JP6191831B2 - レジスト下層膜形成組成物 - Google Patents
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Description
[式中、2つのR1はそれぞれ独立に炭素原子数1乃至10のアルキル基、炭素原子数2乃至6のアルケニル基、芳香族炭化水素基、ハロゲン原子、ニトロ基又はアミノ基を表し、2つのR2はそれぞれ独立に水素原子、炭素原子数1乃至10のアルキル基、炭素原子数2乃至6のアルケニル基、アセタール基、アシル基又はグリシジル基を表し、R3は置換基を有してもよい芳香族炭化水素基を表し、R4は水素原子、フェニル基又はナフチル基を表し、同一の炭素原子と結合するR3とR4がそれぞれフェニル基を表すとき互いに結合してフルオレン環を形成してもよく、式(1b)において2つのR3が表す基及び2つのR4が表す原子又は基は互いに異なっていてもよく、2つのkはそれぞれ独立に0又は1を表し、mは3乃至500の整数を表し、n、n1及びn2は2乃至500の整数を表し、pは3乃至500の整数を表し、Xは単結合又はヘテロ原子を表し、2つのQはそれぞれ独立に下記式(2):
(式中、2つのR1、2つのR2、2つのR3、2つのR4、2つのk、n1、n2及びXは式(1b)と同義であり、2つのQ1はそれぞれ独立に前記式(2)で表される構造単位を表す。)
で表される構造単位を表す。]
で表される繰り返し構造単位のうちいずれか1つ又は2つ以上を有するポリマー及び溶剤を含むレジスト下層膜形成組成物である。
前記架橋剤としては、また、少なくとも二つのエポキシ基を有する化合物を用いることもできる。このような化合物として、例えば、トリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,2−エポキシ−4−(エポキシエチル)シクロヘキサン、グリセロールトリグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、2,6−ジグリシジルフェニルグリシジルエーテル、1,1,3−トリス[p−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]プロパン、1,2−シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジルエステル、4,4’−メチレンビス(N,N−ジグリシジルアニリン)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、トリメチロールエタントリグリシジルエーテル、ビスフェノール−A−ジグリシジルエーテル、(株)ダイセル製のエポリード〔登録商標〕GT−401、同GT−403、同GT−301、同GT−302、セロキサイド〔登録商標〕2021、同3000、三菱化学(株)製の1001、1002、1003、1004、1007、1009、1010、828、807、152、154、180S75、871、872、日本化薬(株)製のEPPN201、同202、EOCN−102、同103S、同104S、同1020、同1025、同1027、ナガセケムテックス(株)製のデナコール〔登録商標〕EX−252、同EX−611、同EX−612、同EX−614、同EX−622、同EX−411、同EX−512、同EX−522、同EX−421、同EX−313、同EX−314、同EX−321、BASFジャパン(株)製のCY175、CY177、CY179、CY182、CY184、CY192、DIC(株)製のエピクロン200、同400、同7015、同835LV、同850CRPを挙げることができる。前記少なくとも二つのエポキシ基を有する化合物としては、また、アミノ基を有するエポキシ樹脂を使用することもできる。このようなエポキシ樹脂として、例えば、YH−434、YH−434L(新日化エポキシ製造(株)(旧東都化成(株))製)が挙げられる。
前記架橋剤としては、また、少なくとも2つのブロックイソシアネート基を有する化合物を使用することもできる。このような化合物として、例えば、三井化学(株)製のタケネート〔登録商標〕B−830、同B−870N、エボニックデグサ社製のVESTANAT〔登録商標〕B1358/100が挙げられる。
前記架橋剤としては、また、少なくとも2つのビニルエーテル基を有する化合物を使用することもできる。このような化合物として、例えば、ビス(4−(ビニルオキシメチル)シクロヘキシルメチル)グルタレート、トリ(エチレングリコール)ジビニルエーテル、アジピン酸ジビニルエステル、ジエチレングリコールジビニルエーテル、1,2,4−トリス(4−ビニルオキシブチル)トリメリテート、1,3,5−トリス(4−ビニルオキシブチル)トリメリテート、ビス(4−(ビニルオキシ)ブチル)テレフタレート、ビス(4−(ビニルオキシ)ブチル)イソフタレート、エチレングリコールジビニルエーテル、1,4−ブタンジオールジビニルエーテル、テトラメチレングリコールジビニルエーテル、テトラエチレングリコールジビニルエーテル、ネオペンチルグリコールジビニルエーテル、トリメチロールプロパントリビニルエーテル、トリメチロールエタントリビニルエーテル、ヘキサンジオールジビニルエーテル、1,4−シクロヘキサンジオールジビニルエーテル、テトラエチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル及びシクロヘキサンジメタノールジビニルエーテルを挙げることができる。
これらの各種架橋剤から選択された1種類を添加してもよいし、2種以上を組合せて添加することもできる。前記架橋剤の含有割合は、本発明のレジスト下層膜形成組成物から後述する溶剤を除いた固形分に対して、例えば2質量%乃至60質量%である。
GPCカラム:TSKgel SuperMultipore〔登録商標〕Hz−N(東ソー(株))
カラム温度:40℃
溶媒:テトラヒドロフラン(THF)
流量:0.35ml/分
標準試料:ポリスチレン(東ソー(株))
