JP6183103B2 - タッチパネル用位置検知電極基板、これを用いたタッチパネル、並びに該タッチパネルを用いた画像表示装置 - Google Patents

Description

本願発明は、特定の位置合わせマークを有するタッチパネル用位置検知電極基板と、これを用いたタッチパネル、並びに該タッチパネルを用いた画像表示装置に関する。

近年、画像表示装置と位置入力装置を組み合わせたタッチパネル（タッチスクリーンやタッチ画面などとも呼ばれる）の使用が盛んになってきている。位置入力装置としては、マトリクス・スイッチ方式、電気抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方式、電磁誘導方式、静電容量方式等、各種方式のものが実用化されている。中でも静電容量方式の一つである投影型静電容量方式の位置入力装置を組み合わせたタッチパネルが、マルチタッチ（多点同時入力）が可能であり、指先で直感的な操作ができる点、耐久性に優れる点が評価され携帯電話や携帯端末などに急速に普及してきている。

投射型静電容量方式のタッチパネルでは、縦横にそれぞれ走向する２層からなる複数の位置検知電極が、ガラスやプラスチックなどの透明絶縁基板上に配置されるタッチパネル用位置検知電極基板が必要とされる。

このようなタッチパネル用位置検知電極基板を実現するために、第一基材に第一の位置検知電極を形成した第一基板と、第二基材に第二の位置検知電極を形成した第二基板を形成した後に、第一基板と第二基板を位置決めして貼り合わせることによりタッチパネル用位置検知電極基板とすることが知られている。

このような２つ以上のパターンの位置決めには、位置合わせパターン（見当マーク、(アライメントマーク、トンボなどとも呼ばれる）を設けて、位置合わせパターンを基準として位置決めすることが一般的である。

特許文献１には、印刷における位置合わせパターン(見当マーク)が記載されており、特許文献２には、このような位置合わせパターン(アライメントマーク)がタッチパネル用位置検知電極基板にも用いられることが記載されている。

特公昭５５−６５０７号公報 特開２０１１−１００３２６号公報

タッチパネル用位置検知基板においては、タッチパネルとして組み込む前のできるだけ早い工程で、極力不良を排除したいという要請がある。これは、後工程に進むに従い、製造に要するコストは大幅に増大し、工程が進むにしたがって不良品の発生に伴う製品に反映されるコストの上昇は無視しえないものであるためである。

金属の細線からなる位置検知電極である場合には、第一基板と第二基板の位置ズレは、タッチパネル用位置検知基板における不良の一つであり、ディスプレイのも目視した際の濃淡むら、モアレの発生原因ともなる。

また、基材の材料として樹脂フィルムが用いられることも多く、電極を形成するための製造プロセスでの加熱などにより、樹脂フィルムが延伸、収縮することから、特に多面付の場合、各面を切り出し後の面付け毎の電極の位置ズレの判定は重要かつ不可欠である。
高価な検査装置によるチェックは、製造コストの上昇につながっている。

本発明は、このような現状に鑑みてなされたものでありタッチパネル用位置感知電極基板において、第一の位置感知電極と第二の位置感知電極の位置ズレが許容の範囲内に入っているか否かを確実に且つ容易に高価な検査装置を用いることなく確認可能とするタッチパネル用位置面値電極基板を実現することを課題とする。

以上の状況を鑑み、鋭意研究開発を進め、本願発明の請求項１は、第一基材上に第一の位置検知電極と、２箇所以上に設けた第一の位置合わせマークを備えた第一基板と、第二基材上に第二の位置検知電極と、２箇所以上に設け第二の位置合わせマークを備えた第二基板とを貼合してなるタッチパネル用位置検知電極基板であって、前記第一の位置合わせマークと前記第二の位置合わせマークは、次の（１）から（４）を全て満たすことを特徴とするタッチパネル用位置検知電極基板である。
（１）前記第一の位置検知電極と前記第一の位置合わせマークの両者、及び、前記第二の位置検知電極と前記第二の位置合わせマークの両者は、それぞれ同一の材料からなり、所定の相対位置関係を有する。
（２）前記第一の位置合わせマークと前記第二の位置合わせマークは、互いに重なり合う中空マークと中実マークの組み合わせを少なくとも隣接して二組有して成り、前記中空マークは、前記中実マークより大きく、前記中空マークと前記中実マークは同心の相似図形として設計されている。
（３）前記第一の位置合わせマークと前記第二の位置合わせマークは、互いに重なり合う前記中空マークと前記中実マークの組み合わせを少なくとも隣接して二組有して成り、少なくとも互いに重なり合う一組目の前記中空マークと前記中実マークの重心を重ねた際に生じる隙間の間隔は前記第一の位置検知電極と前記第二の位置検知電極の位置ズレの最大許容値と等しく設計されている。
（４）更に、少なくとも互いに重なり合う二組目の前記中空マークと前記中実マークの重心を重ねた際に生じる隙間の間隔は前記第一の位置検知電極と前記第二の位置検知電極の位置ズレの最大許容値より小さく設計されている。

加えて、本願発明の請求項２は、請求項１の前記タッチパネル用位置検知電極基板において、前記一組目の前記中空マークと前記中実マーク、前記二組目の前記中空マークと前記中実マークと隣接して、更に三組目の前記第一の位置合わせマークと前記第二の位置合わせマークは重なり合う同心の相似図形として設計された中空マークと中実マークを含み、少なくとも互いに重なり合う三組目の前記中空マークと前記中実マークの重心を重ねた際に生じる隙間の間隔は前記二組目の前記中空マークと前記中実マークの重心を重ねた際に生じる隙間の間隔より小さく設計されていることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル用位置検知電極基板である。

加えて、本願発明の請求項３は、組となる前記中空マークと前記中実マークは、同心円を成すことを特徴とする請求項１及び請求項２のいずれかに記載のタッチパネル用位置検知電極基板である。

加えて、本願発明の請求項４は、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載したタッチパネル用位置検知電極基板を用いたことを特徴とするタッチパネル。

加えて、本願発明の請求項５は、請求項４に記載のタッチパネルを用いたことを特徴とする画像表示装置。

本発明によれば、タッチパネル用接触感知電極基板において、第一の位置感知電極と第二の位置感知電極の位置ズレが許容の範囲内に入っているか否かを確実に且つ容易に高価な検査装置を用いることなく確認可能とするタッチパネル用感知電極基板を実現する。

