JP2015030243A

JP2015030243A - 目詰め液充填シート製造方法及びカバーフィルム付シート

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Publication number: JP2015030243A
Application number: JP2013163306A
Authority: JP
Inventors: 木孝青; Takashi Aoki; 田淳一山; Junichi Yamada
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2013-08-06
Filing date: 2013-08-06
Publication date: 2015-02-16
Anticipated expiration: 2033-08-06
Also published as: JP6155945B2

Abstract

【課題】微細孔内に気泡が形成されることなく目詰め液を充填し得る目詰め液充填シート製造方法、及び、カバーフィルム付シートを提供すること。
【解決手段】微細孔を有する基材の当該微細孔に目詰め液が充填された目詰め液充填シートを製造する方法であって、前記基材の前記微細孔内が減圧された状態で当該微細孔を密閉するようにカバーフィルムが前記基材に密着されているカバーフィルム付シートを用意する工程と、大気圧下において前記カバーフィルム付シートの前記カバーフィルムを前記基材から剥離するのと同時に、当該基材の前記微細孔に目詰め液を継続的に供給することで、当該微細孔内に目詰め液を充填する目詰め液充填工程と、を備えたことを特徴とする方法。
【選択図】図１

Description

本発明は、目詰め液充填シートを製造する方法及びカバーフィルム付シートに関する。

例えば有機ＥＬ（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）用の蒸着マスクなどに用いられるメタルマスクは、厚さ数十μｍ〜数百μｍの金属基材に、所望のパターンにエッチング（穴あけ）加工して、開口幅が数十μｍという微細な貫通穴を形成することにより作製される。この場合、当該微細な貫通穴は、その一方の面の側から所望のパターンで所定の深さまでエッチングして微細な凹み（微細孔）を形成し、当該微細孔にエッチング防止剤を充填した後、他方の面の側から当該微細孔のパターンに対応するパターンでエッチングを行うことにより形成される。

また、テレビやパソコンの画面に用いられる反射防止フィルムや、横のぞき防止のためのルーバー、コントラストを向上させるフィルムなどは、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）やＴＡＣ（トリアセチルセルロース）等で作られた微細な凹凸を有する基材の表面に、コーティング剤を塗布して所望の機能層を形成することにより作成される。

さらに、木目模様などの細かい模様を有する壁紙は、例えば紙基材上に形成された樹脂層に所望の模様に対応する微細な凹み（微細孔）を形成した後、当該微細孔に着色剤を充填することにより作成される。

そして、このような微細な凹み（微細孔）にエッチング防止剤やコーティング剤、着色剤などの液剤（目詰め液）を充填する方法としては、ダイヘッドから液剤（目詰め液）を放出させて液圧によって液剤（目詰め液）を微細孔に押し込む方法や、基材上に液剤（目詰め液）を配置した後、ドクタを基材に押し付けて液剤（目詰め液）に高せん断力を与えながら微細孔に押し込む方法がある。

ところで、前述したように、ダイヘッドやドクタを用いて微細孔に液剤（目詰め液）を押し込む場合、液剤（目詰め液）の粘度や微細孔の開口幅の大きさによっては、微細孔内に気泡が形成されてしまって、微細孔が所望のように目詰めされないことがあった。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、微細孔内に気泡が形成されることなく目詰め液を充填し得る目詰め液充填シート製造方法、及び、カバーフィルム付シートを提供することを目的とする。

本発明は、微細孔を有する基材の当該微細孔に目詰め液が充填された目詰め液充填シートを製造する方法であって、前記基材の前記微細孔内が減圧された状態で当該微細孔を密閉するようにカバーフィルムが前記基材に密着されているカバーフィルム付シートを用意する工程と、大気圧下において前記カバーフィルム付シートの前記カバーフィルムを前記基材から剥離するのと同時に、当該基材の前記微細孔に目詰め液を継続的に供給することで、当該微細孔内に目詰め液を充填する目詰め液充填工程と、を備えたことを特徴とする目詰め液充填シート製造方法である。

本発明によれば、目詰め液は、微細孔を有する基材が減圧環境下に置かれて当該微細孔から空気が除去された後、当該微細孔に供給される。この結果、目詰め液が充填される際に微細孔内に気泡が形成されてしまう、ということが抑制される。

具体的には、前記カバーフィルム付シートにおいて、前記基材の前記微細孔内は、１Ｔｏｒｒ以下に減圧されており、前記目詰め液充填工程において、目詰め液は、前記基材の前記微細孔内に大気圧力の作用により充填される。

好ましくは、前記目詰め液充填工程において、目詰め液が貯留された目詰め液溜まり部に前記基材の前記微細孔側を通過させることによって当該基材の当該微細孔に目詰め液が継続的に供給される。この場合、大気圧下に戻された微細孔内に空気が侵入してしまう前に当該微細孔内に目詰め液を充填する、ということが可能である。これにより、目詰め液が充填される際に微細孔内に気泡が形成されてしまう、ということがより顕著に抑制される。

