JP6192017B2 - デジタルホログラフィ装置 - Google Patents

Description

本発明は、デジタルホログラフィ装置に関する。

以後の文章中で位相の単位はラジアンで表す。加工技術の精密化や多様化に伴い、物体の３次元形状等の高度な計測や解析が求められ、様々な測定法が開発されている。該測定法のうち、光の干渉を利用した干渉計測技術、特にデジタルホログラフィは、非接触かつ非破壊で、物体の３次元情報を得ることができるため、近年、注目を集めている測定法の一つとなっている。

デジタルホログラフィは、３次元物体への光照射によって得られる干渉縞から、コンピュータを用いて３次元物体の像を再生する技術である。具体的には例えば、３次元物体への光照射によって得られる物体光と、該物体光に対して可干渉（コヒーレント）である参照光とが作る干渉縞を、ＣＣＤ（charge coupled device）等の撮像素子を用いて記録する。記録された干渉縞に基づいて、コンピュータで３次元物体の像を再生する。

非特許文献１には、干渉縞から像を再生する基本的なデジタルホログラフィ技術が記載されている。

非特許文献２には、干渉縞から像を再生する際に、不要な像成分（０次回折光および共役像（−１次回折光））を除去する技術（位相シフト法）が記載されている。しかしながら、非特許文献２に記載の構成では、条件を変えて複数回撮像を行うことにより複数の干渉縞を得る。そのため、動的な被写体に適用することができない。

動的な被写体にデジタルホログラフィを適用可能にするために、本発明者らは以下の技術を開発した。

特許文献１には、画素を分割して、物体光と参照光との位相シフト量が異なる４種類の干渉縞を同時に撮像し、４段階位相シフト法によって像を再生する技術が記載されている。

特許文献２には、画素を分割して、物体光と参照光との位相シフト量が異なる２種類の干渉縞を同時に撮像し、２段階位相シフト法によって像を再生する技術が記載されている。２段階位相シフト法では、位相シフト量が異なる２種類の干渉縞が必要になる。一方の干渉縞の位相シフト量を０とすると、２段階位相シフト法の計算に必要な他方の干渉縞の位相シフト量は０、π以外の位相シフト量（好適には例えばπ／２）である。

非特許文献３には、画素を分割して、物体光と参照光との位相シフト量が異なる４種類の干渉縞を同時に撮像し、２段階位相シフト法によって像を再生する技術が記載されている。

日本国特許第４２９４５２６号公報（２００９年４月１７日登録） 国際公開第２００９／０６６７７１号（２００９年５月２８日公開）

J. W. Goodman and R. W. Lawrence、「DIGITAL IMAGE FORMATION FROM ELECTRONICALLY DETECTED HOLOGRAMS」、APPLIED PHYSICS LETTERS、(1967)、Vol. 11、No. 3、p.77 I. Yamaguchi and T. Zhang、「Phase-shifting digital holography」、OPTICS LETTERS、(1997)、Vol. 22、No. 16、p.1268 Takashi Kakue et. al.、「Image quality improvement of parallel four-step phase-shifting digital holography by using the algorithm of parallel two-step phase-shifting digital holography」、OPTICS EXPRESS、(2010)、Vol. 18、No. 8、p.9555

しかしながら、上記従来の構成では、以下の問題を生じる。

特許文献１のように、撮像素子の局所的な４つの画素において参照光が４つの異なる位相量となるように記録された１枚の干渉縞画像から位相シフト干渉計測を行う方法（以下、この方法を並列４段階位相シフト法と呼ぶ）を用いる技術では、撮影可能範囲が狭く、またこの技術に基づく装置の分解能を高くすることができない。

特許文献２の技術では、特許文献１の技術に比べて、撮影可能範囲も広く、また装置の分解能も高くすることができる。しかしながら、２段階位相シフト法に必要な２種類の干渉縞を１回の撮像で得る方法（以下、この方法を並列２段階位相シフト法と呼ぶ）を行うためには、ホログラフィの撮像光学系の中に市販されていない光学素子が必要になる。例えば、２種類の偏光子がアレイ状に交互に配列した偏光子アレイが貼り付けられた撮像素子が必要になるが、そのような撮像素子は現時点では一般に市販されていない。そのため、撮像光学系を構成することが容易ではなく、また撮像光学系が高価なものになってしまう。

非特許文献３で使用する撮像光学系は、市販の偏光イメージングカメラおよび一般的な光学素子を用いて構成可能である。しかしながら、非特許文献３の技術では、４種類の位相シフト量を２種類の位相シフト量とみなして何の補正または補償もなしに２段階位相シフト法を適用するので、適切な再生像が得られないことがある。

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、簡単な光学素子によって撮像光学系を構成でき、かつ画質を向上できるデジタルホログラフィ装置を実現することにある。

本発明に係るデジタルホログラフィ装置は、参照光および被写体を照明する物体照明光を供給する光源と、撮像装置とを備え、物体照明光が上記被写体を介して到達する光である物体光と参照光とが作る干渉縞を上記撮像装置が撮像するデジタルホログラフィ装置であって、上記撮像装置は、互いに通過させる光の偏光方向が異なる４つの偏光領域を有する偏光子アレイと、各偏光領域に対応して配列している画素を有する撮像素子とを備え、上記デジタルホログラフィ装置は、円偏光または楕円偏光である物体光と、物体光とは反対方向に回転する円偏光または楕円偏光である参照光とを上記偏光子アレイに入射させ、上記４つの偏光領域に応じて生じる４種類の位相シフト量の差を補正する位相補正部と、上記撮像装置が撮像した干渉縞に並列２段階位相シフト法を適用して再生像を生成する再生部とを備えることを特徴としている。

本発明によれば、市販されている４画素ごとに異なる偏光を検出する偏光イメージングカメラを利用して簡単に撮像装置を含むデジタルホログラフィ装置を構成することができる。そして、位相補正部によって上記４つの偏光領域に応じて生じる４種類の位相シフト量の差を補正することができるので、適切に並列２段階位相シフト法を適用することができる。それゆえ、デジタルホログラフィ装置は、画質のよい再生像を得ることができる。

本発明の一実施形態に係るデジタルホログラフィ装置の構成を示す模式図である。 上記デジタルホログラフィ装置における偏光子アレイおよび撮像素子の構成を示す図である。 上記偏光子アレイの作用による、各画素上の位相シフト量を示す図である。 入射する物体光および参照光の位相シフト量を説明する図である。 角度θの作用による、各画素上の位相シフト量を示す図である。 角度θの作用による、斜めストライプの位相シフト量の例を示す図である。 上記デジタルホログラフィ装置の撮像光学系における各画素上の位相シフト量を示す図である。 上記デジタルホログラフィ装置の位相シフト処理部における像再生アルゴリズムを説明するための図である。 被写体の再生像に関して、シミュレーションの結果を示す画像である。 本発明の他の実施形態に係るデジタルホログラフィ装置の構成を示す模式図である。 本発明のさらに他の実施形態に係るデジタルホログラフィ装置の構成を示す模式図である。 上記デジタルホログラフィ装置の再生装置における像再生アルゴリズムを説明するための図である。 本発明のさらに他の実施形態に係る再生装置における像再生アルゴリズムを説明するための図である。 本発明のさらに他の実施形態に係るデジタルホログラフィ装置の構成を示す模式図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

［実施形態１］
（デジタルホログラフィ装置１の構成）
図１は、本実施形態のデジタルホログラフィ装置１の構成を示す模式図である。デジタルホログラフィ装置１は、撮像光学系１１と、再生装置１２（再生部）とを備える。再生装置１２は、コンピュータ等の計算機によって構成することができる。

撮像光学系１１は、レーザ光源（光源）１３と、偏光イメージング撮像装置１４（撮像装置）とを備える。また、撮像光学系１１は、光学素子（光学部材）として、ビームスプリッタＢＳ１、ミラーＭ１、ビームエキスパンダＢＥ１、偏光子ＬＰ１、１／２波長板ＨＷＰ１、ビームエキスパンダＢＥ２、ミラーＭ２、ビームスプリッタＢＳ２、および１／４波長板ＱＷＰ１を備える。ビームエキスパンダＢＥ１・ＢＥ２はそれぞれ、対物レンズＢＥａ、ピンホールＢＥｂ、およびコリメータレンズＢＥｃを備える。ビームスプリッタＢＳ１・ＢＳ２は、ハーフミラーからなる。

