JP6175419B2 - 評価装置 - Google Patents
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Description
ここで開示される評価装置100に用いられるチャンバ10は、内部を300℃以上の高温度域に保持可能に構成されている。チャンバ10の加熱手段としては従来公知のものを特に制限なく使用することができる。チャンバ10内の加熱温度としては、積層体50の評価したい温度に応じて適宜設定すればよく、概ね300℃以上(例えば300℃〜1500℃)にすることが適当であり、好ましくは500℃以上(例えば500℃〜1500℃)であり、特に好ましくは700℃以上(例えば800℃〜1500℃)である。ここで開示される評価装置100は、そのような高温環境下で接合したり、接合後に高温で使用したりする用途で利用される積層体50に対して好適に利用することができる。好ましい一態様では、上記積層体50の近傍に温度センサ(例えば熱電対)18を備えている。このように積層体50の近傍に温度センサ18を備えることによって、積層体50の温度を正確に把握して演算部40にフィードバックすることができる。これにより、チャンバ10内の温度を積層体50の評価したい温度に正確にコントロールでき、より精度の高い評価を行うことが可能になる。
ホルダ20は、チャンバ10内に配置され、当該チャンバ10内において積層体50を保持するように構成されている。この実施形態では、ホルダ20は、積層体50を保持する台(ステージ)であり、その上面に積層体50を載置し得るようになっている。ホルダ20は、例えば、保持された積層体50の姿勢や向きを変える機能(例えば3方向に移動可能なXYZ軸ステージ)が備えられていてもよい。このようにすれば、種々の角度から積層体50を撮像することができる。また、ホルダ20は、積層体50の設置や交換等が容易となるように、チャンバ10内を移動する機能が備えられていてもよい。
撮像部30は、上記ホルダ20に保持された積層体50をチャンバ10に設けられた窓部12の外部から撮像するものとして構成されている。撮像部30としては、窓部12の外部(典型的にはチャンバ10の外部)から積層体50を高解像度で撮像できるものであれば特に限定することなく使用することができる。例えばCCDイメージセンサやCMOSイメージセンサなどを用いた公知の撮像装置(カメラ)を使用することができる。撮像部30は、第1部材52と第2部材54との接触状態を撮像データとして取り込み、この撮像データを演算部40に送信する。好ましい一態様では、撮像部30は、積層体50を第1部材52の表面に沿う方向から撮像するように構成されている。このようにすれば、第1部材52と第2部材54との接触状態をより正確に撮像することができる。また、撮像部30は、300℃以上の高温度域において加熱処理されている過程の積層体50を経時的に撮像するように構成されている。撮像部30は、第1部材52と第2部材54との接触状態を撮像データとして経時的に取り込み、この撮像データを演算部40に経時的に送信する。なお、ここでいう「継続的に」とは、撮像が途切れることなく行われる態様の他、撮像が一定時間(例えば1分〜100時間)毎に断続的に継続して行われることを包含する。
演算部40は、撮像部30で撮像した積層体50の画像を解析して、第1部材52に対する第2部材54の接触角を計測するように構成されている。この実施形態では、演算部40は、撮像部30から取りこまれた積層体50の画像から自動的に第2部材54/第1部材52間の境界を決定し、第2部材54の外表面を検出する。そして、θ/2法、接線法あるいはカーブフィッティング法に基づき、第1部材52に対する第2部材54の接触角(すなわち第2部材54の接線と第1部材52の表面との成す角度)を計測する。かかる演算部40としては、所定の処理機能を備えるコンピュータ、パーソナルコンピュータ(PC)等を好適に用いることができる。かかるコンピュータには、少なくとも、上記処理を行うためのプログラムを記憶したROM(Read Only Memory)と、そのプログラムを実行可能なCPU(Central Processing Unit)と、入出力ポートとが含まれる。該コンピュータには、チャンバ10の温度センサ(例えば熱電対)18等からの各種信号、および撮像部30からの信号(出力)などが入力ポートを介して入力される。また、該コンピュータからは、撮像部30やチャンバ10への駆動信号などが出力ポートを介して出力される。
12 窓部
14 流路
20 ホルダ
30 撮像部
32 遮熱板
34 ライト
40 演算部
50 積層体
52 第1部材
54 第2部材
100 評価装置
Claims (10)
- 第1部材の表面に第2部材が積層された積層体について、該第1部材と該第2部材との接合性を評価するための装置であって、
内部を300℃以上の温度域に保持可能に構成されたチャンバと、
前記チャンバ内に配置され、前記積層体を保持するホルダと、
前記ホルダに保持された前記積層体を前記チャンバに設けられた窓部の外部から撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像した前記積層体の画像を解析して、前記第1部材に対する前記第2部材の接触角を計測する演算部と
を備え、
前記撮像部は、前記300℃以上の温度域において加熱処理されている過程の前記積層体を経時的に撮像するように構成されており、
前記演算部は、前記加熱処理されている過程の前記第1部材に対する前記第2部材の接触角の経時変化を連続的に計測するように構成され、かつ、
前記連続的に計測された前記接触角の経時変化データから、ラーソンミラーパラメータを用いて接触角の長時間挙動を推定するように構成されている、評価装置。 - 前記演算部は、前記推定した接触角の長時間挙動に基づいて、前記第1部材と前記第2部材との高温接合性の良否を判定するように構成されている、請求項1に記載の評価装置。
- 前記第1部材は、金属またはセラミックスからなり、
前記第2部材は、ガラスからなる、請求項1または2に記載の評価装置。 - 前記チャンバは、内部を300℃〜1500℃の温度域に保持し得るように構成されている、請求項1〜3の何れか一つに記載の評価装置。
- 前記チャンバは、内部を所定のガス雰囲気に調整し得るように構成されている、請求項1〜4の何れか一つに記載の評価装置。
- 前記チャンバは、内部を減圧し得るように構成されている、請求項1〜5の何れか一つに記載の評価装置。
- 前記チャンバの窓部は、冷却用媒体を流すための流路を有する、請求項1〜6の何れか一つに記載の評価装置。
- 前記チャンバの窓部と前記撮像部との間に遮熱板を備える、請求項1〜7の何れか一つに記載の評価装置。
- 前記チャンバの窓部の外部からチャンバ内を照射するライトを備える、請求項1〜8の何れか一つに記載の評価装置。
- 燃料電池を構成する材料の接合性を評価するために用いられ、
前記燃料電池は、前記積層体を備え、
前記撮像部は、前記チャンバ内で前記燃料電池が発電している過程の前記積層体を経時的に撮像するように構成され、
前記演算部は、前記発電している過程の前記第1部材に対する前記第2部材の接触角の経時変化を連続的に計測するように構成されている、請求項1〜9の何れか一つに記載の評価装置。
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