本願発明の一実施形態である第一の形態のタッチパネル用感知電極基板を示す平面視の模式図である。 本願発明の一実施形態である第一の形態のタッチパネル用感知電極基板を構成する（ａ）第一基板の平面視の模式図及び（ｂ）第二基板の平面視の模式図である 本願発明の一実施形態である第一の形態のタッチパネル用感知電極基板の第一基材、第二基材を貼り合わせる前の斜視図である。 図１の部分Ａの拡大図の第一の形態である。 図１の部分Ａの拡大図の第二の形態である。 図１の位置合わせマーク部分の拡大図である。（ａ）は第一基材と第二基材のずれが最大許容値内にある場合の状態を示している。（ｂ）はＸ軸方向の最大許容値に達した場合の状態を示している。（ｃ）はＹ軸方向の最大許容値に達した場合の状態を示している。（ｄ）はＸ軸方向の最大許容値を越えた場合の状態を示している。（ｄ）はＸ軸方向の最大許容値を超えた場合の状態を示している。（ｅ）はＹ軸方向の最大許容値を越えた場合の状態を示している。 本願発明の一実施形態である第二の形態のタッチパネル用感知電極基板を示す平面視の模式図である。 （ａ）本願発明の一実施形態である第三の形態のタッチパネル用感知電極基板を示す平面視の模式図である。（ｂ）は、（ａ）の位置合わせマーク部分の拡大図である。 （ａ）位置合わせマークの第２のバリエーションを示す拡大図である。（ｂ）位置合わせマークの第３のバリエーションを示す拡大図である。 （ａ）位置合わせマークの第４のバリエーションを示す拡大図である。（ｂ）位置合わせマークの第５のバリエーションを示す拡大図である。

以下、本願発明の実施形態について、図面を用いて以下に詳しく説明する。なお、本願発明は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本願発明の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。なお、図面は概念図であり、説明上の都合に応じて適宜、構成要素の縮尺関係、縦横比等は誇張されていることがある。また、本明細書においては、本発明の主要部であるタッチパネル用位置検知電極基板の位置検知電極及び位置検知電極用の位置合わせマークについて記載、図示しており、実製品においては、このほかにダミー電極、端子電極部、第一基板と第二基板の貼り合わせ以外に用いる位置合わせマーク及び、検知電極と端子電極部を電気的に接続する配線部などが必要に応じて設けられる場合が多い。

「シート面」とは、シート状のタッチパネル用電極基板１を全体的かつ大局的に見た場合において、その平面方向と一致する面のことを意味する。「シート面」は通常、透明絶縁性の第一基材１１及び第二基材２１の表面又は平行な面でもあり、図１においては、ＸＹ平面又はこれと並行な面となる。

「平面視形状」とは「シート面」に平行な面における形状のことを意味する。言い換えると、「平面視形状」とは、「シート面」に立てた法線の方向（図１に於いては、Ｚ（軸）方向）から見た形状のことを意味する。

「シート」、「フィルム」、及び「板」の用語は呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。従って例えば、「板」はフィルムやシートとも呼ばれるような部材も含む概念である。

［タッチパネル用位置検知電極基板］
図１、図８に例示したように、本実施形態におけるタッチパネル用位置検知電極基板１は、第一基材１１上に第一の位置検知電極１２と、２箇所以上に設けた第一の位置合わせマーク１３を備えた第一基板２（図２（ａ））と、第二基材２１上に第二の位置検知電極２２と、２箇所以上に設け第二の位置合わせマーク２３を備えた第二基板３（図２（ｂ））とを貼合してなるタッチパネル用位置検知電極基板１であって、前記第一の位置合わせマーク１３と前記第二の位置合わせマーク２３は、次の（１）から（３）を全て満たすことを特徴とするタッチパネル用位置検知電極基板１である。

（１）前記第一の位置検知電極１２と前記第一の位置合わせマーク１３の両者、及び、前記第二の位置検知電極２２と前記第二の位置合わせマーク２３の両者は、それぞれ同一の材料からなり、所定の相対位置関係を有する。
（２）前記第一の位置合わせマーク１３と前記第二の位置合わせマーク２３は、互いに重なり合う中空マークと中実マークの組み合わせを少なくとも一組有して成り、前記中空マークは、前記中実マークより大きく、前記中空マークと前記中実マークは同心の相似図形として設計されている。
（３）前記第一の位置合わせマーク１３と前記第二の位置合わせマーク２３は、互いに重なり合う前記中空マークと前記中実マークの組み合わせを少なくとも一組有して成り、少なくとも互いに重なり合う一組の前記中空マークと前記中実マークの重心を重ねた際に生じる隙間の間隔は前記第一の位置検知電極１２と前記第二の位置検知電極２２の位置ズレの最大許容値と等しく設計されている。
尚、ここで、中空マークＡ１の重心と中実マークＡ２の「重心を重ねる」とは中空マークＡ１の重心と中実マークＡ２の重心の位置座標を一致させることを意味する。

従って、本実施形態におけるタッチパネル用位置検知電極基板１は、精度よく作成されていれば、全ての対となる中空マークＡ１と中実マークＡ２は、図６の（ａ）や図９の（ａ）、（ｂ）、図１０の（ａ）、（ｂ）に例示したように、接触することなく、均等な隙間の間隔（ΔＸ、ΔＹ）で形成される。一方、図６の（ｄ）、（ｅ）のように、対となる中空マークＡ１と中実マークＡ２は重なるものが存在する場合には、タッチパネル用位置検知電極基板において、第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２の位置ズレが許容の範囲を越えており、十分な精度を持って形成されていない不良品であることが明確にわかる。

対となる中実マークと中空マークが接触しているか否かは、人間の目視観察によってでも容易に識別される。勿論、中空マークＡ１及び中実マークＡ２を光電管、ＴＶカメラ等で読み取りして電気信号に変換し、アナログ又はデジタル信号処理によって、機械的に識別する事も可能である。また、検査装置においても、特定箇所の中実マークと中空マークの接触は、安価に確認することが可能である。

このように、個々のタッチパネル用位置検知基板１の位置合わせマークを確認することにより、容易に第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２の位置ズレが許容の範囲に入っているか否かを確実に且つ容易に高価な検査装置を用いることなく確認可能となる。

第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２の位置ズレが許容の範囲を超えるタッチパネル用位置検知基板１を容易に排除することで、第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２の位置ズレが許容の範囲を超えるタッチパネル用位置検知電極基板１を後工程に投入されることを廉価に、且つ、未然に防ぐことができる為、タッチパネル及びタッチパネルを用いた画像表示装置の製造コストを低減することが可能となる。
第一基板２及び第二基板３には、外部接続配線（例えばＦＰＣ）を介して制御部に接続する目的で、第一基材１１上に第一の位置検知電極１２と、２箇所以上に設けた第一の位置合わせマーク１３を備えた第一基板２には、更に第一取出し電極１４が設けられていてもよい。また、第二基材２１上に第二の位置検知電極２２と、２箇所以上に設け第二の位置合わせマーク２３を備えた第二基板３には、更に第二の取出し電極２４が設けられていてもよい。