偏光イメージング撮像装置１４は再生装置１２に接続されており、偏光イメージング撮像装置１４の出力は再生装置１２に入力される。偏光イメージング撮像装置１４は、偏光子アレイ１６と、ＣＣＤからなる撮像素子１５とを備える。偏光子アレイ１６のマトリクス状に配置された複数の偏光子は、撮像素子１５の各画素に対応するように位置合わせがされている。偏光子アレイ１６は、撮像素子１５の前面に貼り付けられており、撮像素子１５は、偏光子アレイ１６を通過した光の強度を検出する。

物体光および参照光の経路について説明する。

レーザ光源１３は、コヒーレントな光、すなわちレーザ光を発生する。ここで、レーザ光の伝播方向に垂直な１つの方向を第１方向と定義し、レーザ光の伝播方向および第１方向に垂直な方向を第２方向と定義する。本実施形態では第１方向は図（紙面）に対して水平方向に一致し、第２方向は垂直方向に一致する。ここではレーザ光源１３のレーザ光は、図（紙面）に対して垂直偏光した直線偏光の光である。なお、波長板または偏光子を用いてレーザ光源１３から出射されたレーザ光の偏光方向を調整することもできる。レーザ光源１３から出射されたレーザ光は、ビームスプリッタＢＳ１によって参照光と物体照明光とに分割される。ビームスプリッタＢＳ１で分割された参照光および物体照明光は、それぞれ垂直偏光した直線偏光の光である。

分割された光の一方である物体照明光は、ミラーＭ１によって反射された後、ビームエキスパンダＢＥ１によって、拡大された平行光にされる。その後、物体照明光は被写体（物体）１７に照射される。被写体１７に入射した物体照明光は被写体１７によって回折または散乱されて、物体光として被写体１７から出射する。その後、物体光は、偏光子ＬＰ１、ビームスプリッタＢＳ２、１／４波長板ＱＷＰ１をこの順に通過し、偏光イメージング撮像装置１４に入射する。偏光子ＬＰ１は、被写体１７によって乱れた物体光の偏光を垂直偏光に整えることによって、ノイズとなる成分を除去する役割を果たす。偏光子ＬＰ１は、省略することもできる。ビームスプリッタＢＳ２を通過した後の物体光は、図（紙面）に対して垂直偏光である。物体光は、撮像素子１５の撮像面に対してほぼ垂直に入射する。

分割された光の他方である参照光は、１／２波長板ＨＷＰ１によって水平偏光に変換される。１／２波長板ＨＷＰ１の遅相軸は、垂直方向に対して４５°傾いている。その後、参照光は、ビームエキスパンダＢＥ２によって、拡大された平行光にされる。その後、参照光はミラーＭ２によって反射された後、ビームスプリッタＢＳ２によって反射され、１／４波長板ＱＷＰ１を通過し、偏光イメージング撮像装置１４に入射する。

１／４波長板ＱＷＰ１には、垂直偏光の物体光と、水平偏光の参照光とが入射する。すなわち、１／４波長板ＱＷＰ１に入射する前において、物体光の偏光方向と参照光の偏光方向とは直交する。そして、１／４波長板ＱＷＰ１の遅相軸は、水平方向から４５°傾いている。すなわち、１／４波長板ＱＷＰ１の遅相軸は、参照光の偏光方向（水平方向）に対して４５°傾いており、物体光の偏光方向（垂直方向）に対しても４５°傾いている。それゆえ、１／４波長板ＱＷＰ１を通過した参照光は、円偏光に変換される。また、１／４波長板ＱＷＰ１を通過した物体光は、円偏光に変換される。ただし、遅相軸に対する参照光の偏光方向が４５°であるとすると、遅相軸に対する物体光の偏光方向は−４５°である。そのため、１／４波長板ＱＷＰ１を通過した後、参照光の円偏光と物体光の円偏光とは互いに反対方向に回転している。なお、参照光および物体光は楕円偏光であってもよい。

撮像光学系１１は、インライン型の光学系で構成されている。すなわち、参照光は撮像素子１５の撮像面のほぼ正面から入射し、被写体１７は撮像素子１５の撮像面の光学的な正面（光学的に撮像面の法線方向）に位置している。ただし、本実施形態では、物体光の光軸（被写体１７と撮像素子１５とを光学的に結ぶ軸）と、参照光の光軸とは角度θ異なっている。例えば物体光は撮像素子１５の撮像面に対して垂直に入射する。これに対して、参照光は撮像面の法線方向に対して角度θ傾いて入射する。

ミラーＭ２またはビームスプリッタＢＳ２の角度を調整することによって、参照光の入射角θを調整することが可能である。本実施形態では、ミラーＭ２は、角度を調整可能なように微動回転ステージ上に配置され、回転可能に構成されている。

図２は、偏光イメージング撮像装置１４の偏光子アレイ１６および撮像素子１５の構成を示す図である。図２では、偏光子アレイ１６および撮像素子１５の一部だけを拡大して示す。偏光子アレイ１６は、マトリクス状に配列している４種類の偏光領域１６ａ・１６ｂ・１６ｃ・１６ｄを含む。偏光領域１６ａは右上がり方向（４５°方向）の偏光成分のみを通過させる。偏光領域１６ｂは水平方向（０°方向）の偏光成分のみを通過させる。偏光領域１６ｃは左上がり方向（−４５°方向）の偏光成分のみを通過させる。偏光領域１６ｄは垂直方向（９０°方向）の偏光成分のみを通過させる。２行×２列の４つの偏光領域１６ａ〜１６ｄを単位として、各偏光領域１６ａ〜１６ｄが周期的に配置されている。各偏光領域１６ａ〜１６ｄがそれぞれ撮像素子１５の画素１５ａ〜１５ｄに対応するように、偏光子アレイ１６は撮像素子１５上に配置されている。すなわち１つの偏光領域１６ａを通過した光は、１つの画素１５ａに入射する。

なお、４種類の偏光領域が配列した偏光子アレイを備えた偏光イメージングカメラは、既に市販されている。例えば、株式会社フォトニックラティスから偏光イメージングカメラ（型番ＰＩ−１１０）が市販されている。一般に偏光イメージングカメラは、デジタルホログラフィに利用するためではなく、被写体の偏光状態を観察するためのカメラ（それゆえ４種類の偏光領域を有する）として市販されている。そのため、本実施形態の偏光イメージング撮像装置１４は、市販の偏光イメージングカメラから結像用のレンズ等を除いたもので構成することができる。それゆえ、市販の製品を用いて偏光イメージング撮像装置１４を簡単に、低コストで製作することができる。また、本実施形態の撮像光学系１１は、ハーフミラー、レンズ、１／２波長板、１／４波長板、および偏光子等の一般的な光学素子によって構成することができる。撮像光学系１１を構成するために位相シフトアレイ等の特殊な光学素子を用いる必要がない。また、撮像光学系１１には結像光学系も不要であるので、光学素子の位置合わせが簡単である。そのため、撮像光学系１１を簡単に、かつ低コストで構成することができる。

上記の例では物体光が被写体を透過する構成を例に挙げて説明したが、物体光を被写体に照射し、反射・散乱された物体光を撮像するように撮像光学系を構成することもできる。

（偏光子アレイ１６の作用）
偏光子アレイ１６の作用を説明するための参考例として、上記のデジタルホログラフィ装置１において、参照光の入射角θが０°のときを考える。すなわち、参考例では物体光の光軸と参照光の光軸とが一致している。

物体光および参照光が偏光子アレイ１６に入射するとき、物体光の円偏光と参照光の円偏光とは、互いに逆向きに回転している。偏光領域１６ａに入射した物体光および参照光は、それらの水平方向より４５°方向の偏光成分のみが通過する。例えば、水平方向より４５°の偏光を基準にして、偏光領域１６ａを通過した物体光と参照光との位相シフト量を０とする。