窒素下、300mL四口フラスコに4,4’−ビフェノール(15.00g、0.0806mol、東京化成工業(株)製)、1−ピレンカルボキシアルデヒド(18.548g、0.0806mol、アルドリッチ社製)及びパラトルエンスルホン酸一水和物(33.2096g、0.0161mol、東京化成工業(株)製)を加え、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテル(44.93g、関東化学(株)製)を仕込み、撹拌し、120℃まで昇温して溶解させ、重合を開始した。24時間後室温まで放冷し、メタノール(1800g、関東化学(株)製)中へ再沈殿させた。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で50℃、10時間乾燥し、目的とするポリマー(以下、本明細書では4,4’−BPOH−Pyと略称する。)19.08gを得た。4,4’−BPOH−Pyの、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは2200、多分散度Mw/Mnは2.10であった。本合成例で得られたポリマーは、式(1−4)で表される構造単位と式(1−76)で表される構造単位を有する。
窒素下、1000mL四口フラスコに2,2’−ビフェノール(70.00g、0.3759mol、東京化成工業(株)製)、1−ピレンカルボキシアルデヒド(86.559g、0.3759mol、アルドリッチ社製)及びメタンスルホン酸(10.8389g、0.1126mol、東京化成工業(株)製)を加え、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテル(167.40g、関東化学(株)製)を仕込み、撹拌し、120℃まで昇温して溶解させ、重合を開始した。24時間後室温まで放冷し、メタノール(3000g、関東化学(株)製)中へ再沈殿させた。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で50℃、10時間乾燥し、目的とするポリマー(以下、本明細書では2,2’−BPOH−Pyと略称する。)84.1gを得た。2,2’−BPOH−Pyの、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは1400、多分散度Mw/Mnは1.49であった。本合成例で得られたポリマーは、式(1−16)で表される構造単位と式(1−88)で表される構造単位を有する。
窒素下、200mL四口フラスコに4,4’−チオジフェノール(12.50g、0.0573mol、東京化成工業(株)製)、1−ピレンカルボキシアルデヒド(13.19g、0.0573mol、東京化成工業(株)製)及びメタンスルホン酸(1.1008g、0.0115mol、関東化学(株)製)を加え、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテル(32.74g、関東化学(株)製)を仕込み、撹拌し、120℃まで昇温して溶解させ、重合を開始した。24時間後室温まで放冷し、メタノール(1000g、関東化学(株)製)中へ再沈殿させた。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で50℃、10時間さらに120℃、24時間乾燥し、目的とするポリマー(以下、本明細書ではTDP−Pyと略称する。)11.6gを得た。TDP−Pyの、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは1010、多分散度Mw/Mnは1.67であった。本合成例で得られたポリマーは、式(1−28)で表される構造単位と式(1−100)で表される構造単位を有する。
窒素下、300mL四口フラスコに4,4’−ビフェノール(10.00g、0.0537mol、東京化成工業(株)製)、1−ピレンカルボキシアルデヒド(24.731g、0.1074mol、アルドリッチ社製)及びパラトルエンスルホン酸一水和物(4.2795g、0.0215mol、東京化成工業(株)製)を加え、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテル(47.68g、関東化学(株)製)を仕込み、撹拌し、120℃まで昇温して溶解させ、重合を開始した。24時間後室温まで放冷し、メタノール(1800g、関東化学(株)製)中へ再沈殿させた。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で50℃、10時間乾燥し、目的とするポリマー(以下、本明細書では4,4’−BPOH−Py2と略称する。)21.58gを得た。4,4’−BPOH−Py2の、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは2180、多分散度Mw/Mnは2.11であった。本合成例で得られたポリマーは、式(1−40)で表される構造単位を有する。
窒素下、1000mL四口フラスコに2,2’−ビフェノール(25.00g、0.1343mol、東京化成工業(株)製)、1−ピレンカルボキシアルデヒド(61.828g、0.2685mol、アルドリッチ社製)及びメタンスルホン酸(7.7421g、0.0806mol、東京化成工業(株)製)を加え、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテル(94.57g、関東化学(株)製)を仕込み、撹拌し、120℃まで昇温して溶解させ、重合を開始した。24時間後室温まで放冷し、メタノール(3000g、関東化学(株)製)中へ再沈殿させた。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で50℃、10時間乾燥し、目的とするポリマー(以下、本明細書では2,2’−BPOH−Py2と略称する。)68.22gを得た。2,2’−BPOH−Py2の、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは1270、多分散度Mw/Mnは1.77であった。本合成例で得られたポリマーは、式(1−52)で表される構造単位を有する。