［基材］
本実施形態における第一基材１１は第一の位置検知電極１２を支持する基材として機能し、また、本実施形態における第二基材２１は第二の位置検知電極２２を支持する基材として機能する。同時に、タッチパネル用位置検知電極基板１における誘電体層としても機能する。

本実施形態における第一基材１１、及び第二基材２１は、透明または半透明である電気絶縁性の基材であれば特に制限はない。第一基材１１、及び第二基材２１は、可視光領域における透過率が８０％以上であることが好ましく、８４％以上であることがより好ましい。なお、透明樹脂シート３２の可視光透過率は、分光光度計（（株）島津製作所製「ＵＶ−３１００ＰＣ」、ＪＩＳＫ０１１５準拠品）を用いて測定波長３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの範囲内で測定したときの、各波長における透過率の平均値として特定される。

第一基材１１、及び第二基材２１の材料としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル樹脂、ポリメチルメタクリレート等のアクリル樹脂、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、トリアセチルセルロース（三酢酸セルロース）等のセルロース系樹脂、ポリカーボネート樹脂などからなる樹脂シート、ガラス、セラミックス等からなる無機板を用いることができる。

なお、一般に、タッチパネル用電極基板１、或いはこれを用いたタッチパネルを、液晶表示装置の表示面上に配置する場合、その第一基材１１、第二基材２１として通常の２軸延伸ポリエチレンテレフタレートシートを用いると、当該シートが有する光学異方性による液晶表示装置の出射光の偏光面の回転効果と当該シートが有する偏光フィルタ効果（透過光中にはＰ偏光成分が、又反射光中にはＳ偏光成分が増えることによる）との複合効果によって、干渉縞乃至は虹色のムラが視認され画像視認性が阻害されることが知られている（特許第３９４７９５０号公報、特許第４８８８８５３号公報等参照）。本発明のタッチパネル用電極基板１乃至はこれを用いたタッチパネルに於いても、こうした問題は生じ得る。このような干渉縞乃至は虹色のムラを解消する為には、第一基材１１、第二基材２１として、以下の何れかのものを使うことが有効である。
（１）屈折率異方性の小さい材料。具体的には、面内位相差値Ｒｅが１００ｎｍ以下、好ましくは３０ｎｍ以下の材料を用いる。斯かる材料としては、トリアセチルセルロースからなる厚さ４０〜１２０μｍ程度のフィルムを挙げる事が出来る。
（２）特許第３９４７９５０号公報、特許第４８８８８５３号公報等に開示される如く
の、面内位相差値Ｒｅが通常の２軸延伸ポリエチレンテレフタレートシートよりも十分大な値、具体的には、
Ｒｅ≧３０００ｎｍ、
より好ましくは、
Ｒｅ≧８０００ｎｍ
の高延伸倍率（３〜７倍程度）で延伸されたポリエチレンテレフタレートシート等のポリエステル樹脂シート。ここで面内位相差値Ｒｅは、上記樹脂シートのシート面内の遲相軸方向屈折率ｎｘ、進相軸方向屈折率ｎｙ、及び厚みｄから、
Ｒｅ＝（ｎｘ−ｎｙ）×ｄ
として定義される。

［位置検知電極］
本実施形態において、第一の位置検知電極１２は、第一基材１１の一方の側の面上に所定のパターンで配置され第一基板２を形成している。また、第二の位置検知電極２２は、第二基材２１の一方の側の面上に所定のパターンで配置され第二基板３を形成している。

第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２は、指やペン先等の外部導体がタッチパネルに接近した際に生じる、電磁的な変化または静電容量の変化を検知するために設けられるものである。従って、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２には、電磁的な変化または静電容量の変化に起因する電流を検知可能なレベルで流すことができる程度の導電性が求められる。また、本実施形態において、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２に使用される材料としては、タッチパネル用位置検知電極基板１を形成した際に、可視光領域において、一定以上の透明性を有していれば特に限定されるものではない。

第一の位置検知電極１２と、第二の位置検知電極２２は、貼り合わせてタッチパネル用位置検知電極基板１とした際には一定の角度を持って交差して設けられることにより、第一の位置検知電極１２と、第二の位置検知電極２３は、図１、図２、図３、図８等に示したように、通常は直交するが、一般的には、互いに０度よりも十分に大きい角度で交差していればタッチ位置の検知が可能であり、必ずしも直交する必要はない。一方で、シート面視（平面視）形状で直交した２軸を想定すると解り易く、また概ね直交して形成される場合が多い。

第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２は、導電体材料が所定の線幅、及び、厚みで形成された導電性細線から構成される正方格子（図４、図５）、六方格子等の多角形格子（図示略）からなるメッシュ（網状）パターンからなることが好ましい。導電体材料としては、銅、金、銀、白金、錫、アルミニウム、ニッケル等の高導電性金属、及びこれらを含む合金を用いることができる。また、同上金属粒子を樹脂バインダ中に含むインキ（導電性ペースト）であってもよい。特にこれらの高導電性金属は、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）薄膜、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）薄膜等の金属酸化物薄膜に比べて、検知電極２を形成した面の表面電気抵抗率を低くできる利点がある。

一方、これらの高導電性金属は、可視光に対して遮光性を有している。そこで、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２は、多数の開口領域を画成するメッシュパターンにて配置されている導電体メッシュであることが望ましい。とりわけ図４及び図５に示された例においては、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２が、細長い長方形領域内に形成された導電体メッシュから形成されている。図４に示されたタッチパネル用位置検知電極基板１においては、正方形の開口領域を有する規則的な格子パターンが例示されている。全域に導電体メッシュが形成され、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２の輪郭に対応して、導電体メッシュをなす導線を断線させることにより、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２が形成されている。また、メッシュパターンは、図５に例示したような格子配列状の規則的なメッシュパターンであってもよい。

高導電性金属の使用により、同一サイズのタッチパネル用位置検知基板１であれば、検知電極のライン抵抗が同じであれば、不透明である位置検知電極を構成する導電体細線部の線幅を狭くすることが可能となり、透視性（可視光の透過率）の向上が実現できる。さらに、大面積のタッチパネル用位置検知電極基板１に適用する際にも十分な低電気抵抗が見込める。導電体メッシュは、格子配列以外の規則的なメッシュパターンを有していてもよいし、特開２０１３−６９２６１号公報の如き不規則的なメッシュパターンを有していてもよい。