これに対して、偏光領域１６ｂに入射した物体光および参照光は、水平方向偏光成分（０°方向の偏光成分）のみが通過する。各偏光領域に入射する物体光と参照光とは互いに逆方向に回転する円偏光である。そのため、偏光領域１６ａを通過した物体光および参照光に比べて、例えば、偏光領域１６ｂを通過した物体光の成分は位相がπ／４進み、偏光領域１６ｂを通過した参照光の成分は位相がπ／４遅れる。すなわち、偏光領域１６ｂを通過すると物体光の位相に対して参照光の位相がπ／２遅れる。偏光領域１６ｂを通過した物体光と参照光との位相シフト量はπ／２となる。

同様に、偏光領域１６ｃに入射した物体光および参照光は、−４５°方向の偏光成分のみが通過する。偏光領域１６ａを通過した物体光および参照光に比べて、偏光領域１６ｃを通過した物体光の成分は位相がπ／２進み、偏光領域１６ｃを通過した参照光の成分は位相がπ／２遅れる。すなわち、偏光領域１６ｃを通過すると物体光の位相に対して参照光の位相がπ遅れる。偏光領域１６ｃを通過した物体光と参照光との位相シフト量はπとなる。

同様に、偏光領域１６ｄを通過した物体光と参照光との位相シフト量は３π／２となる。ここでは、水平方向より＋４５°方向の偏光を透過する偏光領域１６ａを通過した物体光および参照光の位相の関係を基準にし、物体光の位相に対する参照光の位相の遅れまたは進みを位相シフト量と定義している。

各偏光領域１６ａ〜１６ｄを通過した物体光および参照光における位相シフト量の違いは、入射する物体光と参照光とが互いに逆方向に回転する円偏光であるために生じる。また、偏光領域１６ａに比べて偏光領域１６ｂを通過した物体光と参照光との位相シフト量がπ／２となるか−π／２となるかは、入射する物体光および参照光の円偏光の回転方向に依存している。いずれにせよ、４種類の偏光領域１６ａ〜１６ｄに対応して、π／２刻みの４種類の位相シフト量の物体光および参照光が得られる。なお、４種類の偏光領域１６ａ〜１６ｄは、任意の並びに配置することができる。

各偏光領域１６ａ〜１６ｄを通過した物体光および参照光は、対応する画素１５ａ〜１５ｄに入射する。物体光および参照光は、撮像面で干渉して干渉縞を形成する。撮像素子１５は、物体光と参照光とが干渉することによって形成される干渉縞を撮像する。

図３は、偏光子アレイ１６の作用による、各画素上の位相シフト量を示す図である。参考例の場合、位相シフト量０の干渉縞と、位相シフト量π／２の干渉縞と、位相シフト量πの干渉縞と、位相シフト量３π／２の干渉縞とが得られる。例えば位相シフト量０の干渉縞を扱う場合、位相シフト量０に対応する画素のデータを抜き出せばよい。参考例では位相シフト量の異なる４種類の干渉縞が得られるが、並列４段階位相シフト法（parallel four-step Phase-shifting digital holography）を適用して再生像を得ると撮像範囲が狭くなり、画質も高いものが得られない。また、４種類の位相シフト量を２種類の位相シフト量とみなして何の補正または補償もなく単に並列２段階位相シフト法を適用するだけでは、十分な画質の向上は期待できない。

並列２段階位相シフト法（parallel two-step Phase-shifting digital holography）によって画質のよい再生像を得るためには、２種類の位相シフト量（例えば０およびπ／２）の干渉縞を得る必要がある。なお、位相シフト量０の干渉縞と位相シフト量πの干渉縞とでは、２段階位相シフト法で画質のよい再生像を得ることはできない。２段階位相シフト法で画質のよい再生像を得るためには、位相シフト量０の干渉縞と位相シフト量π／２の干渉縞とを得ることが好ましい。

（角度θの作用）
本実施形態では、ミラーＭ２の角度を調整して、物体光の光軸と参照光の光軸と間の角度θが、
sinθ＝λ／（２ｄ） …（１）
となるようにする。ここで、λはレーザ光の波長、ｄは撮像素子１５の画素のピッチである。なお、
sinθ＝ｎλ／（２ｄ） （ｎは自然数） …（１´）
であってもよい。

図４は、入射する物体光および参照光の位相シフト量を説明する図である。ここでは説明を簡単にするために、偏光子アレイを通過した場合ではなく、物体光および参照光が単一方向に偏光して各画素に入射する場合について説明する。図４では、撮像素子１５の画素を点で示し、各画素に入射する物体光および参照光の進行方向を矢印で示す。物体光の光軸および参照光の光軸とを含む平面における各画素のピッチはｄである。参照光は平面波である。また、物体光も、数個の画素の範囲ではほぼ平面波と見なせる。物体光の光軸は撮像面の法線に一致し、参照光の光軸は撮像面の法線から角度θ傾いている。

図４に示すように、参照光の入射方向は角度θ傾いているので、上から１番目の画素に入射する参照光と、２番目の画素に入射する参照光とは光路がｄ×sinθ異なる。すなわち、光路がλ／２異なる。２番目の画素への光路が半波長長いので、１番目の画素に入射する参照光の位相に対して、２番目の画素に入射する参照光の位相はπ遅れる。すなわち、隣接する画素の間で、参照光の位相がπ異なる。同様に、１番目の画素に入射する参照光と３番目の画素に入射する参照光との位相差は２π（＝０）である。

１番目の画素に入射する物体光および参照光の位相シフト量を基準（０）とすると、２番目の画素上での物体光および参照光の位相シフト量はπとなり、３番目の画素上での物体光および参照光の位相シフト量は０となる。実際には画素は点ではなく面なので、各画素上における位相シフト量の平均が、０またはπになる。すなわち、物体光に対する参照光の角度θを所定の角度にすることにより、ある方向に隣接する画素同士の位相シフト量をπ異ならせることができる。角度θを調整することにより隣接する画素同士の位相シフト量を調整することができるので、ミラーＭ２またはビームスプリッタＢＳ２は位相調整機構（位相補正部）とも言える。なお、ミラーＭ２およびビームスプリッタＢＳ２は、参照光の入射角を所定の角度θにするような配置・角度で固定されていてもよい。

図５は、角度θの作用による各画素上の位相シフト量を示す図である。ここでは、横方向に並ぶ画素の位相シフト量は同じである。縦方向に沿って、各画素の位相シフト量は０またはπが交互に並ぶ。例えば参照光が縦方向に傾いていれば図５に示すように縦方向において位相シフト量が変化する。もし参照光が横方向に傾いていれば横方向において位相シフト量が変化する。もし参照光が画素の行方向（横方向）および列方向（縦方向）に対して斜め方向に傾いていれば、図６に示すような斜めストライプの位相シフト量を得ることもできる。この場合、参照光の角度θは、
sinθ＝ｎλ／（２ｄ×√２） （ｎは自然数） …（２）
とする。

（撮像光学系１１で得られるホログラム）
図７は、撮像光学系１１における各画素上の位相シフト量を示す図である。本実施形態の撮像光学系１１では、偏光子アレイ１６の作用と角度θの作用との両方が働くので、偏光子アレイ１６の作用による位相シフト量（図３）と、角度θの作用による位相シフト量（図５）とが合成された干渉縞（ホログラム）が得られる。このように、偏光子アレイ１６の作用による４種類の位相シフト量に、角度θの作用による位相シフト量を加えることで、撮像される干渉縞の位相シフト量を４種類から２種類、３種類、または５種類以上に変換することができる。ここでは、撮像される干渉縞の位相シフト量を４種類から２種類に変換する。

撮像素子１５が撮像する干渉縞には、位相シフト量が０の画素と、位相シフト量がπ／２の画素とが含まれる。そのため、偏光イメージング撮像装置１４は、位相シフト量がπ／２だけ異なる２種類の干渉縞を一度に撮像することができる。また、位相シフト量が０の画素と、位相シフト量がπ／２の画素とは市松模様に並んでいる。

偏光イメージング撮像装置１４は、撮像した干渉縞の画像データを、再生装置１２に出力する。位相シフト量が０、π／２の２種類であるので、並列２段階位相シフト法を用いて画質のよい再生像を得ることができる。

