以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は、本発明の第1の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図である。また、図2は、第1の実施の形態のカバーフィルム付シート及び目詰め液充填シートを概略的に示す図である。詳しくは、図2(a)が、微細孔を有するシート状の基材にカバーフィルムが密着されたカバーフィルム付シートを概略的に示す平面図であり、図2(b)が、図2(a)に示す基材の2b−2b線断面図であり、図2(c)が、図2(b)に示す基材に目詰め液が充填された目詰め液充填シートを概略的に示す断面図である。
本実施の形態の目詰め液充填装置100は、微細孔12を有する基材10の当該微細孔12に目詰め液15を充填するための装置である。本実施の形態では、微細孔12への目詰め液15の充填は、まず、図2(a)及び図2(b)に示すように、基材10の微細孔12内が減圧された状態で当該微細孔12を密閉するようにカバーフィルム81が基材10に密着されているカバーフィルム付シート800が用意され、カバーフィルム付シート800の基材10からカバーフィルム81を剥離しながら行われる。
基材10は、本実施の形態では、幅Wが100〜500mm程度、厚みTが20〜30μm程度のシート状の金属基材である。基材10は、有機EL用の蒸着マスクなどに用いられるメタルマスクを作製するために、一方の面の側からのみ所望のパターンで基材10の厚みTの半分程度の深さDまでエッチングされており、当該一方の面の側に微細孔12が形成されている。本実施の形態では、微細孔12の開口の幅eは、50μm以下であり、例えば20μm程度であるが、これに限られない。ここで、本実施の形態では、微細孔12の開口の幅eとは、微細孔12の開口の内接円12'の直径を意味するものとする。
なお、基材10は、メタルマスク作成用の基材に限られず、例えば、テレビやパソコンの画面に用いられる反射防止フィルムや、横のぞき防止のためのルーバー、コントラストを向上させるフィルム作成用のPET基材やTAC基材であってもよい。さらには、木目模様などの細かい模様を有する壁紙作成用の基材であって、所望の模様に対応する微細孔が設けられた樹脂層と当該樹脂層を支持する紙基材とからなる基材であってもよい。
カバーフィルム81は、本実施の形態では、幅が基材10の幅Wと略同じであり厚みtが50μm程度のシート状のPETフィルムである。
本実施の形態では、カバーフィルム付シート800の基材10の微細孔12内は、1.5Torr以下、好ましくは1Torr以下、さらに好ましくは0.8Torr以下に減圧されている。もっとも、微細孔12内の圧力は、当該微細孔12の開口の幅eや、後述する目詰め液充填工程において当該微細孔12に供給される際の目詰め液15の粘度によっては、1.5Torr以上であってもよい。
図1に戻って、目詰め液充填装置100は、本実施の形態では、図2(a)及び図2(b)に示すカバーフィルム付シート800がロール状にされたカバーフィルム付シートロール800'がセットされるカバーフィルム付シート給送軸802を有している。カバーフィルム付シート給送軸802は、カバーフィルム付シートロール800'からカバーフィルム付シート800が供給されるようにカバーフィルム付シートロール800'を回転させるようになっている。
また、目詰め液充填装置100は、本実施の形態では、カバーフィルム付シートロール800'から供給されたカバーフィルム付シート800の基材10を巻き取るようになっている基材巻取軸42を有している。基材巻取軸42には、基材巻取軸42を回転駆動する駆動部43が設けられている。さらに、目詰め液充填装置100は、基材巻取軸42の近傍に、カバーフィルム付シートロール800'から供給されたカバーフィルム付シート800のカバーフィルム81を巻き取るようになっているフィルム巻取軸88を有している。フィルム巻取軸88は、本実施の形態では、基材給送軸22に対して平行に設けられており、フィルム巻取軸88には、フィルム巻取軸88を回転駆動する駆動部89が設けられている。そして、基材巻取軸42及びフィルム巻取軸88が回転されることにより、カバーフィルム付シート給送軸802にセットされたカバーフィルム付シートロール800'からカバーフィルム付シート800が巻き出され、基材巻取軸42及びフィルム巻取軸88に向けて搬送されるようになっている。
