JP2015219294A - 光変調装置 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 基板の上に形成された支持部と、
前記支持部の上に形成された固定部と、
前記固定部に連結部で連結されて前記基板の上に離間して配置された可動構造体と、
前記可動構造体の上に形成された可動電極と、
前記基板の上に形成されて前記可動電極を前記基板の側に引き寄せるための固定電極と、
前記固定部から前記連結部の上にかけて形成された光導波路と、
前記連結部の箇所で前記光導波路の上に形成されて印加された応力により光の変調帯域を可変する光変調器と
を備え、
平面視で、前記連結部の幅は、前記固定部に近づくほど広く形成され、
平面視で、前記固定部の側の前記連結部の幅は、前記可動構造体の幅より小さく形成されている
ことを特徴とする光変調装置。 - 請求項1記載の光変調装置において、
前記連結部は、前記可動構造体の側に配置され、平面視で同一の幅とされた矩形部と、
前記固定部の側に配置されて前記固定部に近づくほど幅広となる台形部と
から構成されていることを特徴とする光変調装置。 - 請求項1または2記載の光変調装置において、
前記光変調器は、前記固定部から前記可動構造体に向かう方向に延在して設けられていることを特徴とする光変調装置。 - 請求項1または2記載の光変調装置において、
前記能動素子は、前記連結部および前記可動構造体が延在する方向に垂直な方向に延在して設けられていることを特徴とする光変調装置。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0792400A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路 |
JPH08297140A (ja) * | 1995-04-27 | 1996-11-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 加速度センサ |
JP2001133486A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-18 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 電圧測定器用光導波路素子及び電圧測定器 |
JP2003124063A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-04-25 | Sony Corp | 容量可変型キャパシタ装置 |
WO2011024968A1 (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | 国立大学法人 東京大学 | 光素子 |
US20110303008A1 (en) * | 2009-02-23 | 2011-12-15 | Tong Zhang | Cantilever beam structural resonant-type integrated optical waveguide accelerometer |
JP2014021270A (ja) * | 2012-07-18 | 2014-02-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光素子 |
JP2014174261A (ja) * | 2013-03-07 | 2014-09-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光素子 |
-
2014
- 2014-05-15 JP JP2014101097A patent/JP6183957B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0792400A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路 |
JPH08297140A (ja) * | 1995-04-27 | 1996-11-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 加速度センサ |
JP2001133486A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-18 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 電圧測定器用光導波路素子及び電圧測定器 |
JP2003124063A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-04-25 | Sony Corp | 容量可変型キャパシタ装置 |
US20110303008A1 (en) * | 2009-02-23 | 2011-12-15 | Tong Zhang | Cantilever beam structural resonant-type integrated optical waveguide accelerometer |
WO2011024968A1 (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | 国立大学法人 東京大学 | 光素子 |
JP2014021270A (ja) * | 2012-07-18 | 2014-02-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光素子 |
JP2014174261A (ja) * | 2013-03-07 | 2014-09-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光素子 |
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