JP6189013B2 - 研磨布 - Google Patents
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Description
第1の解決手段は、不織布に樹脂を含浸させてなる基材の表面に、垂直にならぶ紡錘状発泡を有する樹脂シートが直接積層形成された研磨布において、当該研磨布は溝を有し、該溝は、その深さが当該研磨布の研磨面から樹脂シートと基材の積層面に達し、かつ、前記基材の単位体積当たりの吸水量が前記樹脂シートの単位体積当たりの吸水量より多く設定され、研磨加工時に前記基材に研磨液を保持しうることを特徴とする研磨布を構成としたものである。
上記第1、第2の課題解決手段による作用は、研磨加工時に基材においても研磨液を保持できる。特に第2の課題解決手段によれば、第1の課題解決手段に比べ、基材が溝と接する面が増えるため、より多くの研磨液を基材内に保持することができる。
図1は、本発明の研磨布の一実施形態を概略的に示す断面図である。
同図に示すように、本発明の研磨布1は、湿式成膜法により発泡5が形成された樹脂シート2を備えている。
ポリウレタンエラストマーは、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系あるいはこれらの共重合体等を用いることができ、目的に応じて単独でまたは2種類以上を混合して用いることができる。
溝7の加工手段としては、切削または研削加工、もしくはレーザー加工によるものがあるが、これらに限定されるものではない。
図1は実施例1による研磨布1の断面図を示す。
ポリエステル短繊維(繊度1.5dtex、長さ51mm)よりなるニードルパンチされた不織布(目付125g/m2、厚み0.8mm)に、ポリウレタンエラストマー溶液を含浸させ、水に浸漬して湿式凝固せしめた後、水洗乾燥、研削処理し、厚さ0.4mmの基材3を得た。
図2は実施例2による研磨布1の断面図を示す。
実施例2では、研磨面6に形成する溝7の研磨面6からの深さを0.7mmとした以外は、実施例1と同様にし、研磨布1を得た。樹脂シート2の厚みは0.6mmであるから、溝7の最底部8は積層面4より基材3に0.1mm入り込んでいる。溝7を目視し、その溝最底部8が基材3であることを確認した。
図3に比較例1、2による研磨布9の断面図を示す。
比較例1では、研磨面6に形成する溝10の研磨面6からの深さを0.5mmとした以外は、実施例1と同様にし、研磨布9を得た。次に溝加工後の研磨布9の溝10を目視し、その溝最底部11が樹脂シート2であることを確認した。
比較例2では、樹脂シート2の厚さを0.8mm、基材3の厚さを0.2mmとした以外は、実施例1と同様にし、研磨布9を得た。次に溝加工後の研磨布9の溝10を目視し、その最底面部11が樹脂シート2であることを確認した。
樹脂シート2および基材3の吸水量を測定するための試料12について、図4にその概略を示す。
試料12は、図4に示すように、樹脂シート2および基材3の測定用シート13(100mm×100mmの正方形)の水を吸水させる面以外からの水の侵入を防ぐために、その両面に測定シート13の大きさを上回る、水を透過しない粘着シート14を測定シート13の両面に貼着し、測定シート13を密閉する。さらに水を吸水させる面の粘着シート14の中央をφ40mmの円形に剥がし、吸水窓15を設けたものである。
樹脂シート2の測定用シート13は、PET(ポリエチレンテレフタラート)基材上に実施例1と同様の樹脂シート2を形成し、樹脂シート2からPET基材を剥がし、上述の大きさに切断加工したものである。
<基材の測定用シート>
基材3の測定用シート13は、実施例1と同様に作製した基材3上の樹脂シート2を研削処理にて取り除き、上述の大きさに切断加工したものである。
上述の試験片12を十分乾燥させ、吸水前の重量を測定した。次に、水を満たした水槽中に試験片12を沈め、90時間放置後、水槽から取り出し表面の余分な水分を拭き取り、吸水後の重量を測定した。吸水後の重量から吸水前の重量を引き、樹脂シート2、基材3の吸水量を算出した。
オスカー式の片面研磨装置を用い、予め板厚を精密に測定した、板厚0.7mm、サイズ680mm×880mmの液晶用向けガラス基板を、径1200mmの上方の加圧盤の下面に貼着された厚さ1mmの水を含んだバックパッドに押圧して接触させ吸着固定させた。
また、実施例2と比較例2の比較より、同じ溝の深さであっても、基材3まで入り込む溝を形成した場合は、ガラス基板表面に0.01μm〜0.03μmの表面凹凸がなくなるまでの研磨時間が43秒短縮した。
2 樹脂シート
3 基材
4 積層面
5 発泡
6 研磨面
7、10 溝
8、11 溝最底部
12 試料
13 測定用シート
14 粘着シート
15 吸水窓
Claims (2)
- 不織布に樹脂を含浸させてなる基材の表面に、垂直にならぶ紡錘状発泡を有する樹脂シートが直接積層形成された研磨布において、当該研磨布は溝を有し、該溝は、その深さが当該研磨布の研磨面から樹脂シートと基材の積層面に達し、かつ、前記基材の単位体積当たりの吸水量が前記樹脂シートの単位体積当たりの吸水量より多く設定され、研磨加工時に前記基材に研磨液を保持しうることを特徴とする研磨布。
- 前記溝の底部が前記基材に入り込んでいることを特徴とする請求項1に記載の研磨布。
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