JP6183957B2 - 光変調装置 - Google Patents
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Claims (2)
- 基板の上に形成された支持部と、
前記支持部の上に形成された固定部と、
前記固定部に連結部で連結されて前記基板の上に離間して配置された可動構造体と、
前記可動構造体の上に形成された可動電極と、
前記基板の上に形成されて前記可動電極を前記基板の側に引き寄せるための固定電極と、
前記固定部から前記連結部の上にかけて形成された光導波路と、
前記連結部の箇所で前記光導波路の上に形成されて印加された応力により光の変調帯域を可変する光変調器と
を備え、
前記光変調器は、前記固定部から前記可動構造体に向かう方向に延在して設けられ、
平面視で、前記連結部の幅は、前記固定部に近づくほど広く形成され、
平面視で、前記固定部の側の前記連結部の幅は、前記可動構造体の幅より小さく形成されている
ことを特徴とする光変調装置。 - 請求項1記載の光変調装置において、
前記連結部は、前記可動構造体の側に配置され、平面視で同一の幅とされた矩形部と、
前記固定部の側に配置されて前記固定部に近づくほど幅広となる台形部と
から構成されていることを特徴とする光変調装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014101097A JP6183957B2 (ja) | 2014-05-15 | 2014-05-15 | 光変調装置 |
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JP2015219294A JP2015219294A (ja) | 2015-12-07 |
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JP (1) | JP6183957B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0792400A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路 |
JPH08297140A (ja) * | 1995-04-27 | 1996-11-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 加速度センサ |
JP2001133486A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-18 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 電圧測定器用光導波路素子及び電圧測定器 |
JP3890952B2 (ja) * | 2001-10-18 | 2007-03-07 | ソニー株式会社 | 容量可変型キャパシタ装置 |
CN101482575B (zh) * | 2009-02-23 | 2011-02-09 | 东南大学 | 一种悬臂梁结构的谐振式集成光波导加速度计 |
WO2011024968A1 (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | 国立大学法人 東京大学 | 光素子 |
JP5858476B2 (ja) * | 2012-07-18 | 2016-02-10 | 日本電信電話株式会社 | 光素子 |
JP5871240B2 (ja) * | 2013-03-07 | 2016-03-01 | 日本電信電話株式会社 | 光素子 |
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JP2015219294A (ja) | 2015-12-07 |
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