JP6131113B2 - 冷陰極電離真空計及び内壁保護部材 - Google Patents
冷陰極電離真空計及び内壁保護部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6131113B2 JP6131113B2 JP2013124495A JP2013124495A JP6131113B2 JP 6131113 B2 JP6131113 B2 JP 6131113B2 JP 2013124495 A JP2013124495 A JP 2013124495A JP 2013124495 A JP2013124495 A JP 2013124495A JP 6131113 B2 JP6131113 B2 JP 6131113B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- protection member
- wall surface
- wall
- vacuum gauge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 34
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 28
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 SUS304 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000012611 container material Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010893 electron trap Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 230000002459 sustained effect Effects 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
- G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
- G01L21/34—Vacuum gauges by making use of ionisation effects using electric discharge tubes with cold cathodes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
- G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
- G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
- G01L21/32—Vacuum gauges by making use of ionisation effects using electric discharge tubes with thermionic cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
- H01J41/04—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of thermionic cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
- H01J41/06—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of cold cathodes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
図1乃至図6は本発明の第1の実施形態に係る真空処理装置及びそれに取り付けられた冷陰極電離真空計を説明する図である。即ち、図1は本発明の第1の実施形態に係る冷陰極電離真空計を備えた真空処理装置の断面概略図、図2は本発明に係る冷陰極電離真空計の横断面模式図である。また、図3は図2のIII−III線から見た断面図(矢視図)、図4(a)、(b)は内壁保護部材の概略図、図5(a)、(b)は内壁保護部材を測定子容器に取り付ける手順を示す説明図、図6は内壁保護部材の他の構成例を示す図である。
内壁保護部材5は、測定子容器1の内壁面7を覆うように配置される保護部5aと、保護部5aの端部に設けられた突起状部材であるトリガ電極部5bとを有している。測定子容器(陰極)1と陽極2との間で起こった放電によりプラズマが生成されるのだが、トリガ電極部5bは、上記放電を開始し易くするための部材である。上記トリガ電極部5bは、内壁保護部材5が内壁面7に係止された状態(内壁面7を覆っている状態)で陽極2に向かって張り出すように、保護部5aに接続されている。また、保護部5aとトリガ電極部5bとは、同一の部材(一体もの)であっても良いし、別個の部材であっても良い。同一の部材である場合は、例えば、板状のSUS304の縁部を折り曲げることにより、トリガ電極部5bを形成しても良い。保護部5aとトリガ電極部5bとを別個の部材とする場合は、導電性を有し、測定子容器(陰極)1の内壁面7の形状に沿って弾性変形される保護部5aの面内の一領域(例えば、少なくとも1端部、対向する端部の間のいずれかの領域など)に、導電性を有するトリガ電極部5bを設ければ良い。
なお、内壁面7を保護するだけであれば、上記トリガ電極部5bを設けなくても良いことは言うまでもない。
図5(a)、(b)は内壁保護部材5を測定子容器1に取り付ける手順を示す説明図である。図5(a)に示すように、陽極2が測定子容器(陰極)1の中空部に挿入され、磁石3が放電空間9となる空間を取り囲むように設けられた構成を用意する。次いで、図4(a)の状態で保存されている内壁保護部材5を、図4(b)のように変形させて、フランジ側のポールピース14が取り外された測定子容器1内に挿入することで、内壁保護部材5は測定子容器1に取り付けられる。次いで、ポールピース14およびCリング15を設けることにより、図5(b)に示すように冷陰極電離真空計100が形成される。なお、内壁保護部材5の長手方向の長さL1と、測定子容器1の中空部における放電空間9の長手方向の長さL2とを同じ長さに設定すれば、内壁保護部材5の位置出しを容易に行うことができる。
図6(a)、(b)は、内壁保護部材の他の構成例であり、図4(a)、(b)に図示された内壁保護部材に替えてこの内壁保護部材を用いることができる。図6(a)は、測定子容器(陰極)1に取り付ける前の状態(例えば、保存される状態)の内壁保護部材60の斜視図である。図6(b)は、内壁保護部材60の測定子容器(陰極)1に取り付けた後の斜視図であって、内壁保護部材60以外の部材を省略した図である。この内壁保護部材60は、導電性を有し、かつ弾性変形可能な矩形状の薄い板部材を複数個所で折り曲げて構成したものである。
図7は本発明の第3の実施形態に係る冷陰極電離真空計200の断面概略図である。上述した第1の実施形態と同様の構成や部材には同じ符号を付してその詳細な説明を省略する。本実施形態に係る冷陰極電離真空計200は、絶縁部材7で固定されたピラニゲージフィラメント31を内蔵した、いわゆる複合型真空計であり、低真空から中真空領域ではピラニ真空計として計測し、中真空から高真空領域を冷陰極電離真空計として計測することで、低真空から高真空まで測定することができるように構成されている。
