１塗工体に熱風を吹き付け水を除去して線条第１塗工体を乾燥させた。乾燥後の線条第１塗工体の水の含有量は１０％であった。引き続き線条第１塗工体に交差する線条第２塗工体を形成した。両線条塗工体の交差角度は９０度とした。ドライヤーを用いて線条第２塗工体に熱風を吹き付け水を除去して線条第２塗工体を乾燥させた。乾燥後の線条第２塗工体の水の含有量は８％であった。このようにして格子状前駆体を得た。
（３）焼成工程
乾燥後の格子状前駆体を樹脂基板から剥離した後、大気焼成炉内に載置した。この焼成炉内で脱脂及び焼成を行い、図１ないし図８に示す形状のセラミックス格子体を得た。焼成温度は１４５０℃とし、焼成時間は３時間とした。得られた格子体においては、第１の線条部と第２の線条部とは、それらの交差部において点接触していた。得られた格子体における第１の線条部の厚みＴ１は４００μｍ、第２の線条部の厚みＴ２は４１０μｍ、交差部の厚みＴｃは７７０μｍであった。したがってＴｃは、（Ｔ１＋Ｔ２）に対して、０．９５であったこととなる。第１の線条部の幅Ｗ１は４２５μｍ、第２の線条部の幅Ｗ２は４２０μｍであった。交差部における、第１の線条部の幅Ｗ１ａは４４５μｍ、第２の線条部の幅Ｗ２ａは４４０μｍであった。したがって、Ｗ２ａは、Ｗ２ｂの１．０５倍であり、Ｗ２ａとＷ２ｂは概ね同じ値であった。第１の線条部のピッチＰ１は８００μｍ、第２の線条部のピッチＰ２は７２０μｍであった。セラミックス格子体１の表面粗さＲａは第１面において０．３μｍ、第２面において０．４μｍであった。また、セラミックス格子体１における貫通孔の面積は０．０９ｍｍ^２であり、開孔率は１７％であった。 (1) Preparation of paste for forming a linear coated body 65.3 parts of 3 mol% yttria-added partially stabilized zirconia powder having an average particle diameter of 0.8 μm and hydroxypropylmethylcellulose as an aqueous binder (average degree of polymerization: 30) 5.0 parts of 10,000 g / mol), 2.5 parts of glycerin as a plasticizer, 1.1 parts of a polycarboxylic acid-based dispersant (molecular weight: 12000), and 26.1 parts of water are mixed and defoamed. To prepare a paste. The viscosity of the paste was 2.3 MPa · s at 25 ° C.
(2) Formation of linear coated body Using the paste as a raw material, a linear coated first body was formed on a resin substrate using a dispenser having a nozzle having a diameter of 0.4 mm. Then, hot air was blown onto the first coated linear body using a dryer to remove water, and the first coated linear body was dried. The water content of the dried linear first coated body was 10%. Subsequently, a linear second coated body intersecting with the linear first coated body was formed. The intersection angle between the two linear coated bodies was 90 degrees. Hot air was blown onto the second coated article using a dryer to remove water, and the second coated article was dried. The water content of the dried linear second coated body was 8%. Thus, a lattice precursor was obtained.
(3) Firing Step After the dried grid-like precursor was separated from the resin substrate, it was placed in an air firing furnace. Degreasing and firing were performed in this firing furnace to obtain a ceramic lattice body having the shape shown in FIGS. The firing temperature was 1450 ° C., and the firing time was 3 hours. In the obtained lattice, the first striated portion and the second striated portion were in point contact at the intersection thereof. In the obtained lattice, the thickness T1 of the first striated portion was 400 μm, the thickness T2 of the second striated portion was 410 μm, and the thickness Tc of the intersection was 770 μm. Therefore, Tc was 0.95 with respect to (T1 + T2). The width W1 of the first striated portion was 425 μm, and the width W2 of the second striated portion was 420 μm. At the intersection, the width W1a of the first linear portion was 445 μm, and the width W2a of the second linear portion was 440 μm. Therefore, W2a was 1.05 times W2b, and W2a and W2b were almost the same value. The pitch P1 of the first linear portion was 800 μm, and the pitch P2 of the second linear portion was 720 μm. The surface roughness Ra of the ceramic lattice 1 was 0.3 μm on the first surface and 0.4 μm on the second surface. The area of the through-holes in the ceramic lattice body 1 was 0.09 mm ² , and the porosity was 17%.

〔比較例１〕
本比較例は、格子体としてニッケル網を用いた例である。このニッケル網は、太さ３１５μｍのニッケル線材を平織りして形成された３２メッシュにジルコニア溶射コートしたものであり、厚みは０．６ｍｍである。 [Comparative Example 1]
This comparative example is an example in which a nickel mesh is used as a lattice body. This nickel mesh is formed by spray coating zirconia on a 32 mesh formed by plain weaving a nickel wire rod having a thickness of 315 μm, and has a thickness of 0.6 mm.

〔比較例２〕
本比較例は、ゼラチンを湯に溶解させて得られた溶液（ゼラチンの濃度は水に対して３％）を用意し、この溶液を、予め調製しておいたイットリア完全安定化ジルコニアスラリーと混合した。混合は、混合液におけるイットリア完全安定化ジルコニアと水との体積比が１０：９０になるように行った。この混合液を冷蔵庫内に静置してゲル化させた。このゲルをエタノール凍結機によって凍結させた。凍結させたゲルを乾燥（凍結乾燥）した後、得られた乾燥体を脱脂し、１６００℃にて３時間焼成した。このようにして得られた焼成体は、気孔率は７９％、気孔径は９５μｍで、厚み方向に気孔が配向した構造が形成されたものであった。 [Comparative Example 2]
In this comparative example, a solution obtained by dissolving gelatin in hot water (concentration of gelatin was 3% based on water) was prepared, and this solution was mixed with a previously prepared yttria fully stabilized zirconia slurry. did. The mixing was performed so that the volume ratio of yttria fully stabilized zirconia to water in the mixed solution was 10:90. This mixture was left in a refrigerator to gel. This gel was frozen by an ethanol freezer. After drying (freeze-drying) the frozen gel, the obtained dried body was defatted and calcined at 1600 ° C. for 3 hours. The fired body thus obtained had a porosity of 79%, a pore diameter of 95 μm, and a structure in which pores were oriented in the thickness direction.

〔評価〕
実施例及び比較例で得られた格子体について、耐スポーリング性の評価を以下の方法で行った。それらの結果を以下の表２に示す。 [Evaluation]
The spalling resistance of the lattices obtained in Examples and Comparative Examples was evaluated by the following method. The results are shown in Table 2 below.

〔耐スポーリング性の評価〕
縦１５０ｍｍ×横１５０ｍｍ×厚さ０．８〜１．５ｍｍのサンプルを用意した。ムライト質足付きラック形状窯道具（外寸が１６５ｍｍ×１６５ｍｍであり、中央にある十字形状幅寸法が１５ｍｍであり、外枠と十字の間には６０ｍｍ×６０ｍｍの４つの中空構造を有する）を台板に載せ、そのラック上にサンプルをセットし、大気焼成炉にて高温加熱して１時間以上所望の温度に保持した後に、電気炉から取り出して室温に晒し、肉眼にてサンプルのうねり、反り及び割れの有無を評価した。設定温度を２００℃から１１００℃まで５０℃ずつ昇温させながら変更し、割れの生じない温度の上限を「耐久温度上限値」とし、耐スポーリング性の評価とした。 [Evaluation of spalling resistance]
A sample having a length of 150 mm, a width of 150 mm and a thickness of 0.8 to 1.5 mm was prepared. A rack-shaped kiln tool with mullite feet (outside dimensions are 165 mm x 165 mm, cross-shaped width in the center is 15 mm, and there are four hollow structures of 60 mm x 60 mm between the outer frame and the cross) Place the sample on the base plate, set the sample on the rack, heat it to a high temperature in an air firing furnace and hold it at a desired temperature for 1 hour or more, take it out of the electric furnace, expose it to room temperature, undulate the sample with the naked eye, Warpage and cracking were evaluated. The set temperature was changed from 200 ° C. to 1100 ° C. while increasing the temperature by 50 ° C., and the upper limit of the temperature at which cracks did not occur was defined as “durable temperature upper limit value”, and the spalling resistance was evaluated.