高導電性金属よりなる第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２は、単層である必要はなく、複数の像として形成されていてもよい。例えば第一基材１１、又は第二基材２１と直接接触する基材側導電性金属層を、第一基材１１、又は第二基材２１との密着性に優れた材料、例えば、ニッケルやニッケル合金から形成することができる。その一方で、第一基材１１、又は第二基材２１と接触しない表層側導電性金属層を、導電率に優れ且つ安価な材料、例えば、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金から形成することができる。

また、金属材料からなる第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２は、優れた導電率を有する反面、比較的に高い反射率を呈する。したがって、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２をなす導電性金属によって外光が反射されると、タッチパネル用位置検知電極基板１を介して観察されるタッチパネルの画像コントラストが低下してしまう。そこで、黒化層を、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２の観察者側（前記一方の側又は其の反対側）に配置させてもよい。この黒化層によって、コントラストを向上させ、タッチパネルよって表示される画像の視認性を改善することができる。すなわち、黒化層は、黒色等の暗色の層であり、隣接する第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２よりも低反射率の層である。

黒化層としては、種々の既知の層を用いることができる。導電性金属層を部分的に暗色化処理して、金属酸化物や金属硫化物からなる黒化層を導電性金属層の一部分から形成してもよい。また、暗色材料の塗膜や、ニッケルやクロム等のめっき層等のように、導電性金属層上に黒化層を設けるようにしてもよい。なお、ここで用いる黒化層とは、暗色化された層のみでなく、粗化された層も含む。

第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２は、許容されるならば、表面電気抵抗率は金属からなる場合に比べて高くなるが、ＩＴＯ薄膜、ＩＺＯ（インジウム亜鉛酸化物）薄膜のような、完全に透明ではなく注視すればパターンが視認できる透明導電膜で形成されたものでもよい。

第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２はタッチするものとして想定されるものと検知する分解能を考慮して設定される。指でタッチすることを想定した場合、指の接触面にＸ方向、Ｙ方向にそれぞれ最低１本の位置検知電極（１２、２２）が掛かるようにする。この場合、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２のピッチは３ｍｍから１０ｍｍ程度があれば操作しやすい。

導電体メッシュの線幅は、導電体メッシュの材料の電気抵抗率や膜厚、タッチパネルのサイズ、タッチパネルを見る距離などを考慮して、タッチ位置の検知に十分な電気抵抗値、不可視性が得られるように設計してやればよい。一般に、大きなタッチパネルでは、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２の長さが長くなる一方、あまり近くから見ることはないため、低電気抵抗値が出しやすい大きな導電体メッシュの線幅でも視認されにくい。一方で小さなタッチパネルでは第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２の長さは短いため導電体メッシュの線幅を太くする必要はなく、むしろ細くしないと、タッチパネルを近くから見る場合が多いため目立ってしまう。

以上の点を考慮して、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２を構成する導電体メッシュの線幅は、導電体細線部が金属からなる不透明な場合は、透明性が要求される位置検知領域内については、視認距離に応じた不可視性及び要求される面積電気抵抗率により適宜設定する。例えば、線幅は５０μｍ以下、好ましくは３０μｍ以下、より好ましくは１５μｍ以下、さらに好ましくは１０μｍ以下とするとよい。下限は、例えば、断線を回避する為に１μｍ以上、好ましくは３μｍ以上とする。

第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２の形成方法としては、例えば、金属薄膜に対して、フォトリソグラフィを用いたエッチングによって、または印刷レジストによるエッチングによって形成するか、或いは、導電樹脂ペーストの印刷、金属薄膜に対するリフトオフ等の方法によってそれぞれ形成することができる。上記エッチングする金属薄膜は、真空蒸着法、スパッターリング法、イオンプレーティング法、鍍金法や金属箔の貼り合わせなどで形成する。同時に第一の位置合わせマーク１２、及び、第二の位置合わせマーク２２も、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２と同一の材料、同一の方法にて形成する。

第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２のパターンをフォトエッチングにより形成する場合、金属膜上にフォトレジスト膜を形成し、第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３のパターンを有するフォトマスクを用いて露光し、現像液で現像することによりレジスト膜の第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３のパターンを形成する。これをエッチング液によりエッチングし、レジスト膜を剥離除去することにより第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３のパターンを形成する。

また、印刷レジストにより形成する場合は、金属膜上にスクリーン印刷、グラビア印刷、インクジェット等の方法でレジスト膜の第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３のパターンを印刷し、エッチング液により金属膜におけるレジスト被覆部以外をエッチングし、レジスト膜を剥離することにより金属膜に第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３のパターンを形成する。

また、導電ペースト印刷により形成する場合は、前記高導電性金属の金属微粒子を含む導電性ペースト、カーボンペースト等で第一基材、又は第二基材上に第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３のパターンを印刷し、導電性の第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３のパターンを形成する。

金属粉末とバインダ樹脂を含む導電ペースト等を用いた印刷法により形成する場合は、バインダ樹脂として、熱硬化性樹脂、電離放射線硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。なかでも、アクリレート系の電離放射線硬化性樹脂は、硬化が迅速で且つ導電体メッシュ２の強度にも優れ、好ましい樹脂の一種である。

また、リフトオフ法により第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３のパターンを形成する場合には、第一基材、又は第二基材上に、液体レジストやドライフィルムレジストにより第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３の反転（陰画）パターンを形成する。続いて、金属蒸着層の形成、又は、金属粉末とバインダ樹脂を含む導電ペーストを塗工した後に、レジストパターンやドライフィルムレジストを其の直上部の金屬蒸着層乃至は導電ペースト層と共に剥離してすることにより、第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３を形成することできる。リフトオフ法による形成は、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２を構成する導電体細線部の線幅の均一性が高く本発明の製造方法として適している。

［位置合わせマーク］
本実施形態において、第一の位置合わせマーク１３及び第二の位置合わせマーク２３は、第一基材１１上に第一の位置検知電極１２と、２箇所以上に設けた第一の位置合わせマーク１３を備えた第一基板２と、第二基材２１上に第二の位置検知電極２２と、２箇所以上に設け第二の位置合わせマーク２３を備えた第二基板３と貼合してタッチパネル用位置検知電極基板１とする際、第一基板２と第二基板３の位置合わせのために使用される。また、タッチパネル用位置検知電極基板１の位置ズレの可否確認の基準として機能する。

本実施形態において、第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３の両者、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３の両者は、それぞれ同一の材料からなり、所定の相対位置関係を有する。