窒素下、200mL四口フラスコに4,4’−チオジフェノール(8.00g、0.0367mol、東京化成工業(株)製)、1−ピレンカルボキシアルデヒド(16.88g、0.0773mol、東京化成工業(株)製)及びメタンスルホン酸(1.4090g、0.0147mol、関東化学(株)製)を加え、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテル(32.13g、関東化学(株)製)を仕込み、撹拌し、120℃まで昇温して溶解させ、重合を開始した。24時間後室温まで放冷し、メタノール(1000g、関東化学(株)製)中へ再沈殿させた。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で50℃、10時間さらに120℃、24時間乾燥し、目的とするポリマー(以下、本明細書ではTDP−Py2と略称する。)13.2gを得た。TDP−Py2の、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは1100、多分散度Mw/Mnは1.64であった。本合成例で得られたポリマーは、式(1−64)で表される構造単位を有する。
窒素下、500mL四口フラスコに4,4’−ビフェノール(30.00g、0.1611mol、東京化成工業(株)製)、1−ナフトアルデヒド(50.324g、0.3222mol、アルドリッチ社製)及びパラトルエンスルホン酸一水和物(12.8384g、0.0644mol、東京化成工業(株)製)を加え、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテル(113.87g、関東化学(株)製)を仕込み、撹拌し、120℃まで昇温して溶解させ、重合を開始した。24時間後室温まで放冷し、メタノール/純水=80/20(3000g、関東化学(株)製)へ再沈殿させた。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で50℃、10時間乾燥し、目的とするポリマー(以下、本明細書では4,4’−BPOH−Np2と略称する。)21.08gを得た。4,4’−BPOH−Np2の、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは2450、多分散度Mw/Mnは2.03であった。本合成例で得られたポリマーは、式(1−38)で表される構造単位を有する。
窒素下、100mL四口フラスコに2,2’−ビフェノール(7.50g、0.0403mol、東京化成工業(株)製)、1−ナフトアルデヒド(12.581g、0.0806mol、アルドリッチ社製)及びメタンスルホン酸(1.5484g、0.0161mol、東京化成工業(株)製)を加え、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテル(26.43g、関東化学(株)製)を仕込み、撹拌し、120℃まで昇温して溶解させ、重合を開始した。24時間後室温まで放冷し、メタノール(800g、関東化学(株)製)中へ再沈殿させた。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で50℃、10時間乾燥し、目的とするポリマー(以下、本明細書では2,2’−BPOH−Np2と略称する。)5.87gを得た。2,2’−BPOH−Np2の、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは1690、多分散度Mw/Mnは2.27であった。本合成例で得られたポリマーは、式(1−50)で表される構造単位を有する。
窒素下、200mL四口フラスコに4,4’−チオジフェノール(10.00g、0.0458mol、東京化成工業(株)製)、1−ナフトアルデヒド(14.311g、0.0916mol、東京化成工業(株)製)及びメタンスルホン酸(1.7613g、0.0183mol、関東化学(株)製)を加え、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテル(31.87g、関東化学(株)製)を仕込み、撹拌し、120℃まで昇温して溶解させ、重合を開始した。24時間後室温まで放冷し、メタノール(1000g、関東化学(株)製)中へ再沈殿させた。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で50℃、10時間さらに120℃、24時間乾燥し、目的とするポリマー(以下、本明細書ではTDP−Np2と略称する。)6.13gを得た。TDP−Np2の、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは1090、多分散度Mw/Mnは1.49であった。本合成例で得られたポリマーは、式(1−62)で表される構造単位を有する。
窒素下、100mL四口フラスコに2,2’−ビフェノール(25.00g、0.1343mol、東京化成工業(株)製)、1−ナフトアルデヒド(10.484g、0.0671mol、アルドリッチ社製)、1−ピレンカルボキシアルデヒド(15.457g、0.0671mol、東京化成工業(株)製)及びメタンスルホン酸(3.871g、0.0403mol、東京化成工業(株)製)を加え、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテル(54.81g、関東化学(株)製)を仕込み、撹拌し、120℃まで昇温して溶解させ、重合を開始した。24時間後室温まで放冷し、メタノール(2500g、関東化学(株)製)中へ再沈殿させた。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で50℃、10時間乾燥し、目的とするポリマー(以下、本明細書では2,2’−BPOH−NpPcAと略称する。)28.02gを得た。2,2’−BPOH−NpPcAの、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは2000、多分散度Mw/Mnは2.12であった。本合成例で得られたポリマーは、式(1−14)、(1−16)、(1−86)、(1−88)で表される構造単位を有すると推定される。