なお、位相シフト量が０、π／２である２つの干渉縞を得るためには、偏光子アレイ１６によって生じた４つの位相シフト量のうち、位相シフト量０、πのいずれか一方にπの位相シフト量を加え、位相シフト量π／２、３π／２のいずれか一方にπの位相シフト量πを加えればよい。よって、偏光子アレイ１６の偏光領域の配置が図２に示す配置とは異なる場合であっても、参照光が傾く方向を調整することにより、位相シフト量が０、π／２である２つの干渉縞を撮像することができる。

（像再生処理）
再生装置１２は、位相シフト処理部１８、および回折処理部１９を備える。再生装置１２は、偏光イメージング撮像装置１４から撮像された干渉縞を示す画像データを取得し、位相シフト処理部１８に入力する。

図８は、位相シフト処理部１８における像再生アルゴリズムを説明するための図である。図８には干渉縞の一部だけを示す。撮像された干渉縞２１は、位相シフト量が０の画素２１ａと、位相シフト量がπ／２の画素２１ｂとの２種類の画素を含む。

位相シフト処理部１８は、これら２種類の画素２１ａ・２１ｂをそれぞれ抽出することにより、位相シフト量が０の干渉縞２２ａと、位相シフト量がπ／２の干渉縞２２ｂとを得る。

次に、位相シフト処理部１８は、位相シフト量が０の干渉縞２２ａの欠落している画素の画素値を内挿または外挿によって補間し、補間された位相シフト量が０の干渉縞２３ａを得る。同様に、位相シフト処理部１８は、位相シフト量がπ／２の干渉縞２２ｂの欠落している画素の画素値を補間し、補間された位相シフト量がπ／２の干渉縞２３ｂを得る。

これら位相シフト量の異なる２種類の干渉縞２３ａ・２３ｂから並列２段階位相シフト法によって物体光の複素振幅分布を得るためには、撮像素子１５上での参照光の強度分布の情報が必要になる。参照光の強度分布は定常的で変化しないため、被写体１７の干渉縞を撮像する前または後に、物体光を遮る等して参照光だけを撮像することができる。なお、参照光の強度分布を得る際に被写体１７は不要である。再生装置１２は、干渉縞と同様に、偏光イメージング撮像装置１４から参照光の強度分布を取得する。なお、参照光の強度は物体光の強度より十分に強くなるようにする。参照光の強度が物体光の強度より十分に強い場合に、並列２段階位相シフト法を好適に適用することができる。

また、参照光の強度分布が一様だと仮定できる場合あるいは推定できる場合は、参照光の強度分布の記録を省略し、物体光の複素振幅分布を得る位相シフト処理時に位相シフト処理部１８によって参照光の強度分布を生成して用いてもよい。参照光の強度を変化させて得られた干渉縞を繰り返し処理することで、適切な参照光の強度分布を推定することができる。

位相シフト処理部１８は、補間された位相シフト量が０の干渉縞２３ａおよび補間された位相シフト量がπ／２の干渉縞２３ｂに、並列２段階位相シフト法を適用することにより、撮像面上における物体光の複素振幅分布２４を求めることができる。ここで得られる複素振幅分布２４は、撮像面上の各画素の位置における物体光の振幅分布と位相分布とを表す。位相シフト処理部１８は、物体光の複素振幅分布２４を、回折処理部１９に出力する。

回折処理部１９は、物体光の複素振幅分布２４に回折積分を適用して被写体１７の再生像を得る。撮像素子１５の撮像面上における物体光の複素振幅分布２４が得られれば、回折積分によって物体光の伝播を遡ることにより、任意の奥行き位置での合焦像（振幅分布を示す再生像）を得ることができる。また、合焦像について被写体１７の３次元形状の情報を含む位相分布を得ることができる。

本実施形態では、４種類の偏光領域を有する偏光イメージング撮像装置１４を用いた撮像光学系１１において、位相シフト量が２種類になるよう位相調整機構（ミラーＭ２、ビームスプリッタＢＳ２）によって参照光の角度θを調整する。これにより、２種類の位相シフト量の干渉縞が空間分割多重された干渉縞を得ることができる。それゆえ、好適に並列２段階位相シフト法を適用することができ、画質のよい再生像を得ることができる。本実施形態では、空間分割多重数が２つ、すなわち見かけの画素数が１／２になる。そのため、見かけの画素数が１／４になる並列４段階位相シフト法を用いる場合よりも、干渉縞に記録される有効な情報が多い。それゆえ、デジタルホログラフィ装置の分解能および撮像範囲を向上することができる。

また、本実施形態では、撮像光学系１１を構成するために位相シフトアレイ等の特殊な光学素子を用いる必要がない。また、撮像光学系１１には結像光学系も不要であるので、光学素子の位置合わせが簡単である。そのため、市販の製品を利用して撮像光学系１１を簡単に、かつ低コストで構成することができる。

（シミュレーション結果）
本願発明者は、計算機による本実施の形態に基づく再生像の生成のシミュレーションを行った。以下に、そのシミュレーション結果について説明する。

シミュレーションの条件は以下の通りである。被写体の撮像を行う光学系は、図１に示す撮像光学系１１である。用いるレーザ光源は連続波（Continuous Wave: ＣＷ）レーザであり、その波長はλ＝６３２．８ｎｍ（赤色）である。撮像素子はＣＣＤであり、画素数は２４４８×１０００（横×縦）、画素ピッチは横方向３．４５μｍ、縦方向３．４５μｍである。被写体は向かって左からアヒル、柵、およびヒナのミニチュア模型である。アヒル、柵、およびヒナの撮像素子からの距離は、それぞれ、３００ｍｍ、３５０ｍｍ、３８０ｍｍである。上記の条件の下、計算機によって、参照光と被写体の物体光とが撮像面に作る干渉縞を取得し、再生像を計算するシミュレーションを行った。なお、干渉縞の取得も計算機によるシミュレーションによって行っている。

図９は、被写体の再生像に関して、シミュレーションの結果を示す画像である。なお、比較のために、従来の方法で行ったシミュレーションの結果も示す。なお、図９に示す再生像は撮像素子から３００ｍｍの位置に合焦したときの再生像である。

図９の（ａ）は、特許文献１のように、４種類の位相シフト量の干渉縞から並列４段階位相シフト法を用いて再生した再生像を示す画像である。この方法では、有効な撮像範囲が狭く、かつ再生像が全体的に暗くなる。また、精細な再生像が得られない。

図９の（ｂ）は、特許文献２のように、特殊な光学素子（位相シフトアレイ）を用いて２種類の位相シフト量の干渉縞を取得し、２種類の位相シフト量の干渉縞から並列２段階位相シフト法を用いて再生した再生像を示す画像である。この方法では、有効な撮像範囲が広く、図９の（ａ）を像再生した方法に比べて分解能が１．４倍になる。しかしながら、この方法では、撮像光学系を構成するために２画素ごとに異なる偏光を検出する等の特殊な光学素子が必要になる。そのため、装置化する際に専用の素子を開発し、専用の素子を独自に量産する必要があり、コストが高くなる。位相シフトアレイを参照光の光路に配置する場合、結像光学系が必要になり、結像光学系の調整が必要になる。

図９の（ｃ）は、非特許文献３のように、干渉縞における４種類の位相シフト量を２種類の位相シフト量とみなして、並列２段階位相シフト法を用いて再生した再生像を示す画像である。この方法では、本来４種類である位相シフト量を２種類とみなして計算するために、得られる物体光の複素振幅分布は誤差を含む。そのため、誤差を含む物体光を回折積分で伝播させたときに、物体光が本来とは異なる方向に伝播することがある。結果的に、図９の（ｃ）に示すように、得られた再生像において被写体の左右の位置が入れ替わってしまうことがある。これは、３次元的な位置を正確に計測できていないことを示す。すなわち、補正なしには３次元計測精度が出ないことを表す。それゆえ、この方法では、正確な再生像が得られない場合がある。

