JP2020073432A

JP2020073432A - Ceramic lattice body

Info

Publication number: JP2020073432A
Application number: JP2019192403A
Authority: JP
Inventors: 哲宗黒村; Tetsumune Kuromura
Original assignee: Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Current assignee: Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority date: 2019-10-23
Filing date: 2019-10-23
Publication date: 2020-05-14

Abstract

To provide a ceramic lattice body having high strength and excellent in spalling resistance.SOLUTION: A ceramic lattice body 1 comprises a plurality of first rod parts 10 and a plurality of second rod parts 20. The first rod part 10 is of a cross section having a shape constituted of a straight line part 10A and a convex curve part 10B with its two end parts each constituting either end part of the straight line part 10A respectively, at any portion thereof other than the intersection parts 2. The second rod part 20 is of a cross section having a circular or elliptical shape at any portion thereof other than the intersection parts 2. The projection image in plane view of the second rod part 20 is of a curved shape outwardly swelling in the width direction at each of the intersection parts 2, and thereby the width of the projected image at each of the intersection parts 2 is made greater than that of the projection image at any portion thereof other than the intersection parts 2.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明はセラミックス製の格子体に関する。 The present invention relates to a ceramic lattice.

セラミックス製の電子部品やガラスを焼成するときには、被焼成物を棚板や敷板などとも呼ばれるセッター上に載置して焼成を行うことが一般的である。被焼成物の脱脂・焼成時間を短くして、単位時間当たりの製造個数を増加させるためには、焼成工程を急熱及び急冷することが必要であるところ、従来のセラミックス製セッターはこれを急熱及び／又は急冷すると、割れ等の欠陥が生じやすくなる。また、繰り返しの使用によっても割れ等の欠陥が生じやすくなる。また、金属製セッターを用いた場合には、酸化雰囲気では使用できないという問題や、１２００℃以上の高温領域では、繰り返し使用すると、大きく変形するという問題が指摘されている。 When firing ceramic electronic components or glass, it is common to place the article to be fired on a setter also called a shelf plate or floor plate and perform firing. In order to shorten the degreasing / firing time of the material to be fired and increase the number of products produced per unit time, it is necessary to rapidly heat and cool the firing process. When heated and / or rapidly cooled, defects such as cracks easily occur. Further, defects such as cracks easily occur even after repeated use. Further, it has been pointed out that when a metal setter is used, it cannot be used in an oxidizing atmosphere, and in a high temperature region of 1200 ° C. or more, it is greatly deformed when repeatedly used.

セラミックス製セッターに関する従来の技術としては、例えば窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスより作られ、且つ表裏を貫通する多数の穴を持つ多孔板からなる加熱成型加工用セッターが知られている（特許文献１参照）。同文献によれば、セラミックスとして窒化アルミニウムを用いることで、その使用可能な最高温度がアルミナやマグネシアに代表される酸化物セラミックスに比べて高く、且つ熱伝導率も大きいので、急熱や急冷の熱ショックに対して抵抗力が大きくなるとされている。 As a conventional technique relating to a ceramic setter, for example, a heat-molding setter made of a ceramic containing aluminum nitride as a main component and comprising a perforated plate having a large number of holes penetrating the front and back is known (Patent Document 1). 1). According to this document, by using aluminum nitride as a ceramic, the maximum temperature that can be used is higher than that of oxide ceramics typified by alumina and magnesia, and the thermal conductivity is also large. It is said that resistance to heat shock will increase.

特許文献２には、被焼成物を載置する表面側、及び裏面側に少なくとも凹凸形状が付与されているとともに、開口部が形成されているセラミック焼成用窯道具板が記載されている。同文献には、この窯道具板によれば、熱容量の低減化とコスト削減化を図ることができ、焼成物との接触面積が減少することで、ガスの抜けが良化し、更に雰囲気の均一化によって被焼成体が均一に製造できると記載されている。 Patent Document 2 describes a ceramic firing kiln tool plate in which at least an uneven shape is provided on the front surface side and the back surface side on which a material to be fired is placed, and an opening is formed. According to this document, this kiln tool plate can reduce the heat capacity and cost, and the contact area with the fired product is reduced, so that gas escape is improved and the atmosphere is even. It is described that the object to be fired can be uniformly manufactured by the chemical conversion.

特開平６−２０７７８５号公報JP-A-6-207785 再表２００９／１１０４００号公報Re-table 2009/110400 publication

しかし、前記の各特許文献に記載の技術を用いても、被焼成物の急速な加熱及び冷却を行うときに、セッターに割れ等が発生することを、満足できるレベルにまで防止することは容易でない。 However, even if the technique described in each of the above patent documents is used, it is easy to prevent cracks or the like from occurring in the setter when performing rapid heating and cooling of the object to be burned to a satisfactory level. Not.

したがって本発明の課題は、前述した従来技術が有する種々の欠点を解消し得るセラミックス格子体を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide a ceramic grid body which can solve the various drawbacks of the above-mentioned conventional techniques.

本発明は、一方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第１の線条部と、該第１の線条部と交差する方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第２線条部とを有するセラミックス格子体であって、
第１の線条部と第２の線条部との交差部は、いずれの該交差部においても、第１の線条部上に第２の線条部が配されており、
第１の線条部は、その断面が、前記交差部以外の部位において、直線部と、該直線部の両端部を端部とする凸形の曲線部とから構成される形状を有しており、
第２の線条部は、その断面が、前記交差部以外の部位において、円形又は楕円形の形状を有しており、
第２の線条部は、その平面視での投影像が、前記交差部において、幅方向外方に向けて湾曲膨出した形状になっており、それによって前記交差部における投影像の幅が、前記交差部以外の部位における投影像の幅よりも大きくなっている、セラミックス格子体を提供するものである。 The present invention provides a plurality of first linear filament portions made of ceramics extending in one direction and a plurality of second linear filament portions made of ceramics extending in a direction intersecting with the first linear filament portions. A ceramic lattice body having:
The intersection of the first linear portion and the second linear portion, at any of the intersections, the second linear portion is arranged on the first linear portion,
The cross section of the first linear portion has a shape composed of a linear portion and a convex curved portion whose end portions are both end portions of the linear portion, in a portion other than the intersecting portion. Cage,
The cross section of the second linear portion has a circular or elliptical shape in a portion other than the crossing portion,
The projected image of the second linear portion in a plan view has a shape that bulges outward in the width direction at the intersecting portion, whereby the width of the projected image at the intersecting portion is increased. And a ceramic grid body having a width larger than a width of a projected image in a portion other than the intersection portion.

本発明のセラミックス格子体は、高強度で且つ耐スポーリング性に優れたものである。 The ceramic grid body of the present invention has high strength and excellent spalling resistance.

図１（ａ）は、本発明のセラミックス格子体の一実施形態を示す斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すセラミックス格子体を反対側から見た斜視図である。FIG. 1 (a) is a perspective view showing an embodiment of the ceramic grid body of the present invention, and FIG. 1 (b) is a perspective view of the ceramic grid body shown in FIG. 1 (a) as seen from the opposite side. is there. 図２は、図１におけるII−II線断面図である。2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG. 図３は、図１におけるIII−III線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. 図４は、図１におけるIV−IV線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 図５は、図１におけるV−V線断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 図６は、図１に示すセラミックス格子体における第２の線条部側から見た交差部付近の投影図である。FIG. 6 is a projection view of the vicinity of the intersection viewed from the second filament portion side in the ceramic grid body shown in FIG. 図７は、図１に示すセラミックス格子体における第１の線条部側から見た交差部付近の投影図である。FIG. 7 is a projection view in the vicinity of the intersection viewed from the first filament portion side in the ceramic lattice body shown in FIG. 図８は、図１に示すセラミックス格子体における貫通孔の形状を示す模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing the shape of the through holes in the ceramic grid body shown in FIG. 図９（ａ）及び図９（ｂ）はそれぞれ、本発明のセラミックス格子体の別の実施形態を示す模式図である。9 (a) and 9 (b) are schematic views showing another embodiment of the ceramic grid body of the present invention.

以下本発明を、その好ましい実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。図１（ａ）及び図１（ｂ）には、本発明のセラミックス格子体の一実施形態が示されている。これらの図に示すセラミックス格子体（以下、単に「格子体」ともいう。）１は、一方向Ｘに向けて延びるセラミックス製の複数の第１の線条部１０を有する。それぞれの第１の線条部１０は、直線をしており互いに平行に延びている。またセラミックス格子体１は、Ｘ方向と異なる方向であるＹ方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第２の線条部２０を有する。それぞれの第２の線条部２０は、直線をしており互いに平行に延びている。Ｘ方向とＹ方向とは異なる方向なので、第１の線条部１０と第２の線条部２０とは交差している。両線条部１０，２０の交差角度は、セラミックス格子体１０の具体的な用途に応じて設定することができる。例えば第１の線条部１０に対して、第２の線条部２０の交差角度を９０度とすることができる。あるいは、第１の線条部１０に対する第２の線条部２０の交差角度を９０度±１０度の範囲で変更させることもできる。複数の第１の線条部１０と、複数の第２の線条部２０とが交差していることによって格子体１が形成される。 The present invention will be described below based on its preferred embodiments with reference to the drawings. 1 (a) and 1 (b) show one embodiment of the ceramic grid body of the present invention. A ceramic lattice body (hereinafter, also simply referred to as “lattice body”) 1 shown in these drawings has a plurality of first linear filament portions 10 made of ceramics extending in one direction X. Each of the first linear portions 10 is a straight line and extends parallel to each other. Further, the ceramic grid body 1 has a plurality of ceramic second linear portions 20 extending in the Y direction which is a direction different from the X direction. Each second linear portion 20 is a straight line and extends parallel to each other. Since the X direction and the Y direction are different directions, the first linear portion 10 and the second linear portion 20 intersect. The intersecting angle between the linear portions 10 and 20 can be set according to the specific application of the ceramic grid 10. For example, the intersecting angle of the second linear portion 20 with respect to the first linear portion 10 can be 90 degrees. Alternatively, the intersecting angle of the second linear portion 20 with respect to the first linear portion 10 can be changed within the range of 90 ° ± 10 °. The plurality of first linear portions 10 and the plurality of second linear portions 20 intersect each other to form the grid body 1.

セラミックス格子体１は、第１の線条部１０と第２の線条部２０とが交差することによって格子をなし、該格子によって画成される複数の貫通孔３を有する板状の形状をしている。セラミックス格子体１は、第１面１ａと、これに対向する第２面１ｂとを有している。 The ceramic lattice body 1 forms a lattice by intersecting the first linear portion 10 and the second linear portion 20, and has a plate-like shape having a plurality of through holes 3 defined by the lattice. is doing. The ceramic grid body 1 has a first surface 1a and a second surface 1b facing the first surface 1a.

セラミックス格子体１は、それぞれの第１の線条部１０と、それぞれの第２の線条部２０とが交差する部位に交差部２を有する。交差部２は、セラミックス格子体１の平面視での投影像において、第１の線条部１０と第２の線条部２０とが重なり合う部位である。 The ceramic grid body 1 has an intersection portion 2 at a portion where each first linear portion 10 and each second linear portion 20 intersect. The intersecting portion 2 is a portion where the first linear portion 10 and the second linear portion 20 overlap each other in the projected image of the ceramics lattice 1 in a plan view.

第１の線条部１０は、両線条部１０，２０の交差部２以外の位置において、平面視して一定の幅Ｗ１（図２参照）を有している。第１の線条部１０は、その長手方向に直交する方向での厚み方向に沿った断面形状が、図２及び図３に示すとおり、セラミックス格子体１の第１面１ａ側に位置する第１面１０ａと、セラミックス格子体１の第２面１ｂ側に位置する第２面１０ｂとで画成される。詳細には、第１の線条部１０は、その長手方向に直交する方向での厚み方向に沿った断面が、交差部２以外の部位において、直線部１０Ａと、該直線部１０Ａの両端部を端部とする凸形の曲線部１０Ｂとから構成される形状を有している。その結果、第１の線条部１０の第１面１０ａは、該線条部１０の厚み方向での断面が平坦面になっている。該平坦面は、セラミックス格子体１の面内方向と略平行になっている。一方、第１の線条部１０の第２面１０ｂは、該線条部１０の厚み方向での断面が、セラミックス格子体１の第１面１ａから第２面１ｂに向けた凸の曲面形状をしている。 The first linear portion 10 has a constant width W1 (see FIG. 2) in plan view at a position other than the intersection 2 of the linear portions 10 and 20. As shown in FIGS. 2 and 3, the first linear portion 10 has a cross-sectional shape along the thickness direction in a direction orthogonal to the longitudinal direction thereof, which is located on the first surface 1a side of the ceramic grid body 1. It is defined by one surface 10a and a second surface 10b located on the second surface 1b side of the ceramic grid body 1. In detail, the first linear portion 10 has a straight line portion 10A and both end portions of the straight line portion 10A in a portion other than the intersection portion 2 in a cross section along the thickness direction in a direction orthogonal to the longitudinal direction. Has a shape composed of a convex curved portion 10B whose end portion is. As a result, the first surface 10a of the first linear portion 10 has a flat cross section in the thickness direction of the linear portion 10. The flat surface is substantially parallel to the in-plane direction of the ceramic grid body 1. On the other hand, in the second surface 10b of the first linear portion 10, the cross section in the thickness direction of the linear portion 10 is a convex curved surface shape from the first surface 1a to the second surface 1b of the ceramic lattice body 1. Are doing

第１の線条部１０と同様に、第２の線条部２０も、両線条部１０，２０の交差部２以外の位置において、平面視して一定の幅Ｗ２（図５参照）を有している。幅Ｗ２は、第１の線条部１０の幅Ｗ１と同じであってもよく、あるいは異なっていてもよい。第２の線条部２０は、その長手方向に直交する方向での厚み方向に沿った断面形状が、図４及び図５に示すとおり、セラミックス格子体１の第１面１ａ側に位置する第１面２０ａと、セラミックス格子体１の第２面１ｂ側に位置する第２面２０ｂとで画成される。第２の線条部２０の第１面２０ａは、セラミックス格子体１の第２面１ｂから第１面１ａに向けた凸の曲面形状になっている。一方、第２の線条部２０の第２面２０ｂは、該線条部２０の厚み方向での断面が、セラミックス格子体１の第１面１ａから第２面１ｂに向けた凸の曲面形状をしている。この曲面形状は、第１の線条部１０における曲面形状と同じであってもよく、あるいは異なっていてもよい。本実施形態においては、第２の線条部２０の第１面２０ａと第２面２０ｂとは対称形になっており、その結果、第２の線条部２０は、その長手方向に直交する方向での厚み方向に沿った断面形状が、円形又は楕円形になっている。 Similar to the first linear portion 10, the second linear portion 20 also has a constant width W2 (see FIG. 5) in plan view at a position other than the intersection 2 of the linear portions 10 and 20. Have The width W2 may be the same as or different from the width W1 of the first linear portion 10. As shown in FIGS. 4 and 5, the second linear portion 20 has a cross-sectional shape along the thickness direction in a direction orthogonal to the longitudinal direction thereof, which is located on the first surface 1a side of the ceramic grid body 1. It is defined by one surface 20a and a second surface 20b located on the second surface 1b side of the ceramic grid body 1. The first surface 20a of the second linear portion 20 has a convex curved surface shape from the second surface 1b of the ceramic lattice body 1 toward the first surface 1a. On the other hand, in the second surface 20b of the second linear portion 20, the cross section in the thickness direction of the linear portion 20 is a convex curved surface shape from the first surface 1a to the second surface 1b of the ceramic grid body 1. Are doing This curved surface shape may be the same as or different from the curved surface shape of the first linear portion 10. In the present embodiment, the first surface 20a and the second surface 20b of the second linear portion 20 are symmetrical, and as a result, the second linear portion 20 is orthogonal to its longitudinal direction. The cross-sectional shape along the thickness direction is circular or elliptical.

図３及び図４に示すとおり、第１の線条部１０における直線部１０Ａ、すなわち第１面１０ａを載置面として平面Ｐ上に載置したとき、各第１面１０ａはすべて平面Ｐ上に位置する。第１面１０ａは、セラミックス格子体１における第１面１ａをなすものであるから、各第１面１０ａがすべて平面Ｐ上に位置することは、該格子体１における第１面１ａが平坦面になっていることを意味する。したがってセラミックス格子体１を、その第１面１ａが、平坦な載置面と当接するように載置した場合には、該第１面１ａの全域が載置面と接することとなる。 As shown in FIGS. 3 and 4, when the linear portion 10A of the first linear portion 10, that is, the first surface 10a is placed on the plane P as a placement surface, each of the first surfaces 10a is entirely on the plane P. Located in. Since the first surface 10a forms the first surface 1a of the ceramic lattice body 1, the fact that all of the first surfaces 10a are located on the plane P means that the first surface 1a of the lattice body 1 is a flat surface. Means that. Therefore, when the ceramic grid body 1 is mounted such that the first surface 1a thereof contacts the flat mounting surface, the entire area of the first surface 1a contacts the mounting surface.

図３に示すとおり、第１の線条部１０における直線部１０Ａ、すなわち第１面１０ａを載置面として平面Ｐ上に載置したとき、第２の線条部２０は、隣り合う２つの交差部２の間において平面Ｐから離間する形状をしている。したがって、隣り合う２つの交差部２の間において、第２の線条部２０と平面Ｐとの間には空間Ｓが形成される。 As shown in FIG. 3, when the linear portion 10A of the first linear portion 10, that is, the first surface 10a is placed on the plane P as the mounting surface, the second linear portion 20 has two adjacent linear portions. It has a shape separated from the plane P between the intersections 2. Therefore, a space S is formed between the second linear portion 20 and the plane P between two adjacent intersecting portions 2.

一方、セラミックス格子体１における第２面１ｂは、凸の曲面形状になっている第２の線条部２０の第２面２０ｂから構成されているので、平坦面ではなく、凹凸面となっている。 On the other hand, the second surface 1b of the ceramics lattice 1 is composed of the second surface 20b of the second linear portion 20 having a convex curved surface shape, and therefore is not a flat surface but an uneven surface. There is.

セラミックス格子体１における第１の線条部１０と第２の線条部２０との交差部２において、両線条部１０，２０は一体化している。「一体化している」とは、交差部２の断面を観察において、両線条部１０，２０間が、セラミックスとして連続した構造体となっていることをいう。両線条部１０，２０の交差によってセラミックス格子体１に形成されている各貫通孔３は同寸法であり、且つ同形をしている。各貫通孔３は略矩形をしている。貫通孔３は規則的に配置されている。 At the intersection 2 of the first linear portion 10 and the second linear portion 20 in the ceramic grid body 1, both linear portions 10 and 20 are integrated. “Integrated” means that, when the cross section of the intersecting portion 2 is observed, a space between the linear portions 10 and 20 is a continuous ceramic structure. The through holes 3 formed in the ceramic grid 1 by the intersection of the linear portions 10 and 20 have the same size and the same shape. Each through hole 3 has a substantially rectangular shape. The through holes 3 are regularly arranged.

図１、図３及び図４に示すとおり、第１の線条部１０と第２の線条部２０との交差部２は、いずれの交差部２においても、第１の線条部１０上に第２の線条部２０が配されている。つまり、第１の線条部１０と第２の線条部２０との交差部２においては、格子体１の２つの面１ａ，１ｂのうち、相対的に第１面側１ａに位置する第１の線条部１０上に、相対的に第２面１ｂ側に位置する第２の線条部２０が配されている。そして、交差部２における厚みが、該交差部以外の部位における第１の線条部の厚み及び第２の線条部の厚みのいずれよりも大きくなっている。つまり、両線条部１０，２０の交差部２以外の位置における第１の線条部１０の厚みをＴ１とし（図２参照）、両線条部１０，２０の交差部２以外の位置における第２の線条部２０の厚みをＴ２とし（図５参照）、更に交差部における厚みをＴｃとしたとき（図３及び図４参照）、Ｔｃ＞Ｔ１であり、Ｔｃ＞Ｔ２である。したがって、セラミックス格子体１の第２面１ｂにおいては、両線条部１０，２０の交差部の位置が最も高くなっている。 As shown in FIGS. 1, 3 and 4, the intersection 2 between the first linear portion 10 and the second linear portion 20 is on the first linear portion 10 at any intersection 2. The second linear portion 20 is arranged at. That is, at the intersection 2 between the first linear portion 10 and the second linear portion 20, of the two surfaces 1a and 1b of the lattice body 1, which is relatively located on the first surface side 1a. The second linear portion 20 located relatively to the second surface 1b side is arranged on the first linear portion 10. The thickness of the intersecting portion 2 is larger than both the thickness of the first linear portion and the thickness of the second linear portion in the portion other than the intersecting portion. That is, the thickness of the first linear portion 10 at a position other than the intersection 2 of the linear portions 10 and 20 is set to T1 (see FIG. 2), and the thickness of the linear portion 10 and 20 at positions other than the intersection 2 is set to T1. When the thickness of the second linear portion 20 is T2 (see FIG. 5) and the thickness at the intersection is Tc (see FIGS. 3 and 4), Tc> T1 and Tc> T2. Therefore, on the second surface 1b of the ceramic grid body 1, the position of the intersection of the linear portions 10 and 20 is the highest.