窒素下、100mL四口フラスコに1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン(6.00g、0.0224mol、東京化成工業(株)製)、ホルムアルデヒド36%溶液(1.87g、0.0224mol、東京化成工業(株)製)及びメタンスルホン酸(0.1075g、0.0011mol、東京化成工業(株)製)を加え、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテル(6.69g、関東化学(株)製)を仕込み、撹拌し、120℃まで昇温して溶解させ、重合を開始した。24時間後60℃まで放冷し、テトラヒドロフラン(13g、関東化学(株)製)を加え希釈し、メタノール(320g、関東化学(株)製)中へ再沈殿させた。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で80℃、24時間乾燥し、目的とする下記式(3)で表される構造単位を有するポリマー(以下、本明細書ではBHPCH−FAと略称する。)4.45gを得た。BHPCH−FAの、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは10700、多分散度Mw/Mnは3.64であった。
窒素下、100mL四口フラスコにカルバゾール(6.69g、0.040mol、東京化成工業(株)製)、9−フルオレノン(7.28g、0.040mol、東京化成工業(株)製)及びパラトルエンスルホン酸一水和物(0.76g、0.0040mol、東京化成工業(株)製)を加え、さらに1,4−ジオキサン(6.69g、関東化学(株)製)を仕込み、撹拌し、100℃まで昇温して溶解させ、重合を開始した。24時間後60℃まで放冷し、クロロホルム(34g、関東化学(株)製)を加え希釈し、メタノール(168g、関東化学(株)製)中へ再沈殿させた。得られた沈殿物をろ過し、減圧乾燥機で80℃、24時間乾燥し、目的とする下記式(4)で表される構造単位を有するポリマー(以下、本明細書ではPCzFLと略称する。)9.37gを得た。PCzFLの、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは2800、多分散度Mw/Mnは1.77であった。
合成例1で得たポリマー20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例1で得たポリマー20gに、架橋剤としてTMOM−BP(本州化学工業(株)製、3,3’,5,5’−テトラメトキシメチル−4,4’−ジヒドロキシビフェニル)2.0g、触媒として熱酸発生剤TAG−2689(King社製、トリフルオロメタンスルホン酸の第4級アンモニウム塩)0.10g、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン88gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例2で得たポリマー20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例2で得たポリマー20gに、架橋剤としてTMOM−BP(本州化学工業(株)製、3,3’,5,5’−テトラメトキシメチル−4,4’−ジヒドロキシビフェニル)2.0g、触媒として熱酸発生剤TAG−2689(King社製、トリフルオロメタンスルホン酸の第4級アンモニウム塩)0.10g、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン88gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例3で得たポリマー20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例3で得たポリマー20gに、架橋剤としてTMOM−BP(本州化学工業(株)製、3,3’,5,5’−テトラメトキシメチル−4,4’−ジヒドロキシビフェニル)2.0g、触媒として熱酸発生剤TAG−2689(King社製、トリフルオロメタンスルホン酸の第4級アンモニウム塩)0.10g及び界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン88gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例4で得たポリマー20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例4で得たポリマー20gに、架橋剤としてTMOM−BP(本州化学工業(株)製、3,3’,5,5’−テトラメトキシメチル−4,4’−ジヒドロキシビフェニル)2.0g、触媒として熱酸発生剤TAG−2689(King社製、トリフルオロメタンスルホン酸の第4級アンモニウム塩)0.10g、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン88gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例5で得たポリマー20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例5で得たポリマー20gに、架橋剤としてTMOM−BP(本州化学工業(株)製、3,3’,5,5’−テトラメトキシメチル−4,4’−ジヒドロキシビフェニル)2.0g、触媒として熱酸発生剤TAG−2689(King社製、トリフルオロメタンスルホン酸の第4級アンモニウム塩)0.10g、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン88gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例6で得たポリマー20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例6で得たポリマー20gに、架橋剤としてTMOM−BP(本州化学工業(株)製、3,3’,5,5’−テトラメトキシメチル−4,4’−ジヒドロキシビフェニル)2.0g、触媒として熱酸発生剤TAG−2689(King社製、トリフルオロメタンスルホン酸の第4級アンモニウム塩)0.10g、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン88gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例7で得たポリマー20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