カバーフィルム付シート給送軸802に対して、基材巻取軸42及びフィルム巻取軸88によるカバーフィルム付シート800の搬送方向の下流側には、カバーフィルム付シート800を両側から挟持するための一対のニップローラ900が設けられている。ニップローラ900の軸902には、ニップローラ900を回転駆動するための駆動部903が設けられている。目詰め液15として熱溶融性の材料が用いられる場合には、ニップローラ900付近において目詰め液15の溶融状態を維持することができるように、ニップローラ900を加熱してニップローラ900付近の目詰め液15の溶融状態を維持するための熱源(不図示)が設けられていてもよい。
ニップローラ900と基材巻取軸42ないしフィルム巻取軸88との間の領域であって、ニップローラ900と基材巻取軸42との間に形成される基材搬送路40の一方の側には、ニップローラ900を通過したカバーフィルム付シート800のフィルムシート81を案内するための目詰め液溜まり部用ローラ91が、基材搬送路40から離間されて設けられている。このようにして、ニップローラ900と目詰め液溜まり部用ローラ91との間において、カバーフィルム搬送路87は、基材搬送路40から離間されて形成されており、基材搬送路40上を搬送される基材10とカバーフィルム搬送路87上を搬送されるカバーフィルム81との間に目詰め液溜まり部60が形成されるようになっている。
ニップローラ900と基材巻取軸42ないしフィルム巻取軸88との間の領域には、目詰め液供給装置50が設けられている。目詰め液供給装置50は、目詰め液15を貯留するための容器51と、容器51から目詰め液15を汲み出すポンプ52と、ポンプ52によって汲み出された目詰め液15を目詰め液溜まり部60へ案内する管53と、を有している。目詰め液15として熱溶融性の材料が用いられる場合には、当該熱溶融性の材料を容器51内で加熱して溶融させて所望の粘度の目詰め液15とすることができるよう、容器51には、当該容器51を加熱するための熱源(不図示)が設けられていてもよい。
なお、目詰め液15としては、エッチング防止剤に限られない。例えば、基材10がテレビやパソコンの画面に用いられる反射防止フィルムや、横のぞき防止のためのルーバー、コントラストを向上させるフィルム作成用のPET基材やTAC基材などである場合には、所望の機能層を形成するためのコーティング剤であってもよい。また、基材10が木目模様などの細かい模様を有する壁紙作成用の基材である場合には、目詰め液15は、着色剤であってもよい。
目詰め液溜まり部用ローラ91と基材巻取軸42との間には、目詰め液溜まり部60を通過された基材10とカバーフィルム81とを互いに対して押圧するための一対の押圧ローラ93が設けられている。
一対の押圧ローラ93と基材巻取軸42との間には、一対の送りローラ86'が、外周面が隣接するように配置されており、押圧ローラ93と当該送りローラ86'との間において、基材10とカバーフィルム81とが互いに密着した状態で搬送されるようになっている。
押圧ローラ93と送りローラ86'との間の領域には、紫外線照射装置95が設けられており、当該領域における基材搬送路40に対して紫外線を照射して、当該領域を通過する基材10の微細孔12内に目詰め液15として充填された紫外線硬化型樹脂を硬化させることができるようになっている。なお、目詰め液15として、熱硬化性の材料が用いられる場合には、当該領域には加熱装置が設けられてもよい。
さらに、目詰め液溜まり部60と一対の押圧ローラ93との間には、目詰め液溜まり部60において基材10上に配置された余剰の目詰め液15を掻き取るための基材用スキージ71が設けられている。本実施の形態においては、基材スキージ71は、その基材搬送路40側の端部と、基材搬送路40上を搬送される基材10の表面と、間の距離が、20μm以上となるように位置決めされている。