図４に示すとおり、第１の線条部１０は、交差部２以外の部位において、該第１の線条部１０における第２面１０ｂの最高位置、すなわち頂部の位置が、第１の線条部１０の延びる方向に沿って同じになっている。第２の線条部２０に関しては、図３に示すとおり、第２の線条部２０における第２面２０ｂの最高位置は、交差部２の位置及び交差部２以外の位置のいずれにおいても、第１の線条部１０の延びる方向に沿って互いに同じ位置になっている。第２の線条部２０における第１面２０ａの最低位置は、交差部２以外の部位において、第２の線条部２０の延びる方向に沿って互いに同じ位置になっている。 As shown in FIG. 4, in the first linear portion 10, the highest position of the second surface 10b in the first linear portion 10, that is, the position of the top is the first line in the portion other than the intersection 2. It is the same along the direction in which the strip portion 10 extends. Regarding the second linear portion 20, as shown in FIG. 3, the highest position of the second surface 20b in the second linear portion 20 is at both the position of the intersection 2 and the position other than the intersection 2, The positions are the same as each other along the extending direction of the first linear portion 10. The lowest position of the first surface 20a of the second linear portion 20 is the same position as the second linear portion 20 in the extending direction of the second linear portion 20 except the intersection 2.

図１（ａ）及び図６に示すとおり、第２の線条部２０は、その平面視での投影像が、交差部２において、幅方向Ｘの外方に向けて湾曲膨出した形状になっている。それによって交差部２における投影像の幅Ｗ２ａが、交差部２以外の部位における投影像の幅Ｗ２ｂよりも大きくなっている。詳細には、第２の線条部２０は、平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭が、交差部２において、幅方向Ｘの外方に向けて緩やかな凸の曲線２１，２１を描いている。第２の線条部２０の平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭は、幅Ｗ２ａを有する最大幅部を有し、その最大幅部から離れるに連れて幅が漸次緩やかに減少していき、交差部２どうしの間の位置では幅Ｗ２ｂになる。幅Ｗ２ｂは、先に述べた幅Ｗ２と同じである。 As shown in FIG. 1A and FIG. 6, the second linear portion 20 has a projected image in a plan view that is curved and bulged outward in the width direction X at the intersection 2. Is becoming As a result, the width W2a of the projected image at the intersection 2 is larger than the width W2b of the projected image at a portion other than the intersection 2. Specifically, the contour of the second linear portion 20 along the longitudinal direction of the projected image in the plan view has curved lines 21 and 21 that are gently convex outward in the width direction X at the intersection 2. I am drawing. The contour of the second linear portion 20 along the longitudinal direction of the projected image in a plan view has a maximum width portion having a width W2a, and the width gradually decreases gradually away from the maximum width portion. The width becomes W2b at the position between the intersections 2. The width W2b is the same as the width W2 described above.

一方、第１の線条部１０は、図１（ｂ）及び図７に示すとおり、その平面視での投影像が、交差部２において、幅方向Ｙの外方に向けて湾曲膨出した形状になっている。それによって交差部２における投影像の幅Ｗ１ａが、交差部２以外の部位における投影像の幅Ｗ１ｂよりも大きくなっている。詳細には、第１の線条部１０は、平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭が、交差部２において、幅方向Ｙの外方に向けて緩やかな凸の曲線１１，１１を描いている。第１の線条部１０の平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭は、幅Ｗ１ａを有する最大幅部を有し、その最大幅部から離れるに連れて幅が漸次緩やかに減少していき、交差部２どうしの間の位置では幅Ｗ１ｂになる。幅Ｗ１ｂは、先に述べた幅Ｗ１と同じである。 On the other hand, as shown in FIGS. 1B and 7, the projection image of the first linear portion 10 in plan view is curved and bulged outward in the width direction Y at the intersection 2. It has a shape. As a result, the width W1a of the projected image at the intersection 2 is larger than the width W1b of the projected image at a portion other than the intersection 2. Specifically, in the first linear portion 10, the contour along the longitudinal direction of the projected image in plan view has curved lines 11 and 11 that are gently convex outward in the width direction Y at the intersection 2. I am drawing. The contour of the first linear portion 10 along the longitudinal direction of the projected image in a plan view has a maximum width portion having a width W1a, and the width gradually decreases gradually with increasing distance from the maximum width portion. Then, the width becomes W1b at the position between the intersections 2. The width W1b is the same as the width W1 described above.

図８には、セラミックス格子体１の平面図が示されている。同図に示すとおり、格子体１には、複数の第１の線条部１０と複数の第２の線条部２０とが略直交することで、該格子体の平面視において略矩形状の複数の貫通孔３が形成されている。略矩形状をなす貫通孔３は、対向する一組の辺である第１辺３ａ，３ａを有している。これとともに貫通孔３は、対向する別の一組の辺である第２辺３ｂ，３ｂを有している。第１辺３ａ，３ａは、第１の線条部１０の両側縁に対応する辺である。一方、第２辺３ｂ，３ｂは、第２の線条部２０の両側縁に対応する辺である。貫通孔３は、これらの四辺によって画定されている。対向する第１辺３ａ，３ａどうしは直線になっており互いに平行に延びている。同様に、対向する第２辺３ｂ，３ｂどうしも直線になっており互いに平行に延びている。そして、第１の線条部１０及び第２の線条部２０が、それらの交差部２において上述した湾曲膨出形状を有することによって、第１の線条部１０と第２の線条部２０とが略直交することによって形成される貫通孔３は、隅部３０が直角の矩形ではなく、図８に示す模式図のように、隅部３０がやや丸みを帯びた矩形となる。 FIG. 8 shows a plan view of the ceramic grid body 1. As shown in the figure, the plurality of first linear portions 10 and the plurality of second linear portions 20 are substantially orthogonal to each other in the lattice body 1 to form a substantially rectangular shape in a plan view of the lattice body. A plurality of through holes 3 are formed. The substantially rectangular through hole 3 has a pair of opposing first sides 3a, 3a. Along with this, the through hole 3 has a second pair of opposite sides, that is, second sides 3b and 3b. The first sides 3 a, 3 a are sides corresponding to both side edges of the first linear portion 10. On the other hand, the second sides 3b, 3b are sides corresponding to both side edges of the second linear portion 20. The through hole 3 is defined by these four sides. The opposing first sides 3a, 3a are straight and extend parallel to each other. Similarly, the opposing second sides 3b, 3b are also linear and extend parallel to each other. And the 1st linear part 10 and the 2nd linear part 20 have the curved bulging shape mentioned above in those intersection parts 2, and the 1st linear part 10 and the 2nd linear part The through-hole 3 formed by being substantially orthogonal to 20 is not a rectangular shape in which the corner portion 30 is a right angle, but is a rectangular shape in which the corner portion 30 is slightly rounded as shown in the schematic view of FIG. 8.

以上の構成を有するセラミックス格子体１は、これを例えば被焼成体の焼成用セッターとして用いた場合、矩形をした貫通孔３の隅部３０が丸みを帯びていることに起因して、強度及び耐スポーリング性が向上する。この理由は、セラミックス格子体１のうち、クラック等の欠陥が最も発生しやすい部位は貫通孔３の隅部３０であるところ、該隅部３０が丸みを帯びていることに起因して、該隅部３０にクラック等が生じにくいからである。これとは対照的に、例えば上述した特許文献２に記載されている開口部を有する窯道具板では、該開口部の隅部が直角になっているので、クラック等が生じやすい。 When the ceramic grid body 1 having the above configuration is used as, for example, a setter for firing a body to be fired, the strength and strength of the ceramic lattice body 1 are increased due to the corner portion 30 of the rectangular through hole 3 being rounded. The spalling resistance is improved. The reason for this is that the portion of the ceramic grid 1 where defects such as cracks are most likely to occur is the corner portion 30 of the through-hole 3, and the corner portion 30 is rounded. This is because cracks and the like are less likely to occur in the corner portion 30. In contrast to this, for example, in the kiln tool plate having the opening described in Patent Document 2 described above, since the corners of the opening are at right angles, cracks and the like are likely to occur.

上述した強度及び耐スポーリング性の向上は、第１の線条部１０と第２の線条部２０との交差部２において、少なくとも第２の線条部２０が、平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭に、前記の凸の曲線２１を有していれば十分に達成される。特に、第１の線条部１０及び第２の線条部２０の双方が、平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭に、前記の凸の曲線１１，２１を有していると、強度及び耐スポーリング性が更に一層向上する。 The above-described improvement in strength and spalling resistance is achieved by projecting a plan view of at least the second linear portion 20 at the intersection 2 between the first linear portion 10 and the second linear portion 20. It is sufficient to have the above-mentioned convex curve 21 on the contour along the longitudinal direction of. In particular, when both the first linear portion 10 and the second linear portion 20 have the convex curved lines 11 and 21 on the contours along the longitudinal direction of the projected image in plan view, The strength and spalling resistance are further improved.

以上の構成を有するセラミックス格子体１は、これを例えば被焼成体の焼成用セッターとして用いた場合、該格子体１の第１面１ａに被焼成体を載置すれば、該該第１面１ａは平坦面であることから、平坦性を求められる被焼成体の載置に好適なものとなる。平坦性を求められる被焼成体としては、例えば積層セラミックコンデンサ等の小型のチップ状電子部品などが挙げられる。これらの小型電子部品は、焼成工程においてセッターに引っ掛からないことが必要とされるので、格子体１の第１面１ａが平坦であることは有利である。また、被焼成体は、第１面１ａを構成する部材である第１の線条部１０のみ接触するので、格子体１と被焼成体との接触面積が大幅に低減し、それによって被焼成体の急激な加熱及び冷却を行いやすくなる。また、格子体１は第１及び第２の線条部１０，２０の交差によって形成されており複数の貫通孔３が形成されているので、熱容量が小さく、その点からも被焼成体の急激な加熱及び冷却を行いやすい。更に格子体１は、複数の貫通孔３が存在していることに起因して通気性が良好なので、このことによっても被焼成体の急激な冷却を行いやすい。良好な通気性は、隣り合う交差部２どうしの間において第２の線条部２０が浮いていることによって一層顕著なものとなる。しかも格子体１においては、第１及び第２の線条部１０，２０が交差部２において一体化しているので、充分な強度を有するものである。 When the ceramic latticed body 1 having the above structure is used as, for example, a setter for firing a body to be fired, if the body to be fired is placed on the first surface 1a of the body 1, the first surface Since 1a is a flat surface, it is suitable for placing an object to be fired, which requires flatness. Examples of the body to be fired required to have flatness include a small chip-shaped electronic component such as a monolithic ceramic capacitor. Since these small electronic components are required not to be caught by the setter in the firing process, it is advantageous that the first surface 1a of the lattice 1 is flat. Further, since the object to be fired contacts only the first linear portion 10 which is a member forming the first surface 1a, the contact area between the lattice body 1 and the object to be fired is significantly reduced, and as a result, the object to be fired is It facilitates rapid heating and cooling of the body. In addition, since the grid body 1 is formed by the intersection of the first and second linear portions 10 and 20 and the plurality of through holes 3 are formed, the heat capacity is small, and also from this point, the abruptness of the body to be fired is small. Easy to heat and cool. Furthermore, since the lattice body 1 has good air permeability due to the presence of the plurality of through holes 3, this also facilitates rapid cooling of the body to be fired. The good air permeability becomes more remarkable by the fact that the second linear portion 20 floats between the adjacent intersecting portions 2. Moreover, in the lattice body 1, since the first and second linear portions 10 and 20 are integrated at the intersection portion 2, the lattice body 1 has sufficient strength.