例7で得たポリマー20gに、架橋剤としてTMOM−BP(本州化学工業(株)製、3,3’,5,5’−テトラメトキシメチル−4,4’−ジヒドロキシビフェニル)2.0g、触媒として熱酸発生剤TAG−2689(King社製、トリフルオロメタンスルホン酸の第4級アンモニウム塩)0.10g、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン88gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例8で得たポリマー20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例8で得たポリマー20gに、架橋剤としてTMOM−BP(本州化学工業(株)製、3,3’,5,5’−テトラメトキシメチル−4,4’−ジヒドロキシビフェニル)2.0g、触媒として熱酸発生剤TAG−2689(King社製、成分はトリフルオロメタンスルホン酸の第4級アンモニウム塩)0.10g、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン88gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例9で得たポリマー20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例9で得たポリマー20gに、架橋剤としてTMOM−BP(本州化学工業(株)製、3,3’,5,5’−テトラメトキシメチル−4,4’−ジヒドロキシビフェニル)2.0g、触媒として熱酸発生剤TAG−2689(King社製、トリフルオロメタンスルホン酸の第4級アンモニウム塩)0.10g、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン88gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例10で得たポリマー20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
合成例10で得たポリマー20gに、架橋剤としてTMOM−BP(本州化学工業(株)製、3,3’,5,5’−テトラメトキシメチル−4,4’−ジヒドロキシビフェニル)2.0g、触媒として熱酸発生剤TAG−2689(King社製、トリフルオロメタンスルホン酸の第4級アンモニウム塩)0.10g、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、シクロヘキサノン88gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
市販のクレゾールノボラック樹脂(クレゾールとホルムアルデヒドを用いて得られたノボラック樹脂)20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。本比較例で使用したクレゾールノボラック樹脂の、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは4000、多分散度Mw/Mnは2.1であった。
比較合成例1で得たポリマー20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
比較合成例2で得たポリマー20gに、界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.06gを混合し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート80gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、更に、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過して、リソグラフィープロセスに用いるレジスト下層膜形成組成物を調製した。
実施例1乃至実施例20及び比較例1で調製したレジスト下層膜形成組成物を、それぞれスピンコーターを用いてシリコンウェハー上に塗布した。ホットプレート上で400℃,2分間ベークし、レジスト下層膜(膜厚0.25μm)を形成した。このレジスト下層膜を、レジストに使用する溶剤である乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びシクロヘキサノンに浸漬し、それらの溶剤に不溶であることを確認した。
ドライエッチング速度の測定に用いたエッチャー及びエッチングガスは以下のものである。
エッチャー:ES401(日本サイエンティフィック(株)製)
エッチングガス:CF4
実施例1乃至実施例20、比較例1及び比較例2で調製したレジスト下層膜形成組成物を、それぞれスピンコーターを用いてシリコンウェハー上に塗布した。ホットプレート上で240℃,1分間、又は400℃,2分間ベークし、レジスト下層膜(膜厚0.25μm)を形成した。エッチングガスとしてCF4ガスを使用して、それらのレジスト下層膜のドライエッチング速度を測定した。また、フェノ−ルノボラック樹脂(市販品、GPCによるポリスチレン換算で測定される重量平均分子量Mwは2000、多分散度Mw/Mnは2.5)溶液を、スピンコーターを用いてシリコンウェハー上に塗布し、ホットプレート上で205℃,1分間ベークしてフェノールノボラック樹脂膜(膜厚0.25μm)を形成した。エッチングガスとしてCF4ガスを使用して、そのフェノールノボラック樹脂膜のドライエッチング速度を測定した。このフェノールノボラック樹脂膜のドライエッチング速度を1.00とした時の、実施例1乃至実施例20、比較例1及び比較例2で調製したレジスト下層膜形成組成物から形成したレジスト下層膜のドライエッチング速度を、ドライエッチング速度比として算出した結果を表1に示す。ドライエッチング速度比が小さいほど、CF4ガスに対する耐エッチング性が高いことを示す。
ドライエッチング速度比=(レジスト下層膜のドライエッチング速度)/(フェノ−ルノボラック樹脂膜のドライエッチング速度)
