JP6196077B2 - 洗浄液再生方法及び装置 - Google Patents
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Description
水が混入した洗浄液を蒸発槽内に貯留し、
前記蒸発槽内を、水が沸騰し且つ前記洗浄液の成分が沸騰しない圧力に減圧し、
前記蒸発槽内の上部空間に、前記圧力における水の沸点よりも高い温度の冷却体を設け、
前記蒸発槽から気体を排出し、
前記蒸発槽から処理後の洗浄液を液体の状態で取り出す
ことを特徴とする。
a) 水が混入した洗浄液を貯留する蒸発槽と、
b) 前記蒸発槽内を、水が沸騰し且つ前記洗浄液の成分が沸騰しない圧力に減圧する減圧手段と、
c) 前記蒸発槽内の上部空間に設けられた、前記圧力における水の沸点よりも高い温度の冷却体と、
d) 前記蒸発槽から気体を排出する排出手段と、
e) 前記蒸発槽に設けられた、該蒸発槽内の処理後の洗浄液を液体の状態で取り出す取り出し口と
を備えることを特徴とする。
まず、導入バルブ111Vを開放することにより、洗浄槽21内に貯留された再生処理前の洗浄液を、導入管111を通して蒸発槽11に導入する。蒸発槽11内に所定量まで洗浄液が貯留されると、そのことをボールタップ113が検知し、導入バルブ111Vが閉鎖される。
次に、圧力調整バルブ131を開放し、減圧ポンプ14によって蒸発槽11内の気体を蒸発槽11外に排出する。その際、圧力調整バルブ131を所定の開度とすることにより、蒸発槽11内は、当該開度に対応した圧力まで減圧され、当該圧力で均衡する。ここで、圧力調整バルブ131の開度と蒸発槽11内の到達圧力の関係は、同じ洗浄液であって且つ貯留量及び温度が同程度であればある程度の再現性があるため、当該開度は、必要な到達圧力(後述)に対応する大きさを予備実験で求めておいたものを用いればよい。もちろん、蒸発槽11内の到達圧力をその都度圧力計を用いて測定し、その値によって開度を微調整してもよい。
蒸発槽11内の上部空間では、冷却体12の管内に冷却水が流されており、該管の表面において、水及び洗浄液成分の気体が温度T2まで冷却される(図3中の矢印(b))。温度T2は、前記温度T1よりも低く、且つ圧力P1における水の沸点よりも高くする。これにより、当該気体は、中間圧力領域内に収まる範囲内で冷却される。そして、当該気体中の水はその沸点よりも温度T2が高いためほとんど液化することなく、洗浄液成分が液化する。この温度T2は冷却水の流量によって調整することができ、上述の温度T1と同様にある程度の再現性がある。そのため、本実施例では予備実験で適切な流量を求めておき、洗浄液再生方法の実施中にはその流量に設定したままで調整を行っていないが、冷却体12の表面又はその近傍に温度センサを設けて、冷却体12の温度を常時監視しつつ該流量の調整を行ってもよい。
冷却体12で冷却されることによって洗浄液成分が液化した後に残った気体は、減圧ポンプ14によって蒸発槽11の外に排出される。この排出後の気体は、ほとんどが水から成るものの、冷却体12で液化しきれなかった洗浄液成分がわずかに残留している可能性がある。そこで、この気体を2次冷却部15に送り、水の沸点よりも高く、且つ当該気体の温度よりも低い温度に冷却する。これにより、当該気体に残留した洗浄液成分を液化させる。そして、液化せずに気体のまま残った水は、気体のまま、又は液化したうえで廃棄される。また、ここで液化した洗浄液成分は、第2返送管151を通して洗浄槽21に返送される。
上記(2)〜(4)の処理を十分な時間行うと、蒸発槽11内の洗浄液には水がほとんど残留しなくなり、2次冷却部15から水がほとんど排出されなくなる。その時点で蒸発槽11内の減圧を停止し、リークバルブ(図示せず)を開放して蒸発槽11内を大気圧にする。そして、返送バルブ112Vを開放し、送液ポンプ114によって蒸発槽11内の洗浄液を、返送管112を通して洗浄槽21に返送する。ここで、返送管112の途中に設けられたフィルタ115により、洗浄液中の固形の異物が除去される。
例えば、上記実施例で用いた2次冷却部15、受液部116及び回収容器117は、本発明の必須要件ではなく、これらを用いなくてもよい。
11…蒸発槽
111…導入管
111V…導入バルブ
112…返送管
112V…返送バルブ
113…ボールタップ
114…送液ポンプ
115…フィルタ
116…受液部
117…回収容器
12…冷却体
13…排出管
131…圧力調整バルブ
14…減圧ポンプ
15…2次冷却部
151…第2返送管
19…ヒータ
21…洗浄槽
Claims (6)
- 水が混入した洗浄液を蒸発槽内に貯留し、
前記蒸発槽内を、水が沸騰し且つ前記洗浄液の成分が沸騰しない圧力に減圧し、
前記蒸発槽内の上部空間に、前記圧力における水の沸点よりも高い温度の冷却体を設け、
前記蒸発槽から気体を排出し、
前記蒸発槽から処理後の洗浄液を液体の状態で取り出す
ことを特徴とする洗浄液再生方法。 - 前記洗浄液を加熱することなく前記減圧を行うことを特徴とする請求項1に記載の洗浄液再生方法。
- 前記洗浄液を前記成分が沸騰しない温度範囲内で加熱しつつ前記減圧を行うことを特徴とする請求項1に記載の洗浄液再生方法。
- 前記蒸発槽から排出された気体を水の沸点よりも高い温度範囲内で冷却する2次冷却を行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の洗浄液再生方法。
- 前記気体が前記冷却体で冷却されることにより生成される液体中における水の含有率を検出し、該検出結果に基づいて水の含有量を減少させるように前記冷却体の温度を調整することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の洗浄液再生方法。
- a) 水が混入した洗浄液を貯留する蒸発槽と、
b) 前記蒸発槽内を、水が沸騰し且つ前記洗浄液の成分が沸騰しない圧力に減圧する減圧手段と、
c) 前記蒸発槽内の上部空間に設けられた、前記圧力における水の沸点よりも高い温度の冷却体と、
d) 前記蒸発槽から気体を排出する排出手段と、
e) 前記蒸発槽に設けられた、該蒸発槽内の処理後の洗浄液を液体の状態で取り出す取り出し口と
を備えることを特徴とする洗浄液再生装置。
Priority Applications (1)
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JP2013130800A JP6196077B2 (ja) | 2013-06-21 | 2013-06-21 | 洗浄液再生方法及び装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013130800A JP6196077B2 (ja) | 2013-06-21 | 2013-06-21 | 洗浄液再生方法及び装置 |
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