一方、格子体１の第２面１ｂには、ｍｍオーダーの被焼成体を載置することが有利である。第２面１ｂは、第２の線条部２０の曲面に起因する凹凸面となっているところ、このオーダーのサイズの電子部品は、それが載置される面に凹凸を有することが、脱脂性を高める観点から有利だからである。 On the other hand, it is advantageous to mount a mm-order object to be fired on the second surface 1b of the lattice 1. The second surface 1b is an uneven surface due to the curved surface of the second linear portion 20, and an electronic component of this order may have unevenness on the surface on which it is placed. This is because it is advantageous from the viewpoint of enhancing the sex.

このように本実施形態の格子体１は、その一方の面が平坦であり、他方の面が凹凸面になっていることから、被焼成体の種類に応じて載置面を使い分けることができるという点で有利である。 As described above, in the lattice body 1 of the present embodiment, one surface thereof is flat and the other surface thereof is an uneven surface, so that the mounting surface can be properly used according to the type of the object to be fired. That is advantageous.

上述した各種の有利な効果を一層顕著なものとする観点から、Ｔ１の値は、５０μｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以上２ｍｍ以下であることが更に好ましい。一方、Ｔ２の値は、５０μｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以上２ｍｍ以下であることが更に好ましい。Ｔ１とＴ２の値の大小関係に特に制限はなく、Ｔ１＞Ｔ２であってもよく、逆にＴ１＜Ｔ２であってもよく、あるいはＴ１＝Ｔ２であってもよい。 From the viewpoint of making the above-mentioned various advantageous effects more remarkable, the value of T1 is preferably 50 μm or more and 5 mm or less, and more preferably 200 μm or more and 2 mm or less. On the other hand, the value of T2 is preferably 50 μm or more and 5 mm or less, and more preferably 200 μm or more and 2 mm or less. The magnitude relationship between the values of T1 and T2 is not particularly limited, and may be T1> T2, conversely T1 <T2, or T1 = T2.

同様の観点から、交差部２における厚みＴｃは０．１ｍｍ以上２ｍｍ以下であることが好ましく、０．３ｍｍ以上１．５ｍｍ以下であることが更に好ましい。なお、交差部２における厚みＴｃは、Ｔ１及びＴ２の総和であるＴ１＋Ｔ２よりも小さくなっている。 From the same viewpoint, the thickness Tc at the intersection 2 is preferably 0.1 mm or more and 2 mm or less, and more preferably 0.3 mm or more and 1.5 mm or less. The thickness Tc at the intersection 2 is smaller than T1 + T2, which is the sum of T1 and T2.

また、第２の線条部２０の厚み方向での断面形状（図５参照）が楕円形である場合、楕円形の短軸が格子体１の厚み方向に一致し、且つ楕円形の長軸が格子体１の平面方向に一致することが、被焼成体の載置を首尾よく行える点から好ましい。この場合、長軸／短軸の比率は、１以上５以下であることが好ましく、１以上３以下であることが更に好ましい。また、第２の線条部２０の厚み方向での断面形状が楕円形又は円形であることは、格子体１の強度向上にも寄与している。 When the cross-sectional shape of the second linear portion 20 in the thickness direction (see FIG. 5) is elliptical, the minor axis of the ellipse coincides with the thickness direction of the lattice body 1 and the major axis of the ellipse. Is preferably in line with the plane direction of the lattice 1 in order to successfully place the body to be fired. In this case, the major axis / minor axis ratio is preferably 1 or more and 5 or less, and more preferably 1 or more and 3 or less. Further, the cross-sectional shape of the second linear portion 20 in the thickness direction being elliptical or circular also contributes to the improvement of the strength of the lattice 1.

セラミックス格子体１に形成された貫通孔３は、その面積が１００μｍ^２以上１００ｍｍ^２以下、特に２５００μｍ^２以上１ｍｍ^２以下であることが、格子体１の熱容量を低下させる点や、通気性を向上させる点、及び格子体１の強度維持の点から好ましい。また、平面視におけるセラミックス格子体１の見かけの面積に対する貫通孔３の面積の総和の割合（この値を）は、１％以上８０％以下であることが好ましく、３％以上７０％以下であることが更に好ましく、１０％以上７０％以下であることが一層好ましい。この割合は、セラミックス格子体１を平面視して、任意の大きさの矩形に切り取り、その矩形内に含まれる貫通孔３の面積の総和を算出し、その総和を矩形の面積で除し１００を乗じて算出される。また、各貫通孔３の面積は、格子体１の顕微鏡観察像を画像解析することで測定できる。 The through holes 3 formed in the ceramic grid 1 have an area of 100 μm ² or more and 100 mm ² or less, and particularly 2500 μm ² or more and 1 mm ² or less, which reduces the heat capacity of the grid 1 and improves air permeability. It is preferable from the standpoints of maintaining the strength of the lattice 1. The ratio of the total area of the through holes 3 to the apparent area of the ceramics lattice 1 in plan view (this value) is preferably 1% or more and 80% or less, and 3% or more and 70% or less. More preferably, it is more preferably 10% or more and 70% or less. This ratio is obtained by cutting the ceramic grid body 1 in a plan view into a rectangle of an arbitrary size, calculating the total area of the through holes 3 included in the rectangle, and dividing the total by the area of the rectangle. It is calculated by multiplying by. The area of each through hole 3 can be measured by image analysis of a microscopic observation image of the lattice 1.

貫通孔３の面積に関連して、第１の線条部１０の幅Ｗ１は５０μｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましく、７５μｍ以上１ｍｍ以下であることが更に好ましい。一方、第２の線条部２０の幅Ｗ２は５０μｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましく、７５μｍ以上１ｍｍ以下であることが更に好ましい。Ｗ１とＷ２の値の大小関係に特に制限はなく、Ｗ１＞Ｗ２であってもよく、逆にＷ１＜Ｗ２であってもよく、あるいはＷ１＝Ｗ２であってもよい。 In relation to the area of the through hole 3, the width W1 of the first linear portion 10 is preferably 50 μm or more and 10 mm or less, and more preferably 75 μm or more and 1 mm or less. On the other hand, the width W2 of the second linear portion 20 is preferably 50 μm or more and 10 mm or less, and more preferably 75 μm or more and 1 mm or less. The magnitude relationship between the values of W1 and W2 is not particularly limited, and may be W1> W2, conversely W1 <W2, or W1 = W2.

第１及び第２の線条部１０，２０の幅Ｗ１，Ｗ２との関連において、隣り合う第１の線条部１０間のピッチＰ１は、１００μｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以上５ｍｍ以下であることが更に好ましい。一方、隣り合う第２の線条部２０間のピッチＰ２は、１００μｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以上５ｍｍ以下であることが更に好ましい。 In relation to the widths W1 and W2 of the first and second linear portions 10 and 20, the pitch P1 between the adjacent first linear portions 10 is preferably 100 μm or more and 10 mm or less, and 150 μm or more and 5 mm or less. The following is more preferable. On the other hand, the pitch P2 between the adjacent second linear portions 20 is preferably 100 μm or more and 10 mm or less, and more preferably 150 μm or more and 5 mm or less.

第１の線条部１０は、その表面のうち第１面１０ａが平滑であることが好ましい。線条部１０の第１面１０ａが平滑であることによって、セラミックス格子体１上に被焼成体を載置したときに、該被焼成体に傷がつきにくくなるという利点がある。また被焼成体の焼成によって得られた焼成体が、セラミックス格子体１に引っ掛かりにくくなり、取り出し性が良好になるという利点もある。更に、被焼成体が基板などの薄肉のテープ成形体であれば、第１面１０ａの表面状態が被焼成体の底面に転写されるため、被焼成体底面がより平滑に仕上がりやすくなるメリットもある。一方で、表面粗さが大きいと、被焼成体を載置したときに、被焼成体下のガスの流れがよくなるため、脱脂がスムーズに進みやすくなるという利点がある。これらの観点から、第１の線条部１０の第１面１０ａの表面粗さＲａは、０．０１μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましく、０．０１μｍ以上１０μｍ以下であることが更に好ましい。一方、第２の線条部１０の第２面２０ｂの表面粗さＲａは、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以上１００μｍ以下であることが更に好ましい。表面粗さＲａは、具体的には、次の方法で測定される。カラー３Ｄレーザー顕微鏡（（株）キーエンス製、ＶＫ―８７１０）を用いて、撮影倍率を２００倍として測定した。第１の線条部１０の第１面１０ａに関しては、第１面１０ａの中線に沿って、表面粗さを測定し、２０個の測定値から平均値を算出し、Ｒａとした。一方、第２の線条部２０の第２面２０ｂでは、線条部１０ｂの中線に沿って表面粗さを測定し、２０個の測定値から平均値を算出し、Ｒａとした。 It is preferable that the first surface 10a of the first linear portion 10 is smooth. Since the first surface 10a of the linear portion 10 is smooth, there is an advantage that when the object to be fired is placed on the ceramic lattice body 1, the object to be fired is not easily scratched. Further, there is also an advantage that the fired body obtained by firing the body to be fired is less likely to be caught by the ceramic lattice body 1 and the take-out property is improved. Further, if the object to be fired is a thin tape molded body such as a substrate, the surface condition of the first surface 10a is transferred to the bottom surface of the object to be fired, so that the bottom surface of the object to be fired can be finished more smoothly and easily. is there. On the other hand, when the surface roughness is large, there is an advantage that when the object to be fired is placed, the flow of gas under the object to be fired is improved, so that degreasing can easily proceed smoothly. From these viewpoints, the surface roughness Ra of the first surface 10a of the first linear portion 10 is preferably 0.01 μm or more and 20 μm or less, and more preferably 0.01 μm or more and 10 μm or less. On the other hand, the surface roughness Ra of the second surface 20b of the second linear portion 10 is preferably 10 μm or more and 300 μm or less, and more preferably 20 μm or more and 100 μm or less. The surface roughness Ra is specifically measured by the following method. A color 3D laser microscope (VK-8710 manufactured by KEYENCE CORPORATION) was used and the measurement was performed at a magnification of 200 times. Regarding the first surface 10a of the first linear portion 10, the surface roughness was measured along the center line of the first surface 10a, and an average value was calculated from 20 measured values, which was taken as Ra. On the other hand, on the second surface 20b of the second linear portion 20, the surface roughness was measured along the midline of the linear portion 10b, and an average value was calculated from the 20 measured values, which was taken as Ra.