ここで、第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３の両者、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３の両者の所定の相対位置関係とは、第一の位置合わせマーク１３が、第一の位置検知電極１２の位置決めマークとして機能する位置関係にあり、また、第二の位置合わせマーク２３が、第二の位置検知電極２２の位置決めマークとして機能する位置関係にあることを示している。即ち、理論上、第一の位置決めマーク１３と対を成す第二の位置合わせマーク２３とを、図６（ａ）に図示し又後述する如く、中空マークＡ１と中実マークＡ２の重心を重ね合わさるように整合して、第一基板２と第二基板３を貼り合わせた場合、第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２とは、あるべき位置関係となり、互いに直交する２方向、即ち図１以下の各図に於いてＸ方及びＹ方向の両方向について第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２との位置ズレの値は０に收束するように設計されている位置関係を示している。

前述したように、第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３の両者、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３の両者は、それぞれ同一の材料からなることにより、同一の製造工程で同時に形成することが可能となり、第一の位置合わせマーク１３は第一の位置検知電極１２の、また、第二の位置合わせマーク２３は第二の位置検知電極２２の製造上の誤差を同様に反映することとなる。

第一の位置合わせマーク１３と前記第二の位置合わせマーク２３は、図６（ａ）、図９（ａ）、（ｂ）、図１０（ａ）、（ｂ）等に図示の如く、互いに重なり合う中空マークＡ１と中実マークＡ２の組み合わせを少なくとも一組有して成り、中空マークＡ１の内径Ｒは、中実マークＡ２の外径ｒより大きく、中空マークＡ１と中実マークＡ２は同心の相似図形として設計されている。

本実施形態において第一の位置合わせマーク１３が中空マークＡ１を含み、第二の位置合わせマーク２３が中実マークＡ２を含むものであっても、また、第一の位置合わせマーク１３が中実マークＡ２を含み、第二の位置合わせマーク２３が中空マークＡ１を含むものであってもよい。図１、図２、図３、図６、図８では便宜的に第一の位置合わせマーク１３が中空マークＡ１を含み、第二の位置合わせマーク２３が中実マークＡ２を含むものとして記載しているがこれに限定されるわけではない。

本実施形態において中実マークＡ２は、第二の位置合わせマーク２３に例示したように、位置合わせマークの輪郭より内側に位置検知電極と同一の材料を設けたマークである。一方、中空マークＡ１は、第一の位置合わせマーク１３に例示したように、位置合わせマークの輪郭部より外側に位置検知電極と同一の材料を設けたマークである。すなわち、中空マークは、位置合わせマークの輪郭より内側には、位置検知電極と同一の材料は存在していない。本発明の中空マークは、識別可能な一定の幅を持て形成されていてもよいし、第一の位置合わせマーク周辺部、第一の位置合わせマークを設けることが可能な面積の位置検知電極と同一の材料の形成部中に設けられていてもよい。

このように設計することにより、位置合わせの用いる場合においても、また、位置ズレの確認に用いる場合においても、中空マークＡ１と中実マークＡ２を同時に視認することが可能となる。

中空マークＡ１と中実マークＡ２は同心の相似図形として設計されている。すなわち、図７、図９、図１０に例示したように、相似関係にある図形であれば、形状に特に制限はない。図９（ａ）に例示したように互いに相似な正方形、図９（ｂ）に示したような互いに相似な正三角形、図１０（ａ）に例示した正六角形等の正多角形、図１０（ｂ）に例示された位置合わせに用いるマークとして良く使用される十字型、図７に例示した真円形等が、位置合わせの際に、位置のバランスがとり易く点で好ましい。特に図７に示した真円形は、上下左右のみならず、いずれの方向に対しても同じ隙間の間隔（ΔＸ、ΔＹ）となるため、判定がつけやすく好ましい。

第一の位置合わせマーク１３と前記第二の位置合わせマーク２３は、互いに重なり合う前記中空マークＡ１と中実マークＡ２の組み合わせを少なくとも一組有して成り、少なくとも互いに重なり合う一組の中空マークＡ１と中実マークＡ２の重心を重ねた際に生じる隙間の間隔（ΔＸ、ΔＹ）は第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２の位置ズレの最大許容値と等しく設計されている。

位置ズレの最大許容値とは、設計上の正規の位置関係から位置が変位しても機能を損なわない最大値を示す。本実施形態において、位置関係が変位して損なわれる機能としては、タッチパネル、もしくはタッチパネルを用いた画像表示装置とした際の表示の均一性が挙げられる。位置検知電極を形成する導電体メッシュの位置ズレによって、位置検知電極の形成部にモアレや濃淡むらが目視されるようになる。

尚、図６（ａ）に示す如く、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の中空マークＡ１と中実マークＡ２との隙間の間隔ΔＸ及びΔＹは、中空マークＡ１の内側の外輪郭と中実マークＡ２の外側の外輪郭との間のＸ軸方向及びＹ軸方向の距離である。図６（ｂ）からわかる様に、両マークＡ１及びＡ２の重心が不一致の場合、ΔＸはＸ軸方向に於いて中実マークＡ２の両側（＋Ｘ方向及びーＸ方向）に１つずつ存在し、一方（図６（ｂ）の場合、右側（＋Ｘ方向））は他方（左側）よりも小となる。又、図６（ｃ）からわかる様に、ΔＹはＹ軸方向に於いて中実マークＡ２の両側（＋Ｙ方向及びーＹ方向）に１つずつ存在し、一方（図６（ｃ）の場合、下側（―Ｙ方向））は他方（下側）よりも小となる。

但し、以下の議論に於いては、各々１対存在するＸ軸方向及びＹ軸方向の隙間の間隔のうち、より小さい方を以ってΔＸ、ΔＹとする。
尚、両マークＡ１及びＡ２の重心が一致し、両側の隙間の間隔が同一の値となった場合は、其の同一（唯一）の値を以ってΔＸ、ΔＹとする。
各図で図示するΔＸ及びΔＹは、この定義に従う。

位置ズレの最大許容値のＸ軸方向の値をＤＸｍａｘ、Ｙ軸方向の値をＤＹｍａｘとすると、設計上の中空マークＡ１と中実マークＡ２の重心を重ねた際の隙間のＸ方向の間隔ΔＸ、Ｙ方向の間隔ΔＹは以下の式（１）、式（２）を満たす。（図７（ａ））
ΔＸ＝ＤＸｍａｘ （１）
ΔＹ＝ＤＹｍａｘ （２）
であるとともに、図６（ａ）から明らかなように、隙間の間隔ΔＸ及びΔＹと中空マークＡ１の内径Ｒ及び中実マークＡ２の外径ｒとの関係は、両マークＡ１とＡ２の重心が一致した場合に於いて、
ΔＸ＝ＤＸｍａｘ＝（Ｒ−ｒ）／２
ΔＹ＝ＤＹｍａｘ＝（Ｒ−ｒ）／２
となる。