実施例1乃至実施例20及び比較例3で調製したレジスト下層膜形成組成物を、それぞれスピンコーターを用いてホールウェハー上に塗布した。ホットプレート上で400℃,2分間ベークし、レジスト下層膜(ホールパターン未形成部の膜厚0.25μm)を形成した。前記ホールウェハーとして、直径100nm、高さ400nmのホールパターンが形成されたウェハーを用いた。実施例1乃至実施例20で調製したレジスト下層膜形成組成物を、それぞれ上述のように塗布し、ベークした後の各ホールウェハーの断面を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察した図1乃至図20に示す断面SEM写真から、ホール内部まで十分にレジスト下層膜で充填されていることが分かった。一方、比較例3で調製したレジスト下層膜形成組成物を、上述のように塗布し、ベークした後のホールウェハーの断面を走査型電子顕微鏡で観察した図21に示す断面SEM写真から、ホール内部に部分的に空洞が存在していることが分かった。
Claims (5)
- 下記式(1a)、式(1b)及び式(1c):
[式中、2つのR1はそれぞれ独立に炭素原子数1乃至10のアルキル基、炭素原子数2乃至6のアルケニル基、芳香族炭化水素基、ハロゲン原子、ニトロ基又はアミノ基を表し、2つのR2はそれぞれ独立に水素原子、炭素原子数1乃至10のアルキル基、炭素原子数2乃至6のアルケニル基、アセタール基、アシル基又はグリシジル基を表し、R3は置換基を有してもよい芳香族炭化水素基を表し、R4は水素原子、フェニル基又はナフチル基を表し、同一の炭素原子と結合するR3とR4がそれぞれフェニル基を表すとき互いに結合してフルオレン環を形成してもよく、式(1b)において2つのR3が表す基及び2つのR4が表す原子又は基は互いに異なっていてもよく、2つのkはそれぞれ独立に0又は1を表し、mは3乃至500の整数を表し、n、n1及びn2は2乃至500の整数を表し、pは3乃至500の整数を表し、Xは単結合又はヘテロ原子を表し、2つのQはそれぞれ独立に下記式(2):
(式中、2つのR1、2つのR2、2つのR3、2つのR4、2つのk、n1、n2及びXは式(1b)と同義であり、2つのQ1はそれぞれ独立に前記式(2)で表される構造単位を表す。)
で表される構造単位を表す。]
で表される繰り返し構造単位のうちいずれか1つ又は2つ以上を有するポリマー及び溶剤を含むレジスト下層膜形成組成物。 - 前記ポリマーは、少なくとも1種のビフェノール化合物又はビスフェノール化合物と少なくとも1種の芳香族アルデヒド又は芳香族ケトンとを、酸触媒の存在下、重合反応させて合成されるものである請求項1に記載のレジスト下層膜形成組成物。
- 前記R3が表す芳香族炭化水素基はフェニル基、ナフチル基、アントリル基又はピレニル基である請求項1に記載のレジスト下層膜形成組成物。
- 架橋剤、酸性化合物、熱酸発生剤及び界面活性剤のうち少なくとも1つをさらに含有する請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のレジスト下層膜形成組成物。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のレジスト下層膜形成組成物を段差、凹部及び/又は凸部を有する表面に塗布しベークすることにより第1のレジスト下層膜を形成する工程、前記第1のレジスト下層膜上にオルガノポリシロキサン膜を第2のレジスト下層膜として形成する工程、前記第2のレジスト下層膜上にレジストパターンを形成する工程、前記レジストパターンをマスクとして前記第2のレジスト下層膜をエッチングする工程、エッチング後の前記第2のレジスト下層膜のパターンをマスクとして前記第1のレジスト下層膜をエッチングする工程、及びエッチング後の前記第1のレジスト下層膜のパターンをマスクとして前記段差、凹部及び/又は凸部を有する表面をエッチングする工程を含む半導体装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012178290 | 2012-08-10 | ||
JP2012178290 | 2012-08-10 | ||
PCT/JP2013/071134 WO2014024836A1 (ja) | 2012-08-10 | 2013-08-05 | レジスト下層膜形成組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2014024836A1 JPWO2014024836A1 (ja) | 2016-07-25 |
JP6191831B2 true JP6191831B2 (ja) | 2017-09-06 |
Family
ID=50068061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014529489A Active JP6191831B2 (ja) | 2012-08-10 | 2013-08-05 | レジスト下層膜形成組成物 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9244353B2 (ja) |
JP (1) | JP6191831B2 (ja) |
KR (1) | KR101912677B1 (ja) |
CN (1) | CN104508558B (ja) |
TW (1) | TWI595322B (ja) |
WO (1) | WO2014024836A1 (ja) |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104541205B (zh) * | 2012-08-21 | 2019-07-05 | 日产化学工业株式会社 | 含有具有多核苯酚的酚醛清漆树脂的抗蚀剂下层膜形成用组合物 |
CN104812729B (zh) * | 2012-12-26 | 2017-05-10 | 第一毛织株式会社 | 单体、包含此单体的硬屏蔽组成物及使用此硬屏蔽组成物形成图案的方法 |
JP6573217B2 (ja) * | 2014-03-13 | 2019-09-11 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 化合物、樹脂、リソグラフィー用下層膜形成材料、リソグラフィー用下層膜、パターン形成方法、及び化合物又は樹脂の精製方法 |