線条部１０ａ、２０ａの表面粗さＲａの値を小さくするためには、例えば、該線条部の形成に用いられるペーストを塗布する基板として表面粗さの小さいものを用いたり、あるいは該ペーストとして低粘度のものを用いたりすればよい。一方、線条部１０ｂ、２０ｂの表面粗さＲａの値を大きくするためには、例えば、該ペーストとして、高粘度のものを用いたり、吐出させるノズル径を大きくしたりすればよい。場合によっては、セラミックス格子体１の第１面１ａ及び／又は第２面１ｂを研磨して所定の表面粗さとなるように加工してもよい。 In order to reduce the value of the surface roughness Ra of the linear portions 10a, 20a, for example, a substrate having a small surface roughness is used as a substrate on which the paste used for forming the linear portions is applied, or the paste is used. A low-viscosity one may be used. On the other hand, in order to increase the value of the surface roughness Ra of the linear portions 10b and 20b, for example, a high viscosity paste may be used as the paste, or the nozzle diameter for discharging may be increased. In some cases, the first surface 1a and / or the second surface 1b of the ceramic grid body 1 may be polished so as to have a predetermined surface roughness.

セラミックス格子体１を構成するセラミックス素材としては、種々のものを用いることができる。例えば、アルミナ、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ジルコニア、ムライト、ジルコン、コージェライト、チタン酸アルミニウム、チタン酸マグネシウム、マグネシア、二硼化チタン、窒化ホウ素などが挙げられる。これらのセラミックス素材は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。特に、アルミナ、ムライト、コージェライト、ジルコニア又は炭化ケイ素を含むセラミックスからなることが好ましい。ジルコニアを含むセラミックスを用いる場合には、格子体１を高温焼成での使用により適したものとするため、イットリア添加により完全安定化したジルコニアなどを用いることができる。セラミックス格子体１を急激な加熱及び冷却に付す場合には、セラミックス素材として炭化ケイ素を用いることが特に好ましい。なお炭化ケイ素は、被焼成体との反応の懸念があることから、セラミックス素材として炭化ケイ素を用いる場合には、表面をジルコニア等の反応性の低いセラミックス素材でコートすることが好ましい。格子体１を構成するセラミックス素材の原料粉としては、ペーストにした場合の粘性や焼結されやすさを考慮すると、０．１μm以上２００μm以下の粒径のものを用いることが好ましい。第１の線条部１０を構成するセラミックス素材と、第２の線条部２０を構成するセラミックス素材とは同じでもよく、あるいは異なっていてもよい。交差部２における第１及び第２の線条部１０，２０の一体性を高くする観点からは、両線条部１０，２０を構成するセラミックス素材は同じであることが好ましい。 Various materials can be used as the ceramic material forming the ceramic grid 1. Examples thereof include alumina, silicon carbide, silicon nitride, zirconia, mullite, zircon, cordierite, aluminum titanate, magnesium titanate, magnesia, titanium diboride, and boron nitride. These ceramic materials can be used alone or in combination of two or more. In particular, it is preferably made of ceramics containing alumina, mullite, cordierite, zirconia or silicon carbide. When ceramics containing zirconia is used, zirconia completely stabilized by the addition of yttria can be used in order to make the lattice 1 more suitable for use at high temperature firing. When the ceramic grid 1 is subjected to rapid heating and cooling, it is particularly preferable to use silicon carbide as the ceramic material. Since silicon carbide may react with the body to be fired, when silicon carbide is used as the ceramic material, it is preferable to coat the surface with a ceramic material having low reactivity such as zirconia. As the raw material powder of the ceramic material forming the lattice body 1, it is preferable to use a powder having a particle size of 0.1 μm or more and 200 μm or less in consideration of the viscosity and the ease of sintering when formed into a paste. The ceramic material forming the first linear portion 10 and the ceramic material forming the second linear portion 20 may be the same or different. From the viewpoint of increasing the integrity of the first and second linear portions 10 and 20 in the intersecting portion 2, it is preferable that the ceramic materials forming both linear portions 10 and 20 are the same.

次に、本実施形態のセラミックス格子体１の好適な製造方法について説明する。本製造方法においては、まずセラミックス素材の原料粉を用意し、該原料粉を、水等の媒体及び結合剤と混合して線条部製造用のペーストを調製する。 Next, a suitable method of manufacturing the ceramic grid body 1 of the present embodiment will be described. In the present manufacturing method, first, a raw material powder of a ceramic material is prepared, and the raw material powder is mixed with a medium such as water and a binder to prepare a paste for producing a linear portion.

結合剤としては、この種のペーストに従来用いられたものと同様のものを用いることができる。その例としてはポリビニルアルコール、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシド、デキストリン、リグニンスルホン酸ソーダ及びアンモニウム、カルボキシメチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシエチルメチルセルロース、アルギン酸ナトリウム及びアンモニウム、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アラビアゴム、ポリビニルブチラール、ポリアクリル酸及びポリアクリルアミドなどのアクリル系ポリマー、キサンタンガム及びグアガムなどの増粘多糖体類、ゼラチン、寒天及びペクチンなどのゲル化剤、酢酸ビニル樹脂エマルジョン、ワックスエマルジョン、並びにアルミナゾル及びシリカゾルなどの無機バインダーなどが挙げられる。これらのうちの２種類以上を混合して用いてもよい。 As the binder, the same binder as that conventionally used for this type of paste can be used. Examples thereof are polyvinyl alcohol, polyethylene glycol, polyethylene oxide, dextrin, sodium lignin sulfonate and ammonium, carboxymethyl cellulose, ethyl cellulose, hydroxypropyl methyl cellulose, carboxymethyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, hydroxyethyl methyl cellulose, sodium and ammonium alginate, epoxy resin, phenol. Resin, gum arabic, polyvinyl butyral, acrylic polymers such as polyacrylic acid and polyacrylamide, thickening polysaccharides such as xanthan gum and guar gum, gelatin, gelling agents such as agar and pectin, vinyl acetate resin emulsion, wax emulsion, And inorganic binders such as alumina sol and silica sol Etc., and the like. Two or more of these may be mixed and used.

ペーストの粘度は、塗布時の温度において高粘度であることが、本実施形態の構造を有する格子体１を首尾よく製造し得る点から好ましい。詳細には、ペーストの粘度は、塗布時の温度において、１．５ＭＰａ・ｓ以上５．０ＭＰａ・ｓ以下であることが好ましく、１．７ＭＰａ・ｓ以上３．０ＭＰａ・ｓ以下であることが更に好ましい。ペーストの粘度は、コーンプレート型回転式粘度計又はレオメーターを用いて、回転数０．３ｐｍにて測定開始後４分時の測定値を用いた。 It is preferable that the paste has a high viscosity at the temperature at the time of application from the viewpoint that the lattice body 1 having the structure of the present embodiment can be manufactured successfully. Specifically, the viscosity of the paste is preferably 1.5 MPa · s or more and 5.0 MPa · s or less, and more preferably 1.7 MPa · s or more and 3.0 MPa · s or less at the temperature at the time of application. preferable. The viscosity of the paste was measured using a cone-plate type rotary viscometer or a rheometer at a rotation speed of 0.3 pm and measured 4 minutes after the start of measurement.

ペーストとして比較的低粘度のものを用いることもできる。低粘度のペーストを用いる場合には、後述する格子状前駆体を製造した後、該格子状前駆体を焼成工程に付す前に、該格子状前駆体を乾燥させて液体分を除去し、該格子状前駆体の保形性を高めてから焼成を行うことが好ましい。比較的低粘度のペーストを用いる場合、その粘度は、塗布時の温度において、１０ｋＰａ・ｓ以上１．５ＭＰａ・ｓ以下であることが好ましく、０．５ＭＰａ・ｓ以上１．３ＭＰａ・ｓ以下であることが更に好ましい。 It is also possible to use a paste having a relatively low viscosity. When a low-viscosity paste is used, after producing the lattice-like precursor described later, and before subjecting the lattice-like precursor to the firing step, the lattice-like precursor is dried to remove the liquid content, It is preferable to perform the firing after enhancing the shape retention of the lattice-form precursor. When using a paste having a relatively low viscosity, the viscosity is preferably 10 kPa · s or more and 1.5 MPa · s or less, and 0.5 MPa · s or more and 1.3 MPa · s or less at the temperature at the time of application. More preferably.

ペーストが高粘度のものである場合、及び比較的低粘度のものである場合のいずれの場合であっても、ペーストにおけるセラミックス素材の原料粉の割合は、２０質量％以上８５質量％以下であることが好ましく、３５質量％以上７５質量％以下であることが更に好ましい。ペーストにおける媒体の割合は、１５質量％以上６０質量％以下であることが好ましく、２０質量％以上５５質量％以下であることが更に好ましい。ペーストにおける結合剤の割合は、１質量％以上４０質量％以下であることが好ましく、５質量％以上２５質量％以下であることが更に好ましい。 Regardless of whether the paste has a high viscosity or a relatively low viscosity, the ratio of the raw material powder of the ceramic material in the paste is 20% by mass or more and 85% by mass or less. It is preferably 35% by mass or more and 75% by mass or less. The proportion of the medium in the paste is preferably 15% by mass or more and 60% by mass or less, and more preferably 20% by mass or more and 55% by mass or less. The proportion of the binder in the paste is preferably 1% by mass or more and 40% by mass or less, and more preferably 5% by mass or more and 25% by mass or less.