現実に第一基板２と第二基板３を貼り合わせて、タッチパネル用位置検知電極基板１を作製した場合、第一の位置検知電極１２と第一の位置合わせマーク１３の両者、及び、第二の位置検知電極２２と第二の位置合わせマーク２３の両者は、それぞれ同一の材料からなり、所定の相対位置関係を有する。ことから、第一の位置合わせマーク１３と第二の位置合わせマーク２３の位置のずれは、第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２の間のズレとほぼ一致する。

従って、タッチパネル用位置検知電極基板１の全ての対となる第一の位置合わせマーク１３と第二の位置合わせマーク２３を確認し、全て図６の（ａ）に例示したように、
ΔＸ≒ΔＹ
であれば、第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２の位置関係は、ほぼ設計通りに形成されている。

また、タッチパネル用位置検知電極基板１の全ての対となる第一の位置合わせマーク１３と第二の位置合わせマーク２３を確認し、全て図６の（ｂ）、（ｃ）に例示したように、
ΔＸ≧０
且つ
ΔＹ≧０
であれば、第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２の位置関係は、位置ズレの最大許容値内で形成されている。

また、タッチパネル用位置検知電極基板１の全ての対となる第一の位置合わせマーク１３と第二の位置合わせマーク２３を確認し、全て図６の（ｂ）、（ｃ）に例示したように、
ΔＸ＜０
又は
ΔＹ＜０
であれば、第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２の位置関係は、位置ズレの最大許容値を越えて形成されている。従って、タッチパネル、もしくはタッチパネルを用いた画像表示装置とした際の表示が不均一性となり。位置検知電極を形成する導電体メッシュの位置ズレによって、位置検知電極の形成部にモアレや濃淡むらが目視されるようになることが予め判定できる。

対となる第一の位置合わせマーク１３と第二の位置合わせマーク２３は、図１に示したように、少なくとも一面付けのタッチパネル用位置検知電極基板１毎に２箇所設けることにより、位置検知電極を形成する第一基板２と第二基板３との間に於ける導電体メッシュの位置合わせをより高精度に行えると共に、殘留した位置ズレによって、位置検知電極の形成部にモアレや濃淡むらが目視されるようになることが予め判定できる。さらに望ましくは、図６に示したように、対となる第一の位置合わせマーク１３と第二の位置合わせマーク２３は、少なくとも一面付けのタッチパネル用位置検知電極基板１毎に、４隅にそれぞれ設けることにより、より確実に位置検知電極を形成する第一基板２と第二基板３との間に於ける導電体メッシュの位置合わせをより高精度に行えると共に、殘留した位置ズレによって、位置検知電極の形成部にモアレや濃淡むらが目視されるようになることが予め判定できる。

また、図８に示したように位置合わせマークを複数の互いに重なり合う中空マークＡ１と中実マークＡ２の組み合わせから形成し、例えば、中空マーク１３Ａと中実マーク２３Ａからなる組み合わせにおいては、
ΔＸ１＝ＤＸｍａｘ
ΔＹ１＝ＤＹｍａｘ
として、更に、
中空マーク１３Ｂと中実マーク２３Ｂからなる組み合わせにおいては、
０＜ΔＸ２＜ΔＸ１＝ＤＸｍａｘ
０＜ΔＹ２＜ΔＹ１＝ＤＹｍａｘ
中空マーク１３Ｃと中実マーク２３Ｃからなる組み合わせにおいては、
０＜ΔＸ３＜ΔＸ２＜ΔＸ１＝ＤＸｍａｘ
０＜ΔＹ３＜ΔＹ２＜ΔＹ１＝ＤＹｍａｘ
と設計することにより、単なる合否判定のみでなく、極めて位置ズレが少ないタッチパネル用位置検知電極基板、許容範囲内であるがやや位置ズレが生じているタッチパネル用位置検知電極基板といったランク付けが可能なタッチパネル用位置検知電極基板とすることもできる。

本願においては図示しないが、必要に応じて加工工程に於ける均一性や、目視における均一性を担保するためのダミー電極、実装の際に他の部品と接続する端子電極部、及び、検知電極と端子電極部を電気的に接続する配線部などが必要に応じて設けられる場合が多い。これらは、製造プロセス、及び、製品の仕様に応じて適宜形成される。

また、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２の保護を目的として、電極を形成した上に、フィルムを貼り合わせたり、ハードコート層などを形成して保護層とすることもできる。

［タッチパネル］
本発明によるタッチパネルは、上記したタッチパネル用位置検知電極基板１を含んでなる入力装置である。

上記タッチパネル用位置検知電極基板１は、その第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２の必要な部分を残し、不必要な部分は除去して、必要な電極パターンを形成した形で、タッチパネルに組み込まれる。あるいは、上記タッチパネル用位置検知電極基板１は、その第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２の形成時から必要な電極パターンで形成しておいてもよい。タッチパネルに組み込まれたタッチパネル用位置検知電極基板１は、電極パターン以外の配線等その他の導電層で形成されてなるパターンも、その一部又は全部を形成されたものとしてもよい。

表面型静電容量方式のタッチパネルは、図２及び図３に図示の如く、第一基板２及び第二基板３の片面に第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２の延長上にそれぞれ第一の取出し電極１４、第二の取出し電極２４を有してもよい。または、実装に都合の良い位置にまとめて第一の取出し電極及び第二の取出し電極２４のパターンを設けて、第一の位置検知電極１２、及び、第二の位置検知電極２２から第一の取出し電極及び第二の取出し電極２４までを配線で接続してもよい。この端子電極パターンの外周部に接続された複数の配線から、タッチパネル用位置検知電極基板１の外部に設けた制御回路に、図示しないフレキシブル配線基板を介して接続され、この制御回路により、駆動及び入力位置検知が行われる。

以上、静電容量方式のタッチパネルの基本的な構成を説明したが、上記した構成要素以外に、製品仕様に応じて設ける、コネクタ、保護ガラス板、樹脂塗膜等からなる保護層など、公知の部材を含み得る。