KR102326848B1 (ko) | 2014-03-13 | 2021-11-17 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 레지스트 조성물 및 레지스트 패턴 형성방법 |
JP6458799B2 (ja) * | 2014-03-24 | 2019-01-30 | Jsr株式会社 | パターン形成方法 |
CN107077071B (zh) * | 2014-11-04 | 2020-10-02 | 日产化学工业株式会社 | 包含具有亚芳基的聚合物的抗蚀剂下层膜形成用组合物 |
JP6550760B2 (ja) * | 2015-01-26 | 2019-07-31 | Jsr株式会社 | 多層レジストプロセス用レジスト下層膜形成組成物及びレジスト下層膜の形成方法 |
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KR102316585B1 (ko) * | 2015-03-10 | 2021-10-26 | 삼성전자주식회사 | 하드마스크용 중합체, 상기 중합체를 포함하는 하드마스크용 조성물, 및 이를 이용한 반도체 소자의 패턴 형성 방법 |
US10747112B2 (en) | 2015-03-30 | 2020-08-18 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Compound, resin, and purification method thereof, material for forming underlayer film for lithography, composition for forming underlayer film, and underlayer film, as well as resist pattern forming method and circuit pattern forming method |
WO2016158458A1 (ja) | 2015-03-30 | 2016-10-06 | 三菱瓦斯化学株式会社 | レジスト基材、レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 |
JP6468068B2 (ja) * | 2015-05-15 | 2019-02-13 | Jsr株式会社 | 感光性樹脂組成物およびその用途 |
WO2017038968A1 (ja) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 化合物の精製方法 |
US10585353B2 (en) * | 2016-05-20 | 2020-03-10 | Nissan Chemical Corporation | Resist underlayer film forming composition |
TWI738761B (zh) * | 2016-06-16 | 2021-09-11 | 南韓商東友精細化工有限公司 | 硬遮罩用組合物 |
KR102037818B1 (ko) | 2016-11-10 | 2019-10-29 | 삼성에스디아이 주식회사 | 중합체, 유기막 조성물 및 패턴형성방법 |
KR101820647B1 (ko) * | 2017-02-28 | 2018-01-22 | 동우 화인켐 주식회사 | 하드마스크용 조성물 |
CN108628102B (zh) * | 2017-03-21 | 2021-07-27 | 东友精细化工有限公司 | 硬掩模用组合物 |
US10871712B2 (en) * | 2017-04-03 | 2020-12-22 | Nissan Chemical Corporation | Stepped substrate-coating composition containing polyether resin having photocrosslinkable group |
CN110809738B (zh) * | 2017-06-23 | 2021-04-20 | 日产化学株式会社 | 改善了平坦化性的抗蚀剂下层膜形成用组合物 |
JP7368791B2 (ja) * | 2017-07-14 | 2023-10-25 | 日産化学株式会社 | レジスト下層膜形成組成物、レジスト下層膜、レジストパターンの形成方法及び半導体装置の製造方法 |
US11635692B2 (en) | 2017-09-22 | 2023-04-25 | Nissan Chemical Corporation | Resist underlying film forming composition |
KR102244470B1 (ko) | 2018-07-18 | 2021-04-23 | 삼성에스디아이 주식회사 | 중합체, 유기막 조성물 및 패턴 형성 방법 |
JP7252522B2 (ja) * | 2018-07-20 | 2023-04-05 | 日産化学株式会社 | レジスト下層膜形成組成物 |
KR20210036873A (ko) * | 2018-07-31 | 2021-04-05 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 하층막 형성 조성물 |
JP6981945B2 (ja) | 2018-09-13 | 2021-12-17 | 信越化学工業株式会社 | パターン形成方法 |
TW202039619A (zh) * | 2019-01-11 | 2020-11-01 | 日商三菱瓦斯化學股份有限公司 | 膜形成用組成物、阻劑組成物、感放射線性組成物、非晶膜之製造方法、阻劑圖型形成方法、微影用下層膜形成用組成物、微影用下層膜之製造方法及電路圖型形成方法 |
CN113574044A (zh) | 2019-03-13 | 2021-10-29 | 日产化学株式会社 | 抗蚀剂下层膜形成用组合物 |
TW202126714A (zh) | 2019-10-09 | 2021-07-16 | 日商日產化學股份有限公司 | 阻劑下層膜形成組成物 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4539845B2 (ja) | 2005-03-17 | 2010-09-08 | 信越化学工業株式会社 | フォトレジスト下層膜形成材料及びパターン形成方法 |