上記実施形態では、棒状電極2を陽極とし、それを囲む測定子容器1を陰極としているが、棒状電極2を陰極とし、測定子容器1を陽極としても良い。すなわち、本発明では、放電空間を形成すべく一方の電極を他方の電極が囲むように配置された2つの電極を用いれば良いのである。
1 測定子容器(陰極)
2 陽極
3 磁石
4 電流導入棒
5 内壁保護部材
5a 保護部
5b トリガ電極部
6 縁部材
7 内壁面
9 放電空間
11 電源
12 放電電流検出部
13 真空計動作回路
100、200 冷陰極電離真空計
Claims (8)
- 放電空間を形成すべく一方の電極を円筒状の他方の電極が囲むように配置された2つの電極と、
前記放電空間に配置され、前記他方の電極の周方向の内壁面を保護する電極保護部材と、を備え、
前記電極保護部材は、導電性を有する板状の弾性部材を前記内壁面の前記周方向の形状に沿って円筒形状に弾性変形させた保護部を有し、
前記保護部による付勢力が前記内壁面に印加されることによって、前記保護部は前記他方の電極に係止されていることを特徴とする冷陰極電離真空計。 - 前記電極保護部材は、前記保護部に接続され、前記保護部が前記他方の電極を覆っている状態で前記一方の電極に向かって張り出したトリガ電極部を有することを特徴とする請求項1に記載の冷陰極電離真空計。
- 前記トリガ電極部は、複数設けられることを特徴とする請求項2に記載の冷陰極電離真空計。
- 前記電極保護部材は、
前記電極保護部材が前記他方の電極を覆っている状態で、前記内壁面に接触する凸部を有していることを特徴とする請求項1に記載の冷陰極電離真空計。 - 一方の電極を円筒状の他方の電極が囲むように配置された2つの電極の間の放電空間に配置され、前記他方の電極の周方向の内壁面を保護する電極保護部材であって、
前記電極保護部材は、導電性を有する板状の弾性部材である保護部を有し、
前記保護部は、前記放電空間に配置された際に、前記内壁面の前記周方向の形状に沿って円筒形状に弾性変形し、前記保護部による付勢力が前記内壁面に印加されることによって、前記保護部は前記他方の電極に係止されていることを特徴とする電極保護部材。 - 前記電極保護部材は、前記保護部に接続され、前記保護部が前記他方の電極を覆っている状態で前記一方の電極に向かって張り出したトリガ電極部を有していることを特徴とする請求項5に記載の電極保護部材。
- 前記トリガ電極部は、複数設けられることを特徴とする請求項6に記載の電極保護部材。
- 前記電極保護部材は、
前記電極保護部材が前記他方の電極を覆っている状態で、前記内壁面に接触する凸部を有していることを特徴とする請求項5に記載の電極保護部材。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013124495A JP6131113B2 (ja) | 2013-06-13 | 2013-06-13 | 冷陰極電離真空計及び内壁保護部材 |
US14/260,545 US9316555B2 (en) | 2013-06-13 | 2014-04-24 | Cold cathode ionization vacuum gauge and inner wall protection member |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013124495A JP6131113B2 (ja) | 2013-06-13 | 2013-06-13 | 冷陰極電離真空計及び内壁保護部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015001391A JP2015001391A (ja) | 2015-01-05 |
JP6131113B2 true JP6131113B2 (ja) | 2017-05-17 |
Family
ID=52018686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013124495A Active JP6131113B2 (ja) | 2013-06-13 | 2013-06-13 | 冷陰極電離真空計及び内壁保護部材 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9316555B2 (ja) |
JP (1) | JP6131113B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020502543A (ja) * | 2016-12-13 | 2020-01-23 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated | 逆マグネトロン冷陰極電離真空計に用いられるアノード電極シールド |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9588004B2 (en) * | 2014-11-07 | 2017-03-07 | Mks Instruments, Inc. | Long lifetime cold cathode ionization vacuum gauge design |
TWI795918B (zh) | 2015-01-15 | 2023-03-11 | 美商Mks儀器公司 | 製造測量裝置之方法 |
CN105489465B (zh) * | 2016-01-14 | 2017-07-04 | 成都国光电气股份有限公司 | 一种真空规管 |
KR102078113B1 (ko) * | 2017-03-13 | 2020-04-07 | 캐논 아네르바 가부시키가이샤 | 냉음극 전리 진공계 및 냉음극 전리 진공계용 카트리지 |
JP2018181966A (ja) * | 2017-04-06 | 2018-11-15 | サムコ株式会社 | 防着板及びこれを備えるプラズマ処理装置 |
CN108253422B (zh) * | 2018-03-20 | 2023-10-13 | 苏州新耀环保科技有限公司 | 一种等离子体垃圾焚烧炉 |
US10928265B2 (en) | 2018-05-29 | 2021-02-23 | Mks Instruments, Inc. | Gas analysis with an inverted magnetron source |
JP6721806B1 (ja) | 2019-09-13 | 2020-07-15 | キヤノンアネルバ株式会社 | 電離真空計およびカートリッジ |
US10948456B1 (en) | 2019-11-27 | 2021-03-16 | Mks Instruments, Inc. | Gas analyzer system with ion source |
CN112097991B (zh) * | 2020-09-11 | 2021-06-08 | 无锡物联网创新中心有限公司 | 一种皮拉尼真空计系统 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1601211A (ja) * | 1968-12-31 | 1970-08-10 | ||
JPS5233901Y2 (ja) * | 1972-01-20 | 1977-08-02 | ||