好ましくは、前記目詰め液溜まり部は、前記基材と前記カバーフィルムとの間に形成される。この場合、基材からカバーフィルムを剥離するのと同時に、当該基材の前記微細孔に目詰め液を継続的に供給する、ということが容易である。

好ましくは、前記微細孔の開口の幅は、５０μｍ以下であり、前記基材の前記微細孔に供給される際の目詰め液の粘度は、１００００ｃＰ以下である。本件発明者が得た知見によれば、この場合、微細孔の開口の幅に対して目詰め液の粘度が高すぎて微細孔が目詰め液によって所望のように充填されない、ということが抑制される。さらには、前記微細孔の開口の幅は、２０μｍ以下であってもよい。

あるいは、本発明は、微細孔を有する基材と、前記基材の前記微細孔を密閉するように前記基材に密着されたカバーフィルムと、を備え、前記微細孔内が、減圧されていることを特徴とするカバーフィルム付シートである。

本発明によれば、カバーフィルム付シートのカバーフィルムを基材から剥離するのと同時に、当該基材の微細孔に目詰め液を継続的に供給することで、当該微細孔内に気泡が形成されることなく目詰め液を充填し得る。

具体的には、前記基材は、有機ＥＬ用の蒸着マスクのパターンがハーフエッチングされて形成された微細孔を有しており、前記微細孔内は、１Ｔｏｒｒ以下に減圧されている。

本発明の第１の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図。第１の実施の形態のカバーフィルム付シート及び目詰め液充填シートを概略的に示す図。詳しくは、図２（ａ）が、微細孔を有するシート状の基材にカバーフィルムが密着されたカバーフィルム付シートを概略的に示す平面図であり、図２（ｂ）が、図２（ａ）に示す基材の２ｂ−２ｂ線断面図であり、図２（ｃ）が、図２（ｂ）に示す基材に目詰め液が充填された目詰め液充填シートを概略的に示す断面図である。図２に示すカバーフィルム付シートを製造するためのカバーフィルム付シート製造装置の構成の一例を概略的に示す図。図２に示すカバーフィルム付シートを製造するためのカバーフィルム付シート製造装置の構成の他の例を概略的に示す図。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図である。また、図２は、第１の実施の形態のカバーフィルム付シート及び目詰め液充填シートを概略的に示す図である。詳しくは、図２（ａ）が、微細孔を有するシート状の基材にカバーフィルムが密着されたカバーフィルム付シートを概略的に示す平面図であり、図２（ｂ）が、図２（ａ）に示す基材の２ｂ−２ｂ線断面図であり、図２（ｃ）が、図２（ｂ）に示す基材に目詰め液が充填された目詰め液充填シートを概略的に示す断面図である。

本実施の形態の目詰め液充填装置１００は、微細孔１２を有する基材１０の当該微細孔１２に目詰め液１５を充填するための装置である。本実施の形態では、微細孔１２への目詰め液１５の充填は、まず、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、基材１０の微細孔１２内が減圧された状態で当該微細孔１２を密閉するようにカバーフィルム８１が基材１０に密着されているカバーフィルム付シート８００が用意され、カバーフィルム付シート８００の基材１０からカバーフィルム８１を剥離しながら行われる。

基材１０は、本実施の形態では、幅Ｗが１００〜５００ｍｍ程度、厚みＴが２０〜３０μｍ程度のシート状の金属基材である。基材１０は、有機ＥＬ用の蒸着マスクなどに用いられるメタルマスクを作製するために、一方の面の側からのみ所望のパターンで基材１０の厚みＴの半分程度の深さＤまでエッチングされており、当該一方の面の側に微細孔１２が形成されている。本実施の形態では、微細孔１２の開口の幅ｅは、５０μｍ以下であり、例えば２０μｍ程度であるが、これに限られない。ここで、本実施の形態では、微細孔１２の開口の幅ｅとは、微細孔１２の開口の内接円１２'の直径を意味するものとする。

なお、基材１０は、メタルマスク作成用の基材に限られず、例えば、テレビやパソコンの画面に用いられる反射防止フィルムや、横のぞき防止のためのルーバー、コントラストを向上させるフィルム作成用のＰＥＴ基材やＴＡＣ基材であってもよい。さらには、木目模様などの細かい模様を有する壁紙作成用の基材であって、所望の模様に対応する微細孔が設けられた樹脂層と当該樹脂層を支持する紙基材とからなる基材であってもよい。

カバーフィルム８１は、本実施の形態では、幅が基材１０の幅Ｗと略同じであり厚みｔが５０μｍ程度のシート状のＰＥＴフィルムである。

本実施の形態では、カバーフィルム付シート８００の基材１０の微細孔１２内は、１．５Ｔｏｒｒ以下、好ましくは１Ｔｏｒｒ以下、さらに好ましくは０．８Ｔｏｒｒ以下に減圧されている。もっとも、微細孔１２内の圧力は、当該微細孔１２の開口の幅ｅや、後述する目詰め液充填工程において当該微細孔１２に供給される際の目詰め液１５の粘度によっては、１．５Ｔｏｒｒ以上であってもよい。

図１に戻って、目詰め液充填装置１００は、本実施の形態では、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すカバーフィルム付シート８００がロール状にされたカバーフィルム付シートロール８００'がセットされるカバーフィルム付シート給送軸８０２を有している。カバーフィルム付シート給送軸８０２は、カバーフィルム付シートロール８００'からカバーフィルム付シート８００が供給されるようにカバーフィルム付シートロール８００'を回転させるようになっている。

また、目詰め液充填装置１００は、本実施の形態では、カバーフィルム付シートロール８００'から供給されたカバーフィルム付シート８００の基材１０を巻き取るようになっている基材巻取軸４２を有している。基材巻取軸４２には、基材巻取軸４２を回転駆動する駆動部４３が設けられている。さらに、目詰め液充填装置１００は、基材巻取軸４２の近傍に、カバーフィルム付シートロール８００'から供給されたカバーフィルム付シート８００のカバーフィルム８１を巻き取るようになっているフィルム巻取軸８８を有している。フィルム巻取軸８８は、本実施の形態では、基材給送軸２２に対して平行に設けられており、フィルム巻取軸８８には、フィルム巻取軸８８を回転駆動する駆動部８９が設けられている。そして、基材巻取軸４２及びフィルム巻取軸８８が回転されることにより、カバーフィルム付シート給送軸８０２にセットされたカバーフィルム付シートロール８００'からカバーフィルム付シート８００が巻き出され、基材巻取軸４２及びフィルム巻取軸８８に向けて搬送されるようになっている。

カバーフィルム付シート給送軸８０２に対して、基材巻取軸４２及びフィルム巻取軸８８によるカバーフィルム付シート８００の搬送方向の下流側には、カバーフィルム付シート８００を両側から挟持するための一対のニップローラ９００が設けられている。ニップローラ９００の軸９０２には、ニップローラ９００を回転駆動するための駆動部９０３が設けられている。目詰め液１５として熱溶融性の材料が用いられる場合には、ニップローラ９００付近において目詰め液１５の溶融状態を維持することができるように、ニップローラ９００を加熱してニップローラ９００付近の目詰め液１５の溶融状態を維持するための熱源（不図示）が設けられていてもよい。

ニップローラ９００と基材巻取軸４２ないしフィルム巻取軸８８との間の領域であって、ニップローラ９００と基材巻取軸４２との間に形成される基材搬送路４０の一方の側には、ニップローラ９００を通過したカバーフィルム付シート８００のフィルムシート８１を案内するための目詰め液溜まり部用ローラ９１が、基材搬送路４０から離間されて設けられている。このようにして、ニップローラ９００と目詰め液溜まり部用ローラ９１との間において、カバーフィルム搬送路８７は、基材搬送路４０から離間されて形成されており、基材搬送路４０上を搬送される基材１０とカバーフィルム搬送路８７上を搬送されるカバーフィルム８１との間に目詰め液溜まり部６０が形成されるようになっている。

ニップローラ９００と基材巻取軸４２ないしフィルム巻取軸８８との間の領域には、目詰め液供給装置５０が設けられている。目詰め液供給装置５０は、目詰め液１５を貯留するための容器５１と、容器５１から目詰め液１５を汲み出すポンプ５２と、ポンプ５２によって汲み出された目詰め液１５を目詰め液溜まり部６０へ案内する管５３と、を有している。目詰め液１５として熱溶融性の材料が用いられる場合には、当該熱溶融性の材料を容器５１内で加熱して溶融させて所望の粘度の目詰め液１５とすることができるよう、容器５１には、当該容器５１を加熱するための熱源（不図示）が設けられていてもよい。

なお、目詰め液１５としては、エッチング防止剤に限られない。例えば、基材１０がテレビやパソコンの画面に用いられる反射防止フィルムや、横のぞき防止のためのルーバー、コントラストを向上させるフィルム作成用のＰＥＴ基材やＴＡＣ基材などである場合には、所望の機能層を形成するためのコーティング剤であってもよい。また、基材１０が木目模様などの細かい模様を有する壁紙作成用の基材である場合には、目詰め液１５は、着色剤であってもよい。

目詰め液溜まり部用ローラ９１と基材巻取軸４２との間には、目詰め液溜まり部６０を通過された基材１０とカバーフィルム８１とを互いに対して押圧するための一対の押圧ローラ９３が設けられている。

一対の押圧ローラ９３と基材巻取軸４２との間には、一対の送りローラ８６'が、外周面が隣接するように配置されており、押圧ローラ９３と当該送りローラ８６'との間において、基材１０とカバーフィルム８１とが互いに密着した状態で搬送されるようになっている。