図９の（ｄ）は、本実施形態の構成（図１）により、２種類の位相シフト量の干渉縞から並列２段階位相シフト法を用いて再生した再生像を示す画像である。本実施形態の方法では、図９の（ａ）に比べて、有効な撮像範囲が２倍以上広くなり、分解能が１．４倍以上になる。そのため、精細な再生像を得ることができる。このように、本実施形態によれば、簡単に構成することができる撮像光学系を用いて、画質のよい再生像が得られるデジタルホログラフィ装置を実現することができる。そのためデジタルホログラフィの実用化を促進することができる。本実施形態のデジタルホログラフィ装置は、例えば、生細胞等の微小物体の３次元動態の可視化、製造物の高速３次元構造計測・解析、および、ガソリン噴霧等の気体・液体流体現象の可視化・計測に利用することができる。

（位相調整機構の調整方法）
位相調整機構（ミラーＭ２）の角度の調整方法について説明する。例えばθ＝０°のとき、撮像素子１５によって撮像される干渉縞の位相シフト量は４種類である。このとき、位相シフト量に応じたそれぞれの干渉縞の平均輝度値も４種類となる。すなわち、２×２の４画素毎に１画素を抽出して得られる４つの画像（干渉縞）について、各画像の平均輝度値は互いに異なる（４つの）値になると考えられる。位相調整機構によって参照光の角度θを０°から変化させていくと、４つの画像の平均輝度値はやがて２つの値になる。このとき、位相シフト量が２種類になっている。すなわち、４画素毎に１画素を抽出して得られる４つの画像の平均輝度値を観察することにより、角度θが所定の条件（上式（１））を満たし、かつ位相シフト量が０とπ／２の２つの干渉縞が得られているかを判定することができる。この判定は偏光イメージング撮像装置の出力を受ける計算機によって行うことができる。よって、適切に位相調整機構の調整を行うことができる。

また、上記判定は、撮像された干渉縞をフーリエ変換して空間周波数分布を観察することによっても行うことができる。位相調整機構が適切に調整されている場合、撮像された干渉縞は２種類の位相シフト量の干渉縞を含む。撮像された干渉縞が２種類の位相シフト量の干渉縞を含む場合と、撮像された干渉縞が４種類の位相シフト量の干渉縞を含む場合とでは、撮像された干渉縞をフーリエ変換して得られる空間周波数分布が異なる。よって、撮像された干渉縞が２種類の位相シフト量の干渉縞を含む場合の空間周波数分布をあらかじめ計算機に記憶しておき、該空間周波数分布と比較することにより、２つの干渉縞が得られているかを判定することができる。

なお、ここまでは、参照光の光軸を撮像面の法線から角度θ傾ける構成を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。撮像面の法線から角度θ傾けるのは物体光の光軸であってもよい。また、参照光の光軸と物体光の光軸との双方を傾けても良い。即ち、参照光の光軸と物体光の光軸との少なくとも一方を、上記式（１）、上記式（１´）、または上記式（２）を満足するように、撮像面の法線から角度θ傾ければ良い。後述する実施の形態においても同様である。

［実施形態２］
本実施形態では、位相調整機構の構成が異なる形態について説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１にて説明した部材・構成と同じ機能を有する部材・構成については、同じ符号を付記し、以下では実施形態１と異なる部分についてのみ説明する。

図１０は、本実施形態のデジタルホログラフィ装置２の構成を示す模式図である。デジタルホログラフィ装置２は、参照光の光路にプリズム３１（位相補正部、位相調整機構）を備える。実施形態１とは異なり、本実施形態では、ミラーＭ２およびビームスプリッタＢＳ２は固定されている。プリズム３１の屈折によって参照光の進行方向が変化される。プリズム３１は、撮像素子１５に対する入射角が所定の角度θになるように、配置角度を調整することができる。これにより、物体光の光軸と参照光の光軸とを角度θ異ならせることができる。それゆえ、偏光子アレイ１６による４種類の位相シフト量の干渉縞を、２種類の位相シフト量の干渉縞に変換することができる。

なお、参照光の光路に配置する位相調整機構となる光学素子（光学部材）は、プリズム３１に限らない。プリズム３１の代わりに、回折格子、空間光変調器、光路長を異ならせる光学素子アレイ等を配置して回折によって参照光の光軸を調整することもできる。また、ウェッジ型（くさび形）の光学素子を用いることもできる。また、再回折光学系を参照光の光路に配置し、光学的に生成された空間周波数分布面において位相を変調させることも可能である。

また、物体光と参照光との間の相対的な位相シフト量を調整できればよいので、参照光の光軸が撮像面に対して垂直になるようにし、物体光の光軸が撮像面に対して所定の角度θで入射するように構成してもよい。そのため、上記プリズム等の光学素子を参照光の光路に配置して、物体光の光軸と参照光の光軸との間の角度を調整することもできる。もちろん、参照光の光路と物体光の光路との双方に光学素子を配置して、物体光の光軸と参照光の光軸との間の角度を調整しても良い。

［実施形態３］
本実施形態では、像再生の処理時に位相調整を行う形態について説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１にて説明した部材・構成と同じ機能を有する部材・構成については、同じ符号を付記し、以下では実施形態１と異なる部分についてのみ説明する。

（デジタルホログラフィ装置３の構成）
図１１は、本実施形態のデジタルホログラフィ装置３の構成を示す模式図である。デジタルホログラフィ装置３は、撮像光学系３２と、再生装置３３とを備える。

撮像光学系３２は、実施形態１と同様の光学素子を有するが、撮像素子１５に入射する物体光の光軸と参照光の光軸とが一致する点が実施形態１とは異なる。すなわち、物体光の光軸と参照光の光軸とのなす角度θが０°である。そのため、撮像素子１５によって撮像される干渉縞の位相シフト量は、図３に示すように、０、π／２、π、３π／２の４種類となる。

（像再生処理）
再生装置３３は、位相シフト処理部１８、位相調整部３４（位相補正部）、および回折処理部１９を備える。再生装置３３は、偏光イメージング撮像装置１４から撮像された干渉縞を示す画像データを取得し、位相シフト処理部１８に入力する。

図１２は、再生装置３３における像再生アルゴリズムを説明するための図である。図１２には干渉縞の一部だけを示す。撮像された干渉縞４１は、位相シフト量が０の画素（1,1）と、位相シフト量がπ／２の画素（2,1）と、位相シフト量が３π／２の画素（1,2）と、位相シフト量がπの画素（2,2）との４種類の画素を含む。

位相シフト処理部１８は、並列２段階位相シフト法を用いて、物体光の複素振幅分布を求める。ここでは、実施形態１とは異なり、隣接画素の情報を位相シフト法の計算に直接用いる場合を例に挙げて説明する。

撮像素子１５によって撮像された干渉縞４１の強度（撮像された光の強度）をＩ（x,y）とする。参照光の強度をＩｒ（x,y）とする。ｘは画素の横方向の座標、ｙは画素の縦方向の座標を表す。ここでは左上端の画素を（x,y）＝（1,1）とする。撮像された干渉縞４１において、例えば、画素（1,1）の位相シフト量は０であり、画素（2,1）の位相シフト量はπ／２であり、画素（1,2）の位相シフト量は３π／２であり、画素（2,2）の位相シフト量はπである。互いに隣接する画素（x,y）および画素（x,y+1）の間の位相シフト量の差をαとして、並列２段階位相シフト法を用いて、撮像面上の物体光の複素振幅分布Ｕ（x,y）＝Ao(x,y)exp{jφ(x,y)}を以下のように求める。ここで、Ao(x,y)は座標(x,y)における物体光の振幅分布を表し、φ(x,y)は座標(x,y)における物体光の位相分布を表す。また、jは虚数単位である。

上式（３）−（７）によって、座標(x,y)における振幅分布の絶対値の２乗である|Ao(x,y)|が求められる。この値を用いて、座標(x,y)における複素振幅分布Ｕ（x,y）を求める。

なお、水平方向に互いに隣接する画素（x,y）および画素（x+1,y）から座標(x,y)における複素振幅分布Ｕ（x,y）を求める場合は、以下の式を用いることができる。

位相シフト処理部１８は、得られた物体光の複素振幅分布Ｕ（x,y）を位相調整部３４に出力する。

このようにして得られた物体光の複素振幅分布Ｕ（x,y）は、４種類の位相シフト量を含む干渉縞に並列２段階位相シフト法を適用して得られたものであるので、位相の誤差を含む。