〔繰り返し焼成による形状変化評価〕
縦１５０ｍｍ×横１５０ｍｍの各サンプルを用意し、カーボンるつぼの中で、アルゴン雰囲気下で４００℃／ｈｒで昇温し、１３００℃で５分キープし、４００℃／ｈｒで冷却する焼成パターンを６５回繰り返し、初期と繰り返し焼成後のサンプル形状の差異について、外観から評価した。 [Evaluation of shape change by repeated firing]
Each sample having a length of 150 mm and a width of 150 mm is prepared, heated in a carbon crucible at 400 ° C./hr under an argon atmosphere, kept at 1300 ° C. for 5 minutes, and cooled at 400 ° C./hr. The difference in sample shape between the initial and repeated firings was evaluated from the appearance.

表１に示す結果から明らかなとおり、実施例１で得られた格子体は、各比較例に比べて耐スポーリング性が高いことが判る。 As is clear from the results shown in Table 1, it can be seen that the lattice body obtained in Example 1 has higher spalling resistance than each comparative example.

１セラミックス格子体
１ａ第１面
１ｂ第２面
２交差部
３貫通孔
１０第１の線条部
１０ａ第１面
１０ｂ第２面
２０第２の線条部
２０ａ第１面
２０ｂ第２面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ceramic lattice body 1a 1st surface 1b 2nd surface 2 Intersection 3 Through-hole 10 1st linear part 10a 1st surface 10b 2nd surface 20 2nd linear part 20a 1st surface 20b 2nd surface

Claims

A ceramic lattice having a plurality of first filament portions made of ceramic extending in one direction and a plurality of second filament portions made of ceramic extending in a direction intersecting with the first filament portions. Body
In the intersection of the first striated portion and the second striated portion, the second striated portion is disposed on the first striated portion at any of the intersections.
When the linear portion of the first linear portion is placed on a plane as a mounting surface, the second linear portion has a shape separated from the plane between two adjacent intersections. ,
A first striated portion and a second striated portion intersect to form a grid, and have a plurality of through holes defined by the grid;
A ceramic lattice body, wherein a pitch between adjacent first linear portions is 100 μm or more and 10 mm or less, and a pitch between adjacent second linear portions is 100 μm or more and 10 mm or less.

When the thickness of the first linear portion at a position other than the intersection is T1 and the thickness of the second linear portion at a position other than the intersection is T2,
The value of T1 is 50 μm or more and 5 mm or less, the value of T2 is 50 μm or more and 5 mm or less,
2. The ceramic lattice body according to claim 1, wherein the thickness at the intersection is 50 μm or more and 5 mm or less, provided that the thickness is 0.5 or more and 1.0 or less with respect to T1 + T2.

The ceramic lattice body is composed of an n-layer first striated portion and an m-layer second striated portion (n and m are each independently an integer of 1 or more. m is not 1 at the same time.),
When the thickness of the first linear portion at a position other than the intersection is T1 and the thickness of the second linear portion at a position other than the intersection is T2,
The ceramic lattice body according to claim 1, wherein a thickness of the ceramic lattice body is 0.5 or more and 1.0 or less with respect to nT1 + mT2.

The ceramic lattice body forms a lattice by intersecting a first linear part and a second linear part, and has a plurality of through holes defined by the lattice.
4. The ceramic lattice body according to claim 1, wherein a ratio of a total area of the through holes to an apparent area of the ceramic lattice body in a plan view is 1% or more and 80% or less. 5.