押圧ローラ９３と送りローラ８６'との間の領域には、紫外線照射装置９５が設けられており、当該領域における基材搬送路４０に対して紫外線を照射して、当該領域を通過する基材１０の微細孔１２内に目詰め液１５として充填された紫外線硬化型樹脂を硬化させることができるようになっている。なお、目詰め液１５として、熱硬化性の材料が用いられる場合には、当該領域には加熱装置が設けられてもよい。

さらに、目詰め液溜まり部６０と一対の押圧ローラ９３との間には、目詰め液溜まり部６０において基材１０上に配置された余剰の目詰め液１５を掻き取るための基材用スキージ７１が設けられている。本実施の形態においては、基材スキージ７１は、その基材搬送路４０側の端部と、基材搬送路４０上を搬送される基材１０の表面と、間の距離が、２０μｍ以上となるように位置決めされている。

また、目詰め液溜まり部６０と目詰め液溜まり部用ローラ９１との間には、目詰め液溜まり部６０においてカバーフィルム８１上に配置された目詰め液１５を掻き取るためのフィルム用スキージ７２が設けられている。フィルム用スキージ７２は、フィルム用スキージ７２の先端部がフィルム搬送路８７上を搬送されるカバーフィルム８１の表面に当接するように位置決めされており、目詰め液溜まり部６０'においてフィルム８１上に配置される目詰め液１５を十分に掻き取ることができるようになっている。

次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。

まず、基材１０にカバーフィルム８１が密着されたカバーフィルム付シート８００をロール状にしたカバーフィルム付シートロール８００'が、カバーフィルム付シート給送軸８０２にセットされる。基材１０は、厚みＴが２０μｍ程度であり、一方の面の側からのみ所望のパターンで基材１０の厚みＴの半分程度の深さＤまでエッチングされて、当該一方の面の側に微細孔１２が形成されている。微細孔１２の開口部の幅ｅは、２０〜３０μｍ程度である。基材１０の微細孔１２内は、１Ｔｏｒｒ減圧されている。カバーフィルム８１は、当該微細孔１２を密閉するように基材１０に密着されている。

次に、カバーフィルム付シート８００が、カバーフィルム付シートロール８００'から巻き出され、一対のニップローラ９００の間を通過される。一対のニップローラ９００を通過したカバーフィルム付シート８００は、その巻き出し開始側の端部から、カバーフィルム８１が剥離される。

カバーフィルム８１が剥離された基材１０は、基材用スキージ７１と送りローラ４６との間を通過された後、一対の押圧ローラ９３の間及び一対の送りローラ８６'の間を通過され、当該基材１０の巻き出し開始側の端部が基材巻取軸４２に固定される。

また、基材１０から剥離されたカバーフィルム８１は、フィルム用スキージ７２と送りローラ８６との間を通過された後、目詰め液溜まり部用ローラ９１に対して基材搬送路４０とは反対の側へ案内される。その後、カバーフィルム８１は、一対の押圧ローラ９３の間及び一対の送りローラ８６'の間を通過され、当該カバーフィルム８１の巻き出し開始側の端部が、フィルム巻取軸８８に固定される。

そして、基材１０とカバーフィルム８１との間に目詰め液供給装置５０から供給される目詰め液１５を貯留することができるよう、一対のニップローラ９００に対して目詰め液溜まり部用ローラ９１側であって一対のニップローラ９００の周囲には、不図示の板状部材が、基材１０とカバーフィルム８１と板状部材とで囲まれた空間が形成されるよう、基材１０とカバーフィルム８１の縁部に接触して配置される。このようにして、一対のニップローラ９００と目詰め液溜まり部用ローラ９１との間の領域において、基材１０とカバーフィルム８１との間に、目詰め液溜まり部６０が形成される。これにより、目詰め液１５が貯留される目詰め液溜まり部６０に、基材１０の微細孔１２側を通過させ得る。

その後、目詰め液供給装置５０の容器５１内に、エッチング防止剤として、粘度が１０００〜１００００ｃＰ程度の紫外線硬化型樹脂が供給される。容器５１に供給された紫外線硬化型樹脂は、ポンプ５２によって容器５１から汲み出され、管５３によって案内され、目詰め液１５として目詰め液溜まり部６０に貯留される。これにより、目詰め液溜まり部６０に貯留された目詰め液１５は、目詰め液溜まり部６０内において、基材１０の微細孔１２側の面及びフィルム８１の一側面と接することとなる。

次に、基材巻取軸４２が、駆動部４３によって回転され、基材１０の基材巻取軸４２への巻き取りが開始される。同時に、フィルム巻取軸８８が、駆動部８９によって回転され、カバーフィルム８１のフィルム巻取軸８８への巻き取りが開始される。基材巻取軸４２とフィルム巻取軸８８とは、基材１０の基材巻取軸４２への巻取速度と、カバーフィルム８１のフィルム巻取軸８８への巻取速度と、が一致するように回転される。