そこで、位相調整部３４は、物体光の複素振幅分布Ｕ（x,y）に対して各画素（x,y）に応じた位相調整量を加える。これにより、位相が補正された正確な物体光の複素振幅分布Ｕ´（x,y）を得ることができる。具体的には、位相調整部３４は、撮像された干渉縞における位相シフト量と同じ位相値を、対応する画素の位置（x,y）における物体光の位相φに加える。位相調整部３４は、補正された物体光の複素振幅分布Ｕ´（x,y）を回折処理部１９に出力する。

回折処理部１９は、補正された物体光の複素振幅分布Ｕ´（x,y）に基づいて、回折積分を行うことにより、被写体の再生像を求める。

本実施形態では、位相調整機構を有しない撮像光学系３２で位相シフト量が異なる４種類の干渉縞を撮像する。この位相シフト量が異なる４種類の干渉縞に対して並列２段階位相シフト法を適用し、像再生の計算過程において、物体光の位相を補正することにより、正確な物体光の複素振幅分布を得る。本実施形態では、像再生の計算過程において位相を補正することができるので、位相調整機構の角度θの調整を必要としない。

なお、位相シフト法の計算後に得られる物体光の複素振幅分布Ｕ（x,y）に２次元フーリエ変換を施し、空間スペクトル分布においてスペクトルのずれを補正することでも、物体光の位相を補正することができる。位相を補正した空間スペクトル分布に逆フーリエ変換を施すことにより、補正された物体光の複素振幅分布Ｕ´（x,y）を得ることができる。

なお、位相調整部３４が位相値を加える位相調整の処理を、位相シフト法を適用する前に、撮像された干渉縞４１に対して行うこともできる。その後、位相調整された干渉縞に対して上記並列２段階位相シフト法を適用することで、位相が補正された正確な物体光の複素振幅分布Ｕ´が得られる。

［実施形態４］
本実施形態では、像再生の処理時に位相調整を行う別の形態について説明する。なお、説明の便宜上、実施形態３にて説明した部材・構成と同じ機能を有する部材・構成については、同じ符号を付記し、以下では実施形態３と異なる部分についてのみ説明する。

本実施形態では、デジタルホログラフィ装置３の構成は実施形態３と同じである。本実施形態では、並列２段階位相シフト法を適用する際に、画素を分割して補間処理を行う点が実施形態３とは異なる。

図１３は、再生装置３３における像再生アルゴリズムを説明するための図である。図１３には干渉縞の一部だけを示す。撮像された干渉縞は、位相シフト量が０の画素（1,1）と、位相シフト量がπ／２の画素（2,1）と、位相シフト量が３π／２の画素（1,2）と、位相シフト量がπの画素（2,2）との４種類の画素を含む。

位相シフト処理部１８は、並列２段階位相シフト法を用いて、物体光の複素振幅分布を求める。位相シフト処理部１８は、撮像された干渉縞４１から、位相シフト量が０の画素および位相シフト量がπの画素を抽出した干渉縞４２ａを生成する。また、位相シフト処理部１８は、撮像された干渉縞４１から、位相シフト量がπ／２の画素および位相シフト量が３π／２の画素を抽出した干渉縞４２ｂを生成する。

次に、位相シフト処理部１８は、位相シフト量が０およびπの干渉縞４２ａの欠落している画素の画素値を、縦方向に隣接する画素を用いて内挿または外挿によって補間し、補間された位相シフト量が０およびπの干渉縞４３ａを得る。そのため、奇数列に位置する画素は位相シフト量が０であり、偶数列に位置する画素は位相シフト量がπである。同様に、位相シフト処理部１８は、位相シフト量がπ／２および３π／２の干渉縞４２ｂの欠落している画素の画素値を縦方向に隣接する画素を用いて補間し、補間された位相シフト量がπ／２および３π／２の干渉縞４３ｂを得る。そのため、奇数列に位置する画素は位相シフト量が３π／２であり、偶数列に位置する画素は位相シフト量がπ／２である。

２つの干渉縞４３ａ・４３ｂの間では、対応する画素の位相シフト量の差がπ／２である。そのため、干渉縞４３ａに対して干渉縞４３ｂは位相シフト量が−π／２であると言える。それゆえ、干渉縞４３ａ・４３ｂおよび参照光の強度分布Ｉｒ（x,y）を用いて並列２段階位相シフト法を適用することができる。

位相シフト処理部１８は、補間された干渉縞４３ａおよび補間された干渉縞４３ｂに、並列２段階位相シフト法を適用することにより、撮像面上における物体光の複素振幅分布Ｕ（x,y）を求めることができる。位相シフト処理部１８は、物体光の複素振幅分布Ｕ（x,y）を位相調整部３４に出力する。ただし、補間された干渉縞４３ａ・４３ｂは、元々隣接する列の間で位相シフト量がπ異なっていた。そのため、ここで得られた物体光の複素振幅分布Ｕ（x,y）にも、隣接する列の間で位相πのずれが含まれている。

そこで、位相調整部３４は、物体光の複素振幅分布Ｕ（x,y）に対して各画素（x,y）に応じた位相調整量を加える。これにより、位相が補正された正確な物体光の複素振幅分布Ｕ´（x,y）を得ることができる。具体的には、位相調整部３４は、位相シフト法を適用する前の補間された干渉縞４３ａ・４３ｂにおける位相シフト量を均一（０）にするような位相値を、対応する画素の位置（x,y）における物体光の位相φに加える。具体的には、偶数列の画素（第１画素）の物体光の位相に対して基準位相値（例えば位相値π／２）を加え、奇数列の画素（上記第１画素に隣接する第２画素）の物体光の位相に対して上記基準位相値にπを加減算した位相値（例えば（３π／２））を加えることにより、位相が補正された正確な物体光の複素振幅分布Ｕ´（x,y）を得る。位相調整部３４は、補正された物体光の複素振幅分布Ｕ´（x,y）を回折処理部１９に出力する。

回折処理部１９は、補正された物体光の複素振幅分布Ｕ´（x,y）に基づいて、回折積分を行うことにより、被写体の再生像を求める。

本実施形態および実施形態３では、位相シフト量が異なる４種類の干渉縞に対して並列２段階位相シフト法を適用し、得られた物体光の複素振幅分布Ｕに残留する位相のずれを補正するために、物体光の位相にずれに応じた位相値を加える。これにより、正確な物体光の複素振幅分布を得ることができる。本実施形態では、像再生の計算過程において位相を補正することができるので、位相調整機構の角度θの調整を必要としない。

［実施形態５］
本実施形態では、参照光の入射角を傾け、さらに像再生の処理時に位相調整を行う形態について説明する。本実施形態は実施形態１と実施形態３とを組み合わせたような形態である。なお、説明の便宜上、実施形態１、３にて説明した部材・構成と同じ機能を有する部材・構成については、同じ符号を付記し、以下では実施形態１、３と異なる部分についてのみ説明する。

図１４は、本実施形態のデジタルホログラフィ装置５の構成を示す模式図である。デジタルホログラフィ装置５は、撮像光学系１１と、再生装置３３とを備える。撮像光学系１１は、実施形態１と同様の構成である。再生装置３３は、実施形態３と同様の構成である。

本実施形態では、参照光の光軸を物体光の光軸に対して傾けて参照光を入射する。しかしながら、角度θが所定の値からずれておりsinθ≠λ／（２ｄ）である場合、撮像された干渉縞の位相シフト量が正確に０とπ／２の２種類とはならないことがある。

そこで、本実施形態では、撮像された干渉縞に残留する位相シフト量の誤差を、位相調整部３４の位相調整処理によって補正する。具体的には、位相シフト処理部１８が撮像された干渉縞に並列２段階位相シフト法を適用して物体光の複素振幅分布を求める。その後、位相調整部３４が物体光の複素振幅分布に対して画素に応じた位相値の加算を行うことにより、位相シフト量の誤差を補正する。これにより、正確な物体光の複素振幅分布を得ることができる。