［保護層の追加］
第一の位置検知電極１２上に保護層を形成する方法としては、例えば、透明接着剤または粘着剤を用いて第一の位置検知電極１２上に透明フィルムや透明板を貼り合わせることによって形成することができ、また、第一の位置検知電極１２上に透明樹脂を所定厚さ塗布することにより形成することもできる。また、第一の位置検知電極１２の形成された透明フィルムを射出成形用金型内に挿入し、成形樹脂をキャビティ内に射出すること（所謂、インサート成形）により、透光性電極が形成されたフィルムの電極面側に成形板を一体化し、保護層とすることもでき、その場合にはタッチ入力面やタッチパネル用位置検知電極基板１の第一の位置検知電極１２を形成した面を三次元曲面とすることもできる。なお、インサート成形によりタッチパネル用位置検知電極基板１の第一の位置検知電極１２を形成した面を三次元曲面とする場合、ＩＴＯやＩＺＯからなる電極であれば成形時の変形によりにクラックなどを生ずるおそれがあるが、高導電性金属を用いた場合、電極材料の選択線幅が広いため変形に強い材料を選択可能である。

〔着色フィルタの追加〕
本発明によるタッチパネルは、タッチパネルをディスプレイパネルの表示面側に設置したとき、画像に微細なチラツキが生じる場合は、このチラツキを目立ち難くする為に、前記着色フィルタを構成層として含むことができる。

〔反射防止処理の追加〕
本発明によるタッチパネル用位置検知電極部材１を構成要素とするタッチパネルの画像観察者側表面、ディスプレイパネル側表面、或いは画像観察者側表面とディスプレイパネル側表面の両面に反射防止処理を施すことができる。画像観察者側表面に反射防止処理を施した場合、日光、電灯光等の外来光の反射による画面の白化や周囲の風景の映り込みによる画像視認性低下を防止し得る。ディスプレイパネル側表面に反射防止処理を施した場合は、ディスプレイパネルとタッチパネルとの間の光多重反射による干渉縞（Ｎｅｗｔｏｎ環等）、ゴースト像等の発生を防止し得る。こうした反射防止処理としては従来公知のものを適宜採用し得る。例えば、以下の（１）〜（３）を採用し得る。

（１）低屈折率層の単層、或いは、低屈折率層と高屈折率層とを、該低屈折率層が最上層に位置する様に交互に積層した多層構成からなる反射防止層。低屈折率層はケイ素酸化物、フッ化マグネシウム、フッ素含有樹脂等が用いられ、高屈折率層には、酸化チタン、硫化亜鉛、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ等が用いられる。なお、ここで高（低）屈折率層とは、該層と隣接する層（例えば、基材、或いは低（高）屈折率層）と比較して該層の屈折率が相対的に高（低）いという意味である。

（２）外来光を散乱乃至は拡散させる為に、光の入射する最表面を粗面化する処理。この粗面化処理には、サンドブラスト法やエンボス法等により基体表面に直接微細凹凸を形成して粗面化する方法；基体表面に放射線、熱のいずれか、もしくはこれらの組み合わせにより硬化する樹脂バインダ中に、光拡散性粒子としてシリカなどの無機粒子や、樹脂粒子などの有機粒子を含有させた塗膜により粗面化層を設ける方法；及び基体表面に海島構造による多孔質膜を形成する方法等を挙げることができる。樹脂バインダの樹脂としては、表面層として表面強度が望まれる関係上、熱硬化性或いは電離放射線硬化性のアクリル樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂等が好適に使用される。

（３）特許第４４０６５５３号公報、特許第４２６５７２９号公報、特許第４６３２５８９号公報等に開示される如く、表面に隣接突起間距離が可視光線波長帯域の最短波長以下で配列した微小突起群からなる微小凹凸構造を形成する処理。該微小突起は厚み方向に直交する仮想的切断面に於ける断面積が外部（隣接する空気の側）に向かうに従って減少するような形状とされる。こうした微細凹凸構造は入射光に対する表面部分の屈折率の厚み方向の変化を、該微小突起を構成する材料の屈折率から外部の媒質（通常は空気）の屈折率に向かって連続的に変化させるように機能する。これによって、物体と外部媒質との界面に於ける屈折率の不連続に起因する光反射を低減し得る。

本実施形態のタッチパネルは、電極が視認されにくく、更に、電極による濃淡模様も視認されにくい。さらに第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２を低電気抵抗で形成できるため、特に大型のタッチパネルに適している。

［画像表示装置］
本発明による画像表示装置は、上記したタッチパネルをディスプレイパネルの表示面側に配置してなる構成の画像表示装置である。また、静電容量型タッチパネル画像表示装置は、タッチパネルの一方の面に透明粘着層を設けてディスプレイ等の画像表示画面に貼り付けることによって形成できる、タッチパネルを画像表示画面上に配置するだけでもよい。また、透明粘着層を全面に形成しても良いし、透明性のない粘着剤を、透明性の必要な部分を開口部として形成しても良い。なお、透明粘着層を設ける場合、ディスプレイ画面に静電容量型タッチパネルを貼り付けるまでは、剥離シートで被覆されているようにすることで埃などの異物の挟み込みの発生を抑えられる。

また、静電容量型タッチパネル表示装置における端子電極の取り方についてはいろいろな方式が存在するが、公知のものは全て本願発明に適用可能である。また、検知電極の露出面を端子電極とすることもできる。

画像表示装置は、ディスプレイパネルと、このディスプレイパネルの出光面（画面）上に配置された本発明のタッチパネルとを、少なくとも含む構成の装置である。ディスプレイパネルとしては、液晶表示パネル、プラズマディスプレイパネル、ＥＬ（電界発光）パネル、電子ペーパーなどの各種ディスプレイパネルの他、ブラウン管でもよい。

本発明のタッチパネルを用いた画像表示装置は、電子黒板など数十インチ以上の大型の用途においても感度良くタッチ位置を検知可能となる。さらに、表示画面の点灯時、消灯時のいずれにおいても、検知電極の視認は極めて困難であり、更に検知電極に由来する濃淡模様などは視認されない。ディスプレイパネルの表示機能を生かした本発明のタッチパネルを用いた画像表示装置を実現できる。

（実施例）
実際のタッチパネル用位置検知電極基板１の実施例を記載する。図１に例示した第一の形態のタッチパネル用位置検知電極基板１であり、図４に示したような第一の形態の導電性メッシュからなる位置検知電極である。第一の位置検知電極１２のＸ方向のピッチＰｘ１が６００μｍ、第一の位置検知電極１２のＹ方向のピッチＰｙ１が６００μｍである導電メッシュからなり、また、第二の位置検知電極２２がＸ方向のピッチＰｘ２が６００μｍ、第二の位置検知電極２２がＹ方向のピッチＰｙ２が６００μｍの導電メッシュからなっている。第一の位置検知電極１２と第二の位置検知電極２２が、互いにＸ軸方向のシフト量ΔＰｘが３００μｍ、Ｙ軸方向のシフト量ΔＰｙが３００μｍの設計である。このようなタッチパネル用位置検知電極基板１においては、最大許容値はＸ方向ＤＸｍａｘ、Ｙ方向ＤＹｍａｘともに５０μｍとなる。

