JP6166100B2 - 低損失伝送線路 - Google Patents
低損失伝送線路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6166100B2 JP6166100B2 JP2013109602A JP2013109602A JP6166100B2 JP 6166100 B2 JP6166100 B2 JP 6166100B2 JP 2013109602 A JP2013109602 A JP 2013109602A JP 2013109602 A JP2013109602 A JP 2013109602A JP 6166100 B2 JP6166100 B2 JP 6166100B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- layer
- transmission line
- insulator
- low
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Waveguides (AREA)
Description
また、従来技術によれば、信号線51を流れる高周波信号が、信号線51と対向配置されている下方グランド配線52A側の表皮部51Aに集中するため、高周波信号の流れる実効断面積は信号線幅×表皮深さ程度となり、さらなる低損失下の妨げとなるという問題点があった。
[第1の実施の形態]
まず、図1を参照して、本発明の第1の実施の形態にかかる低損失伝送線路10について説明する。図1は、第1の実施の形態にかかる低損失伝送線路の断面構造を示す説明図である。
すなわち、本発明にかかる低損失伝送線路10は、図2に示すように、断面円形状の絶縁体13の中心に形成された、断面円形状の導体からなる信号線11と、絶縁体13の外周面に形成された筒状の接地導体12とを備える線路構造に近似することができる。
次に、図3を参照して、本発明の第2の実施の形態にかかる低損失伝送線路10について説明する。図3は、第2の実施の形態にかかる低損失伝送線路の断面構造を示す説明図である。
図3に示す低損失伝送線路10は、全体として、絶縁体を介して複数の配線層が積層された多層配線構造を用いて半導体基板上に形成された分布定数型の低損失伝送線路である。
また、側壁グランド配線12B,12Cは、配線層のうち、絶縁体13を介して続けて積層されており、ビアを介して互いに電気的に接続された複数の中間配線層からなり、信号線11を構成する中間配線層とは絶縁体13を介して絶縁されている。
この際、上方グランド配線12Dを、配線層のうちの最上層と、絶縁体13を介して当該最上層下に続けて積層されてビアを介して当該最上層と電気的に接続されている1つ以上の配線層と、から構成してもよい。
また、信号線11が存在する各配線層において、信号線11と側壁グランド配線12B,12Cとの間隔を、例えば半導体基板製造装置で許容されるような最小間隔まで狭めることにより、さらに大きな容量を得ることができる。
次に、図4および図5を参照して、本発明の第3の実施の形態にかかる低損失伝送線路10について説明する。図4は、第3の実施の形態にかかる低損失伝送線路の断面構造を示す説明図である。図5は、第3の実施の形態にかかる他の低損失伝送線路の断面構造を示す説明図である。
以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明のスコープ内で当業者が理解しうる様々な変更をすることができる。また、各実施形態については、矛盾しない範囲で任意に組み合わせて実施することができる。
Claims (5)
- 絶縁体を介して複数の配線層が積層された多層配線構造を用いて半導体基板上に形成された分布定数型の低損失伝送線路であって、
前記配線層のうち1つ以上の中間配線層により形成された信号線と、
前記絶縁体を介して前記信号線の下側に配置されて、前記配線層のうち前記中間配線層より下方に位置する1つ以上の下方配線層により形成された平板状の接地導体からなる下方グランド配線と、
前記絶縁体を介して前記信号線の上側に配置されて、前記配線層のうち前記中間配線層より上方に位置する1つ以上の上方配線層により形成された平板状の接地導体からなる上方グランド配線と、
前記絶縁体を介して前記信号線の左右に壁状に配置されて、前記配線層のうち前記下方配線層と前記上方配線層との間に位置する1つ以上の中間配線層により形成された壁状の接地導体からなる側壁グランド配線と、
前記信号線を構成する前記中間配線層の一端部と前記側壁グランド配線を構成する前記中間配線層の一端部とが、上面視において前記絶縁体を介して互いに重なるオーバーラップ領域と
を備えることを特徴とする低損失伝送線路。 - 請求項1に記載の低損失伝送線路において、
前記信号線は、前記配線層のうち、前記絶縁体を介して続けて積層されており、ビアを介して互いに電気的に接続された複数の中間配線層からなることを特徴とする低損失伝送線路。 - 請求項2に記載の低損失伝送線路において、
前記側壁グランド配線は、前記配線層のうち、前記絶縁体を介して続けて積層されており、ビアを介して互いに電気的に接続された複数の中間配線層からなり、前記信号線を構成する前記中間配線層とは前記絶縁体を介して絶縁されていることを特徴とする低損失伝送線路。 - 請求項1〜請求項3のいずれか1つに記載の低損失伝送線路において、
前記下方グランド配線は、前記配線層のうちの最下層と、前記絶縁体を介して当該最下層上に続けて積層されてビアを介して当該最下層と電気的に接続されている1つ以上の配線層と、からなることを特徴とする低損失伝送線路。 - 請求項1〜請求項4のいずれか1つに記載の低損失伝送線路において、
