JP6180828B2 - 質量分析装置及び質量分析装置の制御方法 - Google Patents
質量分析装置及び質量分析装置の制御方法 Download PDFInfo
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Description
5 電流検出部
6 バリア放電用高圧電源
7 放電開始タイミング検出部
9 検出器
10 圧力検出器
11 制御回路
14 真空ポンプ
17 放電開始タイミング信号
24 放電検出電流
27 圧力検出信号
28 放電電流
Claims (4)
- 測定試料を入れる試料容器と、
試料の質量を分析して試料に含まれる被測定物を検出する検出器と、
前記試料容器と連結し、大気に放電電流を流して電離させる誘電体容器と、
前記試料容器、前記誘電体容器、前記検出器に間欠的に大気を送るためのバルブと、
前記誘電体容器に放電させるためのバリア放電用高圧電源と、
前記バリア放電用高圧電源と接続し、放電電流を検出する電流検出部と、
前記電流検出部と接続し、電流検出部の電流検出結果に基づき放電開始タイミングを検出して放電開始タイミング信号を送信する放電開始タイミング検出部と、
各構成を制御する制御部と、を有する質量分析装置であって、
前記電流検出部は検出した電流を電圧に変換し、変換された電圧を前記放電開始タイミング検出部で設定された閾値と比較し、該閾値より超えた場合に放電開始信号を前記制御部に送信し、前記制御部は放電開始信号を受信後一定期間放電を行うよう制御することを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載の質量分析装置であって、
前記電流検出部で電流が検出されない場合は、前記バリア放電用高圧電源の出力電圧を増加するよう制御部で制御することを特徴とする質量分析装置。 - バリア放電を用いた質量分析装置の制御方法であって、
高圧電源で行うバリア放電の放電電流を検出し、
検出した放電電流値を電圧値に変換し、
変換した電圧値を閾値と比較し、
電圧値が該閾値を超える場合に一定期間放電を行うことを特徴とする質量分析装置の制御方法。 - 請求項3に記載の質量分析装置の制御方法であって、
バリア放電電流が検出されない場合は、前記高圧電源の出力電圧を増加することを特徴とする質量分析装置の制御方法。
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