JP6186252B2 - 磁気センサ - Google Patents
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Description
前記素子層は、前記電極層と導通していない部分が磁気感知部で、前記電極層と導通している部分が非感知部であり、前記磁気感知部と前記非感知部はそれぞれ複数個存在し、縦方向に交互に形成され、前記素子層は、横方向の幅寸法が、前記非感知部の一部で前記磁気感知部よりも小さくなって、全体が前記非感知部に含まれる所定幅の細幅部分と、前記磁気感知部の全長にわたって延び、かつ一部が前記非感知部に含まれる所定幅の太幅部分とを備えており、前記細幅部分の縦方向の長さ寸法が、前記太幅部分の縦方向の長さ寸法より大きく、前記フリー磁性層の磁化が縦方向に向けられていることを特徴とするものである。
また、前記固定磁性層は、磁化が横方向に固定されている。
図7は、素子層20の幅寸法とノイズとの関係を示している。図1に示す構造の磁気センサSxにおいて、第1の検知素子構造部10aと第2の検知素子構造部10bの素子層20のY方向の幅寸法を均一にし、その幅寸法を変化させたサンプルを作成した。そして、磁気センサSxに測定用の外部磁界を与えることなく、検知出力を監視した。
W1,W2 幅寸法
1 第1の抵抗変化部
2 第2の抵抗変化部
3 第3の抵抗変化部
4 第4の抵抗変化部
10a 第1の検知素子構造部
10b 第2の検知素子構造部
11 基板
13 電極層
15a 第1の磁界誘導層
15b 第2の磁界誘導層
20 素子層
20a 第1の磁気検知部
20b 第2の磁気感知部
20c 非感知部
22 固定磁性層
23 非磁性層
24 フリー磁性層
Claims (8)
- 固定磁性層とフリー磁性層とが非磁性層を挟んで積層されて縦方向の長さ寸法が横方向の幅寸法よりも長く形成された素子層と、縦方向に間隔を空けて配置されて前記素子層に導通する複数の電極層とが設けられた磁気センサにおいて、
前記素子層は、前記電極層と導通していない部分が磁気感知部で、前記電極層と導通している部分が非感知部であり、前記磁気感知部と前記非感知部はそれぞれ複数個存在し、縦方向に交互に形成され、前記素子層は、横方向の幅寸法が、前記非感知部の一部で前記磁気感知部よりも小さくなって、全体が前記非感知部に含まれる所定幅の細幅部分と、前記磁気感知部の全長にわたって延び、かつ一部が前記非感知部に含まれる所定幅の太幅部分とを備えており、前記細幅部分の縦方向の長さ寸法が、前記太幅部分の縦方向の長さ寸法より大きく、前記フリー磁性層の磁化が縦方向に向けられていることを特徴とする磁気センサ。 - 前記フリー磁性層の磁化は、形状異方性によって、縦方向に向けられている請求項1記載の磁気センサ。
- 前記素子層は、幅寸法の大きい部分と小さい部分との境界部で、幅寸法が徐々に変化している請求項1または2記載の磁気センサ。
- 前記固定磁性層は、磁化が横方向に固定されている請求項1ないし3のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記固定磁性層は、第1の固定層と第2の固定層とが非磁性中間層を挟んで積層されて、前記第1の固定層の磁化方向と前記第2の固定層の磁化方向とが反平行とされている請求項4記載の磁気センサ。
- 前記固定磁性層は、反強磁性層との反強結合で磁化が固定されている請求項4記載の磁気センサ。
- 縦方向に延びる磁界誘導層が、前記磁気感知部を挟んで横方向に対向しており、外部磁界の縦方向成分が前記磁界誘導層で誘導され、前記磁界誘導層から前記磁気感知部に対して横方向に向く磁界が与えられる請求項4ないし6のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記非感知部での素子層の幅寸法が0.8μm未満であり、前記磁気感知部での素子層の幅寸法が、0.8μm以上である請求項1ないし7のいずれかに記載の磁気センサ。
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