前記上方グランド配線は、前記配線層のうちの最上層と、前記絶縁体を介して当該最上層下に続けて積層されてビアを介して当該最上層と電気的に接続されている1つ以上の配線層と、からなることを特徴とする低損失伝送線路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013109602A JP6166100B2 (ja) | 2013-05-24 | 2013-05-24 | 低損失伝送線路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013109602A JP6166100B2 (ja) | 2013-05-24 | 2013-05-24 | 低損失伝送線路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014230184A JP2014230184A (ja) | 2014-12-08 |
JP6166100B2 true JP6166100B2 (ja) | 2017-07-19 |
Family
ID=52129636
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013109602A Active JP6166100B2 (ja) | 2013-05-24 | 2013-05-24 | 低損失伝送線路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6166100B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08316416A (ja) * | 1995-05-12 | 1996-11-29 | Nippon Precision Circuits Kk | 半導体装置 |
FI106585B (fi) * | 1997-10-22 | 2001-02-28 | Nokia Mobile Phones Ltd | Koaksiaalijohto, menetelmä koaksiaalijohdon valmistamiseksi ja langaton viestin |
-
2013
- 2013-05-24 JP JP2013109602A patent/JP6166100B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014230184A (ja) | 2014-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9035718B2 (en) | Directional coupler | |
US9357633B2 (en) | Structure, wiring board, and method of manufacturing wiring board | |
JP6252699B2 (ja) | 伝送線路およびフラットケーブル | |
US7791165B2 (en) | Planar inductor and method of manufacturing it | |
JP6013298B2 (ja) | 高周波伝送線路 | |
JP6501424B2 (ja) | ノイズ除去フィルタ | |
CN104010433B (zh) | 电子电路及电子设备 | |
JP6204747B2 (ja) | 電磁バンドギャップ素子及び電子回路 | |
US20160197391A1 (en) | Waveguide structure and manufacturing method thereof | |
JP6013297B2 (ja) | 高周波伝送線路 | |
JP2021114531A (ja) | 半導体装置 | |
JP6172078B2 (ja) | 方向性結合器 | |
JP6166100B2 (ja) | 低損失伝送線路 | |
JP6013296B2 (ja) | 高周波伝送線路 | |
CN101556860B (zh) | 含有电感与电容并联的电路元件 | |
KR20150025706A (ko) | 고품질계수와 단파장을 가지는 저속파 마이크로스트립 라인 구조체 및 그 제조방법 | |
JP5964785B2 (ja) | 高周波伝送線路 | |
JP2014154593A (ja) | 高周波パッケージ | |
JP2017050429A (ja) | 信号配線基板 | |
US9084351B2 (en) | Structure and circuit board having repeatedly arranged connection members | |
JP5260083B2 (ja) | 半導体集積回路 | |
US20200352024A1 (en) | Structure and wiring substrate | |
US9847564B2 (en) | Slow-wave transmission line formed in a multi-layer substrate | |
CN106856121B (zh) | 电感结构及其形成方法 | |
JP2012209940A (ja) | 高周波伝送線路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160113 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20160113 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20160113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170424 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170620 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170622 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6166100 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |