JP6134194B2 - フィラメント、光源装置、および、フィラメントの製造方法 - Google Patents
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Description
(数1)
ε(λ)=1−R(λ) ・・・(1)
したがって、放射制御層12は、所定の波長λ0よりも短波長の光を多く放射するため、少なくとも所定の波長λ0以下の光の放射率が基材11よりも高くなる。
n1・d1=n2・d2=λ1/4
の関係を満たすように設計する。これにより、所定の波長λ1の赤外光を反射することができる。赤外光反射膜は、第1および第2の層の組を複数組積層した構造であり、各組は、反射する赤外光の所定の波長が異なるように構成することもできる。
(数2)
θ=arccos(R/(P−R)) ・・・(2)
(ただし、P:フィラメント10の巻き回しのピッチ、R:線状の基材11の半径)
(実施形態1)
実施形態1として、図5(a)のように、基材11をWで構成し、放射制御層12として、厚さ約100nmのZrO2とZrからなるサーメット膜を備えたフィラメント10について説明する。
実施形態2のフィラメントは、図7(a)のように、W基材11の上に、放射制御層12として、厚さ約65nmのCrO2とCrからなるサーメット膜と、その上に形成された厚さ約45nmのCr2O3膜の積層膜を備えている。放射制御層12の上には、さらに反射防止層15として、厚さ約75nmAl2O3膜が配置されている。
Claims (15)
- 金属材料により構成された線状の基材と、前記基材の表面に配置された、少なくとも所定の波長以下の光の放射率が基材よりも高い放射制御層とを有し、
前記線状の基材は、所定の形状に巻き回された巻き線構造であり、
前記放射制御層は、前記巻き線構造の外周側に位置する前記基材の表面にのみ備えられ、前記巻き線構造の内周側に位置する前記基材の表面には配置されていないことを特徴とするフィラメント。 - 請求項1に記載のフィラメントにおいて、前記放射制御層は、前記所定の波長以下の光の反射率が前記所定の波長よりも長波長の光に対する反射率よりも低いことを特徴とするフィラメント。
- 請求項1または2に記載のフィラメントにおいて、前記所定の波長は、1μm以上5μm以下であることを特徴とするフィラメント。
- 請求項3に記載のフィラメントにおいて、前記所定の波長は、3μm以上4μm以下であることを特徴とするフィラメント。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のフィラメントにおいて、前記放射制御層は、金属膜、金属の酸化物膜、金属の窒化物膜、金属のホウ化物膜、金属の珪化物膜、金属のフッ化物膜、金属の硫化物膜、および、金属のリン化物膜、のうちいずれかで構成された層を含むことを特徴とするフィラメント。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のフィラメントにおいて、前記放射制御層は、所定の体積比で金属および/または半導体が分散された誘電体層であることを特徴とするフィラメント。
- 請求項6に記載のフィラメントにおいて、前記放射制御層は、サーメット膜であることを特徴とするフィラメント。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載のフィラメントにおいて、前記放射制御層の上には反射防止層が配置されていることを特徴とするフィラメント。
- 請求項1ないし8のいずれか1項に記載のフィラメントにおいて、前記基材は、W、Mo、Ta、Au、Cu、Cr、Ni、Fe、Pt、Zr、Ti、Hf、Re、Os、Th、TaC、HfC、WC、ZrC、ZrN、および、TiNのうちのいずれか、または、いずれかを含有する合金からなることを特徴とするフィラメント。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のフィラメントにおいて、前記放射制御層は、前記基材の表面層に形成されたフォトニック結晶構造層であることを特徴とするフィラメント。
- 透光性気密容器と、当該透光性気密容器内に配置されたフィラメントと、前記フィラメントに電流を供給するためのリード線とを有する光源装置であって、
前記フィラメントは、請求項1ないし10のいずれか1項記載のフィラメントであることを特徴とする光源装置。 - 線状の基材を予め所定の形状の巻き回したフィラメントの中心軸を、蒸着源に対し、所定の角度で相対的に傾斜させて支持する工程と、
前記蒸着源を加熱して、前記フィラメントの外周側の表面に前記蒸着源の蒸着物を付着させて放射制御層を成膜する工程とを有することを特徴とするフィラメントの製造方法。 - 請求項12に記載のフィラメントの製造方法において、前記所定の角度θは、
θ=arccos(R/(P−R))
(ただし、P:フィラメントの巻き回しのピッチ、R:線状の基材の半径)
を満たすことを特徴とするフィラメントの製造方法。 - 請求項12または13に記載のフィラメントの製造方法において、前記フィラメントを前記中心軸を中心に自転させることを特徴とするフィラメントの製造方法。
- 請求項12ないし14のいずれか1項に記載のフィラメントの製造方法において、前記フィラメントを前記蒸着源を中心に公転させることを特徴とするフィラメントの製造方法。
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JP2013091407A JP6134194B2 (ja) | 2013-04-24 | 2013-04-24 | フィラメント、光源装置、および、フィラメントの製造方法 |
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