一面付けのサイズ２０ｃｍ角であり、一面付け毎に四隅に各々１個ずつ図６（ａ）及び図７に示した位置合わせマークにてΔＸ（＝ＤＸｍａｘ）が５０μｍ、ΔＹ（＝ＤＹｍａｘ）が５０μｍとなる設計値で、５面×５面付けの第一基板２用マスク、第二基板３用マスクそれぞれ作製した。

厚さ１０μｍの銅箔を貼り合わせた厚さ１００μｍのトリアセチルセルロース製の透明樹脂基板樹脂基板にフォトレジストを塗布、乾燥し、第一基板２用マスクを用いて露光後、現像し、塩化第二鉄水溶液にてエッチング処理を行い５面×５面付けの第一基板２を作製した。

厚さ１０μｍ銅箔を貼り合わせた厚さ１００μｍのトリアセチルセルロース製の透明樹脂基板樹脂基板にフォトレジストを塗布、乾燥し、第二基板３用マスクを用いて露光後、現像し、塩化第二鉄水溶液にてエッチング処理を行い５面×５面付けの第二基板３を作製した。

作製した第一基板２と第二基板３を最も外側の４隅の位置合わせマークにて位置合わせを行い。アクリル系の接着剤にて貼り合わせることにより、５面×５面付けのタッチパネル用位置検知電極基板１を得た。

５面×５面付けのタッチパネル用位置検知電極基板１をトリミングして一面付けのタッチパネル用位置検知電極基板１を得た。

この一面付けのタッチパネル用位置検知電極基板１の４隅の位置合わせマークを目視で確認して４つの位置合わせマークが全て図６の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に例示したように。
ΔＸ≧０
且つ
ΔＹ≧０
を満たしているもの１０枚を抽出し製品サンプルとした。

また、この一面付けのタッチパネル用位置検知電極基板１の４隅の位置合わせマークを目視で確認して４つの位置合わせマークを目視で確認して４つの位置合わせマークのいずれかが図６の（ｂ）、（ｃ）に例示したように、
ΔＸ＜０
又は
ΔＹ＜０
を満たしているものを１０枚抽出して参考サンプルとした。

製品サンプル１０枚、参考サンプル１０枚を用いてタッチパンネルを作製し、タッチパネルを用いた液晶画像表示装置を作製した。その結果、製品サンプルから作製したタッチパネルを用いた液晶画像表示装置は、全て表示ムラやモアレは見られなかった。一方参考サンプルから作製したタッチパネルを用いた液晶画像表示装置は、全て表示ムラやモアレが観察された。

本発明によるタッチパネル用電極基板１、及びタッチパネルの用途は、特に限定されない。例えば、ディスプレイパネル、或いは網点で表現された白黒乃至はカラーの印刷物である。本発明の画像表示裝置は、テレビジョン受像裝置、電算機器、電話機、計測器、医療用機器、遊戯機器、事務用機器、現金自動支払機、電子黒板、電子書籍端末、電子看板、自販機等の、入力手段を表示部等に備えた画像表示装置に広く適用できる。

１ ： タッチパネル用位置検知電極基板
２ ： 第一基板
３ ： 第二基板
１１ ： 第一基材
１２ ： 第一の位置検知電極
１３ ： 第一の位置合わせマーク
１４ ： 第一の取出し電極
２１ ： 第二基材
２２ ： 第二の位置検知電極
２３ ： 第二の位置合わせマーク
２４ ： 第二の取出し電極
Ａ１ ： 中空マーク
Ａ２ ： 中実マーク

Claims (5)

1. 第一基材上に第一の位置検知電極と、２箇所以上に設けた第一の位置合わせマークを備えた第一基板と、
   第二基材上に第二の位置検知電極と、２箇所以上に設け第二の位置合わせマークを備えた第二基板とを貼合してなるタッチパネル用位置検知電極基板であって、
   前記第一の位置合わせマークと前記第二の位置合わせマークは、次の（１）から（４）を全て満たすことを特徴とするタッチパネル用位置検知電極基板。
   （１）前記第一の位置検知電極と前記第一の位置合わせマークの両者、及び、前記第二の位置検知電極と前記第二の位置合わせマークの両者は、それぞれ同一の材料からなり、所定の相対位置関係を有する。
   （２）前記第一の位置合わせマークと前記第二の位置合わせマークは、互いに重なり合う中空マークと中実マークの組み合わせを少なくとも隣接して二組有して成り、前記中空マークは、前記中実マークより大きく、前記中空マークと前記中実マークは同心の相似図形として設計されている。
   （３）前記第一の位置合わせマークと前記第二の位置合わせマークは、互いに重なり合う前記中空マークと前記中実マークの組み合わせを少なくとも隣接して二組有して成り、少なくとも互いに重なり合う一組目の前記中空マークと前記中実マークの重心を重ねた際に生じる隙間の間隔は前記第一の位置検知電極と前記第二の位置検知電極の位置ズレの最大許容値と等しく設計されている。
   （４）更に、少なくとも互いに重なり合う二組目の前記中空マークと前記中実マークの重心を重ねた際に生じる隙間の間隔は前記第一の位置検知電極と前記第二の位置検知電極の位置ズレの最大許容値より小さく設計されていることを特徴とするタッチパネル用位置検知電極基板。
2. 請求項１の前記タッチパネル用位置検知電極基板において、前記一組目の前記中空マークと前記中実マーク、前記二組目の前記中空マークと前記中実マークと隣接して、更に三組目の前記第一の位置合わせマークと前記第二の位置合わせマークは重なり合う同心の相似図形として設計された中空マークと中実マークを含み、
   少なくとも互いに重なり合う三組目の前記中空マークと前記中実マークの重心を重ねた際に生じる隙間の間隔は前記二組目の前記中空マークと前記中実マークの重心を重ねた際に生じる隙間の間隔より小さく設計されていることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル用位置検知電極基板。
3. 組となる前記中空マークと前記中実マークは、同心円を成すことを特徴とする請求項１及び請求項２のいずれかに記載のタッチパネル用位置検知電極基板。
4. 請求項１から請求項３のいずれか一項に記載したタッチパネル用位置検知電極基板を用いたことを特徴とするタッチパネル。
5. 請求項４に記載のタッチパネルを用いたことを特徴とする画像表示装置。

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