US7375172B2 (en) | 2005-07-06 | 2008-05-20 | International Business Machines Corporation | Underlayer compositions containing heterocyclic aromatic structures |
US7662718B2 (en) * | 2006-03-09 | 2010-02-16 | Micron Technology, Inc. | Trim process for critical dimension control for integrated circuits |
JP4662063B2 (ja) | 2006-05-25 | 2011-03-30 | 信越化学工業株式会社 | フォトレジスト下層膜形成材料及びパターン形成方法 |
US8017296B2 (en) | 2007-05-22 | 2011-09-13 | Az Electronic Materials Usa Corp. | Antireflective coating composition comprising fused aromatic rings |
KR100908601B1 (ko) * | 2007-06-05 | 2009-07-21 | 제일모직주식회사 | 반사방지 하드마스크 조성물 및 이를 이용한 기판상 재료의패턴화 방법 |
EP2219076B1 (en) * | 2007-12-07 | 2013-11-20 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Composition for forming base film for lithography and method for forming multilayer resist pattern |
JP5015892B2 (ja) * | 2008-10-02 | 2012-08-29 | 信越化学工業株式会社 | ケイ素含有膜形成用組成物、ケイ素含有膜形成基板及びパターン形成方法 |
JP5336306B2 (ja) * | 2008-10-20 | 2013-11-06 | 信越化学工業株式会社 | レジスト下層膜形成方法、これを用いたパターン形成方法、及びレジスト下層膜材料 |
JP5257009B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2013-08-07 | Jsr株式会社 | レジスト下層膜形成用組成物、レジスト下層膜の形成方法、及びパターン形成方法 |
JP5266294B2 (ja) * | 2010-11-01 | 2013-08-21 | 信越化学工業株式会社 | レジスト下層膜材料及びこれを用いたパターン形成方法 |
JP5485185B2 (ja) * | 2011-01-05 | 2014-05-07 | 信越化学工業株式会社 | レジスト下層膜材料及びこれを用いたパターン形成方法 |
FI20115628L (fi) * | 2011-06-20 | 2012-12-21 | Silecs Oy | Uusi polymeerikoostumus ja menetelmä sen valmistamiseksi |
JP5913191B2 (ja) * | 2013-05-08 | 2016-04-27 | 信越化学工業株式会社 | レジスト下層膜形成方法及びパターン形成方法 |
-
2013
- 2013-08-05 CN CN201380040983.5A patent/CN104508558B/zh active Active
- 2013-08-05 US US14/420,442 patent/US9244353B2/en active Active
- 2013-08-05 WO PCT/JP2013/071134 patent/WO2014024836A1/ja active Application Filing
- 2013-08-05 KR KR1020157006004A patent/KR101912677B1/ko active IP Right Grant
- 2013-08-05 JP JP2014529489A patent/JP6191831B2/ja active Active
- 2013-08-09 TW TW102128636A patent/TWI595322B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104508558B (zh) | 2016-07-06 |
US20150212418A1 (en) | 2015-07-30 |
JPWO2014024836A1 (ja) | 2016-07-25 |
WO2014024836A1 (ja) | 2014-02-13 |
KR20150043380A (ko) | 2015-04-22 |
TW201413394A (zh) | 2014-04-01 |
KR101912677B1 (ko) | 2018-10-29 |
TWI595322B (zh) | 2017-08-11 |
CN104508558A (zh) | 2015-04-08 |
US9244353B2 (en) | 2016-01-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160725 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170712 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
S533 | Written request for registration of change of name |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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