基材１０及びカバーフィルム８１が各々基材巻取軸４２に及びフィルム巻取軸８８に巻き取られるのに伴って、カバーフィルム付シート給送軸８０２にセットされたカバーフィルム付シートロール８００'から、カバーフィルム付シート８００が巻き出される。

カバーフィルム付シートロール８００'から巻き出されたカバーフィルム付シート８００は、基材巻取軸４２及びフィルム巻取軸８８の回転によって、一対のニップローラ９００へ搬送される。カバーフィルム付シート８００が一対のニップローラ９００の間を通過された後、カバーフィルム８１が目詰め液溜まり部用ローラ９１に案内されることによって、カバーフィルム８１が基材１０から剥離され、基材１０の微細孔１２側が目詰め液溜まり部６０を通過される。このようにして、大気圧下においてカバーフィルム付シート８００のカバーフィルム８１が基材１０から剥離されるのと同時に、基材１０の微細孔１２側が目詰め液１５が貯留された目詰め液溜まり部６０を通過され、当該微細孔１２に目詰め液１５が継続的に供給される。そして、大気圧力の作用によって、目詰め液１５が、当該基材１０の微細孔１２内に充填される。

目詰め液溜まり部６０を通過された基材１０は、基材巻取軸４２の回転によってさらに搬送され、送りローラ４６と基材用スキージ７１との間を通過される。この時、基材用スキージ７１によって、目詰め液溜まり部６０において基材１０上に配置された余剰の目詰め液１５（エッチング防止剤）が掻き取られ、図２（ｃ）に示すように、基材１０上に２０μｍ程度の厚さｈの目詰め液１５（エッチング防止剤）の層が形成される。

一方、目詰め液溜まり部６０を通過されたフィルム８１は、フィルム巻取軸８８の回転によってさらに搬送され、フィルム用スキージ７２と送りローラ８６との間を通過される。この時、フィルム用スキージ７２によって、目詰め液溜まり部６０においてフィルム８１上に配置された目詰め液１５が掻き取られる。そして、カバーフィルム８１は、目詰め液溜まり部用ローラ９１へ案内される。

その後、基材１０及びカバーフィルム８１は、基材巻取軸４２及びフィルム巻取軸８８の回転によってさらに搬送され、一対の押圧ローラ９３の間を通過される。基材１０とカバーフィルム８１とは、一対の押圧ローラ９３によって互いに対して押圧される。これによって、基材１０上に形成された目詰め液１５の層の表面が滑らかにされる。

基材１０とカバーフィルム８１とは、互いに対して接触されたまま、一対の送りローラ８６'へ向けて搬送され、押圧ローラ９３と送りローラ８６'との間の領域において紫外線照射装置９５によって紫外線が照射される。このようにして、基材１０上に形成された目詰め液１５の層は、その表面が滑らかにされた状態で硬化される。

そして、目詰め液１５が硬化された基材１０及びカバーフィルム８１は、基材巻取軸４２及びフィルム巻取軸８８の回転によって、互いから剥離され、それぞれ、基材巻取軸４２及びフィルム巻取軸８８上に巻き取られる。

以上のように、本実施の形態によれば、目詰め液１５は、微細孔１２を有する基材１０が減圧環境下に置かれて当該微細孔１２から空気が除去された後、当該微細孔１２に供給される。この結果、目詰め液１５が充填される際に微細孔１２内に気泡が形成されてしまう、ということが抑制される。

また、目詰め液充填工程において、目詰め液１５が貯留された目詰め液溜まり部６０に基材１０の微細孔１２側を通過させることによって当該基材１０の当該微細孔１２に目詰め液１５が継続的に供給される。この場合、大気圧下に戻された微細孔１２内に空気が侵入してしまう前に当該微細孔１２内に目詰め液１５を充填する、ということが可能である。これにより、目詰め液１５が充填される際に微細孔１２内に気泡が形成されてしまう、ということがより顕著に抑制される。

特に本実施の形態では、目詰め液溜まり部６０は、基材１０とカバーフィルム８１との間に形成される。この場合、基材１０からカバーフィルム８１を剥離するのと同時に、当該基材１０の微細孔１２に目詰め液１５を継続的に供給する、ということが容易である。

また、本実施の形態においては、微細孔１２の開口部の幅ｅが２０〜３０μｍ程度であるのに対し、基材１０の微細孔１２に供給される際の目詰め液１５の粘度は、１０００〜１００００ｃＰ程度である。したがって、微細孔の開口の幅に対して目詰め液の粘度が高すぎて微細孔が目詰め液によって所望のように充填されない、ということが抑制される。

次に、図３を参照して、本実施の形態におけるカバーフィルム付シートの製造方法について説明する。

図３は、図２に示すカバーフィルム付シートを製造するためのカバーフィルム付シート製造装置の構成の一例を概略的に示す図である。本実施の形態におけるカバーフィルム付シート製造装置２００は、図２に示すカバーフィルム付シート８００の基材１０がロール状にされた基材ロール１０'がセットされ、基材ロール１０'からシート状の基材１０が供給されるように基材ロール１０'を回転させるようになっている基材給送軸２２が設けられている。

また、本実施の形態におけるカバーフィルム付シート製造装置２００は、図２に示すカバーフィルム付シート８００のカバーフィルム８１がロール状にされたカバーフィルムロール８１'がセットされ、当該カバーフィルムロール８１'からカバーフィルム８１が供給されるように当該フィルムロール８１'を回転させるようになっているフィルム給送軸８２を有している。フィルム給送軸８２は、本実施の形態では、基材給送軸２２の近傍に基材給送軸２２に対して平行に設けられている。

さらに、本実施の形態におけるカバーフィルム付シート製造装置２００は、内部を減圧状態に維持可能な減圧チャンバ３０であって、筐体３３と、基材給送軸２２及びフィルム給送軸８２の側に基材搬入口３１を有し、当該減圧チャンバ３０の基材搬入口３１の側とは反対の側に基材搬出口３２を有する、という減圧チャンバ３０を有している。

減圧チャンバ３０は、本実施の形態では、内部を１．５Ｔｏｒｒ以下、好ましくは１Ｔｏｒｒ以下、さらに好ましくは０．８Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持可能な減圧チャンバである。

基材搬入口３１は、本実施の形態では、外周面が隣り合うように軸３１２が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬入口ローラ３１１によって、当該一対の基材搬入口ローラ３１１の外周面の間に規定されている。本実施の形態では、基材搬入口ローラ３１１は、金属製であり、各基材搬入口ローラ３１１の軸３１２には、基材搬入口ローラ３１１を回転駆動するための駆動部３１３が設けられている。

基材搬出口３２は、本実施の形態では、軸３２２が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬出口ローラ３２１によって当該一対の基材搬出口ローラ３２１の外周面の間に規定されている。一対の基材搬出口ローラ３２１は、外周面が互いに対して押圧するように設けられており、基材搬出口３２を通過される基材１０とカバーフィルム８１とを互いに密着させることができるようになっている。本実施の形態では、基材搬出口ローラ３２１は、金属製であり、各基材搬出口ローラ３２１の軸３２２には、基材搬出口ローラ３２１を回転駆動するための駆動部３２３が設けられている。また、基材搬出口ローラ３２１には、基材搬出口ローラ３２１の外周面を加熱するための熱源が設けられている。

筐体３３の基材搬入口ローラ３１１の外周面に対向する縁部、及び、筐体３３の基材搬出口ローラ３２１の外周面に対向する縁部には、樹脂性のシール部材３４が設けられている。本実施の形態では、シール部材３４と基材搬入口ローラ３１１の外周面との間の距離、及びシール部材３４と基材搬出口ローラ３２１の外周面との間の距離は、１０μｍ程度である。

本実施の形態では、減圧チャンバ３０内であって基材搬入口３１と基材搬出口３２との間には、基材搬入口３１と基材搬出口３２とを結ぶ線４５ａに対して一方の基材搬入口ローラ３１１ないし一方の基材搬出口ローラ３２１の側に、フィルム離間用ローラ８５が、当該線４５ａから離間して設けられている。

減圧チャンバ３０の外部であって、減圧チャンバ３０に対して当該減圧チャンバ３０の基材搬出口ローラ３２１の側には、減圧チャンバ３０を通過して互いに密着された基材１０とカバーフィルム８１とを巻き取るためのカバーフィルム付シート巻取軸１００２が設けられている。カバーフィルム付シート巻取軸１００２には、カバーフィルム付シート巻取軸１００２を回転駆動するための駆動部１００３が設けられている。

次に、以上のような構成からなる図３に示すカバーフィルム付シート製造装置２００の作用について説明する。

まず、一方の面の側に微細孔１２を有するシート状の基材１０が用意される。基材１０は、ロール状にされて基材ロール１０'にされ、当該基材ロール１０'が、基材給送軸２２にセットされる。次に、基材ロール１０'から基材１０が巻き出され、減圧チャンバ３０の基材搬入口３１を通じて減圧チャンバ３０の外部から内部へ通された後、基材搬出口３２を通じて減圧チャンバ３０の内部から外部へ通される。ここで、基材１０は、その微細孔１２側の面が、減圧チャンバ３０内において後述するカバーフィルム８１'と対向し得るように配置される。

一方、カバーフィルム給送軸８２には、カバーフィルム８１がロール状にされたカバーフィルムロール８１'がセットされる。そして、カバーフィルムロール８１'からカバーフィルム８１が巻き出され、減圧チャンバ３０の基材搬入口３１を通じて減圧チャンバ３０の外部から内部へ通される。基材搬入口３１を通過されたカバーフィルム８１は、フィルム離間用ローラ８５に対して基材１０の側とは反対の側へ案内された後、基材搬出口３２を通じて減圧チャンバ３０の内部から外部へ通される。

基材搬出口３２を通された基材１０とカバーフィルム８１とは、互いに重ね合わされ、基材１０及びカバーフィルム８１の巻き出し開始側の端部が、カバーフィルム付シート巻取軸１００２に固定される。

次に、減圧チャンバ３０が真空引きされ、減圧チャンバ３０の内部が、１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持される。もっとも、基材１０の微細孔１２の開口の幅ｅ及び当該微細孔１２内に充填される目詰め液１５の粘度によっては、微細孔１２内の圧力は１Ｔｏｒｒより高くてもよいため、減圧チャンバ３０の内部の圧力も、１Ｔｏｒｒより高い減圧状態に維持されてもよい。

この状態で、カバーフィルム付シート巻取軸１００２が、駆動部１００３によって回転される。また、減圧チャンバ３０の一対の基材搬入口ロール３１１及び一対の基材搬出口ロール３２１が、外周面の互いに対向する側の速度がカバーフィルム付シート巻取軸１００２による基材１０及びカバーフィルム８１の巻取速度に一致するように、それぞれ、駆動部３１２及び３２２によって回転される。

カバーフィルム付シート巻取軸１００２の回転に伴って、基材ロール１０'から基材１０が給送され、同時に、カバーフィルムロール８１'からカバーフィルム８１が給送される。

基材ロール１０'から給送された基材１０と、カバーフィルムロール８１'から給送されたカバーフィルム８１とは、カバーフィルム付シート巻取軸１００２の回転に伴って、減圧チャンバ３０の基材搬入口３１を通じて減圧チャンバ３０の内部へ搬送される。

減圧チャンバ３０の基材搬入口ローラ３１１によって互いに対して接触されて減圧チャンバ３０内に搬送された基材１０及びカバーフィルム８１は、減圧チャンバ３０内の減圧環境下に置かれると共に、カバーフィルム８１がフィルム離間用ローラ８５に案内されることよって互いから離間される。そして、減圧チャンバ３０内で、基材１０の微細孔１２内の空気が除去される。

微細孔１２内の空気が除去された基材１０及びカバーフィルム８１は、カバーフィルム付シート巻取軸１００２の回転によってさらに搬送され、減圧チャンバ３０の基材搬出口ローラ３２１によって互いに押圧されて密着され、カバーフィルム付シート８００が製造される。そして、カバーフィルム付シート８００は、カバーフィルム付シート巻取軸１００２の回転によって、減圧チャンバ３０の外部へ搬送され、カバーフィルム付シート巻取軸１００２へ巻き取られる。

以上のように、図３に示すカバーフィルム付シート製造装置を用いて製造されたカバーフィルム付シート８００によれば、カバーフィルム付シート８００のカバーフィルム８１を基材１０から剥離するのと同時に、当該基材１０の微細孔１２に目詰め液１５を継続的に供給することで、当該微細孔内に気泡が形成されることなく目詰め液を充填し得る。

次に、図４を参照して、本実施の形態におけるカバーフィルム付シートの他の製造方法について説明する。

図４は、図２に示すカバーフィルム付シートを製造するためのカバーフィルム付シート製造装置の構成の他の例を概略的に示す図である。図４に示すカバーフィルム付シート製造装置２００'は、図３に示すカバーフィルム付シート製造装置２００に対して、基材給送軸２２及びカバーフィルム給送軸８２が、減圧チャンバ３０'の内部に配置されており、減圧チャンバ３０'には、基材搬入口３１が設けられていない点が異なるのみであり、その他の構成は、図３に示すカバーフィルム付シート製造装置の構成と略同一である。図４に示すカバーフィルム付シート製造装置２００'において図３に示すカバーフィルム付シート製造装置２００と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。

次に、以上のような構成からなる図４に示すカバーフィルム付シート製造装置２００'の作用について説明する。

まず、一方の面の側に微細孔１２を有するシート状の基材１０が用意される。基材１０は、ロール状にされて基材ロール１０'にされ、減圧チャンバ３０'内に配置された基材給送軸２２にセットされる。次に、基材ロール１０'から基材１０が巻き出され、基材搬出口３２を通じて減圧チャンバ３０の内部から外部へ通される。ここで、基材１０は、その微細孔１２側の面が、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２において後述するカバーフィルム８１'と対向し得るように配置される。

一方、減圧チャンバ３０'内に配置されたカバーフィルム給送軸８２には、カバーフィルム８１がロール状にされたカバーフィルムロール８１'がセットされる。そして、カバーフィルムロール８１'からカバーフィルム８１が巻き出され、基材搬出口３２を通じて減圧チャンバ３０の内部から外部へ通される。