また、目詰め液溜まり部60と目詰め液溜まり部用ローラ91との間には、目詰め液溜まり部60においてカバーフィルム81上に配置された目詰め液15を掻き取るためのフィルム用スキージ72が設けられている。フィルム用スキージ72は、フィルム用スキージ72の先端部がフィルム搬送路87上を搬送されるカバーフィルム81の表面に当接するように位置決めされており、目詰め液溜まり部60'においてフィルム81上に配置される目詰め液15を十分に掻き取ることができるようになっている。
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
まず、基材10にカバーフィルム81が密着されたカバーフィルム付シート800をロール状にしたカバーフィルム付シートロール800'が、カバーフィルム付シート給送軸802にセットされる。基材10は、厚みTが20μm程度であり、一方の面の側からのみ所望のパターンで基材10の厚みTの半分程度の深さDまでエッチングされて、当該一方の面の側に微細孔12が形成されている。微細孔12の開口部の幅eは、20〜30μm程度である。基材10の微細孔12内は、1Torr減圧されている。カバーフィルム81は、当該微細孔12を密閉するように基材10に密着されている。
次に、カバーフィルム付シート800が、カバーフィルム付シートロール800'から巻き出され、一対のニップローラ900の間を通過される。一対のニップローラ900を通過したカバーフィルム付シート800は、その巻き出し開始側の端部から、カバーフィルム81が剥離される。
カバーフィルム81が剥離された基材10は、基材用スキージ71と送りローラ46との間を通過された後、一対の押圧ローラ93の間及び一対の送りローラ86'の間を通過され、当該基材10の巻き出し開始側の端部が基材巻取軸42に固定される。
また、基材10から剥離されたカバーフィルム81は、フィルム用スキージ72と送りローラ86との間を通過された後、目詰め液溜まり部用ローラ91に対して基材搬送路40とは反対の側へ案内される。その後、カバーフィルム81は、一対の押圧ローラ93の間及び一対の送りローラ86'の間を通過され、当該カバーフィルム81の巻き出し開始側の端部が、フィルム巻取軸88に固定される。
そして、基材10とカバーフィルム81との間に目詰め液供給装置50から供給される目詰め液15を貯留することができるよう、一対のニップローラ900に対して目詰め液溜まり部用ローラ91側であって一対のニップローラ900の周囲には、不図示の板状部材が、基材10とカバーフィルム81と板状部材とで囲まれた空間が形成されるよう、基材10とカバーフィルム81の縁部に接触して配置される。このようにして、一対のニップローラ900と目詰め液溜まり部用ローラ91との間の領域において、基材10とカバーフィルム81との間に、目詰め液溜まり部60が形成される。これにより、目詰め液15が貯留される目詰め液溜まり部60に、基材10の微細孔12側を通過させ得る。
その後、目詰め液供給装置50の容器51内に、エッチング防止剤として、粘度が1000〜10000cP程度の紫外線硬化型樹脂が供給される。容器51に供給された紫外線硬化型樹脂は、ポンプ52によって容器51から汲み出され、管53によって案内され、目詰め液15として目詰め液溜まり部60に貯留される。これにより、目詰め液溜まり部60に貯留された目詰め液15は、目詰め液溜まり部60内において、基材10の微細孔12側の面及びフィルム81の一側面と接することとなる。
次に、基材巻取軸42が、駆動部43によって回転され、基材10の基材巻取軸42への巻き取りが開始される。同時に、フィルム巻取軸88が、駆動部89によって回転され、カバーフィルム81のフィルム巻取軸88への巻き取りが開始される。基材巻取軸42とフィルム巻取軸88とは、基材10の基材巻取軸42への巻取速度と、カバーフィルム81のフィルム巻取軸88への巻取速度と、が一致するように回転される。
基材10及びカバーフィルム81が各々基材巻取軸42に及びフィルム巻取軸88に巻き取られるのに伴って、カバーフィルム付シート給送軸802にセットされたカバーフィルム付シートロール800'から、カバーフィルム付シート800が巻き出される。
カバーフィルム付シートロール800'から巻き出されたカバーフィルム付シート800は、基材巻取軸42及びフィルム巻取軸88の回転によって、一対のニップローラ900へ搬送される。カバーフィルム付シート800が一対のニップローラ900の間を通過された後、カバーフィルム81が目詰め液溜まり部用ローラ91に案内されることによって、カバーフィルム81が基材10から剥離され、基材10の微細孔12側が目詰め液溜まり部60を通過される。このようにして、大気圧下においてカバーフィルム付シート800のカバーフィルム81が基材10から剥離されるのと同時に、基材10の微細孔12側が目詰め液15が貯留された目詰め液溜まり部60を通過され、当該微細孔12に目詰め液15が継続的に供給される。そして、大気圧力の作用によって、目詰め液15が、当該基材10の微細孔12内に充填される。
目詰め液溜まり部60を通過された基材10は、基材巻取軸42の回転によってさらに搬送され、送りローラ46と基材用スキージ71との間を通過される。この時、基材用スキージ71によって、目詰め液溜まり部60において基材10上に配置された余剰の目詰め液15(エッチング防止剤)が掻き取られ、図2(c)に示すように、基材10上に20μm程度の厚さhの目詰め液15(エッチング防止剤)の層が形成される。
一方、目詰め液溜まり部60を通過されたフィルム81は、フィルム巻取軸88の回転によってさらに搬送され、フィルム用スキージ72と送りローラ86との間を通過される。この時、フィルム用スキージ72によって、目詰め液溜まり部60においてフィルム81上に配置された目詰め液15が掻き取られる。そして、カバーフィルム81は、目詰め液溜まり部用ローラ91へ案内される。
その後、基材10及びカバーフィルム81は、基材巻取軸42及びフィルム巻取軸88の回転によってさらに搬送され、一対の押圧ローラ93の間を通過される。基材10とカバーフィルム81とは、一対の押圧ローラ93によって互いに対して押圧される。これによって、基材10上に形成された目詰め液15の層の表面が滑らかにされる。
基材10とカバーフィルム81とは、互いに対して接触されたまま、一対の送りローラ86'へ向けて搬送され、押圧ローラ93と送りローラ86'との間の領域において紫外線照射装置95によって紫外線が照射される。このようにして、基材10上に形成された目詰め液15の層は、その表面が滑らかにされた状態で硬化される。
そして、目詰め液15が硬化された基材10及びカバーフィルム81は、基材巻取軸42及びフィルム巻取軸88の回転によって、互いから剥離され、それぞれ、基材巻取軸42及びフィルム巻取軸88上に巻き取られる。
以上のように、本実施の形態によれば、目詰め液15は、微細孔12を有する基材10が減圧環境下に置かれて当該微細孔12から空気が除去された後、当該微細孔12に供給される。この結果、目詰め液15が充填される際に微細孔12内に気泡が形成されてしまう、ということが抑制される。
また、目詰め液充填工程において、目詰め液15が貯留された目詰め液溜まり部60に基材10の微細孔12側を通過させることによって当該基材10の当該微細孔12に目詰め液15が継続的に供給される。この場合、大気圧下に戻された微細孔12内に空気が侵入してしまう前に当該微細孔12内に目詰め液15を充填する、ということが可能である。これにより、目詰め液15が充填される際に微細孔12内に気泡が形成されてしまう、ということがより顕著に抑制される。
特に本実施の形態では、目詰め液溜まり部60は、基材10とカバーフィルム81との間に形成される。この場合、基材10からカバーフィルム81を剥離するのと同時に、当該基材10の微細孔12に目詰め液15を継続的に供給する、ということが容易である。
また、本実施の形態においては、微細孔12の開口部の幅eが20〜30μm程度であるのに対し、基材10の微細孔12に供給される際の目詰め液15の粘度は、1000〜10000cP程度である。したがって、微細孔の開口の幅に対して目詰め液の粘度が高すぎて微細孔が目詰め液によって所望のように充填されない、ということが抑制される。
次に、図3を参照して、本実施の形態におけるカバーフィルム付シートの製造方法について説明する。
図3は、図2に示すカバーフィルム付シートを製造するためのカバーフィルム付シート製造装置の構成の一例を概略的に示す図である。本実施の形態におけるカバーフィルム付シート製造装置200は、図2に示すカバーフィルム付シート800の基材10がロール状にされた基材ロール10'がセットされ、基材ロール10'からシート状の基材10が供給されるように基材ロール10'を回転させるようになっている基材給送軸22が設けられている。
また、本実施の形態におけるカバーフィルム付シート製造装置200は、図2に示すカバーフィルム付シート800のカバーフィルム81がロール状にされたカバーフィルムロール81'がセットされ、当該カバーフィルムロール81'からカバーフィルム81が供給されるように当該フィルムロール81'を回転させるようになっているフィルム給送軸82を有している。フィルム給送軸82は、本実施の形態では、基材給送軸22の近傍に基材給送軸22に対して平行に設けられている。
さらに、本実施の形態におけるカバーフィルム付シート製造装置200は、内部を減圧状態に維持可能な減圧チャンバ30であって、筐体33と、基材給送軸22及びフィルム給送軸82の側に基材搬入口31を有し、当該減圧チャンバ30の基材搬入口31の側とは反対の側に基材搬出口32を有する、という減圧チャンバ30を有している。
減圧チャンバ30は、本実施の形態では、内部を1.5Torr以下、好ましくは1Torr以下、さらに好ましくは0.8Torr以下の減圧状態に維持可能な減圧チャンバである。
基材搬入口31は、本実施の形態では、外周面が隣り合うように軸312が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬入口ローラ311によって、当該一対の基材搬入口ローラ311の外周面の間に規定されている。本実施の形態では、基材搬入口ローラ311は、金属製であり、各基材搬入口ローラ311の軸312には、基材搬入口ローラ311を回転駆動するための駆動部313が設けられている。
基材搬出口32は、本実施の形態では、軸322が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬出口ローラ321によって当該一対の基材搬出口ローラ321の外周面の間に規定されている。一対の基材搬出口ローラ321は、外周面が互いに対して押圧するように設けられており、基材搬出口32を通過される基材10とカバーフィルム81とを互いに密着させることができるようになっている。本実施の形態では、基材搬出口ローラ321は、金属製であり、各基材搬出口ローラ321の軸322には、基材搬出口ローラ321を回転駆動するための駆動部323が設けられている。また、基材搬出口ローラ321には、基材搬出口ローラ321の外周面を加熱するための熱源が設けられている。
筐体33の基材搬入口ローラ311の外周面に対向する縁部、及び、筐体33の基材搬出口ローラ321の外周面に対向する縁部には、樹脂性のシール部材34が設けられている。本実施の形態では、シール部材34と基材搬入口ローラ311の外周面との間の距離、及びシール部材34と基材搬出口ローラ321の外周面との間の距離は、10μm程度である。
本実施の形態では、減圧チャンバ30内であって基材搬入口31と基材搬出口32との間には、基材搬入口31と基材搬出口32とを結ぶ線45aに対して一方の基材搬入口ローラ311ないし一方の基材搬出口ローラ321の側に、フィルム離間用ローラ85が、当該線45aから離間して設けられている。
減圧チャンバ30の外部であって、減圧チャンバ30に対して当該減圧チャンバ30の基材搬出口ローラ321の側には、減圧チャンバ30を通過して互いに密着された基材10とカバーフィルム81とを巻き取るためのカバーフィルム付シート巻取軸1002が設けられている。カバーフィルム付シート巻取軸1002には、カバーフィルム付シート巻取軸1002を回転駆動するための駆動部1003が設けられている。
次に、以上のような構成からなる図3に示すカバーフィルム付シート製造装置200の作用について説明する。
まず、一方の面の側に微細孔12を有するシート状の基材10が用意される。基材10は、ロール状にされて基材ロール10'にされ、当該基材ロール10'が、基材給送軸22にセットされる。次に、基材ロール10'から基材10が巻き出され、減圧チャンバ30の基材搬入口31を通じて減圧チャンバ30の外部から内部へ通された後、基材搬出口32を通じて減圧チャンバ30の内部から外部へ通される。ここで、基材10は、その微細孔12側の面が、減圧チャンバ30内において後述するカバーフィルム81'と対向し得るように配置される。
一方、カバーフィルム給送軸82には、カバーフィルム81がロール状にされたカバーフィルムロール81'がセットされる。そして、カバーフィルムロール81'からカバーフィルム81が巻き出され、減圧チャンバ30の基材搬入口31を通じて減圧チャンバ30の外部から内部へ通される。基材搬入口31を通過されたカバーフィルム81は、フィルム離間用ローラ85に対して基材10の側とは反対の側へ案内された後、基材搬出口32を通じて減圧チャンバ30の内部から外部へ通される。
基材搬出口32を通された基材10とカバーフィルム81とは、互いに重ね合わされ、基材10及びカバーフィルム81の巻き出し開始側の端部が、カバーフィルム付シート巻取軸1002に固定される。
次に、減圧チャンバ30が真空引きされ、減圧チャンバ30の内部が、1Torr以下の減圧状態に維持される。もっとも、基材10の微細孔12の開口の幅e及び当該微細孔12内に充填される目詰め液15の粘度によっては、微細孔12内の圧力は1Torrより高くてもよいため、減圧チャンバ30の内部の圧力も、1Torrより高い減圧状態に維持されてもよい。
この状態で、カバーフィルム付シート巻取軸1002が、駆動部1003によって回転される。また、減圧チャンバ30の一対の基材搬入口ロール311及び一対の基材搬出口ロール321が、外周面の互いに対向する側の速度がカバーフィルム付シート巻取軸1002による基材10及びカバーフィルム81の巻取速度に一致するように、それぞれ、駆動部312及び322によって回転される。
カバーフィルム付シート巻取軸1002の回転に伴って、基材ロール10'から基材10が給送され、同時に、カバーフィルムロール81'からカバーフィルム81が給送される。
基材ロール10'から給送された基材10と、カバーフィルムロール81'から給送されたカバーフィルム81とは、カバーフィルム付シート巻取軸1002の回転に伴って、減圧チャンバ30の基材搬入口31を通じて減圧チャンバ30の内部へ搬送される。
減圧チャンバ30の基材搬入口ローラ311によって互いに対して接触されて減圧チャンバ30内に搬送された基材10及びカバーフィルム81は、減圧チャンバ30内の減圧環境下に置かれると共に、カバーフィルム81がフィルム離間用ローラ85に案内されることよって互いから離間される。そして、減圧チャンバ30内で、基材10の微細孔12内の空気が除去される。
微細孔12内の空気が除去された基材10及びカバーフィルム81は、カバーフィルム付シート巻取軸1002の回転によってさらに搬送され、減圧チャンバ30の基材搬出口ローラ321によって互いに押圧されて密着され、カバーフィルム付シート800が製造される。そして、カバーフィルム付シート800は、カバーフィルム付シート巻取軸1002の回転によって、減圧チャンバ30の外部へ搬送され、カバーフィルム付シート巻取軸1002へ巻き取られる。
以上のように、図3に示すカバーフィルム付シート製造装置を用いて製造されたカバーフィルム付シート800によれば、カバーフィルム付シート800のカバーフィルム81を基材10から剥離するのと同時に、当該基材10の微細孔12に目詰め液15を継続的に供給することで、当該微細孔内に気泡が形成されることなく目詰め液を充填し得る。
次に、図4を参照して、本実施の形態におけるカバーフィルム付シートの他の製造方法について説明する。
図4は、図2に示すカバーフィルム付シートを製造するためのカバーフィルム付シート製造装置の構成の他の例を概略的に示す図である。図4に示すカバーフィルム付シート製造装置200'は、図3に示すカバーフィルム付シート製造装置200に対して、基材給送軸22及びカバーフィルム給送軸82が、減圧チャンバ30'の内部に配置されており、減圧チャンバ30'には、基材搬入口31が設けられていない点が異なるのみであり、その他の構成は、図3に示すカバーフィルム付シート製造装置の構成と略同一である。図4に示すカバーフィルム付シート製造装置200'において図3に示すカバーフィルム付シート製造装置200と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
次に、以上のような構成からなる図4に示すカバーフィルム付シート製造装置200'の作用について説明する。
まず、一方の面の側に微細孔12を有するシート状の基材10が用意される。基材10は、ロール状にされて基材ロール10'にされ、減圧チャンバ30'内に配置された基材給送軸22にセットされる。次に、基材ロール10'から基材10が巻き出され、基材搬出口32を通じて減圧チャンバ30の内部から外部へ通される。ここで、基材10は、その微細孔12側の面が、減圧チャンバ30の基材搬出口32において後述するカバーフィルム81'と対向し得るように配置される。
一方、減圧チャンバ30'内に配置されたカバーフィルム給送軸82には、カバーフィルム81がロール状にされたカバーフィルムロール81'がセットされる。そして、カバーフィルムロール81'からカバーフィルム81が巻き出され、基材搬出口32を通じて減圧チャンバ30の内部から外部へ通される。
基材搬出口32を通された基材10とカバーフィルム81とは、互いに重ね合わされ、基材10及びカバーフィルム81の巻き出し開始側の端部が、カバーフィルム付シート巻取軸1002に固定される。
次に、減圧チャンバ30が真空引きされ、減圧チャンバ30の内部が、1Torr以下の減圧状態に維持される。もっとも、基材10の微細孔12の開口の幅e及び当該微細孔12内に充填される目詰め液15の粘度によっては、微細孔12内の圧力は1Torrより高くてもよいため、減圧チャンバ30の内部の圧力も、1Torrより高い減圧状態に維持されてもよい。
この状態で、カバーフィルム付シート巻取軸1002が、駆動部1003によって回転される。また、減圧チャンバ30の一対の基材搬入口ロール311及び一対の基材搬出口ロール321が、外周面の互いに対向する側の速度がカバーフィルム付シート巻取軸1002による基材10及びカバーフィルム81の巻取速度に一致するように、駆動部1003によって回転される。
カバーフィルム付シート巻取軸1002の回転に伴って、基材ロール10'から基材10が給送され、同時に、カバーフィルムロール81'からカバーフィルム81が給送される。
基材ロール10'から給送された基材10とカバーフィルムロール81'から給送されたカバーフィルム81とは、カバーフィルム付シート巻取軸1002の回転によって、減圧チャンバ30'の基材搬出口32へ搬送される。基材10が基材ロール10'から巻き出されて基材搬出口32へ搬送されるまでの間に、基材10の微細孔12は、減圧チャンバ30'内の減圧環境に曝され、当該微細孔12内の空気が除去される。
微細孔12内の空気が除去された基材10及びカバーフィルム81は、カバーフィルム付シート巻取軸1002の回転によってさらに搬送され、減圧チャンバ30の基材搬出口ローラ321によって互いに押圧されて密着され、カバーフィルム付シート800が製造される。そして、カバーフィルム付シート800は、カバーフィルム付シート巻取軸1002の回転によって、減圧チャンバ30の外部へ搬送され、カバーフィルム付シート巻取軸1002へ巻き取られる。
以上のように、図4に示すカバーフィルム付シート製造装置を用いて製造されたカバーフィルム付シート800によっても、カバーフィルム付シート800のカバーフィルム81を基材10から剥離するのと同時に、当該基材10の微細孔12に目詰め液15を継続的に供給することで、当該微細孔内に気泡が形成されることなく目詰め液を充填し得る。