ペーストには、粘性調整剤として、増粘剤、凝集剤、チクソトロピック剤などを含有させることができる。増粘剤の例としては、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、アルキルアリルスルホン酸、アルキルアンモニウム塩、エチルビニルエーテル・無水マレン酸コポリマー、フュームドシリカ、アルブミンなどのタンパク質などが挙げられる。多くの場合、結合剤は、増粘効果があるため、増粘剤に分類されることがあるが、更に厳密な粘性調整が必要とされる場合には、別途、結合剤に分類されない増粘剤を用いることができる。凝集剤の例として、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸エステル、硫酸アルミニウム、ポリ塩化アルミニウムなどが挙げられる。チクソトロピック剤の例として、脂肪酸アマイド、酸化ポリオレフィン、ポリエーテルエステル型界面活性剤などが挙げられる。ペースト調製用の溶媒としては、水以外にも、アルコール、アセトン及び酢酸エチルなどが用いられ、これらを２種類以上混合してもよい。また吐出量を安定させるために、可塑剤、潤滑剤、分散剤、沈降抑制剤、ＰＨ調整剤などを添加してもよい。可塑剤には、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコールなどのグリコール系、グリセリン、ブタンジオール、フタル酸系、アジピン酸系、リン酸系などが挙げられる。潤滑剤には、流動パラフィン、マイクロワックス、合成パラフィンなどの炭化水素系、高級脂肪酸、脂肪酸アミドなどが挙げられる。分散剤には、ポリカルボン酸ナトリウム若しくはアンモニウム塩、アクリル酸系、ポリイチレンイミン、リン酸系などが挙げられる。沈降抑制剤には、ポリアマイドアミン塩、ベントナイト、ステアリン酸アルミニウムなどが挙げられる。ＰＨ調整剤には、水酸化ナトリウム、アンモニア水、シュウ酸、酢酸、塩酸などが挙げられる。 The paste may contain a thickener, a coagulant, a thixotropic agent, etc. as a viscosity modifier. Examples of the thickener include polyethylene glycol fatty acid ester, alkylallyl sulfonic acid, alkyl ammonium salt, ethyl vinyl ether / maleic anhydride copolymer, fumed silica, proteins such as albumin, and the like. In many cases, binders are classified as thickeners because they have a thickening effect, but when more precise viscosity adjustment is required, thickeners not separately classified as binders are used. Agents can be used. Examples of the aggregating agent include polyacrylamide, polyacrylic acid ester, aluminum sulfate, polyaluminum chloride and the like. Examples of thixotropic agents include fatty acid amides, polyolefin oxides, and polyether ester type surfactants. As the solvent for preparing the paste, alcohol, acetone, ethyl acetate and the like are used in addition to water, and two or more kinds thereof may be mixed. Further, in order to stabilize the discharge amount, a plasticizer, a lubricant, a dispersant, a sedimentation inhibitor, a pH adjusting agent and the like may be added. Examples of the plasticizer include glycol type such as trimethylene glycol and tetramethylene glycol, glycerin, butanediol, phthalic acid type, adipic acid type and phosphoric acid type. Examples of the lubricant include hydrocarbons such as liquid paraffin, microwax, and synthetic paraffin, higher fatty acids, and fatty acid amides. Examples of the dispersant include sodium or ammonium polycarboxylic acid, acrylic acid type, polyethyleneimine, and phosphoric acid type. Examples of sedimentation inhibitors include polyamine amine salts, bentonite, aluminum stearate and the like. Examples of the pH adjusting agent include sodium hydroxide, aqueous ammonia, oxalic acid, acetic acid, hydrochloric acid and the like.

得られたペーストを用い、平坦な基板上に、複数条の線条第１塗工体を互いに平行に且つ直線状に形成する。線条第１塗工体は、目的とする格子体１における第１の線条部１０に対応するものである。線条第１塗工体の形成には、種々の塗布装置を用いることができる。例えばディスペンサを用いることができる。吐出方式は、ペーストが比較的低い粘性の場合は、スクリュータイプが吐出精度の観点から好ましく、比較的粘性が高い場合は、吐出安定性の観点から、一軸偏心ネジポンプ型が好ましい。ディスペンサにおけるノズルの直径は、例えば０．２ｍｍ以上５．０ｍｍ以下にすることができる。 Using the obtained paste, a plurality of linear first coating bodies are formed on a flat substrate in parallel and linearly. The first linear filament coated body corresponds to the first linear filament portion 10 in the target lattice body 1. Various coating devices can be used to form the first filament coating body. For example, a dispenser can be used. When the paste has a relatively low viscosity, a screw type is preferable from the viewpoint of discharge accuracy, and when the paste has a relatively high viscosity, a uniaxial eccentric screw pump type is preferable from the viewpoint of discharge stability. The diameter of the nozzle in the dispenser can be, for example, 0.2 mm or more and 5.0 mm or less.

線条第１塗工体が形成されたら、次いで、該線条第１塗工体と交差するように、複数条の線条第２塗工体を互いに平行に且つ直線状に形成する。線条第２塗工体は、目的とする格子体１における第２の線条部２０に対応するものである。線条第２塗工体の形成には、線条第１塗工体と同様の塗布装置を用いることができる。このように線条第１塗工体と線条第２塗工体とを順次形成することで、第１の線条部１０上に第２の線条部２０が位置する格子体１が首尾よく得られる。この場合、ペーストとして高粘度のものを用いることで、線条第１塗工体と線条第２塗工体との交差部において、線条第２塗工体が適度に線条第１塗工体内に沈み込み、それによって、これらの塗工体の側縁が幅方向の外方に向けて湾曲膨出する。更に、隣り合う交差部の間において、線条第２塗工体が橋渡し状態（つまり浮いた状態）になる。 After the first linear filament coating body is formed, a plurality of linear second filament coating bodies are formed in parallel with each other so as to intersect with the first linear filament coating body. The line-shaped second coated body corresponds to the second line-shaped portion 20 in the target lattice body 1. For forming the second filament coated body, the same coating device as that used for the first filament coated body can be used. By sequentially forming the first linear filament coating body and the second linear filament coating body in this manner, the grid body 1 in which the second linear filament portion 20 is located on the first linear filament portion 10 is successfully completed. Well obtained. In this case, by using a paste having a high viscosity, the line-shaped second coated body is appropriately coated at the intersection of the line-shaped first coated body and the line-shaped second coated body. It sinks into the work body, whereby the side edges of these coating bodies curve and bulge outward in the width direction. Furthermore, the second filament coating body is in a bridging state (that is, in a floating state) between the adjacent intersecting portions.

このようにして、２種類の線条塗工体によって形成された格子状前駆体が得られる。格子状前駆体を製造するときに用いたペーストの粘度が比較的低い場合には、この格子状前駆体を乾燥させて、保形性を発現させることが好ましい。それによって、線条第２塗工体が過度に線条第１塗工体内に沈み込むことが防止されて、これらの塗工体の側縁が幅方向の外方に向けて適度に湾曲膨出する。また、隣り合う交差部の間において、線条第２塗工体が自重で下方に向けて撓むことが防止されて、線条第２塗工体の橋渡し状態が維持される。乾燥は、例えば大気下に４０℃以上８０℃以下の温度で格子状前駆体を加熱することで行われる。加熱時間は、例えば０．５時間以上１２時間以下とすることができる。ペーストの粘度が高い場合には、格子状前駆体の乾燥は必要がない場合が多く、そのときには格子状前駆体を直接に以下に述べる焼成工程に付すことができる。 In this way, the grid-like precursor formed by the two types of filament coating bodies is obtained. When the viscosity of the paste used for producing the lattice-shaped precursor is relatively low, it is preferable to dry the lattice-shaped precursor to exhibit the shape retention property. This prevents the second line-coated body from excessively sinking into the first line-coated body, and the side edges of these line-shaped coated bodies are appropriately curved and expanded outward in the width direction. Put out. Further, between the adjacent intersecting portions, the second linear filament coating body is prevented from bending downward by its own weight, and the bridging state of the second linear filament coating body is maintained. The drying is performed, for example, by heating the lattice-shaped precursor in the air at a temperature of 40 ° C. or higher and 80 ° C. or lower. The heating time can be, for example, 0.5 hours or more and 12 hours or less. When the paste has a high viscosity, it is often unnecessary to dry the lattice-shaped precursor, and in that case, the lattice-shaped precursor can be directly subjected to the firing step described below.

乾燥後の格子状前駆体は、これを基板から剥離して焼成炉内に載置して焼成を行う。この焼成によって目的とするセラミックス格子体１が得られる。焼成は一般に大気下で行うことができる。焼成温度は、セラミックス素材の原料粉の種類に応じて適切な温度を選択すればよい。焼成時間に関しても同様である。 The dried lattice-shaped precursor is peeled from the substrate, placed in a firing furnace, and fired. The target ceramic grid 1 is obtained by this firing. Firing can generally be performed in the atmosphere. As the firing temperature, an appropriate temperature may be selected according to the type of raw material powder of the ceramic material. The same applies to the firing time.

以上の方法によって、目的とするセラミックス格子体１が得られる。このセラミックス格子体１は、棚板や敷板など、セラミックス製品の脱脂又は焼成用セッターとして好適に用いられるほか、セッター以外の窯道具、例えば匣やビームとしても用いることができる。更に、窯道具以外の用途、例えばフィルター、触媒担体などの各種の治具や各種構造材として用いることもできる。この場合、格子体１における凹凸面である第２面１ｂ上に被焼成体を載置することが一般的であるが、被焼成体の種類によっては、平坦面である第１面１ａ上に被焼成体を載置してもよい。例えば積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ）の製造過程における焼成工程を行う場合には、被焼成体を、平坦面である第１面１ａ上に載置することが好ましい。 By the above method, the target ceramics lattice 1 is obtained. The ceramic grid 1 is preferably used as a setter for degreasing or firing ceramic products such as shelves and floor boards, and can also be used as a kiln tool other than the setter, for example, a jar or a beam. Further, it can also be used for applications other than kiln tools, for example, various jigs such as filters and catalyst carriers, and various structural materials. In this case, it is general that the object to be fired is placed on the second surface 1b which is the uneven surface of the lattice 1, but depending on the kind of the object to be fired, the object to be fired may be placed on the first surface 1a which is a flat surface. A body to be fired may be placed. For example, when performing a firing step in the manufacturing process of a monolithic ceramic capacitor (MLCC), it is preferable to place the body to be fired on the first surface 1a which is a flat surface.

以上、本発明をその好ましい実施形態に基づき説明したが、本発明は前記実施形態に制限されない。例えば前記実施形態のセラミックス格子体１は、第１の線条部１０と第２の線条部２０とが略直交するように交差していたが、両線条部１０，２０の交差角度は９０度に限られない。 Although the present invention has been described above based on its preferred embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments. For example, in the ceramic grid body 1 of the above-described embodiment, the first linear portions 10 and the second linear portions 20 intersect so as to be substantially orthogonal to each other. It is not limited to 90 degrees.

また、前記実施形態のセラミックス格子体１は、第１の線条部１０及び第２線条部２０の２種類の線条部を用いていたが、これに加えて第３の線条部（図示せず）や、更に第４、第５の線条部（図示せず）といった３種類以上の線条部を用いてもよい。このような３種類以上の線条部を用いる場合において第３の線条部以降の線状部は、それぞれ厚みＴ１、幅Ｗ１及びピッチＰ１について前述のような第１及び第２の線条部と同様の構成であることが望ましい。また第３の線条部以降の線状部によって形成される交差部の構成についても、前述のような第１及び第２の線条部により形成される交差部と同様の構成を有することが望ましい。 In addition, the ceramic grid body 1 of the above-described embodiment uses two types of linear portions, the first linear portion 10 and the second linear portion 20, but in addition to this, the third linear portion ( It is also possible to use three or more types of linear portions, such as (not shown) or fourth and fifth linear portions (not shown). When using three or more types of such linear portions, the linear portions subsequent to the third linear portion are the first and second linear portions having the thickness T1, the width W1 and the pitch P1, respectively, as described above. It is desirable that the configuration is similar to. Further, the configuration of the intersection formed by the linear portions after the third linear portion may have the same configuration as that of the intersection formed by the first and second linear portions as described above. desirable.