DE9116476U1 (ja) * | 1991-04-16 | 1992-12-24 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften Ev, 3400 Goettingen, De | |
GB9111747D0 (en) * | 1991-05-31 | 1991-07-24 | Boc Group Plc | Improvements relating to vacuum pumps |
JP3602917B2 (ja) | 1996-07-05 | 2004-12-15 | 株式会社アルバック | 冷陰極電離真空計 |
DE10243634B4 (de) * | 2002-09-19 | 2005-02-03 | Otto-Von-Guericke-Universität Magdeburg | Kaltkatoden-Ionisationsmanometer |
US7098667B2 (en) * | 2003-12-31 | 2006-08-29 | Fei Company | Cold cathode ion gauge |
JP2005281773A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Hiroshi Takigawa | 防着カバー、物質生成装置、及び被処理物 |
JP5000386B2 (ja) * | 2007-06-08 | 2012-08-15 | 株式会社アルバック | 冷陰極電離真空計 |
JP2010151623A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Canon Anelva Corp | 冷陰極電離真空計およびそれに用いる放電開始補助電極板 |
JP5669411B2 (ja) * | 2009-04-09 | 2015-02-12 | キヤノンアネルバ株式会社 | 冷陰極電離真空計及びそれを備えた真空処理装置並びに放電開始補助電極 |
US8729465B2 (en) * | 2009-09-29 | 2014-05-20 | Vaclab Inc. | Vacuum measurement device with ion source mounted |
JP5579038B2 (ja) | 2010-05-14 | 2014-08-27 | キヤノンアネルバ株式会社 | 冷陰極電離真空計、該冷陰極電離真空計を備えた真空処理装置、該冷陰極電離真空計に用いる放電開始補助電極、該冷陰極電離真空計を用いた圧力測定方法 |
CN102087949B (zh) * | 2010-12-31 | 2012-11-21 | 清华大学 | 真空规管 |
JP2012229479A (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Toshiba Corp | 成膜装置およびシールド部材 |
CN103094049B (zh) * | 2011-10-28 | 2015-11-25 | 清华大学 | 电离规 |
-
2013
- 2013-06-13 JP JP2013124495A patent/JP6131113B2/ja active Active
-
2014
- 2014-04-24 US US14/260,545 patent/US9316555B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020502543A (ja) * | 2016-12-13 | 2020-01-23 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated | 逆マグネトロン冷陰極電離真空計に用いられるアノード電極シールド |
JP6990251B2 (ja) | 2016-12-13 | 2022-01-12 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 逆マグネトロン冷陰極電離真空計に用いられるアノード電極シールド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015001391A (ja) | 2015-01-05 |
US9316555B2 (en) | 2016-04-19 |
US20140368210A1 (en) | 2014-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6131113B2 (ja) | 冷陰極電離真空計及び内壁保護部材 | |
JP5669411B2 (ja) | 冷陰極電離真空計及びそれを備えた真空処理装置並びに放電開始補助電極 | |
JP5579038B2 (ja) | 冷陰極電離真空計、該冷陰極電離真空計を備えた真空処理装置、該冷陰極電離真空計に用いる放電開始補助電極、該冷陰極電離真空計を用いた圧力測定方法 | |
US6515482B2 (en) | Ionization vacuum gauge | |
US8120366B2 (en) | Cold cathode ionization vacuum gauge with trigger plate | |
JP4352098B1 (ja) | 放電素子及びその製造方法 | |
US7564246B2 (en) | Pressure sensor using field emission of carbon nano-tube | |
JP5632644B2 (ja) | 冷陰極電離真空計、放電開始補助電極及び真空処理装置 | |
JP5000386B2 (ja) | 冷陰極電離真空計 | |
JP2008304360A (ja) | 点火補助具およびこれを備えた冷陰極電離真空計 | |
JP5170768B2 (ja) | 冷陰極電離真空計 | |
JP2010267425A (ja) | スパークプラグ | |
JP6687823B1 (ja) | 電離真空計およびカートリッジ | |
TWI746155B (zh) | 電離真空計及匣盒 | |
JP2009238377A (ja) | 放電装置 | |
JP2011133386A (ja) | 冷陰極電離真空計 | |
JP5375285B2 (ja) | 電磁流量計 | |
JP3107441B2 (ja) | 静電容量形圧力センサ | |
JPWO2019069640A1 (ja) | 点火プラグ | |
JP2019219280A (ja) | 圧力センサ | |
JP2010133729A (ja) | 圧力センサ | |
JP2009059601A (ja) | 画像表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160311 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170328 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170417 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6131113 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |