JP6145737B2 - 発光装置の製造方法、および製造装置 - Google Patents

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Description

本発明は、発光装置の製造方法に関し、特に、色度調整が可能な発光装置の製造方法等に関する。
白色光を発する発光装置(発光デバイス)として、青色LEDチップを、蛍光体を含む透光性樹脂で封止した発光装置が知られている。
このような発光装置では、青色LEDチップが発する青色光の一部は、蛍光体を励起し、蛍光体から黄色蛍光が発せられる。そして、青色LEDチップが発する青色光と、励起された蛍光体が発する黄色蛍光とが混合されることにより白色光が得られる。上記発光装置の白色光の色度は、青色LEDチップが発する青色光の光量と、蛍光体から発せられる黄色蛍光の光量との割合によって決まる。
このような発光装置は、青色LEDチップの性能のばらつきや、蛍光体の量によって白色光の色度にばらつきが生じることが課題である。
このような課題を解決するために、レーザ光の照射によって発光装置の発光色の色度調整を行う技術が開示されている(例えば、特許文献1および2参照)。
特開2009−158541号公報 特開2011−165827号公報
しかしながら、特許文献1および2に記載の方法で発光装置の色度を調整した場合、LEDチップ(発光素子)にダメージを与えてしまう可能性がある。
そこで、本発明は、発光素子に与えるダメージを低減しつつ色度調整をすることが可能な発光装置の製造方法を提供する。
本発明の一態様に係る発光装置の製造方法は、発光素子と、前記発光素子の発する光で励起されて光を発する蛍光体を含む透光性樹脂で形成され、前記発光素子の少なくとも一部を覆う色変換部とを有する発光装置の製造方法であって、前記色変換部に波長が5.5μm以上のレーザ光を照射することによって前記発光装置から発せられる光の色度を調整する照射工程を含む。
また、前記照射工程においては、波長が9.2μm以上9.7μm以下のCO2レーザ装置、または、波長が5.5μm以上5.9μm以下のCOレーザ装置を用いて前記レーザ光を照射してもよい。
また、前記照射工程においては、前記色変換部に前記レーザ光を照射することにより、前記蛍光体の少なくとも一部を除去してもよい。
また、前記照射工程においては、前記色変換部に前記レーザ光を照射することにより、前記透光性樹脂の少なくとも一部を除去して前記蛍光体を露出させ、かつ、露出した前記蛍光体の少なくとも一部を失活させてもよい。
また、前記色変換部は、前記蛍光体を含む前記透光性樹脂からなる蛍光体層と、前記蛍光体を含まない前記透光性樹脂からなる、前記蛍光体層の上方に設けられた樹脂層とを有し、前記照射工程においては、前記色変換部に前記レーザ光を照射することにより、前記樹脂層の少なくとも一部を除去して前記蛍光体層内の前記蛍光体を露出させ、かつ、露出した前記蛍光体の少なくとも一部を失活させてもよい。
また、前記照射工程においては、前記レーザ光の照射位置を所定時間毎に所定の距離以上離れた位置に変更してもよい。
また、さらに、前記発光装置から発せられる光の色度を測定する測定工程を含み、前記照射工程においては、前記発光装置から発せられる光の色度が所定の範囲内となるように、前記測定工程の測定結果に基づいて、前記レーザ光の照射時間、前記レーザ光の照射場所、および前記レーザ光の照射エネルギーのうち少なくとも1つを調整し、前記色変換部に前記レーザ光を照射してもよい。
本発明の一態様に係る製造装置は、発光素子と、前記発光素子の発する光で励起されて光を発する蛍光体を含む透光性樹脂で形成され、前記発光素子の少なくとも一部を覆う色変換部とを有する発光装置の製造装置であって、前記色変換部に波長が5.5μm以上のレーザ光を照射することによって前記発光装置から発せられる光の色度を調整する照射部を備える。
本発明に係る発光装置の製造方法によれば、発光素子に与えるダメージを低減しつつ発光装置の色度調整をすることができる。
図1は、実施の形態1に係る発光装置が設けられた基板を示す図である。 図2は、図1に示される発光装置をA−A線で切断した断面図である。 図3は、実施の形態1に係る発光装置の製造装置を模式的に示す図である。 図4は、照射部の外観図である。 図5は、色度を表す画像の一例である。 図6は、発光装置の色度調整方法を示すフローチャートである。 図7は、レーザ光の発振波長と、レーザ光の透過率との関係を示す図である。 図8は、レーザ光の集光径を説明するための図である。 図9は、色変換部の加工の態様を説明するための模式図である。 図10は、発光装置から発せられる光の色度の変化を説明するための図である。 図11は、色変換部の加工の態様の別の例を説明するための模式図である。 図12は、加工によって蛍光体を失活させた場合の発光装置の画像である。 図13は、レーザ光の照射位置が所定時間毎に変更される例を示す模式図である。 図14は、COB型の発光装置を説明するための図である。
以下、実施の形態に係る発光装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される、数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であって本発明を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
なお、各図は模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化される場合がある。
(実施の形態1)
まず、実施の形態1に係る発光装置について説明する。図1は、実施の形態1に係る発光装置が設けられた基板を示す図である。図2は、図1に示される発光装置をA−A線で切断した断面図である。
図1に示されるように、発光装置100は、例えば、基板10上に実装され、照明用光源や、照明装置に用いられる。図1では、基板10は、中央に開口が設けられた平面視形状が円形の基板であり、発光装置100は、基板10上に円周方向に並んで複数設けられる。なお、発光装置100が設けられた基板10は、具体的には、電球形のLEDランプ(照明用光源)に用いられる。
発光装置100は、いわゆるSMD(Surface Mount Device)型の発光装置であり、白色光を発する。図2に示されるように、発光装置100は、LEDチップ110(発光素子)と、蛍光体130を含む透光性樹脂からなる色変換部120(蛍光体層120aおよび樹脂層120b)と、パッケージ140と、リードフレーム150と、ボンディングワイヤ160とを備える。
LEDチップ110は、発光素子の一例であって、単色の可視光を発するベアチップであり、ダイアタッチ材(ダイボンド材)によってパッケージ140の凹部の底面にダイボンディング実装されている。LEDチップ110としては、例えば、青色光を発光する青色LEDチップを用いることができる。青色LEDチップとしては、例えばInGaN系の材料によって構成された、中心波長が440nm〜470nmの窒化ガリウム系の半導体発光素子を用いることができる。
色変換部120は、光波長変換材である蛍光体130を含む透光性樹脂であって、LEDチップ110からの光を波長変換するとともに、LEDチップ110を封止してLEDチップ110を保護する。色変換部120を構成する透光性樹脂は、パッケージ140の凹部に充填されており、当該凹部の開口面まで封入されている。色変換部120を構成する透光性樹脂は、具体的には、ジメチルシリコーン樹脂、フェニルシリコーン樹脂、シルセスキオキサン樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂等である。
実施の形態1では、色変換部120は、蛍光体層120aと、樹脂層120bとを有する。蛍光体層120aは、LEDチップ110の少なくとも光出射側(上部)を覆う、蛍光体130を含む透光性樹脂からなる層である。樹脂層120bは、蛍光体層120aの上方に設けられた透光性樹脂からなる層であり、蛍光体130は含まれない。なお、樹脂層120bは、設けられなくてもよい。
蛍光体130は、LEDチップ110の発する光で励起されて黄色蛍光を発する黄色蛍光体である。LEDチップ110が青色発光LEDである場合、蛍光体130は、YAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)系の黄色蛍光体である。なお、蛍光体130は、オルトシリケート系蛍光体や、酸窒化物蛍光体であってもよい。蛍光体130は、基本的には球状であり、色変換部120内に複数含まれる。
上述のように、蛍光体130は、LEDチップ110の青色光によって励起されて黄色蛍光を放出するので、発光装置100(色変換部120)からは、励起された黄色蛍光と青色光とによって白色光が放出される。
パッケージ140は、非透光性樹脂(白樹脂等)を成型してなる容器であり、逆円錐台形状の凹部(キャビティ)を備える。凹部の内側面は傾斜面であり、LEDチップ110からの光を上方に反射させるように構成されている。パッケージ140は、具体的には、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、BTレジン、ポリフタルアミド(PPA)等の樹脂で形成される。なお、パッケージ140は、セラミックで形成されてもよい。
リードフレーム150は、一対の正負の電極である。リードフレーム150は、LEDチップ110と、基板10上に設けられた外部電極(図示せず)とを接続するものであり、例えば、鉄、リン青銅、銅合金等の金属部材で構成される。リードフレーム150は、ボンディングワイヤ160によってLEDチップ110と接続される。
次に、発光装置100の製造装置について説明する。図3は、発光装置100の製造装置を模式的に示す図である。
図3に示されるように、製造装置200は、照射部210と、色度測定部220(測定部)とを備える。
照射部210は、色変換部120にレーザ光を照射し、発光装置100から発せられる光の色度を調整する。図4は、照射部210の外観図である。
図4に示されるように、照射部210は、置き台240に置かれた発光装置100にレーザ光230を照射する。発光装置100は、基板10に実装された状態で置き台240に置かれてもよいし、発光装置100単体で置き台240に置かれてもよい。
なお、照射部210に用いられるレーザは、製造装置200の特徴であり、これについての詳細は後述する。
色度測定部220は、発光装置100から発せられる光の色度を測定する。色度測定部220は、色度や輝度などの光学特性を測定するための、汎用の分光器を用いた測定器である。
色度測定部220は、例えば、発光装置100の発光面(光出射側の面)における光のスペクトルを測定し、色度を求める。色度は、製造装置200が備える表示装置(図3において図示せず)に、図5に示されるような画像として表示される。
図5に示される画像は、発光装置100を発光させた状態で発光面(上面)側から色度を測定した画像である。この画像においては、円形状の領域が発光装置100の発光している部分を表し、当該円形状の領域内においては、色の濃淡が色度(色度の分布)を表している。なお、図5に示される画像の円形状の領域内の2つの矩形の領域は、LEDチップ110が位置する領域である。なお、色度測定部220は、色度(発光装置100の光のスペクトル)に加えて、発光強度や、配光特性を測定してもよい。
次に、製造装置200を用いた発光装置100の製造方法(色度調整方法)について説明する。図6は、発光装置100の色度調整方法を示すフローチャートである。
まず、色度測定部220は、発光装置100が発する光の色度を測定する(S10)。色度測定部220が測定した色度が所定の範囲内である場合(S20でYes)、発光装置100の色度調整は終了する。なお、所定の範囲とは、例えば、製造工程における発光装置100の色度の検査スペック等である。
色度測定部220が測定した色度が所定の範囲外である場合(S20でNo)、照射部210は、発光装置100にレーザ光230を照射し(S30)、色度測定部220は、レーザ光230の照射後の発光装置100の色度を測定する(S10)。以降は、色度測定部220が測定した色度が所定の範囲内になるまで、照射部210のレーザ光230の照射と、色度測定部220の色度の測定とが繰り返される。
なお、色度測定部220の色度の測定と、照射部210のレーザ光230の照射とは、リアルタイムで(同時に)行われてもよい。すなわち、発光装置100から発せられる光の色度を測定しながら、発光装置100が発する光の色度が所定の範囲内(所定の値)になるように、レーザ光230が照射されてもよい。
例えば、発光装置100の発光面における光のスペクトル分布(発光面の色ばらつき)を測定しながら、均一なスペクトル分布または所望のスペクトル分布になるようにレーザ光230が照射されてもよい。
また、この場合、色度(発光装置100の光のスペクトル)、発光強度、および配光特性のうちの少なくとも1つを測定しながら、レーザ光230が照射されてもよい。
上記の色度調整においては、照射部210に用いられるレーザが特徴的である。照射部210に用いられるレーザとしては、LEDチップ110に与えるダメージを低減するために、色変換部120および蛍光体130に吸収され、LEDチップ110までレーザ光が到達しにくいものが選択される。図7は、レーザ光の発振波長と、レーザ光の透過率との関係を示す図である。
図7の実線のグラフは、シリコン系の透光性樹脂にレーザ光を照射した場合の、レーザ光の発振波長と、レーザ光の透過率との関係を示している。この実線のグラフに示されるように、レーザ光の波長が5500nm(5.5μm)以上であれば、シリコン系の透光性樹脂に対するレーザ光の透過率は、ほぼ0となる。
また、図7の破線のグラフは、色変換部120を想定し、蛍光体130を含むシリコン系の透光性樹脂にレーザ光を照射した場合の、レーザ光の発振波長と、レーザ光の透過率との関係を示している。この破線のグラフに示されるように、レーザ光の波長が2000nm以上であれば、蛍光体130を含むシリコン系の透光性樹脂に対するレーザ光の透過率は、ほぼ0となる。
そこで、照射部210は、色変換部120に発振波長が5.5μm以上のレーザ光230を照射し、発光装置100から発せられる光の色度を調整する。なお、実用的には、レーザ光230の波長は、産業用のCO2レーザの10.8μm程度が上限になるものと考えられる。しかしながら、将来的に波長がさらに長いレーザが実用化された場合、このようなレーザが用いられてもよい。なお、図7は、シリコン系の透光性樹脂に対するレーザ光の透過率を示すものであるが、シリコン系以外の透光性樹脂についても、これに近い透過率となる。
ここで、発振波長が5.5μm以上のレーザとして、例えば、CO2レーザ(CO2レーザ装置)や、COレーザ(COレーザ装置)を使用することが考えられるが、レーザ光の集光径が小さいほうが、微細な加工が可能であることから好ましい。
図8は、レーザ光の集光径を説明するための図である。図8に示されるように、レーザ光の集光径dは、レーザ光を出射するレンズ250の焦点距離をf、レーザ波長をλ、レンズ250に入射するレーザ光の径をDとした場合、次の(式1)で表され、レーザ波長λに比例する。
d=2.44×f・(λ/D) ・・・(式1)
そこで、照射部210には、発振波長が5.5μm以上のレーザのうち、発振波長の短いものが用いられる。例えば、一般的に使用されるCO2レーザの発振波長λは10.6μmであるが、照射部210には、発振波長が9.2μm以上9.7μm以下のCO2レーザが用いられる。また、照射部210には、発振波長が5.5μm以上5.9μm以下のCOレーザが用いられる。
次に、色変換部120の具体的な加工態様について説明する。図9は、色変換部120の加工の態様を説明するための模式図である。
例えば、図9の(a)に示されるように、照射部210は、LEDチップ110の上方の色変換部120に焦点を合わせてレーザ光230を照射する。これにより、図9の(b)に示されるように、色変換部120の一部が除去される。除去された色変換部120には、蛍光体130が含まれるため、発光装置100から発せられる光の色度が変わる。
図10は、発光装置100から発せられる光の色度の変化を説明するための図である。図10では、色度座標(x、y)が図示されている。図10に示されるように、色変換部120の一部が除去されると、黄色蛍光を発する蛍光体130が除去されるため、発光装置100から発せられる光の色度は、黄色側から青色側に向けてシフトする。
また、上述のように、照射部210には、発振波長が5.5μm以上のレーザが用いられるため、レーザ光230は、色変換部120に吸収され、LEDチップ110にはほとんど到達しない。したがって、LEDチップ110の直上にレーザ光230が照射される場合であっても、レーザ光230の照射によってLEDチップ110に加わるダメージは極めて低い。つまり、照射部210によれば、LEDチップ110に与えるダメージを低減しつつ色度を調整することができる。
なお、色変換部120の加工態様は、図9に示されるものに限定されない。図11は、色変換部120の加工の態様の別の例を説明するための模式図である。
図11に示される加工態様では、照射部210は、まず、図11の(a)に示されるように色変換部120にレーザ光230を照射する。この結果、色変換部120に含まれる透光性樹脂の少なくとも一部が除去されて、色変換部120内に凹部170が形成され、蛍光体130が凹部170の底面から露出する。より具体的には、色変換部120の樹脂層120bの少なくとも一部が除去され、蛍光体層120a内の蛍光体130が露出する。
そして、照射部210は、レーザ光230の照射により蛍光体層120a内の蛍光体130の少なくとも一部を失活させる。なお、蛍光体130の失活とは、目視による蛍光体130の外観は変化していないが、蛍光体130に所定波長の励起光を照射しても蛍光を発しなくなることをいう。
以上のような加工態様によっても、発光装置100から発せられる光の色度は、黄色側から青色側に向けてシフトする。
図12は、図11に示されるような加工によって蛍光体130を失活させた場合の発光装置の画像である。図12の(a)は、通常の状態の画像であり、図12の(b)は、ブラックライトを照射した場合の画像である。なお、図12は、COB(Chip On Board)型の発光装置に上記加工を行った場合の画像であるが、SMD型の発光装置100においても同様の現象を確認することができる。
図12の(a)に示されるように、レーザ光230の照射により蛍光体130が失活した部分は、他の部分より白化している。また、図12の(b)に示されるようにレーザ光230の照射により蛍光体130が失活した部分は、ブラックライトを照射すると青く光る。
以上説明したように、照射部210によれば、透光性樹脂が除去されて露出した蛍光体130を失活させることによっても、色度を調整することができる。また、この場合、レーザ光230は、主に、色変換部120の上方に位置する樹脂層120bに照射される。このため、このような加工による、レーザ光230がLEDチップ110に与えるダメージの低減効果は高い。
なお、レーザ光230の照射が同一の照射位置に集中する場合、LEDチップ110に発熱によるダメージを与える可能性がある。そこで、実施の形態1では、レーザ光230の照射位置は、所定時間毎に所定の距離以上離れた位置に変更される。
図13は、レーザ光230の照射位置が所定時間毎に変更される例を示す模式図である。図13の(a)〜(c)に示されるように、実施の形態1では、レーザ光230の照射位置は、所定時間毎に変更される。例えば、最初のレーザ光230の照射により凹部170aが形成された場合(図13の(a))、2回目の照射では、最初のレーザ光230の照射位置よりも所定の距離以上離れた位置にレーザ光230が照射され、この結果、凹部170bが形成される(図13の(b))。また、3回目の照射では、2回目のレーザ光230の照射位置よりも所定の距離以上離れた位置にレーザ光230が照射され、この結果、凹部170cが形成される(図13の(c))。
以上のようなレーザ光230の照射により、LEDチップ110への発熱によるダメージが低減される。なお、照射部210は、同一の照射位置にレーザ光230を照射する場合に、所定の時間間隔でレーザ光230を照射し、LEDチップ110への発熱によるダメージを低減してもよい。
以上、実施の形態1に係る発光装置100の製造方法(色度調整方法)について説明した。上記製造方法では、発振波長が5.5μm以上のレーザ光230を照射し、発光装置100から発せられる光の色度を調整する。これにより、発光素子に与えるダメージを低減しつつ発光装置100から発せられる光の色度を調整することが可能となる。
(その他の実施の形態)
以上、実施の形態1に係る発光装置の製造方法について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
上記実施の形態では、蛍光体130は、黄色蛍光体であるとして説明したが、色変換部120には、黄色蛍光体以外に、緑色蛍光を発する緑色蛍光体や、赤色蛍光を発する赤色蛍光体が含まれてもよい。なお、緑色蛍光体や、赤色蛍光体は、白色光の演色性を高める目的で色変換部120に混合される。また、色変換部120には、黄色蛍光体の代わりに、緑色蛍光体と赤色蛍光体とが含まれ、LEDチップ110が発する青色光と合わせて発光装置から白色光が発せられる構成であってもよい。
また、LEDチップ110は、青色光以外の光を発光するLEDチップであってもよい。例えば、LEDチップ110は、近紫外線を発するLEDチップであってもよい。この場合、色変換部120には、三原色(赤色、緑色、青色)の光を発する各色蛍光体が含まれる。
なお、発光装置100には、蛍光体以外の光波長変換材が用いられてもよく、例えば、光波長変換材として、半導体、金属錯体、有機染料、顔料など、ある波長の光を吸収し、吸収した光とは異なる波長の光を発する物質からなる光波長変換材が用いられてもよい。すなわち、本発明の製造方法は、蛍光体以外の光波長変換材が用いられた発光装置にも適用可能である。
また、上記実施の形態では、発光装置100はSMD型の発光装置であるとして説明したが、本発明の製造方法は、COB(Chip On Board)型の発光装置にも適用可能である。図14は、COB型の発光装置を説明するための図である。図14の(a)は、COB型の発光装置の構成を示す平面図(上面図)である。図14の(b)は、図14の(a)の発光装置をB−B線に沿って切断した場合の断面図である。図14の(c)は、図14の(a)の発光装置をC−C線に沿って切断した場合の断面図である。
COB型の発光装置300は、基板20と、複数のLEDチップ110と、複数のLEDチップ110を一括封止する、蛍光体130が含まれた色変換部120とを備える。また、発光装置300は、配線155と、ボンディングワイヤ160とを備える。
LEDチップ110は、基板20上に直接、列状に実装されている。図14の例では、LEDチップ110の素子列は、6列設けられている。1つの素子列に属する複数のLEDチップ110それぞれのチップ上面には電流を供給するためのp側電極およびn側電極が形成されており、p側電極およびn側電極のそれぞれと配線155とがボンディングワイヤ160によってワイヤボンディングされている。
色変換部120は、断面形状が上に凸の略半楕円形状であり、基板20上の全てのLEDチップ110の各素子列を覆うようにLEDチップ110の配列方向に沿って直線状に形成されている。なお、色変換部120や、蛍光体130には、上記実施の形態で説明したものと同様の各種材料が用いられる。
以上説明したようなCOB型の発光装置300においても、本発明の製造方法は適用できる。
また、上記実施の形態においては、発光素子としてLEDチップ110が用いられたが、発光素子として、半導体レーザ等の半導体発光素子、有機EL(Electro Luminescence)、または無機EL等の固体発光素子が用いられてもよい。
なお、本発明は、上記実施の形態で説明した発光装置や、その製造装置として実現されてもよい。
以上、一つまたは複数の態様に係る発光装置の製造方法について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、一つまたは複数の態様の範囲内に含まれてもよい。
10、20 基板
100、300 発光装置
110 LEDチップ(発光素子)
120 色変換部
120a 蛍光体層
120b 樹脂層
130 蛍光体
140 パッケージ
150 リードフレーム
155 配線
160 ボンディングワイヤ
170、170a、170b、170c 凹部
200 製造装置
210 照射部
220 色度測定部
230 レーザ光
240 置き台
250 レンズ

Claims (7)

  1. 発光素子と、前記発光素子の発する光で励起されて光を発する蛍光体を含む透光性樹脂で形成され、前記発光素子の少なくとも一部を覆う色変換部とを有する発光装置の製造方法であって、
    前記色変換部に、波長が9.2μm以上9.7μm以下のCO2レーザ装置、または、波長が5.5μm以上5.9μm以下のCOレーザ装置を用いてレーザ光を照射することによって前記発光装置から発せられる光の色度を調整する照射工程を含む
    発光装置の製造方法。
  2. 前記照射工程においては、前記色変換部に前記レーザ光を照射することにより、前記蛍光体の少なくとも一部を除去する
    請求項1に記載の発光装置の製造方法。
  3. 前記照射工程においては、前記色変換部に前記レーザ光を照射することにより、前記透光性樹脂の少なくとも一部を除去して前記蛍光体を露出させ、かつ、露出した前記蛍光体の少なくとも一部を失活させる
    請求項1に記載の発光装置の製造方法。
  4. 前記色変換部は、前記蛍光体を含む前記透光性樹脂からなる蛍光体層と、前記蛍光体を含まない前記透光性樹脂からなる、前記蛍光体層の上方に設けられた樹脂層とを有し、
    前記照射工程においては、前記色変換部に前記レーザ光を照射することにより、前記樹脂層の少なくとも一部を除去して前記蛍光体層内の前記蛍光体を露出させ、かつ、露出した前記蛍光体の少なくとも一部を失活させる
    請求項1に記載の発光装置の製造方法。
  5. 前記照射工程においては、前記レーザ光の照射位置を所定時間毎に所定の距離以上離れた位置に変更する
    請求項1〜4のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
  6. さらに、前記発光装置から発せられる光の色度を測定する測定工程を含み、
    前記照射工程においては、前記発光装置から発せられる光の色度が所定の範囲内となるように、前記測定工程の測定結果に基づいて、前記レーザ光の照射時間、前記レーザ光の照射場所、および前記レーザ光の照射エネルギーのうち少なくとも1つを調整し、前記色変換部に前記レーザ光を照射する
    請求項1〜5のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
  7. 発光素子と、前記発光素子の発する光で励起されて光を発する蛍光体を含む透光性樹脂で形成され、前記発光素子の少なくとも一部を覆う色変換部とを有する発光装置の製造装置であって、
    前記色変換部に、波長が9.2μm以上9.7μm以下のCO2レーザ装置、または、波長が5.5μm以上5.9μm以下のCOレーザ装置を用いてレーザ光を照射することによって前記発光装置から発せられる光の色度を調整する照射部を備える
    製造装置。
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