この状態で、カバーフィルム付シート巻取軸１００２が、駆動部１００３によって回転される。また、減圧チャンバ３０の一対の基材搬入口ロール３１１及び一対の基材搬出口ロール３２１が、外周面の互いに対向する側の速度がカバーフィルム付シート巻取軸１００２による基材１０及びカバーフィルム８１の巻取速度に一致するように、駆動部１００３によって回転される。

基材ロール１０'から給送された基材１０とカバーフィルムロール８１'から給送されたカバーフィルム８１とは、カバーフィルム付シート巻取軸１００２の回転によって、減圧チャンバ３０'の基材搬出口３２へ搬送される。基材１０が基材ロール１０'から巻き出されて基材搬出口３２へ搬送されるまでの間に、基材１０の微細孔１２は、減圧チャンバ３０'内の減圧環境に曝され、当該微細孔１２内の空気が除去される。

以上のように、図４に示すカバーフィルム付シート製造装置を用いて製造されたカバーフィルム付シート８００によっても、カバーフィルム付シート８００のカバーフィルム８１を基材１０から剥離するのと同時に、当該基材１０の微細孔１２に目詰め液１５を継続的に供給することで、当該微細孔内に気泡が形成されることなく目詰め液を充填し得る。

１０基材
１０' 基材
１１パターン
１２微細孔
１５目詰め液
２０基材供給装置
２２基材給送軸
１００目詰め液充填装置
２００カバーフィルム付シート製造装置
２００' カバーフィルム付シート製造装置
２２基材給送軸
３０減圧チャンバ
３０' 減圧チャンバ
３１基材搬入口
３１１基材搬入口ローラ
３１２軸
３１３駆動部
３２基材搬出口
３２１基材搬出口ローラ
３２２軸
３２３駆動部
３３筐体
３４シール部
３６２軸
３６３駆動部
４０基材搬送路
４３駆動部
４５基材搬送路
４６送りローラ
５０目詰め液供給装置
５１容器
５２ポンプ
５３管
６０液溜まり部
７１基材用スキージ
７２フィルム用スキージ
８０カバーフィルム
８２カバーフィルム給送軸
８５フィルム離間用ローラ
８６送りローラ
８６' 送りローラ
８９駆動部
９１目詰め液溜まり部用ローラ
９３押圧ローラ
９５紫外線照射装置
８００カバーフィルム付シート
８００' カバーフィルム付シートロール
１００２カバーフィルム付シート巻取軸
１００３駆動部

Claims

微細孔を有する基材の当該微細孔に目詰め液が充填された目詰め液充填シートを製造する方法であって、
前記基材の前記微細孔内が減圧された状態で当該微細孔を密閉するようにカバーフィルムが前記基材に密着されているカバーフィルム付シートを用意する工程と、
大気圧下において前記カバーフィルム付シートの前記カバーフィルムを前記基材から剥離するのと同時に、当該基材の前記微細孔に目詰め液を継続的に供給することで、当該微細孔内に目詰め液を充填する目詰め液充填工程と、
を備えたことを特徴とする目詰め液充填シート製造方法。
前記カバーフィルム付シートにおいて、前記基材の前記微細孔内は、１Ｔｏｒｒ以下に減圧されている
ことを特徴とする請求項１に記載の目詰め液充填シート製造方法。
前記目詰め液充填工程において、目詰め液は、前記基材の前記微細孔内に大気圧力の作用により充填される
ことを特徴とする請求項１または２に記載の目詰め液充填シート製造方法。
前記目詰め液充填工程において、目詰め液が貯留された目詰め液溜まり部に前記基材の前記微細孔側を通過させることによって当該基材の当該微細孔に目詰め液が継続的に供給される
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の目詰め液充填シート製造方法。
前記目詰め液溜まり部は、前記基材と前記カバーフィルムとの間に形成される
ことを特徴とする請求項４に記載の目詰め液充填シート製造方法。
前記微細孔の開口の幅は、５０μｍ以下であり、
前記基材の前記微細孔に供給される際の目詰め液の粘度は、１００００ｃＰ以下である
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の目詰め液充填シート製造方法。
前記微細孔の開口の幅は、２０μｍ以下である
ことを特徴とする請求項６に記載の目詰め液充填シート製造方法。
微細孔を有する基材と、
前記基材の前記微細孔を密閉するように前記基材に密着されたカバーフィルムと、
を備え、
前記微細孔内が、減圧されている
ことを特徴とするカバーフィルム付シート。
前記微細孔内は、１Ｔｏｒｒ以下に減圧されている
ことを特徴とする請求項８に記載のカバーフィルム付シート。
前記基材は、有機ＥＬ用の蒸着マスクのパターンがハーフエッチングされて形成された微細孔を有している
ことを特徴とする請求項８または９に記載のカバーフィルム付シート。