また、前記実施形態のセラミックス格子体１は単層構造のものであったが、これに代えて該格子体１を複数用い、それらを例えば図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように複数段積層して用いてもよい。図９（ａ）に示す実施形態においては、第１の線条部１０’及び第２の線条部２０’からなる第１格子体１’と、第１の線条部１０”及び第２の線条部２０”からなる第２格子体１”とが積層されて格子体１が形成されている。第１格子体１’における第１の線条部１０’と、第２格子体１”における第１の線条部１０”とは同ピッチになるように配置されている。同様に、第１格子体１’における第２の線条部２０’と、第２格子体１”における第２の線条部２０”とも同ピッチになるように配置されている。 Further, although the ceramic lattice body 1 of the above-described embodiment has a single layer structure, a plurality of the lattice bodies 1 are used in place of this, as shown in FIGS. 9 (a) and 9 (b), for example. It may be used by laminating a plurality of layers. In the embodiment shown in FIG. 9 (a), a first grid body 1 ′ including a first linear portion 10 ′ and a second linear portion 20 ′, a first linear portion 10 ″, and a second linear portion 10 ″. And the second lattice body 1 ″ including the linear portions 20 ″ are laminated to form the lattice body 1. The first linear portions 10 ′ in the first lattice body 1 ′ and the second lattice body 1 are formed. It is arranged so as to have the same pitch as the first linear portion 10 "in". Similarly, in the second linear portion 20 'in the first lattice body 1'and in the second lattice body 1 ". The second linear portions 20 ″ are also arranged so as to have the same pitch.

一方、図９（ａ）に示す実施形態においては、第１格子体１’における第１の線条部１０’と、第２格子体１”における第１の線条部１０”とは半ピッチずれるように配置されている。同様に、第１格子体１’における第２の線条部２０’と、第２格子体１”における第２の線条部２０”とも半ピッチずれるように配置されている。 On the other hand, in the embodiment shown in FIG. 9A, the first linear portion 10 ′ of the first lattice body 1 ′ and the first linear portion 10 ″ of the second lattice body 1 ″ have a half pitch. It is arranged so as to be offset. Similarly, the second linear portions 20 ′ of the first lattice body 1 ′ and the second linear portions 20 ″ of the second lattice body 1 ″ are also arranged so as to be offset by a half pitch.

また、前記実施形態のセラミックス格子体１の強度を向上させる目的で、該格子体１の外周に外枠を設けてもよい。この外枠は該格子体１と同じ材料から一体的に形成してもよく、あるいは該格子体１とは別途製造しておき、所定の接合手段で接合してもよい。また、耐スポーリング性を向上させる目的で、第１の線条部１０及び／又は第２の線条部２０の長手方向に沿う辺の一部に、幅方向内方に向けてスリットを入れてもよい。 Further, for the purpose of improving the strength of the ceramic grid body 1 of the above embodiment, an outer frame may be provided on the outer periphery of the grid body 1. The outer frame may be integrally formed from the same material as the lattice body 1, or may be manufactured separately from the lattice body 1 and joined by a predetermined joining means. Further, for the purpose of improving the spalling resistance, a slit is formed inward in the width direction at a part of the side along the longitudinal direction of the first linear portion 10 and / or the second linear portion 20. May be.

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。しかしながら本発明の範囲は、かかる実施例に制限されない。特に断らない限り、「部」は「質量部」を意味する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples. However, the scope of the invention is not limited to such embodiments. Unless otherwise specified, “part” means “part by mass”.

〔実施例１〕
（１）線条塗工体形成用のペーストの調製
平均粒径０．８μｍの８モル％イットリア添加完全安定化ジルコニア粉６５．３部と、水系結合剤としてヒドロキシプロピルメチルセルロース（平均重合度：３０万ｇ／ｍｏｌ）５．０部と、可塑剤として、グリセリン２．５部と、ポリカルボン酸系分散剤（分子量１２０００）１．１部と、水２６．１部とを混合し、脱泡してペーストを調製した。ペーストの粘度は２５℃において２．３ＭＰａ・ｓであった。
（２）線条塗工体の形成
前記のペーストを原料とし、直径０．４ｍｍのノズルを有するディスペンサを用いて樹脂基板上に線条第１塗工体を形成し、引き続きそれに交差する線条第２塗工体を形成した。両線条塗工体の交差角度は９０度とした。このようにして格子状前駆体を得た。
（３）焼成工程
乾燥後の格子状前駆体を樹脂基板から剥離した後、大気焼成炉内に載置した。この焼成炉内で脱脂及び焼成を行い、図１ないし図８に示す形状のセラミックス格子体を得た。焼成温度は１４５０℃とし、焼成時間は３時間とした。得られた格子体における諸元を以下の表１に示す。得られた格子体においては、図８に示すとおり、矩形の貫通孔における隅部が丸みを帯びていた。 [Example 1]
(1) Preparation of paste for forming linear coated body 65.3 parts of 8 mol% yttria-added completely stabilized zirconia powder having an average particle size of 0.8 μm and hydroxypropylmethylcellulose (average degree of polymerization: 30) as an aqueous binder 5.0 parts of 10,000 g / mol), 2.5 parts of glycerin as a plasticizer, 1.1 parts of a polycarboxylic acid-based dispersant (molecular weight 12000) and 26.1 parts of water are mixed to remove bubbles. To prepare a paste. The viscosity of the paste was 2.3 MPa · s at 25 ° C.
(2) Formation of filament coating body A filament coating first coating body is formed on a resin substrate by using the above-mentioned paste as a raw material and a dispenser having a nozzle having a diameter of 0.4 mm, and subsequently a filament coating. A second coated body was formed. The intersecting angle between the two linear coated bodies was 90 degrees. Thus, a lattice-form precursor was obtained.
(3) Firing Step After the dried lattice-shaped precursor was peeled from the resin substrate, it was placed in an atmospheric firing furnace. Degreasing and firing were carried out in this firing furnace to obtain a ceramic grid body having the shape shown in FIGS. 1 to 8. The firing temperature was 1450 ° C. and the firing time was 3 hours. The specifications of the obtained lattice are shown in Table 1 below. In the obtained grating body, as shown in FIG. 8, the corners of the rectangular through holes were rounded.

〔実施例２〕
ノズルの直径を０．８ｍｍとした以外は実施例１と同様にセラミックス格子体を得た。得られた格子体においては、図８に示すとおり、矩形の貫通孔における隅部が丸みを帯びていた。 [Example 2]
A ceramic grid was obtained in the same manner as in Example 1 except that the diameter of the nozzle was 0.8 mm. In the obtained grating body, as shown in FIG. 8, the corners of the rectangular through holes were rounded.

〔実施例３〕
平均粒径０．８μｍの８モル％イットリア添加完全安定化ジルコニア粉５３．６部と、水系結合剤としてヒドロキシプロピルメチルセルロース（平均重合度：３０万ｇ／ｍｏｌ）４．１部と、可塑剤として、グリセリン２．０部と、ポリカルボン酸系分散剤（分子量１２０００）、水３９．４部とを混合し、脱泡してペーストを調製した。ペーストの粘度は２５℃において１１５万Ｐａ・ｓであった。このペーストを用い実施例１と同様の操作によって格子状前駆体を得た。ただし、ノズルの直径を０．４ｍｍとした。この格子状前駆体をドライヤーにて乾燥させながらディスペンサにより塗工体を形成し、更に、塗工体形成後に、乾燥機により６０℃で１２時間にわたり乾燥させた。これ以外は実施例１と同様にセラミックス格子体を得た。得られた格子体においては、図８に示すとおり、矩形の貫通孔における隅部が丸みを帯びていた。 [Example 3]
53.6 parts of 8 mol% yttria-added completely stabilized zirconia powder having an average particle diameter of 0.8 μm, 4.1 parts of hydroxypropylmethyl cellulose (average polymerization degree: 300,000 g / mol) as an aqueous binder, and a plasticizer , 2.0 parts of glycerin, a polycarboxylic acid-based dispersant (molecular weight: 12000) and 39.4 parts of water were mixed and defoamed to prepare a paste. The viscosity of the paste was 1.15 million Pa · s at 25 ° C. Using this paste, a grid-form precursor was obtained by the same operation as in Example 1. However, the diameter of the nozzle was 0.4 mm. A coated body was formed with a dispenser while drying the lattice-shaped precursor with a dryer, and after the coated body was formed, it was dried with a dryer at 60 ° C. for 12 hours. A ceramic grid body was obtained in the same manner as in Example 1 except for this. In the obtained grating body, as shown in FIG. 8, the corners of the rectangular through holes were rounded.

〔実施例４〕
実施例３においてノズルの直径を０．８ｍｍとした。これ以外は実施例３と同様にセラミックス格子体を得た。得られた格子体においては、図８に示すとおり、矩形の貫通孔における隅部が丸みを帯びていた。 [Example 4]
In Example 3, the nozzle diameter was 0.8 mm. A ceramic latticed body was obtained in the same manner as in Example 3 except for the above. In the obtained grating body, as shown in FIG. 8, the corners of the rectangular through holes were rounded.

〔実施例５〕
実施例１において、線条部を４種類とした。４種類の線条部は、第１の線条部、第２の線条部、第３の線条部、及び第４の線条部の順序に積層した。上下に隣り合う線条部どうしは９０度で交差させた。第１の線条部と第２の線条部の交差によって生じる交差部の位置は、第２の線条部と第３の線条部の交差によって生じる線条部の位置と、平面視において同じになるようにした。第２の線条部と第３の線条部との交差部、及び第３の線条部と第４の線条部との交差部についても同様である。これ以外は実施例１と同様にセラミックス格子体を得た。諸元を示した表１において、第３の線条部の厚み、幅と、線条部の間のピッチを、それぞれＴ３、Ｗ３、Ｐ３として示した。また第４の線条部の厚み、幅と、線条部の間のピッチを、それぞれＴ４、Ｗ４、Ｐ４として示した。また表１において、セラミックス格子体の第１面とは第１の線条部の外面のことであり、第２面とは第４の線条部の該面のことである。得られた格子体においては、図８に示すとおり、矩形の貫通孔における隅部が丸みを帯びていた。 [Example 5]
In Example 1, there were four types of linear portions. The four types of linear portions were laminated in the order of the first linear portion, the second linear portion, the third linear portion, and the fourth linear portion. The linear parts adjacent to each other were crossed at 90 degrees. The position of the intersecting portion generated by the intersection of the first linear portion and the second linear portion is, in plan view, the position of the linear portion generated by the intersection of the second linear portion and the third linear portion. I tried to be the same. The same applies to the intersection between the second linear portion and the third linear portion and the intersection between the third linear portion and the fourth linear portion. A ceramic grid body was obtained in the same manner as in Example 1 except for this. In Table 1 showing the specifications, the thickness and width of the third linear portion and the pitch between the linear portions are shown as T3, W3, and P3, respectively. Further, the thickness and width of the fourth linear portion and the pitch between the linear portions are shown as T4, W4, and P4, respectively. Further, in Table 1, the first surface of the ceramic grid is the outer surface of the first linear portion, and the second surface is the surface of the fourth linear portion. In the obtained grating body, as shown in FIG. 8, the corners of the rectangular through holes were rounded.

〔比較例１〕
本比較例は、格子体としてニッケル網を用いた例である。このニッケル網は、太さ３１５μｍのニッケル線材を平織りして形成された３２メッシュにジルコニア溶射コートしたものであり、厚みは０．６ｍｍである。 [Comparative Example 1]
This comparative example is an example in which a nickel mesh is used as a lattice. This nickel net is a 32 mesh formed by plain weaving a nickel wire rod having a thickness of 315 μm, and is zirconia spray-coated, and has a thickness of 0.6 mm.

〔比較例２〕
本比較例は、ゼラチンを湯に溶解させて得られた溶液（ゼラチンの濃度は水に対して３％）を用意し、この溶液を、予め調製しておいたイットリア完全安定化ジルコニアスラリーと混合した。混合は、混合液におけるイットリア完全安定化ジルコニアと水との体積比が１０：９０になるように行った。この混合液を冷蔵庫内に静置してゲル化させた。このゲルをエタノール凍結機によって凍結させた。凍結させたゲルを乾燥（凍結乾燥）した後、得られた乾燥体を脱脂し、１６００℃にて３時間焼成した。このようにして得られた格子体は、気孔率は７９％、気孔径は９５μｍで、厚み方向に気孔が配向した構造が形成されたものであった。 [Comparative Example 2]
In this comparative example, a solution obtained by dissolving gelatin in hot water (the concentration of gelatin is 3% with respect to water) was prepared, and this solution was mixed with a yttria completely stabilized zirconia slurry prepared in advance. did. The mixing was performed so that the volume ratio of yttria completely stabilized zirconia and water in the mixed solution was 10:90. This mixed solution was allowed to stand in a refrigerator to cause gelation. The gel was frozen with an ethanol freezer. After the frozen gel was dried (freeze-dried), the obtained dried body was defatted and calcined at 1600 ° C. for 3 hours. The thus obtained lattice had a porosity of 79%, a pore diameter of 95 μm, and a structure in which the pores were oriented in the thickness direction.

〔評価〕
実施例及び比較例で得られた格子体について、スポーリング性の評価を以下の方法で行った。それらの結果を以下の表２に示す。 [Evaluation]
With respect to the lattice bodies obtained in Examples and Comparative Examples, the spalling property was evaluated by the following method. The results are shown in Table 2 below.

〔耐スポーリング性の評価〕
縦１５０ｍｍ×横１５０ｍｍ×厚さ０．８〜１．５ｍｍのサンプルを用意した。ムライト質足付きラック形状窯道具（外寸が１６５ｍｍ×１６５ｍｍであり、中央にある十字形状幅寸法が１５ｍｍであり、外枠と十字の間には６０ｍｍ×６０ｍｍの４つの中空構造を有する）を台板に載せ、そのラック上にサンプルをセットし、大気焼成炉にて高温加熱して１時間以上所望の温度に保持した後に、電気炉から取り出して室温に晒し、肉眼にてサンプルの割れの有無を評価した。設定温度を２００℃から９５０℃まで５０℃ずつ昇温させながら変更し、割れの生じない温度の上限を「耐スポーリング性」とした。 [Evaluation of spalling resistance]
A sample having a length of 150 mm, a width of 150 mm, and a thickness of 0.8 to 1.5 mm was prepared. Rack-shaped kiln tool with mullite feet (outer size is 165 mm x 165 mm, cross shape width dimension in the center is 15 mm, and there are four hollow structures of 60 mm x 60 mm between the outer frame and the cross) Place the sample on the base plate, set the sample on the rack, heat at high temperature in the atmospheric baking furnace and keep it at the desired temperature for 1 hour or more, then take it out from the electric furnace and expose it to room temperature. The presence or absence was evaluated. The set temperature was changed from 200 ° C. to 950 ° C. while increasing the temperature by 50 ° C., and the upper limit of the temperature at which cracking did not occur was “spalling resistance”.

〔繰り返し焼成による形状変化評価〕
縦１５０ｍｍ×横１５０ｍｍの各サンプルを用意し、カーボンるつぼの中で、アルゴン雰囲気下で４００℃／ｈｒで昇温し、１３００℃で５分キープし、４００℃／ｈｒ冷却する焼成パターンを６５回繰り返し、初期と繰り返し焼成後のサンプル形状の差異について、外観から評価した。 [Evaluation of shape change due to repeated firing]
Each sample of 150 mm in length × 150 mm in width is prepared, heated in a carbon crucible at 400 ° C./hr in an argon atmosphere, kept at 1300 ° C. for 5 minutes, and cooled at 400 ° C./hr. Repeatedly, the difference in sample shape between the initial stage and the repeated firing was evaluated from the appearance.

表２に示す結果から明らかなとおり、各実施例で得られた格子体は、各比較例に比べて耐スポーリング性が高いことが判る。 As is clear from the results shown in Table 2, it can be seen that the lattice bodies obtained in the respective examples have higher spalling resistance than the comparative examples.

１セラミックス格子体
１ａ第１面
１ｂ第２面
２交差部
３貫通孔
１０第１の線条部
１０ａ第１面
１０ｂ第２面
２０第２の線条部
２０ａ第１面
２０ｂ第２面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ceramic grid 1a 1st surface 1b 2nd surface 2 Intersection 3 Through hole 10 1st linear part 10a 1st surface 10b 2nd surface 20 2nd linear part 20a 1st surface 20b 2nd surface

以上の構成を有するセラミックス格子体１は、これを例えば被焼成体の焼成用セッターとして用いた場合、格子体１の第１面１ａに被焼成体を載置すれば、該第１面１ａは平坦面であることから、平坦性を求められる被焼成体の載置に好適なものとなる。平坦性を求められる被焼成体としては、例えば積層セラミックコンデンサ等の小型のチップ状電子部品などが挙げられる。これらの小型電子部品は、焼成工程においてセッターに引っ掛からないことが必要とされるので、格子体１の第１面１ａが平坦であることは有利である。また、被焼成体は、第１面１ａを構成する部材である第１の線条部１０のみ接触するので、格子体１と被焼成体との接触面積が大幅に低減し、それによって被焼成体の急激な加熱及び冷却を行いやすくなる。また、格子体１は第１及び第２の線条部１０，２０の交差によって形成されており複数の貫通孔３が形成されているので、熱容量が小さく、その点からも被焼成体の急激な加熱及び冷却を行いやすい。更に格子体１は、複数の貫通孔３が存在していることに起因して通気性が良好なので、このことによっても被焼成体の急激な冷却を行いやすい。良好な通気性は、隣り合う交差部２どうしの間において第２の線条部２０が浮いていることによって一層顕著なものとなる。しかも格子体１においては、第１及び第２の線条部１０，２０が交差部２において一体化しているので、充分な強度を有するものである。 The ceramic grid 1 having the above configuration, when this is used for example as a firing setter of the fired body when placing the target heating object on the first surface 1a of case Cotai 1, the first surface 1a Since is a flat surface, it is suitable for placing a body to be fired, which requires flatness. Examples of the body to be fired required to have flatness include a small chip-shaped electronic component such as a monolithic ceramic capacitor. Since these small electronic components are required not to be caught by the setter in the firing process, it is advantageous that the first surface 1a of the lattice 1 is flat. Further, since the object to be fired contacts only the first linear portion 10 which is a member forming the first surface 1a, the contact area between the lattice body 1 and the object to be fired is significantly reduced, and as a result, the object to be fired is It facilitates rapid heating and cooling of the body. In addition, since the grid body 1 is formed by the intersection of the first and second linear portions 10 and 20 and the plurality of through holes 3 are formed, the heat capacity is small, and also from this point, the abruptness of the body to be fired is small. Easy to heat and cool. Furthermore, since the lattice body 1 has good air permeability due to the presence of the plurality of through holes 3, this also facilitates rapid cooling of the body to be fired. The good air permeability becomes more remarkable by the fact that the second linear portion 20 floats between the adjacent intersecting portions 2. Moreover, in the lattice body 1, since the first and second linear portions 10 and 20 are integrated at the intersection portion 2, the lattice body 1 has sufficient strength.

また、前記実施形態のセラミックス格子体１は、第１の線条部１０及び第２の線条部２０の２種類の線条部を用いていたが、これに加えて第３の線条部（図示せず）や、更に第４、第５の線条部（図示せず）といった３種類以上の線条部を用いてもよい。このような３種類以上の線条部を用いる場合において第３の線条部以降の線状部は、それぞれ厚みＴ１、幅Ｗ１及びピッチＰ１について前述のような第１及び第２の線条部と同様の構成であることが望ましい。また第３の線条部以降の線状部によって形成される交差部の構成についても、前述のような第１及び第２の線条部により形成される交差部と同様の構成を有することが望ましい。 Also, the ceramic grid element 1 of the embodiment has been using two linear portions of the first linear portions 10 and the second linear portions 20, the third linear portions in addition to It is also possible to use three or more types of line portions (not shown) or fourth and fifth line portions (not shown). When using three or more types of such linear portions, the linear portions subsequent to the third linear portion are the first and second linear portions having the thickness T1, the width W1 and the pitch P1, respectively, as described above. It is desirable that the configuration is similar to. Further, the configuration of the intersection formed by the linear portions after the third linear portion may have the same configuration as that of the intersection formed by the first and second linear portions as described above. desirable.

Claims

Ceramic grid body having a plurality of first linear filament portions made of ceramics extending in one direction and a plurality of second linear filament portions made of ceramics extending in a direction intersecting with the first linear filament portions And
The intersection of the first linear portion and the second linear portion, at any of the intersections, the second linear portion is arranged on the first linear portion,
The cross section of the first linear portion has a shape composed of a linear portion and a convex curved portion whose end portions are both end portions of the linear portion, in a portion other than the intersecting portion. Cage,
The cross section of the second linear portion has a circular or elliptical shape in a portion other than the crossing portion,
The projected image of the second linear portion in a plan view has a shape that bulges outward in the width direction at the intersecting portion, whereby the width of the projected image at the intersecting portion is increased. The ceramic grid body has a width larger than the width of the projected image in a region other than the intersection.

When the linear portion of the first linear portion is placed on a flat surface as a placement surface, the second linear portion has a shape separated from the flat surface between two adjacent intersecting portions. The ceramic lattice body according to claim 1, wherein

The projected image of the first linear portion in a plan view has a shape that is curved and bulged outward in the width direction at the intersection, whereby the width of the projected image at the intersection is reduced. The ceramic grid body according to claim 1 or 2, wherein the width is larger than the width of the projected image in a portion other than the intersecting portion.

The ceramic lattice body according to any one of claims 1 to 3, which is made of a ceramic containing alumina, mullite, cordierite, zirconia, silicon nitride or silicon carbide.

The ceramic grid body according to claim 4, wherein the surface is coated with zirconia.

The ceramic lattice body according to any one of claims 1 to 5, which is used as a setter for firing a ceramic product.