加算する位相値については、誤差がある場合、撮像された画像をフーリエ変換して得られる空間周波数分布のピーク位置が本来と異なることから算出する。例えば、物体光が撮像素子へ垂直入射する平行光である場合、本来フーリエ変換面では画像の中央にピーク値が現れる。位相調整機構による調整量が上記式（１）の値でない場合、空間周波数分布のピーク位置が調整量の誤差に応じてずれる。このことから、本来得られるべき調整量に対する実際の調整量の差を、フーリエ変換を駆使することにより知ることができる。そして、調整処理により補正すべき位相値を加えることができる。また、位相調整機構の調整精度が低い場合等においては調整処理が必須であり、被写体の撮像前に物体光を平行光にするなどして事前に誤差量を調べることによっても調整可能である。

本実施形態によれば、撮像光学系の各光学素子のアライメントに誤差が存在する場合であっても、干渉縞を撮像した後で、再生装置３３の位相調整処理によって光学系のアライメントの誤差を補正することができる。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

［ソフトウェアによる実現例］
最後に、再生装置１２・３３の各ブロック、特に位相シフト処理部１８、回折処理部１９および位相調整部３４は、集積回路（ＩＣチップ）上に形成された論理回路によってハードウェア的に実現してもよいし、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてソフトウェア的に実現してもよい。

後者の場合、再生装置１２・３３は、各機能を実現するプログラムの命令を実行するＣＰＵ、上記プログラムを格納したＲＯＭ（Read Only Memory）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶装置（記録媒体）などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである再生装置１２・３３の制御プログラムのプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、上記再生装置１２・３３に供給し、そのコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。

上記記録媒体としては、一時的でない有形の媒体（non-transitory tangible medium）、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ類、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディスクを含むディスク類、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード類、マスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ類、あるいはＰＬＤ（Programmable logic device）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の論理回路類などを用いることができる。

また、再生装置１２・３３を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークは、プログラムコードを伝送可能であればよく、特に限定されない。例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、ＬＡＮ、ＩＳＤＮ、ＶＡＮ、ＣＡＴＶ通信網、仮想専用網（Virtual Private Network）、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、この通信ネットワークを構成する伝送媒体も、プログラムコードを伝送可能な媒体であればよく、特定の構成または種類のものに限定されない。例えば、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、電力線搬送、ケーブルＴＶ回線、電話線、ＡＤＳＬ（Asymmetric Digital Subscriber Line）回線等の有線でも、ＩｒＤＡやリモコンのような赤外線、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、ＩＥＥＥ８０２．１１無線、ＨＤＲ（High Data Rate）、ＮＦＣ（Near Field Communication）、ＤＬＮＡ（Digital Living Network Alliance）（登録商標）、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。

[まとめ]
本発明に係るデジタルホログラフィ装置は、参照光および被写体を照明する物体照明光を供給する光源と、撮像装置とを備え、物体照明光が上記被写体を介して到達する光である物体光と参照光とが作る干渉縞を上記撮像装置が撮像するデジタルホログラフィ装置であって、上記撮像装置は、互いに通過させる光の偏光方向が異なる４つの偏光領域を有する偏光子アレイと、各偏光領域に対応して配列している画素を有する撮像素子とを備え、上記デジタルホログラフィ装置は、円偏光または楕円偏光である物体光と、物体光とは反対方向に回転する円偏光または楕円偏光である参照光とを上記偏光子アレイに入射させ、上記４つの偏光領域に応じて生じる４種類の位相シフト量の差を補正する位相補正部と、上記撮像装置が撮像した干渉縞に並列２段階位相シフト法を適用して再生像を生成する再生部とを備えることを特徴としている。

上記の構成によれば、市販されている偏光イメージングカメラを利用して簡単に撮像装置を含むデジタルホログラフィ装置を構成することができる。そして、位相補正部によって上記４つの偏光領域に応じて生じる４種類の位相シフト量の差を補正することができるので、適切に並列２段階位相シフト法を適用することができる。それゆえ、デジタルホログラフィ装置は、画質のよい再生像を得ることができる。

上記位相補正部は、上記撮像素子に入射する物体光の光軸に対して上記撮像素子に入射する参照光の光軸を所定の角度傾ける機構を有する構成とすることもできる。

上記の構成によれば、撮像素子上において光軸が傾いた方向に沿って、物体光の位相に対する参照光の位相が変化する。そのため、画素の位置に応じて物体光と参照光との位相シフト量を変化させることができる。これにより、上記４つの偏光領域に応じて生じる４種類の位相シフト量の差を補正することができる。

上記所定の角度をθとし、物体光および参照光の波長をλとし、物体光の上記光軸と参照光の上記光軸とを含む平面における上記画素のピッチをｄとし、ｎを自然数とすると、sinθ＝ｎλ／（２ｄ）である構成とすることもできる。

上記の構成によれば、例えばある方向に並ぶ画素列と隣接する画素列との間で、物体光の位相に対する参照光の位相をπシフトさせることができる。これにより、上記４つの偏光領域に応じて生じる４種類の位相シフト量の差を補正することができる。

上記位相補正部は、上記４つの偏光領域に応じて生じる４種類の位相シフト量を、２種類の位相シフト量に変換し、上記撮像装置は、互いに位相シフト量が異なる２種類の干渉縞を一度に撮像する構成とすることもできる。

上記の構成によれば、並列２段階位相シフト法に適した２種類の干渉縞を得ることができるので、再生像の画質を向上することができる。

上記２種類の干渉縞のうち、一方の干渉縞の位相シフト量を０とすると、他方の干渉縞の位相シフト量はπ／２である構成とすることもできる。

上記位相補正部は、参照光または物体光を反射、屈折または回折することによって上記角度を調整することが可能な光学部材を含む構成とすることもできる。

上記光学部材は、参照光の光路に配置されている構成とすることもできる。

上記光学部材は、物体光の光路に配置されている構成とすることもできる。

上記撮像装置は、互いに位相シフト量が異なる４種類の干渉縞を一度に撮像し、上記再生部は、並列２段階位相シフト法を用いて上記撮像装置が撮像した上記４種類の干渉縞から物体光の複素振幅分布を生成する位相シフト処理部を含み、上記位相補正部は、上記位相シフト処理部が生成した物体光の複素振幅分布に対して、上記画素に応じた位相値を加えることによって位相が補正された物体光の複素振幅分布を得る構成とすることもできる。

上記の構成によれば、位相シフト処理部が生成した物体光の複素振幅分布に含まれる、４種類の位相シフト量の差に起因する位相の誤差を、位相補正部が補正することができる。それゆえ、上記４つの偏光領域に応じて生じる４種類の位相シフト量の差を補正することができる。

上記位相補正部は、上記位相シフト処理部が生成した物体光の複素振幅分布に対して、上記画素毎に、上記撮像された干渉縞の位相シフト量に応じた位相値を加えることによって位相が補正された物体光の複素振幅分布を得る構成とすることもできる。

上記撮像装置が撮像した上記４種類の干渉縞は、位相シフト量が０の第１画素と、位相シフト量がπ／２の第２画素と、位相シフト量がπの第３画素と、位相シフト量が３π／２の第４画素とを含み、上記位相補正部は、上記位相シフト処理部が生成した物体光の複素振幅分布に対して、上記第１画素において位相値０を加え、上記第２画素において位相値π／２を加え、上記第３画素において位相値πを加え、上記第４画素において位相値３π／２を加える構成とすることもできる。

上記位相シフト処理部は、上記撮像装置が撮像した上記４種類の干渉縞から、第１位相シフト量の画素と第２位相シフト量の画素とを抽出して第１干渉縞を生成し、第３位相シフト量の画素と第４位相シフト量の画素とを抽出して第２干渉縞を生成し、上記第１位相シフト量と上記第３位相シフト量とはπ／２異なっており、上記第２位相シフト量と上記第４位相シフト量とはπ／２異なっており、上記位相シフト処理部は、上記第１干渉縞および上記第２干渉縞に並列２段階位相シフト法を適用して物体光の複素振幅分布を生成し、上記位相補正部は、上記位相シフト処理部が生成した物体光の複素振幅分布に対して、上記画素毎に、上記第１干渉縞と上記第２干渉縞との間の位相シフト量の差に応じた位相値を加えることによって位相が補正された物体光の複素振幅分布を得る構成とすることもできる。

上記第１位相シフト量と上記第２位相シフト量とはπ異なっており、上記第３位相シフト量と上記第４位相シフト量とはπ異なっており、上記位相補正部は、上記位相シフト処理部が生成した物体光の複素振幅分布に対して、第１画素において位相値０を加え、上記第１画素に隣接する第２画素において位相値πを加える構成とすることもできる。

本発明は、デジタルホログラフィ装置に利用することができる。また、本発明は、例えば、生細胞等の微小物体の３次元動態の可視化、製造物の高速３次元構造計測・解析、および、ガソリン噴霧等の気体・液体流体現象の可視化・計測に利用することができる。

１・２・３・５ デジタルホログラフィ装置
１１・３２ 撮像光学系
１２・３３ 再生装置（再生部）
１３ レーザ光源（光源）
１４ 偏光イメージング撮像装置（撮像装置）
１５ 撮像素子
１５ａ〜１５ｄ 画素
１６ 偏光子アレイ
１６ａ〜１６ｄ 偏光領域
１７ 被写体
１８ 位相シフト処理部
１９ 回折処理部
２１ 干渉縞
２１ａ・２１ｂ 画素
２２ａ・２２ｂ 干渉縞
２３ａ・２３ｂ 干渉縞
２４ 複素振幅分布
３１ プリズム（位相補正部、光学部材）
３４ 位相調整部（位相補正部）
４１ 干渉縞
４２ａ・４２ｂ 干渉縞
４３ａ・４３ｂ 干渉縞
ＢＥ１・ＢＥ２ ビームエキスパンダ
ＢＥａ 対物レンズ
ＢＥｂ ピンホール
ＢＥｃ コリメータレンズ
ＢＳ１・ＢＳ２ ビームスプリッタ（位相補正部、光学部材）
ＬＰ１ 偏光子
Ｍ１・Ｍ２ ミラー（位相補正部、光学部材）
ＨＷＰ１ １／２波長板
ＱＷＰ１ １／４波長板

Claims (14)

1. 参照光および被写体を照明する物体照明光を供給する光源と、撮像装置とを備え、物体照明光が上記被写体を介して到達する光である物体光と参照光とが作る干渉縞を上記撮像装置が撮像するデジタルホログラフィ装置であって、
   上記撮像装置は、互いに通過させる光の偏光方向が異なる４つの偏光領域を有する偏光子アレイと、各偏光領域に対応して配列している画素を有する撮像素子とを備え、
   上記デジタルホログラフィ装置は、円偏光または楕円偏光である物体光と、物体光とは反対方向に回転する円偏光または楕円偏光である参照光とを上記偏光子アレイに入射させ、
   上記４つの偏光領域に応じて生じる４種類の位相シフト量の差を補正する 位相補正部と、
   上記撮像装置が撮像した干渉縞に並列２段階位相シフト法を適用して再生像を生成する再生部とを備えることを特徴とするデジタルホログラフィ装置。
2. 上記位相補正部は、上記撮像素子に入射する物体光の光軸と上記撮像素子に入射する参照光の光軸との少なくとも一方を前記撮像素子の撮像面の法線から所定の角度傾ける位相調整機構を有することを特徴とする請求項１に記載のデジタルホログラフィ装置。
3. 上記所定の角度をθとし、物体光および参照光の波長をλとし、物体光の上記光軸と参照光の上記光軸とを含む平面における上記画素のピッチをｄとし、ｎを自然数とすると、
   sinθ＝ｎλ／（２ｄ）、または、
   sinθ＝ｎλ／（２ｄ×√２）
   であることを特徴とする請求項２に記載のデジタルホログラフィ装置。
4. 上記位相補正部は、上記４つの偏光領域に応じて生じる４種類の位相シフト量を、２種類の位相シフト量に変換し、
   上記撮像装置は、互いに位相シフト量が異なる２種類の干渉縞を一度に撮像することを特徴とする請求項２に記載のデジタルホログラフィ装置。
5. 上記２種類の干渉縞のうち、一方の干渉縞の位相シフト量を０とすると、他方の干渉縞の位相シフト量はπ／２であることを特徴とする請求項４に記載のデジタルホログラフィ装置。
6. 上記位相補正部は、参照光または物体光を反射、屈折または回折することによって上記角度を調整することが可能な光学部材を含むことを特徴とする請求項２に記載のデジタルホログラフィ装置。
7. 上記光学部材は、参照光の光路に配置されていることを特徴とする請求項６に記載のデジタルホログラフィ装置。
8. 上記光学部材は、物体光の光路に配置されていることを特徴とする請求項６に記載のデジタルホログラフィ装置。
9. 上記撮像装置は、互いに位相シフト量が異なる４種類の干渉縞を一度に撮像し、
   上記再生部は、並列２段階位相シフト法を用いて上記撮像装置が撮像した上記４種類の干渉縞から、上記撮像素子の上記画素に対応する物体光の複素振幅分布を生成する位相シフト処理部を含み、
   上記位相補正部は、上記位相シフト処理部が生成した物体光の複素振幅分布に対して、上記画素に応じた位相値を加えることによって位相が補正された物体光の複素振幅分布を得る位相調整部を有することを特徴とする請求項１に記載のデジタルホログラフィ装置。
10. 上記位相補正部は、上記位相シフト処理部が生成した物体光の複素振幅分布に対して、上記画素毎に、上記撮像された干渉縞の位相シフト量に応じた位相値を加えることによって位相が補正された物体光の複素振幅分布を得ることを特徴とする請求項９に記載のデジタルホログラフィ装置。
11. 上記撮像装置が撮像した上記４種類の干渉縞は、位相シフト量が０の第１画素と、位相シフト量がπ／２の第２画素と、位相シフト量がπの第３画素と、位相シフト量が３π／２の第４画素とを含み、
    上記位相補正部は、上記位相シフト処理部が生成した物体光の複素振幅分布に対して、上記第１画素において位相値０を加え、上記第２画素において位相値π／２を加え、上記第３画素において位相値πを加え、上記第４画素において位相値３π／２を加えることを特徴とする請求項１０に記載のデジタルホログラフィ装置。
12. 上記位相シフト処理部は、上記撮像装置が撮像した上記４種類の干渉縞から、第１位相シフト量の画素と第２位相シフト量の画素とを抽出して第１干渉縞を生成し、第３位相シフト量の画素と第４位相シフト量の画素とを抽出して第２干渉縞を生成し、
    上記第１位相シフト量と上記第３位相シフト量とはπ／２異なっており、上記第２位相シフト量と上記第４位相シフト量とはπ／２異なっており、
    上記位相シフト処理部は、上記第１干渉縞および上記第２干渉縞に並列２段階位相シフト法を適用して物体光の複素振幅分布を生成し、
    上記位相補正部は、上記位相シフト処理部が生成した物体光の複素振幅分布に対して、上記画素毎に、上記第１干渉縞と上記第２干渉縞との間の位相シフト量の差に応じた位相値を加えることによって位相が補正された物体光の複素振幅分布を得ることを特徴とする請求項９に記載のデジタルホログラフィ装置。
13. 上記第１位相シフト量と上記第２位相シフト量とはπ異なっており、上記第３位相シフト量と上記第４位相シフト量とはπ異なっており、
    上記位相補正部は、上記位相シフト処理部が生成した物体光の複素振幅分布に対して、第１画素において基準位相値を加え、上記第１画素に隣接する第２画素において上記基準位相値にπを加減算した位相値を加えることを特徴とする請求項１２に記載のデジタルホログラフィ装置。
14. 上記位相補正部は、上記撮像素子に入射する物体光の光軸と上記撮像素子に入射する参照光の光軸との少なくとも一方を前記撮像素子の撮像面の法線から所定の角度傾ける位相調整機構を有し、
    上記再生部は、並列２段階位相シフト法を用いて上記撮像装置が撮像した上記４種類の干渉縞から、上記撮像素子の上記画素に対応する物体光の複素振幅分布を生成する位相シフト処理部を含み、
    上記位相補正部は、上記位相シフト処理部が生成した物体光の複素振幅分布に対して、上記画素に応じた位相値を加えることによって位相が補正された物体光の複素振幅分布を得る位相調整部をさらに有することを特徴とする請求項１に記載のデジタルホログラフィ装置。